一種可實現晶片旋轉糾姿的貼片機工作檯的製作方法
2023-05-31 12:17:26
專利名稱：一種可實現晶片旋轉糾姿的貼片機工作檯的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種可實現晶片旋轉糾姿的貼片機工作檯，尤其是應用在空間上需要對單個晶片進行旋轉糾姿的貼片機上。
背景技術：
目前，在SMT生產線上的所有固晶機和貼片機的工作檯，都只能完成對晶圓盤或供料盤的微距直線進給。當晶片初始位置有轉角誤差時必須進行修正，修正的方法都是在貼裝頭上增加旋轉糾姿裝置。旋轉糾姿裝置包括伺服電機，編碼器，同步帶，同步帶輪，安裝支架等一系列必要的零部件，從而使得貼裝頭重量增加和體積增大。正因為貼裝頭的沉重，使得驅動貼裝頭的機構(滾珠絲槓副和電機)無法達到很大的啟動加速度，從而影響了拾取周期；另一方面，體積臃腫的貼裝頭，容易與設備上的其它機構產生幹涉，設計時必須給各運動構件留有足夠的空間，這就增加了設計的複雜性。再次，旋轉糾姿裝置位於貼裝頭上就使得旋轉運動必須在貼裝頭抬起之後才能開始，這樣兩者耗時就串行在一起，延長了拾取周期。
發明內容本實用新型針對現有技術的不足，提供了一種可實現晶片旋轉糾姿的貼片機工作檯。本實用新型一種可實現晶片旋轉糾姿的貼片機工作檯包括伺服電機、底座、底層小帶輪、底層同步帶、底層大帶輪、圓錐滾子軸承、中層安裝基板、第一直線導軌、上層安裝基板、第一滑塊、第二直線導軌、工作檯面、第二滑塊、滾珠絲槓副安裝底座、中層伺服電機、中層伺服電機安裝支座、聯軸器、滾珠絲槓、絲槓安裝支座固定端、絲槓安裝支座支撐端、絲槓螺母、絲槓螺母安裝支座、上層伺服電機、上層伺服電機安裝支座、上層主動輪、上層同步帶、上層從動輪；底層伺服電機固定設置在底座上，底層小帶輪安裝在底層伺服電機的輸出軸上，通過底層同步帶帶動底層大帶輪，底層大帶輪通過圓錐滾子軸承與中層安裝基板連接，中層安裝基板上平行設置兩根第一直線導軌，上層安裝基板通過第一滑塊設置在第一直線導軌上，上層安裝基板上平行設置兩根垂直第一直線導軌的第二直線導軌，工作檯面通過第二滑塊設置在第二直線導軌上；滾珠絲槓副安裝底座固定安裝在中層安裝基板上；中層伺服電機通過中層伺服電機安裝支座固定安裝在滾珠絲槓副安裝底座上，並通過聯軸器與滾珠絲槓連接；滾珠絲槓通過絲槓安裝支座固定端和絲槓安裝支座支撐端設置在滾珠絲槓副安裝底座上，絲槓螺母通過絲槓螺母安裝支座固定設置在上層安裝基板上，絲槓螺母與滾珠絲槓配合連接；上層伺服電機通過上層伺服電機安裝支座安裝在上層安裝基板上，上層伺服電機的輸出軸帶動上層主動輪，上層主動輪通過上層同步帶帶動上層從動輪，上層從動輪帶動第二滑塊。本實用新型解決其技術問題所採用的技術方案是:工作檯的上層是利用伺服與同步帶的組合，實現工作檯面的X軸方向運動。工作檯的中間層是利用伺服電機與滾珠絲槓副的組合，實現工作檯面的Y軸方向運動。工作檯的底層是利用伺服電機與同步帶的組合實現工作檯頂層和中間層繞Z軸旋轉運動。當工作檯面完成微距直線進給後，必須保證待取晶片的幾何中心與工作檯底層旋轉中心在豎直方向重合，此時由檢測裝置檢測出待取晶片的實際位置與理想位置的角度偏差，再由工作檯底層完成旋轉糾姿運動。本實用新型的有益效果是，工作檯由單純完成平面微量進給運動增加了一個旋轉糾姿運動，從而使得固晶機和貼片機的貼裝頭結構簡單、體積小、重量輕，縮短了拾取周期。
圖1是本實用新型的軸測圖；圖2是本實用新型的俯視圖；圖3是本實用新型的左視圖；圖4(a)是本實用新型實施例的動作過程示意圖；圖4(b)是本實用新型實施例的動作過程示意圖；圖4(c)是本實用新型實施例的動作過程示意圖。圖中伺服電機1、底座2、底層小帶輪3、底層同步帶4、底層大帶輪5、圓錐滾子軸承
6、中層安裝基板7、第一直線導軌8、上層安裝基板9、第一滑塊10、第二直線導軌11、工作檯面12、第二滑塊13、滾珠絲槓副安裝底座14、中層伺服電機15、中層伺服電機安裝支座16、聯軸器17、滾珠絲槓18、絲槓安裝支座固定端19、絲槓安裝支座支撐端20、絲槓螺母21、絲槓螺母安裝支座22、上層伺服電機23、上層伺服電機安裝支座24、上層主動輪25、上層同步帶26、上層從動輪27、真空吸筆28、晶圓盤29、晶片30。
具體實施方式
如圖1、圖2、圖3所示，本實用新型一種可實現晶片旋轉糾姿的貼片機工作檯包括伺服電機1、底座2、底層小帶輪3、底層同步帶4、底層大帶輪5、圓錐滾子軸承6、中層安裝基板7、第一直線導軌8、上層安裝基板9、第一滑塊10、第二直線導軌11、工作檯面12、第二滑塊13、滾珠絲槓副安裝底座14、中層伺服電機15、中層伺服電機安裝支座16、聯軸器17、滾珠絲槓18、絲槓安裝支座固定端19、絲槓安裝支座支撐端20、絲槓螺母21、絲槓螺母安裝支座22、上層伺服電機23、上層伺服電機安裝支座24、上層主動輪25、上層同步帶26和上層從動輪27。底層伺服電機I固定設置在底座2上，底層小帶輪3安裝在底層伺服電機I的輸出軸上，通過底層同步帶4帶動底層大帶輪5，底層大帶輪5通過圓錐滾子軸承6與中層安裝基板7連接，中層安裝基板7上平行設置兩根第一直線導軌8，上層安裝基板9通過第一滑塊10設置在第一直線導軌8上，上層安裝基板9上平行設置兩根垂直第一直線導軌8的第二直線導軌11，工作檯面12通過第二滑塊13設置在第二直線導軌11上；滾珠絲槓副安裝底座14固定安裝在中層安裝基板7上；中層伺服電機15通過中層伺服電機安裝支座16固定安裝在滾珠絲槓副安裝底座14上，並通過聯軸器17與滾珠絲槓18連接；滾珠絲槓18通過絲槓安裝支座固定端19和絲槓安裝支座支撐端20設置在滾珠絲槓副安裝底座14上，絲槓螺母21通過絲槓螺母安裝支座22固定設置在上層安裝基板9上，絲槓螺母21與滾珠絲槓18配合連接；上層伺服電機23通過上層伺服電機安裝支座24安裝在上層安裝基板9上，上層伺服電機23的輸出軸帶動上層主動輪25，上層主動輪25通過上層同步帶26帶動上層從動輪27，上層從動輪27帶動第二滑塊13。在圖4 (a)、4 (b)、4 (c)所示中，帶有晶片30的晶圓盤29放置在工作檯面上，真空吸筆28每次都在底層大帶輪5的旋轉中心正上方吸取晶片30。過程(a)中設第一顆待取晶片30與水平方向有15度的偏差角，且第一顆待取晶片30，不在真空吸筆28的正下方。過程(b)中，通過工作檯的上層、中層在X、Y平面的直線進給使得待取晶片30的幾何中心運動到底層大帶輪5的旋轉中心的正上方，由於真空吸筆28是在底層大帶輪5的旋轉中心正上方吸取晶片30，所以此時晶片30也就運動到了真空吸筆的正下方。過程(c)中，由於晶片30的幾何中心與底層大帶輪5的旋轉中心在豎直方向重合，通過底層伺服電機I和底層同步帶驅動底層大帶輪5旋轉15度，從而帶動整個工作檯12上層、中間層旋轉15度，完成對待取晶片30的旋轉糾姿運動。
權利要求1.一種可實現晶片旋轉糾姿的貼片機工作檯，包括伺服電機、底座、底層小帶輪、底層同步帶、底層大帶輪、圓錐滾子軸承、中層安裝基板、第一直線導軌、上層安裝基板、第一滑塊、第二直線導軌、工作檯面、第二滑塊、滾珠絲槓副安裝底座、中層伺服電機、中層伺服電機安裝支座、聯軸器、滾珠絲槓、絲槓安裝支座固定端、絲槓安裝支座支撐端、絲槓螺母、絲槓螺母安裝支座、上層伺服電機、上層伺服電機安裝支座、上層主動輪、上層同步帶、上層從動輪； 其特徵在於:底層伺服電機固定設置在底座上，底層小帶輪安裝在底層伺服電機的輸出軸上，通過底層同步帶帶動底層大帶輪，底層大帶輪通過圓錐滾子軸承與中層安裝基板連接，中層安裝基板上平行設置兩根第一直線導軌，上層安裝基板通過第一滑塊設置在第一直線導軌上，上層安裝基板上平行設置兩根垂直第一直線導軌的第二直線導軌，工作檯面通過第二滑塊設置在第二直線導軌上；滾珠絲槓副安裝底座固定安裝在中層安裝基板上；中層伺服電機通過中層伺服電機安裝支座固定安裝在滾珠絲槓副安裝底座上，並通過聯軸器與滾珠絲槓連接；滾珠絲槓通過絲槓安裝支座固定端和絲槓安裝支座支撐端設置在滾珠絲槓副安裝底座上，絲槓螺母通過絲槓螺母安裝支座固定設置在上層安裝基板上，絲槓螺母與滾珠絲槓配合連接；上層伺服電機通過上層伺服電機安裝支座安裝在上層安裝基板上，上層伺服電機的輸出軸帶動上層主動輪，上層主動輪通過上層同步帶帶動上層從動輪，上層從動輪帶動第二滑塊。
專利摘要本實用新型公開了一種可實現晶片旋轉糾姿的貼片機工作檯，工作檯的上層是利用伺服與同步帶的組合，實現工作檯面的X軸方向運動。工作檯的中間層是利用伺服電機與滾珠絲槓副的組合，實現工作檯面的Y軸方向運動。工作檯的底層是利用伺服電機與同步帶的組合實現工作檯頂層和中間層繞Z軸旋轉運動。當工作檯面完成微距直線進給後，必須保證待取晶片的幾何中心與工作檯底層旋轉中心在豎直方向重合，此時由檢測裝置檢測出待取晶片的實際位置與理想位置的角度偏差，再由工作檯底層完成旋轉糾姿運動。本實用新型機構簡化，重量變輕，體積變小，使旋轉糾姿運動時間與貼裝頭拾取運動時間並行，縮短了拾取周期。
文檔編號H01L21/58GK203026487SQ20132002867
公開日2013年6月26日 申請日期2013年1月18日 優先權日2013年1月18日
發明者劉慶民, 陶勇 申請人:杭州電子科技大學