自動化機臺的控制方法、裝置及系統的製作方法
2023-07-04 15:20:41 3
專利名稱：自動化機臺的控制方法、裝置及系統的製作方法
技術領域：
本發明涉及自動化系統控制技術領域，特別是涉及一種自動化機臺的控制方法、 裝置和系統。
背景技術：
在目前半導體生產領域，工廠自動化尤為重要。目前工廠自動化主要是將工廠主機、傳輸控制設備以及工藝設備通過一些中間軟體，如工廠接口聯繫在一起，此種連接方式既能夠真實地向工廠主機反映工藝設備機臺當前的運行情況，又可以將工廠主機的命令傳達到工藝設備一端進而進行相關的工藝處理和相關配置，從而為操作者提供一個簡單易懂的操作平臺完成自動化操作。隨著各種先進技術手段逐漸被用在半導體加工工業中，如何改進對機臺控制來提高生產效率，變得越來越重要，例如先進工藝控制(AdvancedProcess Control)軟體目前已經被廣泛應用。APC軟體處於底層軟體PMC(Process Module Controller)的上層，通過乙太網與 PMC軟體相互連接，能實時獲得刻蝕機在工藝過程中的各項數據，便於生產人員及時觀察實時工藝信息，例如，腔室壓力、腔室溫度、入射功率、反射功率、工藝氣體流量等。及時發現硬體問題，避免工藝浪費或失敗，分析報警數據判斷出現問題的位置，從而指導設備工程師對硬體進行問題解決。現有的一種自動化機臺中採用機械手抓取料盒的過程通常為傳輸腔的機械手伸向物料盒腔，物料盒腔內有放料位置、取料位置和多個固定位置。在多個固定位置這一側， 每個固定位置可放置一物料盒，系統自動判斷固定位置有無物料盒，並通過相關機械裝置有序地將其上的物料盒放入空置的固定位置或將固定位置的物料盒從固定位置取走；而在放料位置和取料位置這一側，通過相關機械裝置驅動物料盒至放料位置，以將物料盒放到機械手上，機械手縮回，完成取料動作，機械手旋轉向工藝腔，機械手伸向工藝腔，通過工藝腔各部件的配合將物料盒放到工藝腔，開始工藝；工藝完成後，機械手將完成工藝的物料盒取出，轉向物料盒腔，伸向物料盒腔內取料位置，並通過相關機械裝置從機械手上取下物料盒，完成放料動作；在LED刻蝕工藝中，上述物料盒腔內的物料盒可具體為託盤，且託盤內承載有多個晶片。通常情況下，自動化機臺上供設置有七個傳感器，分別為SDC、CP、CM、TC、CDI、PDI、 SDI。其中，CP用於檢測物料盒腔內的物料盒所處的工作位置、CM用於檢測物料盒腔內的物料盒是否移動，SDC用於檢測傳輸腔的側門是否關閉，TC用於檢測傳輸腔的蓋子是否關閉， CDI、PDI、SDI分別用於檢測機械手處於傳輸腔內不同位置時候手上是否有物料盒。在系統自動運行的情況下，通過系統內精確有序的控制，不會發生撞片的情況。但有些時候需要手動運行系統，現有方法中，操作者通過上述七個傳感器感測的結果進行分析判斷，是否移動機械手。那麼在操作者作出判斷之前，需要對七個傳感器的感測結果進行分析，這就會花費較長的時間，另外，人為判斷容易出現失誤，例如，如果機械手上有物料盒、且物料盒腔內的放料位置或取料位置已有物料盒，若操作者還操作機械手進入物料盒腔內，就可能導致機械手中的物料盒撞倒放料位置或取料位置上的物料盒，進而造成自動化機臺或者產品的損壞。
發明內容
本發明所要解決的技術問題是提供一種自動化機臺的控制方法、裝置和系統，能夠對傳感器的感測結果進行邏輯分析，並將分析結果傳遞給自動化機臺，從而使操作者能夠直接根據分析結果進行操作，無需進行人為判斷。為了解決上述問題，本發明公開了一種自動化機臺的控制方法，包括以下步驟步驟101，判斷機械手上是否有物料，若是，則執行步驟102A，反之，則執行步驟 103A ；步驟102A，判斷物料盒腔內的物料盒是否處在取料位置，若是，則執行步驟102B， 反之，則執行步驟104;步驟102B，判斷處在取料位置的物料盒內是否有物料，若否，則發送機械手伸向所述取料位置的通知信號，反之，則執行步驟104，所述機械手伸向所述取料位置的通知信號用於通知操作者可通過控制器控制機械手伸向所述取料位置；步驟103A，判斷物料盒腔內的物料盒是否處在放料位置，若是，則執行步驟103B， 反之，則執行步驟104;步驟1(X3B，判斷處在放料位置的物料盒內是否有物料，若是，則發送機械手伸向所述放料位置的通知信號，反之，則執行步驟104，所述機械手伸向所述放料位置的通知信號用於通知操作者可通過控制器控制機械手伸向所述放料位置；步驟104，發送報警驅動信號。進一步地，在判斷機械手上是否有物料之前還包括判斷自動化機臺的側門是否關閉，若否，則執行步驟104 ；若自動化機臺的側門已關閉，則判斷自動化機臺內的傳輸腔是否關閉，若否，則執行步驟104 ；若自動化機臺的側門已關閉及自動化機臺內的傳輸腔是否關閉，則判斷自動化機臺內的物料盒腔是否靜止，若是，則執行步驟101，若否，則執行步驟104。進一步地，在步驟102B判斷處在取料位置的物料盒內是否有物料步驟或10 判斷處在放料位置的物料盒內是否有物料之前，還包括獲取處在取料位置或放料位置的物料盒的編號。為了解決上述問題，本發明還公開了一種自動化機臺的控制裝置，包括第一判斷執行單元，用於判斷機械手上是否有物料，若否，則發送報警驅動信號；第二判斷執行單元，連接於所述第一判斷執行單元，用於在所述第一判斷執行單元判斷出機械手上有物料後，判斷物料盒腔內的物料盒是否處在取料位置，若否，則發送報警驅動信號；第三判斷執行單元，連接於第二判斷執行單元，用於在所述第二判斷執行單元判斷出物料盒腔內的物料盒已處在取料位置後，則判斷處在取料位置的物料盒內是否有物料，若否，則發送機械手伸向所述取料位置的通知信號，反之，則發送報警驅動信號，所述機械手伸向所述取料位置的通知信號用於通知操作者可通過控制器控制機械手伸向所述取料位置；第四判斷執行單元，連接於所述第一判斷執行單元，用於在所述第一判斷執行單元判斷出機械手上沒有物料後，判斷物料盒腔內的物料盒是否處在放料位置，若否，則發送報警驅動信號；第五判斷執行單元，連接於所述第四判斷執行單元，用於在所述第四判斷執行單元判斷出物料盒腔內的物料盒處在放料位置後，判斷處在放料位置的物料盒內是否有物料，若是，則發送機械手伸向所述放料位置的通知信號，反之，則發送報警驅動信號，所述機械手伸向所述放料位置的通知信號用於通知操作者可通過控制器控制機械手伸向所述放料位置。進一步地，還包括第六判斷執行單元，用於判斷自動化機臺的側門是否關閉，若否，則發送報警驅動
信號；第七判斷執行單元，連接於所述第六判斷執行單元，用於在所述第六判斷執行單元判斷出自動化機臺的側門已關閉後，判斷自動化機臺內的傳輸腔是否關閉，若否，則發送報警驅動信號；第八判斷執行單元，分別連接於所述第六判斷執行單元、所述第七判斷執行單元和第一判斷執行單元，用於在所述第六判斷執行單元判斷出自動化機臺的側門已關閉以及所述第七判斷執行單元判斷出自動化機臺內的傳輸腔已關閉後，則判斷自動化機臺內的物料盒腔是否靜止，若否，則發送報警驅動信號，若是，則由所述第一判斷執行單元判斷機械手上是否有物料。進一步地，還包括編號獲取單元，用於在第三判斷執行單元判斷處在取料位置的物料盒內是否有物料或第五判斷執行單元判斷處在放料位置的物料盒內是否有物料之前，獲取物料盒的編號。為了解決上述問題，本發明還公開了一種自動化機臺的控制系統，包括控制器，機械手和報警裝置，所述控制器分別與所述機械手和報警裝置相連接；所述控制器用於判斷機械手上是否有物料，若否，則發送報警驅動信號；用於在判斷出機械手上有物料後，判斷物料盒腔內的物料盒是否處在取料位置，若否，則發送報警驅動信號；用於在判斷出物料盒腔內的物料盒已處在取料位置後，則判斷處在取料位置的物料盒內是否有物料，若否，則發送機械手伸向所述取料位置的通知信號，反之，則發送報警驅動信號，所述機械手伸向所述取料位置的通知信號用於通知操作者可通過控制器控制機械手伸向所述取料位置；以及用於在判斷出機械手上沒有物料後，判斷物料盒腔內的物料盒是否處在放料位置，若否，則發送報警驅動信號；用於在判斷出物料盒腔內的物料盒處在放料位置後，判斷處在放料位置的物料盒內是否有物料，若是，則發送機械手伸向所述放料位置的通知信號，反之，則發送報警驅動信號，所述機械手伸向所述放料位置的通知信號用於通知操作者可通過控制器控制機械手伸向所述放料位置；所述機械手用於受操作者通過控制器的控制而伸向所述取料位置；或者，受操作者通過控制器的控制而伸向所述放料位置；
所述報警裝置用於接收所述報警驅動信號，並根據該報警驅動信號進行報警。與現有技術相比，本發明具有以下優點本發明的一種自動化機臺的控制方法、裝置和系統，通過對各個腔室及機械手的狀態的判定進行邏輯分析來確定是否可以移動機械手，使操作者可以直接根據分析結果來操作機械手。例如，如果可以移動機械手，則操作者會控制機械手移動至物料盒腔內，物料盒進行取料或者放料的過程，反之，則自動化機臺會發送報警信號，操作者則會根據報警信號對相應的部分作出調整。可以較快的得出結果，操作者只需要根據控制器的分析結果進行操作，無需人為判斷，可以避免因為人為誤判所帶來的損失，同時降低了操作的時間。
圖1是本發明的自動化機臺的控制方法實施例一的流程圖；圖2是本發明的自動化機臺的控制方法實施例二的流程圖；圖3是本發明的自動化機臺的控制裝置實施例一的結構示意圖；圖4是本發明的自動化機臺的控制裝置實施例二的結構示意圖；圖5是本發明的自動化機臺的控制裝置實施例三的結構示意圖；圖6是本發明的自動化機臺的控制系統的結構示意圖。
具體實施例方式為使本發明的上述目的、特徵和優點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖和具體實施方式
對本發明作進一步詳細的說明。參照圖1，示出本發明的一種自動化機臺的控制方法實施例一，包括以下步驟步驟101，判斷機械手上是否有物料，若是，則執行步驟102A，反之，則執行步驟 103A ；步驟102A，判斷物料盒腔內的物料盒是否處在取料位置，若是，則執行步驟102B， 反之，則執行步驟104;步驟102B，判斷處在取料位置的物料盒內是否有物料，若否，則發送機械手伸向所述取料位置的通知信號，反之，則執行步驟104，所述機械手伸向所述取料位置的通知信號用於通知操作者可通過控制器控制機械手伸向所述取料位置；步驟103A，判斷物料盒腔內的物料盒是否處在放料位置，若是，則執行步驟103B， 反之，則執行步驟104;步驟1(X3B，判斷處在放料位置的物料盒內是否有物料，若是，則發送機械手伸向所述放料位置的通知信號，反之，則執行步驟104，所述機械手伸向所述放料位置的通知信號用於通知操作者可通過控制器控制機械手伸向所述放料位置；步驟104，發送報警驅動信號。本方法中，取料位置是指物料盒腔內從機械手上取出物料盒時物料盒所處的位置，放料位置是指物料盒腔內將其中的物料盒放入機械手中時物料盒所處的位置。其中，前述的各步驟中的判斷採用設置於自動化機臺的各個腔內的傳感器來實現，操作者在控制機械手運動之前，需通過機臺內的各個傳感器來判斷機械手上是否有物料盒，以及當前物料盒腔內的物料盒所處的位置。各傳感器將判斷信號傳輸給自動化機臺的控制器，控制器對各個傳感器的信號進行邏輯分析，從而得出是否可以移動機械手進行操作的分析結果，並通過機械手可伸向所述取料位置的通知信號或者機械手可伸向所述放料位置的通知信號通知操作者，以告知操作者可通過控制器控制直接根據分析結果來操作機械手。例如，如果可以移動機械手，則操作者會控制機械手移動至物料盒腔內，從機械手中取物料盒或者將物料盒放入機械手中，否則，自動化機臺會發送報警信號，操作者會根據報警信號對相應的部分作出調整。例如，當機械手上有物料盒，而處在取料位置的物料盒時，此時會發送報警驅動信號，則操作者需要等待取料位置空置的狀態到來，再進行後續的操作。在判斷是否移動機械手的過程中，直接通過系統進行邏輯判斷，無需進行人為判斷，節省了人為判斷的時間且避免了因為人為的誤判而帶來的損失。例如，當機械手上有物料盒、在放料位置也有物料盒的情況下，此時是不允許移動機械手至物料盒腔內的，但是如果因為操作者的失誤而出現誤判，移動了機械手，則可能會出現機械手的物料盒撞到放料位置的物料盒的情況。這裡需要說明的是，操作者操作機械手是伸入物料盒腔內的取料位置、還是伸入放料位置，通過判斷機械手上是否有物料盒即已知曉當機械手上有物料盒時，機械手伸入物料盒腔內的取料位置，並從機械手中取物料盒，若取料位置有物料盒則等待取料位置空置的狀態到來；或者，當機械手上沒有物料盒時，機械手伸入物料盒腔內的放料位置，並將物料盒放入機械手中，若放料位置沒有物料盒則等待放料位置有物料盒的狀態到來。參照圖2，示出本發明的一種自動化機臺的控制方法實施例二，包括以下步驟步驟201，判斷自動化機臺的側門是否關閉，若是，則執行下一步操作；反之，則執行步驟207 ；步驟202，判斷自動化機臺內的傳輸腔是否關閉，若是，則執行下一步操作，反之， 則執行步驟207 ；步驟203，判斷自動化機臺內的物料盒是否靜止，若是，則執行下一步操作，反之， 則執行步驟207 ；步驟204，判斷機械手上是否有物料，若是，則執行步驟205A，反之，則執行步驟 206A ；步驟205A，判斷物料盒腔內的物料盒是否處在取料位置，若是，則執行步驟205B， 反之，則執行步驟207;步驟205B，判斷處在取料位置的物料盒內是否有物料，若否，則發送機械手伸向所述取料位置的通知信號，反之，則執行步驟207，所述機械手伸向所述取料位置的通知信號用於通知操作者可通過控制器控制機械手伸向所述取料位置；步驟206A，判斷物料盒腔內的物料盒是否處在放料位置，若是，則執行步驟206B， 反之，則執行步驟207;步驟206B，判斷處在放料位置的物料盒內是否有物料，若是，則發送機械手伸向所述放料位置的通知信號，反之，則執行步驟207，所述機械手伸向所述放料位置的通知信號用於通知操作者可通過控制器控制機械手伸向所述放料位置；步驟207，發送報警驅動信號。本實施例中，在判斷機械手上是否有物料之前還包括判斷其它的條件，如自動化機臺的側門是否關閉、傳輸腔的蓋子是否關閉等，使自動化機臺的各方面都處於正常情況下才能運行機械手，這樣可以保證自動化機臺操作的安全性，避免給操作者或者其他的人員及設備帶來安全隱患。進一步地，在前述實施例一和實施例二的判斷過程中，還需獲取物料盒的具體編號。例如，在判定物料盒處於放料位置後，還需獲取目前處於放料位置的物料盒的編號，例如是1號物料盒還是2號物料盒；同樣，在判定物料盒處於取料位置後，也需獲取目前處於取料位置的物料盒的編號。因為，通常在自動化機臺的一次工作過程中，可以執行操作的物料盒數量是一定的，通過獲取物料盒的具體編號，可以準確地了解每次工作的進程。同時， 可以按照物料盒的編號順序來移動物料盒，避免出現漏掉某一物料盒的情況，提高自動化機臺的精確度。下面結合具體的實例對前述實施例進行詳細的說明。假設自動化機臺內包括物料盒腔、傳輸腔及工藝腔三個腔室，其中，物料盒腔內包括五個物料盒。機臺上供設置有七個傳感器，分別為SDC、CP、CM、TC、CDI、PDI、SDI。其中， SDC用於檢測自動化機臺的側門是否關閉，CP用於檢測物料盒腔內處於當前物料盒的位置、編號及是否有物料、CM用於檢測物料盒腔內的物料盒是否移動，TC用於檢測傳輸腔的蓋子是否關閉，CDI、PDI、SDI用於檢測機械手處於傳輸腔內不同位置時候手上是否有物料。 進一步地，通常情況下，物料盒在物料盒腔內運動時，是放在物料盒腔內的相關機械裝置上的，通過相關機械裝置的驅動來實現物料盒的移動，因此CM可通過檢測該相關機械裝置是否移動來確定物料盒是否移動，且CP可通過檢測該相關機械裝置所在位置來判斷當前物料盒的位置。 SDC檢測自動化機臺的側門是否關閉，並輸出信號給自動化機臺的控制器。例如， 輸出「1」表示關閉，「0」表示開啟。TC檢測傳輸腔的蓋子是否關閉，並輸出信號給自動化機臺的控制器。例如，輸出 「1」表示關閉，「0」表示開啟。CM檢測物料盒腔內的物料盒是否移動，並輸出信號給自動化機臺的控制器。同樣， 輸出「 1 」表示正在移動，「0」表示停止。控制器根據接收到的輸出信號來進行判斷。當SDC、TC、CM其中一個或幾個輸出信號為「0」，則控制器會通知控制器發送報警信號，並停止操作。只有當三個傳感器輸出信號都為「1」時，即，側門關閉、傳輸腔蓋子關閉、物料盒腔內的物料盒正在移動時，說明自動化機臺目前正在處於正常工作狀態。⑶I、PDI、SDI檢測機械手上是否有物料，並數據信號給自動化機臺的控制器，同樣，輸出「 1」表示有物料，「 0 」表示無物料。CP用於檢測物料盒腔內當前物料盒處於什麼位置及具體編號，並輸出信號給自動化機臺的控制器。CP需要同時檢測位置和編號，假設，物料盒腔內的物料盒處於取料位置， 輸出「Q」，處於放料位置，輸出「F」，因為此處有五個物料盒，則處於取料位置的物料盒編號用「QN」表示，處於放料位置的物料盒編號用「FN」表示，其中N為物料盒的編號，本實施例中N = 1、2、3、4、5。以編號為1的物料盒為例，那麼CP的輸出信號可以有以下幾種方式Ql 編號為1的物料盒處於取料位置；Fl 編號為1的物料盒處於放料位置；
其中，在取料位置，需要機械手將手中的物料盒放入取料位置，因此，如果取料位置有物料盒，則控制器會通知控制器發送報警信號。同樣，在放料位置，需要將物料盒放入機械手中，因此，如果放料位置無物料盒，則邏輯單元會通知控制器發送報警信號。如果⑶I、PDI、SDI其中之一輸出「 1 」，說明機械手上有物料盒，此時，某一物料盒處於取料位置時候，則控制器發送機械手伸向所述取料位置的通知信號，操作者根據此信號來移動機械手使機械手將手中的物料盒放入該取料位置。對於CP輸出的其餘信號，控制器都會發送報警信號，並停止操作。如果⑶I、PDI、SDI均輸出「0」，說明機械手上無物料盒，此時，某一物料盒處於放料位置，則控制器發送機械手伸向所述放料位置的通知信號，操作者根據此信號來移動機械手使機械手從放料位置取物料盒。對於CP輸出的其餘信號，控制器都會發送報警信號， 並停止操作。通過⑶I、PDI、SDI判斷機械手上是否有物料，並通過位於物料盒腔內的傳感器CP 來判斷當前物料盒所處的位置，以此發出通知信號，通知操作者根據該通知信號可通過控制器控制移動機械手執行取料或者放料操作。因為人為判斷的時候需要對多個結果進行分析比較，容易出錯，而且所花費的時間較長，本發明的機械手的控制方法和自動化機臺的控制方法通過增加的控制器來對結果執行邏輯分析，可以較快的得出結果，操作者只需要根據控制器的分析結果執行操作，無需人為判斷，可以避免因為人為誤判所帶來的損失，同時降低了操作的時間。參照圖3，示出本發明實施例一的自動化機臺的控制裝置100，包括第一判斷執行單元31、第二判斷執行單元32、第三判斷執行單元33、第四判斷執行單元34及第五判斷執行單元；35。第一判斷執行單元31，用於判斷機械手上是否有物料，若否，則發送報警驅動信號。第二判斷執行單元32，連接於所述第一判斷執行單元31，用於在所述第一判斷執行單元31判斷出機械手上有物料後，判斷物料盒腔內的物料盒是否處在取料位置，若否， 則發送報警驅動信號。第三判斷執行單元33，連接於第二判斷執行單元32，用於在所述第二判斷執行單元32判斷出物料盒腔內的物料盒已處在取料位置後，則判斷處在取料位置的物料盒內是否有物料，若否，則發送機械手伸向所述取料位置的通知信號，反之，則發送報警驅動信號。第四判斷執行單元34，連接於所述第一判斷執行單元31，用於在所述第一判斷執行單元31判斷出機械手上沒有物料後，判斷物料盒腔內的物料盒是否處在放料位置，若否，則發送報警驅動信號。第五判斷執行單元35，連接於所述第四判斷執行單元34，用於在所述第四判斷執行單元34判斷出物料盒腔內的物料盒處在放料位置後，判斷處在放料位置的物料盒內是否有物料，若是，則發送機械手伸向所述放料位置的通知信號，反之，則發送報警驅動信號。參照圖4，示出本發明實施例二的自動化機臺的控制裝置100，進一步地，還包括第六判斷執行單元36、第七判斷執行單元37及第八判斷執行單元38。第六判斷執行單元36，用於判斷自動化機臺的側門是否關閉，若否，則發送報警驅動信號。
第七判斷執行單元37，連接於所述第六判斷執行單元36，用於在所述第六判斷執行單元36判斷出自動化機臺的側門已關閉後，判斷自動化機臺內的傳輸腔是否關閉，若否，則發送報警驅動信號。第八判斷執行單元38，分別連接於所述第六判斷執行單元36、所述第七判斷執行單元37和第五判斷執行單元35，用於在所述第六判斷執行單元36判斷出自動化機臺的側門已關閉以及所述第七判斷執行單元37判斷出自動化機臺內的傳輸腔已關閉後，則判斷自動化機臺內的物料盒腔是否靜止，若否，則發送報警驅動信號，若是，則由所述第一判斷執行單元31判斷機械手上是否有物料。參照圖5，進一步地，該自動化機臺的控制裝置100還包括編號判斷單元20，用於在第三判斷執行單元33判斷處在取料位置的物料盒內是否有物料或第五判斷執行單元35 判斷處在放料位置的物料盒內是否有物料之前，獲取物料盒的編號。參照圖6，示出本發明的自動化機臺的控制系統200，包括控制器40、機械手50和報警裝置60。控制器40包括前述自動化機臺的控制裝置100實施例一和實施例二中的判斷執行單元。用於判斷機械手上是否有物料，若否，則發送報警驅動信號；用於在判斷出機械手上有物料後，判斷物料盒腔內的物料盒是否處在取料位置，若否，則發送報警驅動信號；用於在判斷出物料盒腔內的物料盒已處在取料位置後，則判斷處在取料位置的物料盒內是否有物料，若否，則發送機械手伸向所述取料位置的通知信號，反之，則發送報警驅動信號，所述機械手伸向所述取料位置的通知信號用於通知操作者可通過控制器控制機械手伸向所述取料位置；以及用於在判斷出機械手上沒有物料後，判斷物料盒腔內的物料盒是否處在放料位置，若否，則發送報警驅動信號；用於在判斷出物料盒腔內的物料盒處在放料位置後，判斷處在放料位置的物料盒內是否有物料，若是，則發送機械手伸向所述放料位置的通知信號，反之，則發送報警驅動信號，所述機械手伸向所述放料位置的通知信號用於通知操作者可通過控制器控制機械手伸向所述放料位置。機械手50用於接收所述控制器40所發送的機械手伸向所述取料位置的通知信號；並根據該機械手伸向所述取料位置的通知信號，伸向所述取料位置；或者，用於接收所述控制器所發送的機械手伸向所述放料位置的通知信號，並根據該機械手伸向所述放料位置的通知信號，伸向所述放料位置；報警裝置60用於接收所述報警驅動信號，並根據該報警驅動信號進行報警。本說明書中的各個實施例均採用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似的部分互相參見即可。對於系統實施例而言，由於其與方法實施例基本相似，所以描述的比較簡單，相關之處參見方法實施例的部分說明即可。以上對本發明所提供的一種自動化機臺的控制方法、裝置和系統進行了詳細介紹，本文中應用了具體個例對本發明的原理及實施方式進行了闡述，以上實施例的說明只是用於幫助理解本發明的方法及其核心思想；同時，對於本領域的一般技術人員，依據本發明的思想，在具體實施方式
及應用範圍上均會有改變之處，綜上所述，本說明書內容不應理解為對本發明的限制。
權利要求
1.一種自動化機臺的控制方法，其特徵在於，包括以下步驟步驟101，判斷機械手上是否有物料，若是，則執行步驟102A，反之，則執行步驟103A ；步驟102A，判斷物料盒腔內的物料盒是否處在取料位置，若是，則執行步驟102B，反之，則執行步驟104;步驟102B，判斷處在取料位置的物料盒內是否有物料，若否，則發送機械手伸向所述取料位置的通知信號，反之，則執行步驟104，所述機械手伸向所述取料位置的通知信號用於通知操作者可通過控制器控制機械手伸向所述取料位置；步驟103A，判斷物料盒腔內的物料盒是否處在放料位置，若是，則執行步驟103B，反之，則執行步驟104;步驟103B，判斷處在放料位置的物料盒內是否有物料，若是，則發送機械手伸向所述放料位置的通知信號，反之，則執行步驟104，所述機械手伸向所述放料位置的通知信號用於通知操作者可通過控制器控制機械手伸向所述放料位置；步驟104，發送報警驅動信號。
2.如權利要求1所述的方法，其特徵在於，在判斷機械手上是否有物料之前還包括判斷自動化機臺的側門是否關閉，若否，則執行步驟104 ；若自動化機臺的側門已關閉，則判斷自動化機臺內的傳輸腔是否關閉，若否，則執行步驟 104 ；若自動化機臺的側門已關閉及自動化機臺內的傳輸腔是否關閉，則判斷自動化機臺內的物料盒腔是否靜止，若是，則執行步驟101，若否，則執行步驟104。
3.如權利要求1或2所述的方法，其特徵在於，在步驟102B判斷處在取料位置的物料盒內是否有物料步驟或10 判斷處在放料位置的物料盒內是否有物料之前，還包括獲取處在取料位置或放料位置的物料盒的編號。
4.一種自動化機臺的控制裝置，其特徵在於，包括第一判斷執行單元，用於判斷機械手上是否有物料，若否，則發送報警驅動信號；第二判斷執行單元，連接於所述第一判斷執行單元，用於在所述第一判斷執行單元判斷出機械手上有物料後，判斷物料盒腔內的物料盒是否處在取料位置，若否，則發送報警驅動信號；第三判斷執行單元，連接於第二判斷執行單元，用於在所述第二判斷執行單元判斷出物料盒腔內的物料盒已處在取料位置後，則判斷處在取料位置的物料盒內是否有物料，若否，則發送機械手伸向所述取料位置的通知信號，反之，則發送報警驅動信號，所述機械手伸向所述取料位置的通知信號用於通知操作者可通過控制器控制機械手伸向所述取料位置；第四判斷執行單元，連接於所述第一判斷執行單元，用於在所述第一判斷執行單元判斷出機械手上沒有物料後，判斷物料盒腔內的物料盒是否處在放料位置，若否，則發送報警驅動信號；第五判斷執行單元，連接於所述第四判斷執行單元，用於在所述第四判斷執行單元判斷出物料盒腔內的物料盒處在放料位置後，判斷處在放料位置的物料盒內是否有物料，若是，則發送機械手伸向所述放料位置的通知信號，反之，則發送報警驅動信號，所述機械手伸向所述放料位置的通知信號用於通知操作者可通過控制器控制機械手伸向所述放料位置。
5.如權利要求4所述的裝置，其特徵在於，還包括第六判斷執行單元，用於判斷自動化機臺的側門是否關閉，若否，則發送報警驅動信號；第七判斷執行單元，連接於所述第六判斷執行單元，用於在所述第六判斷執行單元判斷出自動化機臺的側門已關閉後，判斷自動化機臺內的傳輸腔是否關閉，若否，則發送報警驅動信號；第八判斷執行單元，分別連接於所述第六判斷執行單元、所述第七判斷執行單元和第一判斷執行單元，用於在所述第六判斷執行單元判斷出自動化機臺的側門已關閉以及所述第七判斷執行單元判斷出自動化機臺內的傳輸腔已關閉後，則判斷自動化機臺內的物料盒腔是否靜止，若否，則發送報警驅動信號，若是，則由所述第一判斷執行單元判斷機械手上是否有物料。
6.如權利要求4或5所述的裝置，其特徵在於，還包括編號獲取單元，用於在第三判斷執行單元判斷處在取料位置的物料盒內是否有物料或第五判斷執行單元判斷處在放料位置的物料盒內是否有物料之前，獲取物料盒的編號。
7.一種自動化機臺的控制系統，其特徵在於，包括控制器，機械手和報警裝置，所述控制器分別與所述機械手和報警裝置相連接；所述控制器用於判斷機械手上是否有物料，若否，則發送報警驅動信號；用於在判斷出機械手上有物料後，判斷物料盒腔內的物料盒是否處在取料位置，若否，則發送報警驅動信號；用於在判斷出物料盒腔內的物料盒已處在取料位置後，則判斷處在取料位置的物料盒內是否有物料，若否，則發送機械手伸向所述取料位置的通知信號，反之，則發送報警驅動信號，所述機械手伸向所述取料位置的通知信號用於通知操作者可通過控制器控制機械手伸向所述取料位置；以及用於在判斷出機械手上沒有物料後，判斷物料盒腔內的物料盒是否處在放料位置，若否，則發送報警驅動信號；用於在判斷出物料盒腔內的物料盒處在放料位置後，判斷處在放料位置的物料盒內是否有物料，若是，則發送機械手伸向所述放料位置的通知信號，反之，則發送報警驅動信號，所述機械手伸向所述放料位置的通知信號用於通知操作者可通過控制器控制機械手伸向所述放料位置；所述機械手用於受操作者通過控制器的控制而伸向所述取料位置；或者，受操作者通過控制器的控制而伸向所述放料位置；所述報警裝置用於接收所述報警驅動信號，並根據該報警驅動信號進行報警。
全文摘要
本發明提供了一種自動化機臺的控制方法，包括101，判斷機械手上是否有物料，若是，執行驟102A，反之，執行103A；102A，判斷物料盒腔內的物料盒是否處在取料位置，若是，執行102B，反之，執行104；102B，判斷取料位置的物料盒內是否有物料，若否，發送機械手伸手信號，反之，執行104；103A，判斷物料盒腔內的物料盒是否處在放料位置，若是，執行103B，反之，執行104；103B，判斷放料位置的物料盒內是否有物料，若是，發送機械手伸手信號，反之，執行104；104，發送報警驅動信號。本發明的控制方法能對結果邏輯分析，避免操作者人為判斷造成的誤判。本發明還提供一種控制裝置及控制系統。
文檔編號G05B19/02GK102540910SQ20101059317
公開日2012年7月4日 申請日期2010年12月16日 優先權日2010年12月16日
發明者葛斌 申請人:北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司