用於磁控濺射陽極棒的支撐件及包括其的磁控濺射裝置製造方法
2023-06-01 01:51:31 1
用於磁控濺射陽極棒的支撐件及包括其的磁控濺射裝置製造方法
【專利摘要】本發明涉及一種用於磁控濺射陽極棒的支撐件以及包括其的磁控濺射裝置。該支撐件包括支撐棒和能與支撐棒固定配合的防鍍擋板，支撐棒的第一端部構造成與陽極棒相配合的支撐端，第二端部構造成能與防鍍擋板的安裝孔固定連接的安裝端以防止支撐棒從防鍍擋板的安裝孔中脫出，安裝端的橫截面相對於支撐棒的主體部分的橫截面而縮小。根據本發明的支撐件的支撐棒與防鍍擋片能牢固地連接在一起而不發生意外脫開。
【專利說明】用於磁控濺射陽極棒的支撐件及包括其的磁控濺射裝置
【技術領域】
[0001]本發明涉及鍍膜設備，特別是一種用於磁控濺射陽極棒的支撐件。本發明還涉及包括這種支撐件的磁控濺射裝置。
【背景技術】
[0002]磁控濺射技術是鍍膜中常用的技術，其具有成膜速率高，基片溫度低，膜的粘附性好，可實現大面積鍍膜等優點。
[0003]在圓柱靶磁控濺射設備的真空腔體中，需要在圓柱靶旁邊安裝陽極棒以使得在基底上產生均勻性良好的膜層。在現有技術中，陽極棒通常為不鏽鋼棒，其設置為一端與腔體相連接，而另一端使用支撐棒進行支撐。圖1示意性地顯示了現有技術中的支撐棒110，支撐棒Iio的一端與陽極棒300相連，另一端120插在防鍍擋片200上的孔210中，從而實現支撐棒110對陽極棒300的支撐作用。但是，支撐棒110與防鍍擋片200的這種連接方式並不穩定，經常會發生意外脫開，而造成設備異常。
【發明內容】
[0004]針對現有技術中所存在的上述技術問題，本發明提出了一種用於磁控濺射陽極棒的支撐件，其能夠使支撐棒與防鍍擋片牢固地連接在一起而不發生意外脫開。本發明還涉及包括這種支撐件的磁控濺射裝置。
[0005]I)根據本發明的第一方面，提出了一種用於磁控濺射陽極棒的支撐件，包括:支撐棒和能與支撐棒固定配合的防鍍擋板，其中，支撐棒的第一端部構造成與陽極棒相配合的支撐端，第二端部構造成能與防鍍擋板的安裝孔固定連接的安裝端以防止支撐棒從防鍍擋板的安裝孔中脫出，安裝端的橫截面相對於支撐棒的主體部分的橫截面而縮小。
[0006]根據本發明的支撐件，由於支撐棒與防鍍擋板通過防鍍擋板上的安裝孔而固定地安裝在一起，避免了支撐棒與防鍍擋片脫開。
[0007]2)在本發明的第 I)項的一個實施方式中，支撐棒的安裝端的變徑部分形成直角臺階。支撐棒通過直角臺階與防鍍擋板上的安裝孔穩定地卡接在一起，從而提高了支撐棒的安裝穩定性。優選地，安裝孔的直徑大於或等於安裝端的直徑並且小於直角臺階的外徑。
[0008]3)在本發明的第I)或第2)項的一個實施方式中，支撐棒為圓柱形。在一個優選的實施例中，支撐棒的安裝端為圓柱形，防鍍擋板上的安裝孔為與安裝端相匹配的圓孔。圓柱形的支撐棒使得其加工比較方便。支撐棒的安裝端和安裝孔也為圓形，不但加工比較方便而且使得支撐板與安裝孔之間的配合沒有方向性，方便了裝配。
[0009]4)在本發明的第I)到第3)項中任一個的一個實施方式中，支撐棒的支撐端和陽極棒之間還設置有絕緣環。
[0010]5)在本發明的第4)項的一個實施方式中，絕緣環為陶瓷材料。陶瓷絕緣環的耐高溫性較好，並且不易老化，避免了現有技術中使用的聚合物絕緣環有可能發生碳化或易老化的問題。在一個實施例中，支撐棒為陶瓷材料。與現有技術中的不鏽鋼支撐棒相比，陶瓷材料的支撐棒更加耐高溫。在一個優選的實施例中，該陶瓷材料為氧化鋁陶瓷。
[0011]6)在本發明的第I)到第5)項中任一個的一個實施方式中，陽極棒的與支撐棒配合的端部構造成中空結構，支撐棒的支撐端插入到中空結構中，絕緣環處於支撐端和所述中空結構的內壁之間。
[0012]7)根據本發明的第二方面，提出了一種磁控濺射裝置，其包括根據上文所述的支撐件。
[0013]與現有技術相比，本發明的優點在於，在防鍍擋板上設置了安裝孔，支撐棒的安裝端卡入安裝孔中，這樣實現了支撐棒和防鍍擋板的固定連接，避免了支撐棒與防鍍擋片脫開。絕緣環使用了陶瓷材料以提高其耐高溫性，並且延長使用壽命。支撐棒也使用陶瓷材料以提聞其耐聞溫性。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0014]在下文中將基於實施例並參考附圖來對本發明進行更詳細的描述。其中:
[0015]圖1是現有技術中的支撐件的結構示意圖；
[0016]圖2是根據本發明的支撐件的結構示意圖。
[0017]在附圖中，相同的部件使用相同的附圖標記。附圖並未按照實際的比例繪製。 【具體實施方式】
[0018]下面將結合附圖對本發明做進一步說明。
[0019]圖1示意性地顯示了現有技術中的支撐棒110與陽極棒300和防鍍擋板200的連接關係，這裡不再詳細描述。
[0020]圖2示意性地顯示了根據本發明的用於磁控濺射陽極棒的支撐件10。支撐件10 包括能固定連接在一起的支撐棒11和防鍍擋板20。如圖2所示，支撐棒11的第一端部構造成安裝端12，並且安裝端12的橫截面尺寸小於支撐棒11的主體部分15的橫截面尺寸； 支撐棒11的第二端部`構造成與陽極棒30相配合的支撐端13。在防鍍擋板20上構造有安裝孔21，安裝孔21的形狀和大於與支撐棒11的安裝端12相匹配，從而能方便地將支撐棒 11與防鍍擋板20裝配在一起。
[0021]為了使得支撐棒11更容易加工製造，在一個實施例中，將支撐棒11製造成圓柱形。同樣地是，支撐棒11的安裝端12和支撐端13也相應地為圓柱形，在這種情況下，安裝端12的橫截面尺寸小於支撐棒11的主體部分15的橫截面尺寸意味著其直徑相對於支撐棒11的主體部分15的直徑而縮小。防鍍擋板20上的安裝孔21也構造成與支撐棒11的安裝端12相匹配的圓孔。應理解地是，安裝端12還可以為其他形狀，例如多邊形等，安裝孔21的形狀則與安裝端12相同，但是其他形狀的安裝端12和安裝孔21均不便於裝配，因此這裡優選為將安裝端12構造成圓柱形，同時安裝孔21為圓形。
[0022]優選地是，安裝端12的變徑部分形成直角臺階14，並且安裝孔21的直徑大於或等於安裝端12的直徑並且直角臺階14的外徑。這樣，在裝配狀態中，支撐棒11會通過直角臺階14與安裝孔21的卡接而牢固地與防鍍擋板20連接在一起。在裝配時，需要將支撐棒 11抬起來，然後將支撐棒11的安裝端12插入到防鍍擋板20的安裝孔21內而實現裝配。
[0023]如圖2所示，陽極棒30的下端構成中空結構32。在裝配狀態中，支撐棒11的支撐端13插入到該中空結構32中而實現對陽極棒30的支撐作用。在支撐棒11的支撐端13和陽極棒30之間還設置有絕緣環31。
[0024]為了提高絕緣環31的耐高溫性，在一個實施例中，絕緣環31可由陶瓷材料構成，例如氧化鋁陶瓷。陶瓷材料的絕緣環31比現有技術中的聚醚醚酮(即PEEK)材質的絕緣環具有更好的耐高溫性，能有效防止在高溫下絕緣環31發生碳化的問題。此外，陶瓷絕緣環31的使用壽命也更長。在另一個實施例中，支撐棒11也可以為陶瓷材料，例如氧化鋁陶瓷以提高支撐棒11的耐高溫性。
[0025]本發明還涉及包括如圖2所示的支撐件10的磁控濺射裝置(未示出)，由於其使用了根據本發明的支撐件10，因此這種磁控濺射裝置的使用壽命也會相應地增長，並且支撐棒11與防鍍擋板20脫開的機率也更小。
[0026]雖然已經參考優選實施例對本發明進行了描述，但在不脫離本發明的範圍的情況下，可以對其進行各種改 進並且可以用等效物替換其中的部件。尤其是，只要不存在結構衝突，各個實施例中所提到的各項技術特徵均可以任意方式組合起來。本發明並不局限於文中公開的特定實施例，而是包括落入權利要求的範圍內的所有技術方案。
【權利要求】
1.一種用於磁控濺射陽極棒的支撐件，包括:支撐棒和能與所述支撐棒固定配合的防鍍擋板，其中，所述支撐棒的第一端部構造成與陽極棒相配合的支撐端，第二端部構造成能與所述防鍍擋板的安裝孔固定連接的安裝端以防止所述支撐棒從所述防鍍擋板的安裝孔中脫出，所述安裝端的橫截面相對於所述支撐棒的主體部分的橫截面而縮小。
2.根據權利要求1所述的支撐件，其特徵在於，所述支撐棒的安裝端的變徑部分形成直角臺階，並且安裝孔的直徑大於或等於所述安裝端的直徑並且小於所述直角臺階的外徑。
3.根據權利要求2所述的支撐件，其特徵在於，所述支撐棒為圓柱形。
4.根據權利要求3所述的支撐件，其特徵在於，所述支撐棒的安裝端為圓柱形，所述防鍍擋板上的安裝孔為與所述安裝端相匹配的圓孔。
5.根據權利要求2所述的支撐件，其特徵在於，在所述支撐棒的支撐端和所述陽極棒之間還設置有絕緣環。
6.根據權利要求5所述的支撐件，其特徵在於，所述絕緣環為陶瓷材料。
7.根據權利要求5所述的支撐件，其特徵在於，所述支撐棒為陶瓷材料。
8.根據權利要求7所述的支撐件，其特徵在於，所述陶瓷材料為氧化鋁陶瓷。
9.根據權利要求8所述的支撐件，其特徵在於，所述陽極棒的與所述支撐棒配合的端部構造成中空結構，所述支撐棒的支撐端插入到所述中空結構中，所述絕緣環處於所述支撐端和所述中空結構的內壁之間。
10.一種磁控濺射裝置，其特徵在於，包括根據權利要求1到9中任一項所述的支撐件。
【文檔編號】C23C14/35GK103602954SQ201310545471
【公開日】2014年2月26日 申請日期:2013年11月6日 優先權日:2013年11月6日
【發明者】謝進平 申請人:深圳市華星光電技術有限公司