一種超潔淨真空部件包裝儲存方法

2023-06-02 04:49:16 2

一種超潔淨真空部件包裝儲存方法
【專利摘要】本發明公開了一種超潔淨真空部件包裝儲存方法，對超潔淨真空系統內部的真空部件在清洗後，採用金屬轉移工具進行空間轉移，採用金屬盒盒體作為真空部件儲存的容器，戴手套用金屬箔隔離情況取出和安裝真空部件減少超潔淨真空部件在清洗、包裝、儲存和運輸過程中接觸有機汙染物，避免有機汙染物對超潔淨真空的汙染。
【專利說明】一種超潔淨真空部件包裝儲存方法

【技術領域】
[0001]本發明涉及真空潔淨度有要求的系統中汙染物的控制技術，尤其涉及一種超潔淨真空部件包裝儲存方法。

【背景技術】
[0002]在大功率雷射泵浦光源及應用光學系統、極紫外光源光學系統、超潔淨分析儀器中，由於揮發性有機汙染物在光學表面的沉積，將直接影響光學元件的性能和壽命，特別是在強雷射作用下使有機汙染物形成氣溶膠顆粒汙染物，這些顆粒汙染物在光學表面沉積還會帶來光學元件的損傷，因此在這些系統中對汙染物的控制要求是非常高的。在對一些光學系統的汙染物分析結果中，發現增塑劑是一種非常常見的汙染物，它的來源，在很大程度上取決於系統中一般存在的有絕緣包皮的導線、塑料製品等包含有增塑劑的有機材料，由於這些材料的存在，使增塑劑通過真空揮發、強光照射、粒子碰撞等形式從材料中釋放出來，成為系統中的汙染源。從這些材料中釋放出的增塑劑等汙染物，可以通過密封包覆等方式，使汙染物控制在包覆材料內部，減少增塑劑對超潔淨真空系統的汙染。
[0003]儘管通過一些措施能夠對系統內部的汙染物進行部分控制，但是在系統內部使用的一些真空部件，由於清洗過後的儲存中採用的塑料外包裝、密封部件用的橡膠圈、搬運安裝時使用的橡膠手套接觸等環節，仍會在真空部件表面形成二次汙染，並將增塑劑等汙染物帶入系統內部。針對由此帶來的二次汙染問題，本發明對包裝儲存方法進行改進，儘量避免真空部件二次汙染。


【發明內容】

[0004]發明目的:為了克服現有技術中存在的不足，本發明提供一種超潔淨真空部件包裝儲存方法，減少超潔淨真空部件在清洗、包裝、儲存和運輸過程中接觸有機汙染物，避免有機汙染物對超潔淨真空的汙染。
[0005]技術方案:為實現上述目的，本發明的技術方案如下:
[0006]一種超潔淨真空部件包裝儲存方法，對超潔淨真空系統內部的真空部件在清洗後，採用金屬轉移工具進行空間轉移，採用金屬盒盒體作為真空部件儲存的容器，戴手套用金屬箔隔離情況取出和安裝真空部件。
[0007]具體步驟如下:
[0008]a、對超潔淨真空系統內部的真空部件在清洗後，採用金屬轉移工具將真空部件轉移到金屬盒盒體內，蓋上盒蓋並用鎖扣鎖緊；
[0009]b、對金屬盒盒體通過帶有閥門的真空管道及其閥門採用真空機組抽空後，將閥門關閉，使金屬盒盒體內保持真空；
[0010]C、在使用真空部件時，帶有閥門的真空管道及其閥門連通潔淨乾燥的保護氣體，打開閥門使金屬盒盒體內衝入保護氣體，鬆開鎖扣，打開盒蓋；
[0011]d、戴手套用金屬箔隔離的情況下取出和安裝真空部件。
[0012]進一步的，所述的保護氣體為乾燥空氣、氮氣、氦或氬氣。
[0013]進一步的，所述的真空部件存放在金屬籃筐內清洗時，採用金屬轉移工具連同金屬籃筐一起轉移至金屬盒盒體內儲存。
[0014]進一步的，所述的真空部件為真空管時，在真空管的埠及外部表面用金屬箔包裹後，用金屬轉移工具將其轉移到金屬盒盒體內。
[0015]進一步的，所述的真空部件為光學部件，在所述光學部件的外部製作金屬框架，所述金屬框架設置有卡扣，用金屬轉移工具將其轉移到金屬盒盒體內，通過卡扣將光學部件固定在金屬盒盒體內的懸掛裝置上。
[0016]進一步的，所述的儲存容器包括金屬盒盒體、盒蓋、金屬密封圈和帶有閥門的真空管道及其閥門，所述盒蓋固定安裝在所述金屬盒盒體上部，所述盒蓋與金屬盒盒體之間通過金屬密封圈密封，在所述金屬盒盒體設有帶有閥門的真空管道及其閥門。所述盒蓋通過鎖扣或法蘭螺栓固定在金屬盒盒體上。所述的金屬密封圈的材質為鋁、錫、鉛、銀、金、銦軟性金屬或其合金。
[0017]有益效果:本發明的一種超潔淨真空部件包裝儲存方法，將清洗過後的真空部件與傳統的包裝所用的塑料薄膜、有機材料製成的包裝盒等進行分離，避免了有機汙染物蒸汽對真空部件的二次汙染，有效減少超潔淨真空系統中的汙染源。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]附圖1為本發明真空部件儲存容器結構示意圖。
[0019]附圖2為本發明真空部件在金屬籃筐後在金屬盒內懸掛示意圖。
[0020]附圖3為本發明真空管的存儲與轉移示意圖。
[0021]附圖4為本發明光學部件框架及固定結構示意圖。
[0022]附圖5為本發明光學部件在金屬盒盒體內懸掛示意圖。

【具體實施方式】
[0023]下面結合附圖對本發明作更進一步的說明。
[0024]一種超潔淨真空部件包裝儲存方法，是對超潔淨真空系統內部的真空部件I在清洗後，採用金屬轉移工具2進行空間轉移，採用金屬盒盒體4作為真空部件I儲存的容器，戴手套用金屬箔3隔離情況取出和安裝真空部件I。
[0025]如附圖1所示，本發明的儲存容器包括金屬盒盒體4、盒蓋42、金屬密封圈43和帶有閥門的真空管道44，所述盒蓋42固定安裝在所述金屬盒盒體4上，所述盒蓋42通過鎖扣45或法蘭螺栓固定在金屬盒盒體4上，所述盒蓋42與金屬盒盒體4之間通過金屬密封圈43密封，所述的金屬密封圈43的材質為鋁、錫、鉛、銀、金、銦軟性金屬或其合金，在所述金屬盒盒體4設有帶有閥門的真空管道44。
[0026]超潔淨真空部件包裝儲存方法的具體步驟如下:
[0027]a、對超潔淨真空系統內部的真空部件I在清洗後，採用金屬轉移工具2將真空部件I轉移到金屬盒盒體4內，蓋上盒蓋42並用鎖扣45鎖緊；
[0028]b、對金屬盒盒體4通過帶有閥門的真空管道44採用真空機組抽空後，將閥門關閉，使金屬盒盒體4內保持真空；
[0029]C、在使用真空部件I時，帶有閥門的真空管道44連通潔淨乾燥的保護氣體，所述的保護氣體為乾燥空氣、氮氣、氦或氬氣等惰性氣體，打開閥門使金屬盒盒體4內衝入保護氣體，鬆開鎖扣45，打開盒蓋42 ；
[0030]d、戴手套用金屬箔3隔離的情況下取出真空部件安裝使用。
[0031]具體的清洗、包裝、存儲的真空部件I分為三種類型，分別是:真空部件I存放在金屬籃筐時、真空部件I為真空管時和真空部件I為光學部件時。下面為三種具體的實施例:
[0032]第一種:真空部件I存放在金屬籃筐時；
[0033]如附圖2所示，所述的真空部件I存放在金屬籃筐7內清洗時，採用金屬轉移工具2連同金屬籃筐7 —起轉移至金屬盒盒體4內儲存。
[0034]具體的，對於一批超潔淨真空內部真空部件I進行清洗、儲存時，將真空部件I放入金屬籃筐內7內，連同金屬籃筐7 —起在清洗裝置內清洗、烘乾後，利用金屬轉移工具2將真空部件I連同金屬籃筐7 —起取出，轉移到金屬盒盒體4內，並固定在盒內的懸掛裝置41上。此時蓋上金屬盒蓋42，並用鎖扣45將金屬盒蓋42鎖緊，使金屬盒蓋42與金屬盒盒體4之間通過採用銦錫合金製作的金屬密封圈43密封，對金屬盒盒體4通過帶閥門的真空管道44採用幹泵和磁懸浮分子泵組成的真空機組抽真空後，將閥門關閉，使金屬盒盒體4內部保持真空，使真空部件保持儲存在潔淨真空狀態。在使用真空部件I時，在真空管道及其閥門44上連通潔淨乾燥的保護氣體，打開閥門使金屬盒盒體4衝入保護氣體，鬆開鎖扣45，打開金屬盒蓋42，戴手套在用金屬箔3隔離的情況下從金屬籃筐7內取出真空部件I。在安裝過程中，可戴手套用金屬箔3對真空部件I進行包覆後操作將其在超潔淨真空系統內部固定，操作過程中僅接觸包覆在真空部件I外的金屬箔3，在安裝結束後可將包覆的金屬箔3取下，保持真空部件I不與手套等可能帶來汙染物的材料接觸。所述的金屬箔3可以是金屬鋁箔或金屬錫箔。
[0035]第二種:真空部件I為真空管時；
[0036]如附圖3所示，所述的真空部件I為真空管11時，採用的金屬轉移工具2為鉗夾21，在真空管11的埠及外部表面用金屬箔3包裹後，用鉗夾21將其轉移到金屬盒盒體4內。
[0037]具體的，對於一段超潔淨真空內部真空部件I的真空管11，對其在清洗裝置內清洗、烘乾後，利用金屬轉移工具2鉗夾21將其取出，在其埠 6及外部表面用金屬箔3包裹後，用鉗夾21將其放置到清洗乾淨的金屬盒盒體4內，蓋上金屬盒蓋42，並用鎖扣45將金屬盒蓋42鎖緊，使金屬盒蓋42與金屬盒盒體4之間通過採用銦錫合金製作的金屬密封圈43密封，對金屬盒盒體4通過帶閥門的真空管道及其閥門44採用幹泵和磁懸浮分子泵組成的真空機組抽真空後，將閥門關閉，使金屬盒盒體4內部保持真空，使真空管11保持儲存在潔淨真空狀態。在使用真空管11時，在真空管道及其閥門44上連通潔淨乾燥的保護氣體，打開閥門使金屬盒盒體4內衝入保護氣體，鬆開鎖扣45，打開金屬盒蓋42，通過鉗夾21取出真空管11。在安裝過程中，可戴手套接觸取下包括在埠的金屬箔3以便來安裝真空管11，操作過程中僅接觸包覆在真空管11外的金屬箔3，在安裝結束後可將包覆的金屬箔3取下，保持真空管11不與手套等可能帶來汙染物的材料接觸。所述的金屬箔3可以是金屬鋁箔或金屬錫箔。
[0038]第三種:真空部件I為光學部件時；
[0039]如附圖4和5所示，所述的真空部件I為光學部件12，在所述光學部件12的外部製作金屬框架，所述金屬框架設置有卡扣51，所述的金屬轉移工具2為掛鈎22，用掛鈎22將光學部件12轉移到金屬盒盒體4內，通過卡扣51將光學部件12固定在盒內的懸掛裝置41上。
[0040]具體的，對於超潔淨真空內部真空部件I的光學部件12，在其未鍍光學膜前，在其外部製作金屬框架5，並在金屬框架的四個頂角製作用於固定卡扣51。製作好金屬框架5的光學部件12，將其連同金屬框架5—起在清洗裝置內清洗、烘乾後，利用掛鈎22鉤在卡扣51上將其取出，轉移到鍍膜裝置中製作光學膜後，因光學膜容易受傷，因此不能用金屬箔進行包覆。用掛鈎22將光學部件12轉移到金屬盒盒體4內，將卡扣51固定在金屬盒盒體4內的懸掛裝置41上。蓋上金屬盒蓋42，並用鎖扣45將金屬盒蓋42鎖緊，使金屬盒蓋42與金屬盒盒體4之間通過採用銦錫合金製作的金屬密封圈43密封，對金屬盒盒體4通過帶閥門的真空管道及其閥門44採用幹泵和磁懸浮分子泵組成的真空機組抽真空後，將閥門關閉，使金屬盒盒體4內部保持真空，使光學部件12保持儲存在潔淨真空狀態。在使用光學部件12時，在真空管道及其閥門44上連通潔淨乾燥的保護氣體，打開閥門使金屬盒盒體4內衝入保護氣體，鬆開鎖扣45，打開金屬盒蓋42，通過掛鈎22取出光學部件12。在安裝過程中，可帶手套用金屬箔3對卡扣51部分進行包覆後操作將光學部件12固定，操作過程中僅接觸包覆在光學部件12外的金屬箔3，在安裝結束後可將包覆的金屬箔3取下，保持光學部件12不與手套等可能帶來汙染物的材料接觸。所述的金屬箔3可以是金屬鋁箔或金屬錫箔。
[0041]以上所述僅是本發明的優選實施方式，應當指出:對於本【技術領域】的普通技術人員來說，在不脫離本發明原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本發明的保護範圍。
【權利要求】
1.一種超潔淨真空部件包裝儲存方法，其特徵在於，對超潔淨真空系統內部的真空部件(I)在清洗後，採用金屬轉移工具(2)進行空間轉移，採用金屬盒盒體(4)作為真空部件(I)儲存的容器，戴手套用金屬箔(3)隔離情況取出和安裝真空部件(I)。
2.根據權利要求1所述一種超潔淨真空部件包裝儲存方法，其特徵在於，具體步驟如下: a、對超潔淨真空系統內部的真空部件(I)在清洗後，採用金屬轉移工具(2)將真空部件(I)轉移到金屬盒盒體(4)內，蓋上盒蓋(42)並用鎖扣(45)鎖緊； b、對金屬盒盒體(4)通過帶有閥門的真空管道及其閥門(44)採用真空機組抽空後，將閥門關閉，使金屬盒盒體(4)內保持真空； C、在使用真空部件(I)時，帶有閥門的真空管道及其閥門(44)連通潔淨乾燥的保護氣體，打開閥門使金屬盒盒體(4)內衝入保護氣體,鬆開鎖扣(45)，打開盒蓋(42)； d、戴手套用金屬箔(3)隔離的情況下取出和安裝真空部件。
3.根據權利要求2所述一種超潔淨真空部件包裝儲存方法，其特徵在於:所述的保護氣體為乾燥空氣、氮氣、氦或氬氣。
4.根據權利要求2所述一種超潔淨真空部件包裝儲存方法，其特徵在於:所述的真空部件(I)存放在金屬籃筐(7)內清洗時，採用金屬轉移工具(2)連同金屬籃筐(7) —起轉移至金屬盒盒體(4)內儲存。
5.根據權利要求2所述一種超潔淨真空部件包裝儲存方法，其特徵在於:所述的真空部件⑴為真空管(11)時，在真空管(11)的埠及外部表面用金屬箔⑶包裹後，用金屬轉移工具(2)將其轉移到金屬盒盒體(4)內。
6.根據權利要求2所述一種超潔淨真空部件包裝儲存方法，其特徵在於:所述的真空部件(I)為光學部件(12)，在所述光學部件(12)的外部製作金屬框架，所述金屬框架設置有卡扣(51)，用金屬轉移工具(2)將其轉移到金屬盒盒體(4)內，通過卡扣(51)將光學部件(12)固定在金屬盒盒體(4)內的懸掛裝置(41)上。
7.根據權利要求2所述的一種超潔淨真空部件包裝儲存方法，其特徵在於:所述的儲存容器包括金屬盒盒體(4)、盒蓋(42)、金屬密封圈(43)和帶有閥門的真空管道及其閥門(44)，所述盒蓋(42)固定安裝在所述金屬盒盒體(4)上部，所述盒蓋(42)與金屬盒盒體(4)之間通過金屬密封圈(43)密封，在所述金屬盒盒體(4)設有帶有閥門的真空管道及其閥門(44)。
8.根據權利要求7所述一種超潔淨真空部件包裝儲存方法，其特徵在於:所述盒蓋(42)通過鎖扣(45)或法蘭螺栓固定在金屬盒盒體(4)上。
9.根據權利要求7所述一種超潔淨真空部件包裝儲存方法，其特徵在於:所述的金屬密封圈(43)的材質為鋁、錫、鉛、銀、金、銦軟性金屬或其合金。
【文檔編號】B65B55/24GK104139893SQ201410332451
【公開日】2014年11月12日 申請日期:2014年7月11日 優先權日:2014年7月11日
【發明者】張曉兵, 肖梅, 康學軍, 夏柱紅, 祁爭健, 陳振乾 申請人:東南大學