晶舟的製作方法
2023-06-24 23:38:36 1
晶舟的製作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種晶舟，其包括主體部及擋條，所述主體部包括間隔設置的一對側壁，所述一對側壁上均設有若干水平間隔設置的收容槽，所述晶圓的兩端分別可收容到相應側壁的收容槽內，並可沿收容槽滑動，其中一個側壁上設有與收容槽垂直設置的安裝槽，所述擋條安裝在安裝槽內，所述擋條設有若干與收容槽對應的開槽，所述擋條可在開啟位置與鎖閉位置之間移動，在開啟位置時，所述開槽與收容槽貫通，所述晶圓可以通過，在鎖閉位置時，所述開槽與收容槽錯開，所述晶圓不能通過，進一步包括安裝在主體部上的自動鎖止組件，所述自動鎖止組件驅動所述擋條位於鎖閉位置。本實用新型晶舟可自動鎖閉，從而防止晶片滑落，及產生顆粒少。
【專利說明】晶舟
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及電子半導體領域，尤其涉及電子半導體領域中使用的晶舟的鎖止結構。
【背景技術】
[0002]目前，半導體行業，後段製程，需要將晶片切割封裝，都需要使用一種晶舟，這種晶舟作為業界標準已廣泛應用多年。
[0003]這種晶舟主要由兩側帶槽的主體，提手部份，和擋條三個主要組成部份。
[0004]現在的晶舟有以下不足:
[0005]檔條是有M字形鋼絲加彈簧組成，在作業過程中都需要人員進行手動開關檔條，如果人員忘記關閉擋條，在提起晶舟搬運過程中會因為晶圓滑落出來造成產品報廢等嚴重問題。
[0006]鋼製檔條使用時會和晶舟本身摩擦，產生大量的金屬顆粒，影響到產品的良率。實用新型內容
[0007]本實用新型的目的在於提供一種晶舟，其可以自動上鎖的擋條，晶舟被提起時可以自動鎖閉晶圓通道，防止滑落，及減少檔條開閉時所產生的顆粒。
[0008]為實現以上實用新型目的，本實用新型採用如下技術方案:一種晶舟，其用以收容晶圓並可放置在作業平臺上，所述晶舟包括主體部及安裝在主體部上的擋條，所述主體部包括間隔設置的一對側壁、及位於該對側壁之間的收容晶圓的收容空間，所述一對側壁上均設有若干水平間隔設置的收容槽，所述晶圓的兩端分別可收容到相應側壁的收容槽內，並可沿收容槽滑動，其中一個側壁上設有與收容槽垂直設置的安裝槽，所述擋條安裝在安裝槽內，所述擋條設有若干與收容槽對應的開槽，所述擋條可在開啟位置與鎖閉位置之間移動，在開啟位置時，所述開槽與收容槽貫通，所述晶圓可以通過，在鎖閉位置時，所述開槽與收容槽錯開，所述晶圓不能通過，進一步包括安裝在主體部上的自動鎖止組件，當所述晶舟脫離所述作業平臺時，所述自動鎖止組件驅動所述擋條位於鎖閉位置。
[0009]作為本實用新型的進一步改進，所述擋條包括基部、自基部向一側凸伸的隔板，所述相鄰的隔板之間形成前述開槽。
[0010]作為本實用新型的進一步改進，所述主體部包括連接所述一對側壁並水平設置的頂壁、及與頂壁平行間隔設置並連接所述一對側壁的底壁，所述自動鎖止組件包括彈性作用於擋條的第一彈性件，當所述晶舟放置在作業平臺上時，所述擋條位於開啟位置並壓縮第一彈性件，當所述晶舟脫離所述作業平臺時，所述第一彈性件推動擋條運動到鎖閉位置。
[0011]作為本實用新型的進一步改進，所述擋條上設有凹陷部，所述自動鎖止組件包括可與凹陷部配合的鎖止塊，當所述擋條位於開啟位置時，所述鎖止塊卡持在凹陷部內，使得擋條保持在開啟位置。
[0012]作為本實用新型的進一步改進，所述自動鎖止組件包括可彈性作用於鎖止塊的第二彈性件。
[0013]作為本實用新型的進一步改進，所述自動鎖止組件包括可向下凸出晶舟底部的凸塊、一端與凸塊配合的槓桿，所述槓桿另一端與鎖止塊配合。
[0014]作為本實用新型的進一步改進，所述自動鎖止組件包括可彈性作用於槓桿與凸塊配合的一端的第三彈性件，當所述晶舟放置在作業平臺時，所述作業平臺將凸塊壓入晶舟底部內並將第三彈性件壓縮，當所述晶舟脫離所述作業平臺時，所述第三彈性件推動凸塊凸伸出晶舟底部，同時帶動槓桿與凸塊配合的一端向下轉動，進而帶動鎖止塊與擋條的凹陷部解除卡持配合併壓縮第二彈性件。
[0015]作為本實用新型的進一步改進，所述第一彈性件、第二彈性件及第三彈性件均為螺旋彈簧。
[0016]作為本實用新型的進一步改進，所述鎖止塊包括與擋條平行設置的主體部、及沿垂直於主體部凸伸的與擋條的凹陷部卡持配合的卡持部。
[0017]作為本實用新型的進一步改進，所述槓桿設有收容第三彈性部的凹槽。
[0018]相較於現有技術，本實用新型通過設置一組開槽的擋條上下滑動與晶舟的收容槽對齊或錯位，實現開鎖或鎖閉，與擋條配套一組自動鎖止組件，可以在晶舟放置在作業平臺時手動開啟擋條，並使其保持在開啟狀態，保證產品正常取放，當晶舟被提起，即，與作業平臺分離，自動鎖止組件動作，使擋條滑動實現鎖閉。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0019]圖1是本實用新型安裝有晶圓的晶舟的立體圖。
[0020]圖2是圖1所示的晶舟部分結構示意圖。
[0021]圖3是圖2中所示的側壁的示意圖。
[0022]圖4是圖2中所示的擋條的俯視圖。
[0023]圖5是圖4所示的擋條的正視圖。
[0024]圖6是圖4所示的擋條的側視圖。
[0025]圖7是圖2中圓圈A的放大圖。
[0026]圖8是圖2中圓圈B的放大圖。
[0027]圖9是圖2中自動鎖止組件的部分結構的示意圖。
[0028]圖10是圖9中所示的鎖止塊的側視圖。
[0029]圖11是圖10所示的鎖止塊的正視圖。
[0030]圖12是圖9中所示的槓桿的俯視圖。
[0031]圖13是圖12所示的槓桿的側視圖。
【具體實施方式】
[0032]如圖1-13所示，本實用新型晶舟100，其用以收容晶圓200並可放置在作業平臺(未圖示)的水平面上。所述晶舟100包括主體部10、安裝在主體部10上的擋條20、及安裝在主體部10上的自動鎖止組件30。
[0033]如圖1及2所示，所述主體部10包括間隔設置的一對側壁11、位於該對側壁11之間的收容晶圓200的收容空間12、連接所述一對側壁11並水平設置的頂壁13、及與頂壁13平行間隔設置並連接所述一對側壁11的底壁14。所述頂壁14上設置有拉手15。
[0034]如圖1-3所示，所述一對側壁11豎直設置，各側壁11上均設有若干水平間隔設置的收容槽110，所述晶圓200的兩端分別可收容到相應側壁11的收容槽110內，所述晶圓200可沿收容槽110滑動。其中一個側壁11上設有與收容槽110垂直設置的安裝槽111，即，所述安裝槽111豎直設置。所述擋條20安裝在安裝槽111內。所述側壁11的底部凹陷設有上收容部112及下收容部113。
[0035]如圖1-6及8所示，所述擋條20包括基部21、自基部21的一側凸伸的若干隔板22，所述相鄰的隔板22之間形成前述開槽23。所述擋條20靠近頂壁13的一端設有收容孔24。所述擋條20在靠近底壁14位置處設有凹陷部25。所述檔條20為耐磨非金屬材料，力口上滑動動作的範圍小，所以在使用中有效避免磨擦產生顆粒，有利於改善產品良率。所述開槽23與收容槽110對應，所述擋條20可在開啟位置與鎖閉位置之間移動，在開啟位置時，所述開槽23與收容槽110貫通，所述晶圓200可以通過。在鎖閉位置時，所述開槽23與收容槽110錯開，隔板22位於收容槽110位置處，所述晶圓200被隔板22擋住而不能通過。當所述晶舟100脫離所述作業平臺的水平面時，所述自動鎖止組件30驅動所述擋條20位於鎖閉位置。
[0036]如圖1-3及7所示，所述自動鎖止組件30包括彈性作用於擋條20的第一彈性件31，所述第一彈性件31為螺旋彈簧，其收容在側壁11的上收容部112內，一端抵靠在側壁11靠近頂壁13位置處，另一端收容在擋條20的收容孔24內，當所述晶舟100放置在作業平臺的水平面上時，所述擋條20位於開啟位置並壓縮第一彈性件31，當所述晶舟100脫離所述作業平臺時，所述第一彈性件31推動擋條20運動到鎖閉位置。
[0037]如圖2和3，及8-13所示，所述自動鎖止組件30包括可與擋條20的凹陷部25配合的鎖止塊32，所述鎖止塊32收容在側壁11的下收容部113。當所述擋條20位於開啟位置時，所述鎖止塊32卡持在凹陷部25內，使得擋條20保持在開啟位置。所述鎖止塊32包括與擋條20平行設置的主體部320、自主體部320上端設有沿垂直於主體部320凸伸的卡持部321、主體部320的下端設有一對間隔設置的臂部322、位於該對臂部322之間的間隔空間323、及垂直穿過該對臂部322的通孔324。所述卡持部321與擋條20的卡持配合，從而可以使得擋條20保持在開啟位置。所述自動鎖止組件30包括可彈性作用於鎖止塊32的第二彈性件33以提供或者增加鎖止塊32與擋條20的鎖扣力。所述第二彈性部33為水平設置的螺旋彈簧，所述第二彈性部33收容在側壁11的下收容部113。
[0038]所述自動鎖止組件30包括可向下凸出晶舟100底部的凸塊34及槓桿35，所述凸塊34及槓桿35收容在側壁11的下收容部113。所述凸塊34大體呈圓柱狀，並豎直設置。所述槓桿35水平設置。所述槓桿35的一端351與凸塊34配合、另一端352與鎖止塊32配合。所述槓桿35的一端351設有凹槽353，另一端352收容在鎖止塊32的間隔空間323內。所述槓桿35的另一端352上設有與鎖止塊32配合的凸臂354。所述槓桿上設有與鎖止塊32上通孔324對應的通孔355，一轉軸38插入所述鎖止塊32上通孔324及槓桿35上的通孔355，所述鎖止塊32及槓桿35均可沿該轉軸38轉動。所述自動鎖止組件30包括可彈性作用於槓桿35與凸塊34配合的一端351的第三彈性件36，所述第三彈性件36收容在側壁11的下收容部113，當所述晶舟100放置在作業平臺時，所述作業平臺將凸塊34壓入晶舟100內並將第三彈性件36壓縮，當所述晶舟100脫離所述作業平臺時，所述第三彈性件36推動凸塊34凸伸出晶舟100底部，同時帶動槓桿35與凸塊34配合的一端351向下轉動，進而帶動鎖止塊32的卡持部321與擋條20的凹陷部25解除卡持配合併壓縮第二彈性件33。所述第三彈性件36為水平設置的螺旋彈簧，第三彈性件36的一端收容在凹槽353 內。
[0039]所述晶舟100放置在作業平臺時手動開啟擋條20，第二彈性件33推動鎖止塊32轉動並使得鎖止塊32卡持在凹陷部25內，從而讓擋條20保持在開啟狀態，保證產品正常取放。
[0040]其他的替代方案如下可以是轉動式擋條加自動鎖止結構，或者是插銷式檔條加自動鎖止結構。
[0041]本實用新型通過設置一組開槽23的擋條20上下滑動與晶舟100的收容槽110對齊或錯位，實現開鎖或鎖閉，與擋條20配套一組自動鎖止組件30，可以在晶舟100放置在作業平臺時手動開啟擋條20，並使其保持在開啟狀態，保證產品正常取放，當晶舟100被提起，即，與作業平臺分離，自動鎖止組件30動作，使擋條20滑動實現鎖閉。
[0042]綜上所述，以上僅為本實用新型的較佳實施例而已，不應以此限制本實用新型的範圍，即凡是依本實用新型權利要求書及實用新型說明書內容所作的簡單的等效變化與修飾，皆應仍屬本實用新型專利涵蓋的範圍內。
【權利要求】
1.一種晶舟，其用以收容晶圓並可放置在作業平臺上，所述晶舟包括主體部及安裝在主體部上的擋條，所述主體部包括間隔設置的一對側壁、及位於該對側壁之間的收容晶圓的收容空間，所述一對側壁上均設有若干水平間隔設置的收容槽，所述晶圓的兩端分別可收容到相應側壁的收容槽內，並可沿收容槽滑動,其中一個側壁上設有與收容槽垂直設置的安裝槽，所述擋條安裝在安裝槽內，所述擋條設有若干與收容槽對應的開槽，所述擋條可在開啟位置與鎖閉位置之間移動，在開啟位置時，所述開槽與收容槽貫通，所述晶圓可以通過，在鎖閉位置時，所述開槽與收容槽錯開，所述晶圓不能通過，其特徵在於:進一步包括安裝在主體部上的自動鎖止組件，當所述晶舟脫離所述作業平臺時，所述自動鎖止組件驅動所述擋條位於鎖閉位置。
2.如權利要求1所述的晶舟，其特徵在於:所述擋條包括基部、自基部向一側凸伸的隔板，所述相鄰的隔板之間形成前述開槽。
3.如權利要求1所述的晶舟，其特徵在於:所述主體部包括連接所述一對側壁並水平設置的頂壁、及與頂壁平行間隔設置並連接所述一對側壁的底壁，所述自動鎖止組件包括彈性作用於擋條的第一彈性件，當所述晶舟放置在作業平臺上時，所述擋條位於開啟位置並壓縮第一彈性件，當所述晶舟脫離所述作業平臺時，所述第一彈性件推動擋條運動到鎖閉位置。
4.如權利要求3所述的晶舟，其特徵在於:所述擋條上設有凹陷部，所述自動鎖止組件包括可與凹陷部配合的鎖止塊，當所述擋條位於開啟位置時，所述鎖止塊卡持在凹陷部內，使得擋條保持在開啟位置。
5.如權利要求4所述的晶舟，其特徵在於:所述自動鎖止組件包括可彈性作用於鎖止塊的第二彈性件。
6.如權利要求5所述的晶舟，其特徵在於:所述自動鎖止組件包括可向下凸出晶舟底部的凸塊、一端與凸塊配合的槓桿，所述槓桿另一端與鎖止塊配合。
7.如權利要求6所述的晶舟，其特徵在於:所述自動鎖止組件包括可彈性作用於槓桿與凸塊配合的一端的第三彈性件，當所述晶舟放置在作業平臺時，所述作業平臺將凸塊壓入晶舟底部內並將第三彈性件壓縮，當所述晶舟脫離所述作業平臺時，所述第三彈性件推動凸塊凸伸出晶舟底部，同時帶動槓桿與凸塊配合的一端向下轉動，進而帶動鎖止塊與擋條的凹陷部解除卡持配合併壓縮第二彈性件。
8.如權利要求7所述的晶舟，其特徵在於:所述第一彈性件、第二彈性件及第三彈性件均為螺旋彈簧。
9.如權利要求7所述的晶舟，其特徵在於:所述鎖止塊包括與擋條平行設置的主體部、及沿垂直於主體部凸伸的與擋條的凹陷部卡持配合的卡持部。
10.如權利要求7所述的晶舟，其特徵在於:所述槓桿設有收容第三彈性部的凹槽。
【文檔編號】H01L21/673GK203690268SQ201320855061
【公開日】2014年7月2日 申請日期:2013年12月24日 優先權日:2013年12月24日
【發明者】陳秀龍 申請人:頎中科技（蘇州）有限公司