一種一體式oled玻璃基板烘烤、冷卻裝置製造方法
2023-06-20 07:17:31 2
一種一體式oled玻璃基板烘烤、冷卻裝置製造方法
【專利摘要】本實用新型屬於OLED顯示【技術領域】，公開了一種一體式OLED玻璃基板烘烤、冷卻裝置，本裝置採用了烘烤爐與冷卻爐直接連通的方式，並採用滾輪直接傳遞，使OLED玻璃基板烘烤爐與冷卻爐集成為一體，OLED玻璃基板可以連續的完成烘烤冷卻工序，整個設備的佔用空間小，可以及時的冷卻玻璃基板，加快了生產節拍，節約了時間，提高了效率。
【專利說明】一種一體式OLED玻璃基板拱烤、冷卻裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型屬於OLED顯示【技術領域】，具體的說公開了一種一體式OLED玻璃基板烘烤、冷卻裝置。
【背景技術】
[0002]有機發光二極體簡稱0LED，又稱為有機電雷射顯示。OLED顯示技術具有自發光的特性，採用非常薄的有機材料塗層和玻璃基板，當有電流通過時，這些有機材料就會發光，而且OLED顯示屏幕可視角度大，並且能夠節省電能，現已得到廣泛運用。OLED在製作過程中，會有很多低溫烘烤工序，其主要目的是為了去除玻璃基板上殘留的水分。為了滿足工藝要求及生產節拍，一般低溫烘烤的工藝條件為:溫度，200-300°C，時間，30-40min，這樣經過烘烤的玻璃基板溫度會很高，會對後續製作造成一定影響，故需對烘烤過的玻璃基板進行冷卻。目前常見的烘烤設備有以下兩個缺點:(I)烘烤裝置與冷卻裝置分離，設備佔用潔淨室面積大；(2)烘烤、冷卻裝置分離，延長了生產節拍。
實用新型內容
[0003]本實用新型旨在提供一種一體式OLED玻璃基板烘烤、冷卻裝置，很好的解決了上述問題，將烘烤與冷卻設備集成為一體，OLED玻璃基板可以連續的完成烘烤冷卻工序，整個設備的佔用空間小，可以及時的冷卻玻璃基板，加快了生產節拍，節約了時間，提高了效率。
[0004]本實用新型的技術方案具體為:一種一體式OLED玻璃基板烘烤、冷卻裝置，包括烘烤爐和冷卻爐，烘烤爐與冷卻爐連通，烘烤爐與冷卻爐間設置有活動隔離爐門，烘烤爐內設置有至少一層烘烤單元，烘烤單元包括固定在烘烤爐側壁的支撐平臺及安裝在支撐平臺上的滾輪和升降針，冷卻爐內與烘烤爐相對位置設置有冷卻單元，冷卻單元包括固定在支架上的支撐平臺及安裝在支撐平臺上的滾輪和升降針，烘烤爐底部和側壁均安裝有加熱電阻絲，冷卻爐底部和頂部均安裝有壓縮空氣吹氣管。
[0005]進一步的，還包括安裝在烘烤爐和冷卻爐外部軌道上的機械手，機械手上安裝有吸盤。
[0006]進一步的，烘烤爐和冷卻爐的正面設計為可滑動式的啟閉艙門，艙門高度設計為200mm,以步進電機帶動可上下滑動，根據工藝需要在每一層停位後，打開艙門，由機械手臂傳送基板入爐內升降針上，機械手退回時，關閉艙門。優選的，所述烘烤爐內還安裝有循環風機。
[0007]進一步的，所述烘烤爐與冷卻爐內的滾輪均由步進電機驅動，步進電機及傳動齒輪安裝在爐體外部。
[0008]優選的，所述烘烤爐與冷卻爐內的升降針均由氣缸驅動。
[0009]優選的，每個烘烤平臺上的升降針有四個，升降針直徑Φ 5，安裝在滾輪外側，分別位於烘烤平臺四角處，每個冷卻平臺上的升降針有四個，安裝在滾輪外側，分別位於冷卻平臺四角處。
[0010]進一步的，所述烘烤單元設置有二十層，每層設計空間為100_，所述冷卻單元設置有二十層，每層設計空間為100mm。
[0011]優選的，所述冷卻平臺上安裝有玻璃基板檢測傳感器，所述玻璃基板檢測傳感器位於冷卻爐進口處。
[0012]本實用新型的有益效果是:本裝置採用了烘烤爐與冷卻爐直接連通的方式，並採用滾輪直接傳遞，使OLED玻璃基板烘烤爐與冷卻爐集成為一體，OLED玻璃基板可以連續的完成烘烤冷卻工序，整個設備的佔用空間小，可以及時的冷卻玻璃基板，加快了生產節拍，節約了時間，提高了效率。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型的結構俯視圖；
[0014]圖2為本實用新型烘烤爐與冷卻爐的結構側視圖；
[0015]圖3為本實用新型烘烤爐與冷卻爐的內部結構示意圖；
[0016]圖中:1.烘烤爐，11.烘烤單元，111.烘烤平臺，112.滾輪，113.升降針，12.循環風機，2.冷卻爐，21.冷卻單元，211.冷卻平臺，212.玻璃基板檢測傳感器，22.支架，23.壓縮空氣吹氣管，3.活動隔離爐門，4.軌道，5.機械手，6.玻璃基板。
【具體實施方式】
[0017]為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖，對本實用新型進行進一步詳細說明。
[0018]如圖1、圖2、圖3所示，本實用新型的技術方案是一種一體式OLED玻璃基板烘烤、冷卻裝置，包括烘烤爐I和冷卻爐2，烘烤爐I與冷卻爐2連通，烘烤爐I與冷卻爐2間設置有活動隔離爐門3，烘烤爐I內設置有至少一層烘烤單元11，烘烤單元11包括固定在烘烤爐I側壁的烘烤平臺111及安裝在烘烤平臺111上的滾輪112和升降針113，冷卻爐2內與烘烤爐I相對位置設置有冷卻單元21，冷卻單元21包括固定在支架22上的冷卻平臺211及安裝在冷卻平臺211上的滾輪112和升降針113，烘烤爐I底部和側壁均安裝有加熱電阻絲，冷卻爐2底部和頂部均安裝有壓縮空氣吹氣管23。烘烤爐I和冷卻爐2的正面設計為可滑動式的啟閉艙門，艙門高度設計為200_，以步進電機帶動可上下滑動，根據工藝需要在每一層停位後，打開艙門，由機械手5傳送玻璃基板6入爐內升降針113上,機械手5退回時，關閉艙門。還包括安裝在烘烤爐I和冷卻爐2外部軌道4上的機械手5。烘烤爐I內還安裝有循環風機12，循環風機12轉動可以使烘烤爐I內的熱力均勻。烘烤爐I與冷卻爐2內的滾輪112均由步進電機驅動。烘烤爐I與冷卻爐2內的升降針113均由氣缸驅動。每個烘烤平臺111上的升降針113有四個，安裝在滾輪112外側，分別位於烘烤平臺111四角處，每個冷卻平臺211上的升降針113有四個，安裝在滾輪112外側，分別位於冷卻平臺211四角處。烘烤單元11設置有三十層，冷卻單元21設置有三十層。冷卻平臺211上安裝有玻璃基板檢測傳感器212，玻璃基板檢測傳感器212位於冷卻爐2進口處，可以準確的檢測玻璃基板6是否到達合適位置。冷卻爐2可以無左右側板，冷卻平臺211直接安裝在支架22上，冷卻爐頂部設置Φ 200mm的管道，接工廠動力的熱排氣，空氣流通增強，更有利於玻璃基板6的冷卻，提高了冷卻效率。
[0019]在使用時，烘烤爐I內加熱電阻絲升溫加熱，烘烤爐門打開，機械手5將玻璃基板6送人烘烤爐I內，到達合適位置後，烘烤平臺111上的升降針113升高，將玻璃基板6頂離機械手5，此時機械手5下降15mm，退出烘烤爐1，烘烤爐門關閉，然後升降針113回縮，玻璃基板6平穩下降到滾輪112上，玻璃基板6在烘烤爐I內烘烤加熱，去除水分；當玻璃基板6烘烤完成後，位於烘烤爐I與冷卻爐2間的活動隔離爐門3打開，滾輪112轉動，使玻璃基板6向冷卻爐2內移動，當玻璃基板6到達冷卻爐2內合適位置後，滾輪112停止轉動，活動隔離爐門3關閉，冷卻爐2內的壓縮空氣吹氣管23打開，吹入壓縮空氣，使玻璃基板6冷卻；當玻璃基板6冷卻完成後，位於冷卻平臺211上的升降針113上升，頂起玻璃基板6，然後機械手5進入冷卻爐2內，伸入到玻璃基板6下方，當機械手5到達合適位置後，升降針113回縮，使玻璃基板6平穩下降到機械手5上，機械手5打開吸盤負壓，吸住玻璃基板，然後機械手5連同玻璃基板6退出冷卻爐2，進入下一工序。上述動作可以連續不斷的操作，且每一個烘烤單元11、冷卻單元21均可以對玻璃基板6進行處理，玻璃基板6可以連續的完成烘烤冷卻工序，整個設備的佔用空間小,可以及時的冷卻玻璃基板6，加快了生產節拍，節約了時間，提高了效率。本裝置使用到的工廠動力如下:電力:3Φ380ν，201? ;壓縮空氣:
0.7Mpa,35m3/h ;真空:-660 ± 1mmHg, 30m3/h ;熱排氣:Φ 200mm, 35m3/h。
[0020]當然，本實用新型還可有其它多種實施例，在不背離本實用新型精神及其實質的情況下，熟悉本領域的技術人員可根據本實用新型作出各種相應的改變和變形，但這些相應的改變和變形都應屬於本實用新型所附的權利要求的保護範圍。
【權利要求】
1.一種一體式OLED玻璃基板烘烤、冷卻裝置，其特徵在於:包括烘烤爐和冷卻爐，所述烘烤爐與冷卻爐連通，所述烘烤爐與冷卻爐間設置有活動隔離爐門，所述烘烤爐內設置有至少一層烘烤單元，所述烘烤單元包括固定在烘烤爐側壁的烘烤平臺及安裝在烘烤平臺上的滾輪和升降針，所述冷卻爐內與烘烤爐相對位置設置有冷卻單元，所述冷卻單元包括固定在支架上的冷卻平臺及安裝在冷卻平臺上的滾輪和升降針，所述烘烤爐底部和側壁均安裝有加熱電阻絲，所述冷卻爐底部和頂部均安裝有壓縮空氣吹氣管。
2.根據權利要求1所述的一體式OLED玻璃基板烘烤、冷卻裝置，其特徵在於:還包括安裝在烘烤爐和冷卻爐外部軌道上的機械手，機械手上安裝有吸盤。
3.根據權利要求1所述的一體式OLED玻璃基板烘烤、冷卻裝置，其特徵在於:所述烘烤爐內還安裝有循環風機。
4.根據權利要求1所述的一體式OLED玻璃基板烘烤、冷卻裝置，其特徵在於:所述烘烤爐與冷卻爐內的滾輪均由步進電機驅動。
5.根據權利要求1所述的一體式OLED玻璃基板烘烤、冷卻裝置，其特徵在於:所述烘烤爐與冷卻爐內的升降針均由氣缸驅動。
6.根據權利要求1所述的一體式OLED玻璃基板烘烤、冷卻裝置，其特徵在於:每個烘烤平臺上的升降針有四個，安裝在滾輪外側，分別位於烘烤平臺四角處，每個冷卻平臺上的升降針有四個，安裝在滾輪外側，分別位於冷卻平臺四角處。
7.根據權利要求1所述的一體式OLED玻璃基板烘烤、冷卻裝置，其特徵在於:所述烘烤單元設置有二十層，所述冷卻單元設置有二十層。
8.根據權利要求1所述的一體式OLED玻璃基板烘烤、冷卻裝置，其特徵在於:所述冷卻平臺上安裝有玻璃基板檢測傳感器，所述玻璃基板檢測傳感器位於冷卻爐進口處。
【文檔編號】H01L51/56GK203932123SQ201420337703
【公開日】2014年11月5日 申請日期:2014年6月23日 優先權日:2014年6月23日
【發明者】黃 俊 申請人:四川虹視顯示技術有限公司