一種實驗室用蝕刻裝置的製造方法

2023-05-31 09:45:56 1

一種實驗室用蝕刻裝置的製造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種蝕刻裝置，尤其涉及一種實驗室用蝕刻裝置。本實用新型要解決的技術問題是提供一種能夠提高反應速率、能夠提高蝕刻質量的實驗室用蝕刻裝置。為了解決上述技術問題，本實用新型提供了這樣一種實驗室用蝕刻裝置，包括有底板、左側板、滑軌Ⅰ、支杆Ⅰ、支杆Ⅱ、支杆Ⅲ、滑軌Ⅱ、右側板、固定板、蝕刻液箱、滑塊Ⅰ、齒條Ⅰ、電機、皮帶輪Ⅰ、齒輪Ⅰ、處理箱、滑塊Ⅱ、齒條Ⅱ、皮帶輪Ⅱ、齒輪Ⅱ、平皮帶、流通箱Ⅰ、活塞Ⅰ、連杆Ⅰ、水泵、出水管、閥門Ⅰ、流通箱Ⅱ、活塞Ⅱ、連杆Ⅱ、流通管、閥門Ⅱ、進水管、閥門Ⅲ、單向閥Ⅰ和單向閥Ⅱ。本實用新型達到了反提高應速率、能夠提高蝕刻質量的效果。
【專利說明】
一種實驗室用蝕刻裝置
技術領域
[0001]本實用新型涉及一種蝕刻裝置，尤其涉及一種實驗室用蝕刻裝置。
【背景技術】
[0002]通常所指蝕刻也稱光化學蝕刻，指通過曝光製版、顯影后，將要蝕刻區域的保護膜去除，在蝕刻時接觸化學溶液，達到溶解腐蝕的作用，形成凹凸或者鏤空成型的效果。最早可用來製造銅版、鋅版等印刷凹凸版，也廣泛地被使用於減輕重量儀器鑲板，銘牌及傳統加工法難以加工之薄形工件等的加工；經過不斷改良和工藝設備發展，亦可以用於航空、機械、化學工業中電子薄片零件精密蝕刻產品的加工，特別在半導體製程上，蝕刻更是不可或缺的技術。
[0003]現有的蝕刻裝置存在反應速率慢、影響蝕刻質量的缺點，因此亟需研發一種反提高應速率、能夠提高蝕刻質量的實驗室用蝕刻裝置。
【實用新型內容】
[0004](I)要解決的技術問題
[0005]本實用新型為了克服現有的蝕刻裝置存在反應速率慢、影響蝕刻質量的缺點，本實用新型要解決的技術問題是提供一種能夠提高反應速率、能夠提高蝕刻質量的實驗室用蝕刻裝置。
[0006](2)技術方案
[0007]為了解決上述技術問題，本實用新型提供了這樣一種實驗室用蝕刻裝置，包括有底板、左側板、滑軌1、支杆1、支杆π、支杆m、滑軌π、右側板、固定板、蝕刻液箱、滑塊1、齒條1、電機、皮帶輪1、齒輪1、處理箱、滑塊π、齒條π、皮帶輪π、齒輪π、平皮帶、流通箱1、活塞1、連杆1、水慄、出水管、閥門1、流通箱Π、活塞Π、連杆Π、流通管、閥門Π、進水管、閥門m、單向閥I和單向閥π，底板上從左至右依次設有左側板、滑軌1、支杆1、支杆π、支杆m、滑軌π和右側板，左側板與右側板之間上部連接有固定板，固定板上安裝有蝕刻液箱，滑軌I上設有滑塊I，滑塊I上設有齒條I，支杆I上設有電機，電機的後部設有皮帶輪I，皮帶輪I的後部安裝有齒輪I，齒輪I與齒條I嚙合，支杆π上安裝有處理箱，滑軌Π上設有滑塊Π，滑塊π上設有齒條π，支杆m上設有皮帶輪π，皮帶輪π的後部設有齒輪π，齒輪π與齒條π嚙合，皮帶輪I與皮帶輪π之間連接有平皮帶，左側板上中部安裝有流通箱I，流通箱I內設有活塞I，活塞I的底端連接有連杆I，連杆I的底部與齒條I連接，處理箱內設有水慄，水慄與流通箱I之間連接有出水管，出水管上設有閥門I，右側板左側中部安裝有流通箱π，流通箱Π內設有活塞Π，活塞Π的底端連接有連杆Π，連杆Π的底端與齒條Π連接，流通箱I與流通箱Π上部之間連接有流通管，流通管上設有閥門Π，流通管的右側底端與處理箱之間連接有進水管，進水管位於閥門π的右側，進水管上設有閥門m，流通箱I與蝕刻液箱之間連接有單向閥I，蝕刻液箱與流通箱Π之間連接有單向閥Π。
[0008]優選地，還包括有殼體和電熱絲，蝕刻液箱的底部設有殼體，殼體內設有電熱絲。
[0009]優選地，電機為伺服電機。
[0010]工作原理:流通箱I與蝕刻液箱內有蝕刻液，當要對銅板、鋅版等進行蝕刻時，將銅板等放入蝕刻液箱內，啟動電機順時針轉動，電機順時針轉動帶動皮帶輪I順時針轉動，皮帶輪I順時針轉動帶動齒輪I順時針轉動，齒輪I順時針轉動帶動齒條I向上運動，齒條I向上運動帶動活塞I向上運動，流通箱I內的蝕刻液通過單向閥I流入蝕刻液箱內，蝕刻液箱內的蝕刻液通過單向閥π流入流通箱Π，因為皮帶輪I與皮帶輪Π之間連接有平皮帶，所以皮帶輪I順時針轉動帶動皮帶輪π順時針轉動，皮帶輪Π順時針轉動帶動齒輪Π順時針轉動，齒輪π順時針轉動帶動齒條Π向下運動，齒條Π向下運動帶動活塞Π向下運動，當蝕刻液箱內的蝕刻液全部流入流通箱π後，啟動電機逆時針轉動，電機逆時針轉動帶動皮帶輪I逆時針轉動，皮帶輪I逆時針轉動帶動齒輪I逆時針轉動，齒輪I逆時針轉動帶動齒條I向下運動，從而使活塞I向下運動，因為皮帶輪I與皮帶輪Π之間連接有平皮帶，所以皮帶輪I逆時針轉動帶動皮帶輪Π逆時針轉動，皮帶輪Π逆時針轉動帶動齒輪Π逆時針轉動，齒輪Π逆時針轉動帶動齒條π向上運動，齒輪Π向上運動帶動活塞Π向上運動，從而使流通箱Π內的蝕刻液流到流通箱π底部，打開閥門Π，流通箱Π內的蝕刻液通過流通管流回流通箱I內，重複以上操作，使蝕刻液在流通箱1、蝕刻液箱和流通箱π內來回流動。當蝕刻液箱內的蝕刻液由於多次蝕刻而造成蝕刻濃度低時，關閉閥門Π，將閥門m打開，流通箱π內的蝕刻液流入處理箱內，處理箱內有能增加蝕刻液離子的濃度，使蝕刻液的濃度更濃，控制氣慄工作，打開閥門I，將濃度加強過的蝕刻液通過出水管重新流入流通箱I。
[0011 ]因為還包括有殼體和電熱絲，蝕刻液箱的底部設有殼體，殼體內設有電熱絲，當蝕刻液的溫度降低時，控制電熱絲加熱，能更好的控制蝕刻液的溫度。
[0012]因為電機為伺服電機，能更好的控制其轉速。
[0013](3)有益效果
[0014]本實用新型達到了反提高應速率、能夠提高蝕刻質量的效果。
【附圖說明】

[0015]圖1為本實用新型的第一種主視結構示意圖。
[0016]圖2為本實用新型的第二種主視結構示意圖。
[0017]附圖中的標記為:1-底板，2-左側板，3-滑軌I，4-支杆I，5_支杆Π，6_支杆ΙΠ，7_滑軌Π，8-右側板，9-固定板，10-蝕刻液箱，11-滑塊I，12-齒條I，13-電機，14-皮帶輪I，15-齒輪I，16-處理箱，17-滑塊Π，18-齒條Π，19-皮帶輪Π，20_齒輪Π，21-平皮帶，22-流通箱I，
23-活塞I，24-連杆I，25-水慄，26-出水管，27-閥門I，28_流通箱Π，29_活塞Π，30_連杆Π，31_流通管，32-閥門Π，33-進水管，34-閥門ΙΠ，35-單向閥I，36-單向閥Π，37-殼體，38-電熱絲。
【具體實施方式】
[0018]下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步的說明。
[0019]實施例1
[0020]—種實驗室用蝕刻裝置，如圖1-2所示，包括有底板1、左側板2、滑軌13、支杆14、支杆Π 5、支杆ΙΠ 6、滑軌Π 7、右側板8、固定板9、蝕刻液箱1、滑塊111、齒條112、電機13、皮帶輪114、齒輪115、處理箱16、滑塊Π 17、齒條Π 18、皮帶輪Π 19、齒輪Π20、平皮帶21、流通箱I22、活塞123、連杆124、水慄25、出水管26、閥門127、流通箱Π 28、活塞Π 29、連杆Π 30、流通管31、閥門Π 32、進水管33、閥門ΙΠ34、單向閥135和單向閥Π 36，底板I上從左至右依次設有左側板2、滑軌13、支杆14、支杆Π 5、支杆ΙΠ6、滑軌Π 7和右側板8，左側板2與右側板8之間上部連接有固定板9，固定板9上安裝有蝕刻液箱10，滑軌13上設有滑塊111，滑塊111上設有齒條112，支杆14上設有電機13，電機13的後部設有皮帶輪114，皮帶輪114的後部安裝有齒輪I15，齒輪115與齒條112嚙合，支杆Π 5上安裝有處理箱16，滑軌Π 7上設有滑塊Π 17，滑塊Π17上設有齒條Π 18，支杆ΙΠ6上設有皮帶輪Π 19，皮帶輪Π 19的後部設有齒輪Π 20，齒輪Π20與齒條Π 18嚙合，皮帶輪114與皮帶輪Π 19之間連接有平皮帶21，左側板2上中部安裝有流通箱122，流通箱122內設有活塞123，活塞123的底端連接有連杆124，連杆124的底部與齒條112連接，處理箱16內設有水慄25，水慄25與流通箱122之間連接有出水管26，出水管26上設有閥門127，右側板8左側中部安裝有流通箱Π 28，流通箱Π 28內設有活塞Π 29，活塞Π 29的底端連接有連杆Π 30，連杆Π 30的底端與齒條Π 18連接，流通箱122與流通箱Π 28上部之間連接有流通管31，流通管31上設有閥門Π 32，流通管31的右側底端與處理箱16之間連接有進水管33，進水管33位於閥門Π 32的右側，進水管33上設有閥門ΙΠ34，流通箱122與蝕刻液箱1之間連接有單向閥135，蝕刻液箱1與流通箱Π 28之間連接有單向閥Π 36。
[0021]還包括有殼體37和電熱絲38，蝕刻液箱10的底部設有殼體37，殼體37內設有電熱絲38。
[0022]電機13為伺服電機13。
[0023]工作原理:流通箱122與蝕刻液箱10內有蝕刻液，當要對銅板、鋅版等進行蝕刻時，將銅板等放入蝕刻液箱10內，啟動電機13順時針轉動，電機13順時針轉動帶動皮帶輪114順時針轉動，皮帶輪114順時針轉動帶動齒輪115順時針轉動，齒輪115順時針轉動帶動齒條I12向上運動，齒條112向上運動帶動活塞123向上運動，流通箱122內的蝕刻液通過單向閥I35流入蝕刻液箱10內，蝕刻液箱10內的蝕刻液通過單向閥Π 36流入流通箱Π 28，因為皮帶輪114與皮帶輪Π 19之間連接有平皮帶21，所以皮帶輪114順時針轉動帶動皮帶輪Π 19順時針轉動，皮帶輪Π 19順時針轉動帶動齒輪Π 20順時針轉動，齒輪Π 20順時針轉動帶動齒條Π 18向下運動，齒條Π 18向下運動帶動活塞Π 29向下運動，當蝕刻液箱1內的蝕刻液全部流入流通箱Π 28後，啟動電機13逆時針轉動，電機13逆時針轉動帶動皮帶輪114逆時針轉動，皮帶輪114逆時針轉動帶動齒輪115逆時針轉動，齒輪115逆時針轉動帶動齒條112向下運動，從而使活塞123向下運動，因為皮帶輪114與皮帶輪Π 19之間連接有平皮帶21，所以皮帶輪114逆時針轉動帶動皮帶輪Π 19逆時針轉動，皮帶輪Π 19逆時針轉動帶動齒輪Π 20逆時針轉動，齒輪Π 20逆時針轉動帶動齒條Π 18向上運動，齒輪Π 20向上運動帶動活塞Π 29向上運動，從而使流通箱Π 28內的蝕刻液流到流通箱Π 28底部，打開閥門Π 32，流通箱Π 28內的蝕刻液通過流通管31流回流通箱122內，重複以上操作，使蝕刻液在流通箱122、蝕刻液箱10和流通箱Π 28內來回流動。當蝕刻液箱10內的蝕刻液由於多次蝕刻而造成蝕刻濃度低時，關閉閥門Π 32，將閥門ΙΠ34打開，流通箱Π 28內的蝕刻液流入處理箱16內，處理箱16內有能增加蝕刻液離子的濃度，使蝕刻液的濃度更濃，控制氣慄工作，打開閥門127，將濃度加強過的蝕刻液通過出水管26重新流入流通箱122。
[0024]因為還包括有殼體37和電熱絲38，蝕刻液箱10的底部設有殼體37，殼體37內設有電熱絲38，當蝕刻液的溫度降低時，控制電熱絲38加熱，能更好的控制蝕刻液的溫度。
[0025]因為電機13為伺服電機13，能更好的控制其轉速。
[0026]以上所述實施例僅表達了本實用新型的優選實施方式，其描述較為具體和詳細，但並不能因此而理解為對本實用新型專利範圍的限制。應當指出的是，對於本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明構思的前提下，還可以做出若干變形、改進及替代，這些都屬於本實用新型的保護範圍。因此，本實用新型專利的保護範圍應以所附權利要求為準。
【主權項】
1.一種實驗室用蝕刻裝置，其特徵在於，包括有底板(I)、左側板(2)、滑軌1(3)、支杆I(4)、支杆Π(5)、支杆ΙΠ(6)、滑軌Π (7)、右側板(8)、固定板(9)、蝕刻液箱(10)、滑塊1(11)、齒條1(12)、電機(13)、皮帶輪1(14)、齒輪1(15)、處理箱(16)、滑塊Π (17)、齒條Π (18)、皮帶輪Π (19)、齒輪Π (20)、平皮帶(21)、流通箱I (22)、活塞I (23)、連杆1(24)、水慄(25)、出水管(26)、閥門1(27)、流通箱Π (28)、活塞Π (29)、連杆Π (30)、流通管(31)、閥門Π (32)、進水管(33)、閥門ΙΠ (34)、單向閥I (35)和單向閥Π (36)，底板(I)上從左至右依次設有左側板(2)、滑軌1(3)、支杆1(4)、支杆Π (5)、支杆ΙΠ(6)、滑軌Π (7)和右側板(8)，左側板(2)與右側板(8)之間上部連接有固定板(9)，固定板(9)上安裝有蝕刻液箱(10)，滑軌1(3)上設有滑塊1(11)，滑塊I(Il)上設有齒條1(12)，支杆1(4)上設有電機(13)，電機(13)的後部設有皮帶輪1(14)，皮帶輪1(14)的後部安裝有齒輪1(15)，齒輪1(15)與齒條1(12)嚙合，支杆Π(5)上安裝有處理箱(16)，滑軌Π(7)上設有滑塊Π (17)，滑塊Π (17)上設有齒條Π (18)，支杆ΙΠ(6)上設有皮帶輪Π (19)，皮帶輪Π (19)的後部設有齒輪Π (20)，齒輪Π (20)與齒條Π(18)嚙合，皮帶輪I(14)與皮帶輪Π (19)之間連接有平皮帶(21)，左側板(2)上中部安裝有流通箱1(22)，流通箱I (22)內設有活塞I (23)，活塞I (23)的底端連接有連杆I (24)，連杆I(24)的底部與齒條I (12)連接，處理箱(16)內設有水慄(25)，水慄(25)與流通箱I (22)之間連接有出水管(26)，出水管(26)上設有閥門I (27)，右側板(8)左側中部安裝有流通箱Π(28)，流通箱Π (28)內設有活塞Π (29)，活塞Π (29)的底端連接有連杆Π (30)，連杆Π (30)的底端與齒條Π (18)連接，流通箱I (22)與流通箱Π (28)上部之間連接有流通管(31)，流通管(31)上設有閥門Π (32)，流通管(31)的右側底端與處理箱(16)之間連接有進水管(33)，進水管(33)位於閥門Π (32)的右側，進水管(33)上設有閥門ΙΠ (34)，流通箱1(22)與蝕刻液箱(1)之間連接有單向閥I (35)，蝕刻液箱(1)與流通箱Π (28)之間連接有單向閥Π (36)。2.根據權利要求1所述的一種實驗室用蝕刻裝置，其特徵在於，還包括有殼體(37)和電熱絲(38)，蝕刻液箱(10)的底部設有殼體(37)，殼體(37)內設有電熱絲(38)。3.根據權利要求1所述的一種實驗室用蝕刻裝置，其特徵在於，電機(13)為伺服電機(13)。
【文檔編號】H01L21/67GK205710922SQ201620573569
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年6月13日
【發明人】張本漢
【申請人】信豐正天偉電子科技有限公司