一種引線鍵合機xy工作檯結構的製作方法

2023-06-26 14:45:16 1

專利名稱：一種引線鍵合機xy工作檯結構的製作方法
技術領域：
本發明涉及半導體集成電路製造領域，特別是涉及後道裝備引線鍵合機的核心部件XY工作檯的結構設計。
背景技術：
引線鍵合設備的根本在於通過劈刀引導金屬引線在三維空間中作複雜高速的運動以形成各種滿足不同封裝形式需要的特殊線弧形狀。X，Y,Z三個方向上協調運動的精度和速度，是保證鍵合設備焊線精度、可靠性、一致性和效率的關鍵。 傳統的鍵合機XY工作檯的X向直線電機安裝在綁定頭的左側，綁頭下面還需要基座來支撐X向直線電機基座，Y向直線電機基座和鍵合頭，這樣將導致整個XY工作檯佔空間面積大，並且需要基座和X向直線電機動子的精密配合加上高精度的機械設計和裝配才能保證XY工作檯裝配精度的技術問題。

發明內容
為了更好地提高引線鍵合機自動生產過程中的速度、精度和可靠性，本發明提供了一種新型引線鍵合機XY工作檯。本發明採用的技術方案是一種引線鍵合機XY工作檯結構，由引線鍵合機構、礦物質鑄件基座、礦物質支腿和基礎鋼板組成，礦物質鑄件基座為人造理石鑄造而成的二層階梯的臺階形狀基座，其中第一層臺階開有垂直方向的走線孔用於導線安裝；第二層臺階水平表面提供了 X向交叉滾子安裝面，第二層臺階水平表面還開有X向直線電機定子安裝孔，X向交叉滾子安裝孔，第二層臺階水平表面上還開有X向直線電機安裝凹槽，在X向直線電機安裝凹槽的側面開有走線凹槽；第三層臺階水平表面上開有Y向直線電機定子安裝孔；在第二層臺階的垂直面上開有水平向的導線孔；礦物質鑄件基座的四角留有礦物質支腿的安裝孔，四根大螺栓通過礦物質支腿安裝孔將礦物質鑄件基座，礦物質支腿和基礎鋼板固定連接在一起，在礦物質支腿上開有若干個走線孔；
引線鍵合機構由Y向直線電機定子，Y向直線電機動子，X向直線電機定子，X向直線電機動子，X向基座，Y向基座，鍵合頭，Y向交叉滾子，X向交叉滾子和Y向直線電機動子散熱器組成
用交叉滾子專用螺絲將X向交叉滾子通過X向交叉滾子安裝孔安裝在X向交叉滾子安裝面上；
用螺絲通過X向基座上的X向直線電機動子安裝螺絲孔將X向直線電機動子和X向基座固定在一起；
將Y向直線電機定子用螺絲通過Y向直線電機定子安裝孔固定在礦物質鑄件基座上；將X向直線電機定子用X向直線電機定子安裝螺絲通過X向直線電機定子安裝孔安裝進X向直線電機安裝凹槽裡面；
用X向交叉滾子安裝螺絲通過X向交叉滾子螺絲安裝孔將X向交叉滾子安裝在由礦物質材料鑄成的X向交叉滾子安裝面上；
用X向交叉滾子安裝螺絲將X向交叉滾子和X向基座連在一起；
用Y向交叉滾子安裝螺絲將Y向交叉滾子的一側安裝到Y向基座上，用Y向交叉滾子安裝螺絲將Y向交叉滾子的另一側固定到X向基座上，將Y向直線電機動子散熱器和Y向直線電機動子的對齊邊對齊，用Y向直線電機動子安裝螺絲將其固定在Y向基座上。本發明的有益效果是這種引線鍵合機XY工作檯結構結構省略掉傳統結構左側安裝X向直線電機，這樣鍵合頭部分的所有重量都承載在X向直線電機動子上方的X向直線電機基座上面，因為不需要額外的機械連接，所以能夠增加X方向的機械剛性和強度；本發明的這種結構的另一個好處就是機臺的重心會向中間偏移，利於整個機臺的穩定，從而大大增加了機器焊接的穩定性。


圖I是本發明引線鍵合機XY工作檯結構的結構示意圖。圖中1、Y向直線電機定子，2、Υ向直線電機動子，3、Χ向直線電機定子，4、Χ向直線電機動子，5、X向基座，6、Y向基座，7、X向直線電機礦物質鑄件基座，8、X向直線電機安裝凹槽，9、鍵合頭。圖2是本發明礦物質基礎基座結構不意圖。圖中21-24、χ向直線電機定子安裝孔，51-56、γ向直線電機定子安裝孔，70-79、X向交叉滾子安裝孔，8、X向直線電機安裝凹槽，10、X直線電機動子走線凹槽。圖3是本發明引線鍵合機XY工作檯結構組裝結構分解圖。圖中I、Y向直線電機定子，2、Y向直線電機動子，3、X向直線電機定子，4、X向直線電機動子，5、X向基座，6、Y向基座，7、X向直線電機礦物質鑄件基座，8、X向直線電機安裝凹槽凹槽，10、X直線電機動子走線凹槽，70-79、X向交叉滾子安裝孔，80-89、X向交叉滾子螺絲安裝孔，90-99、X向交叉滾子安裝螺絲I (安裝到70-79)，101、X向直線電機定子安裝螺絲，IOUX向直線電機定子安裝螺絲，102,X向直線電機動子安裝螺絲，103,X向交叉滾子安裝螺絲2 (通過X向基座5安裝到X向交叉滾子螺絲安裝孔80-89)，104-105,Y向交叉滾子安裝螺絲，106，Y向直線電機動子安裝螺絲，IlUY向交叉滾子，112,Y向直線電機動子散熱器，113、X向交叉滾子安裝面，114-115、X向交叉滾子，116、X向直線電機動子安裝孔。
具體實施例方式下面結合附圖和實施例對本發明作進一步說明。圖1、2、3示出了引線鍵合機XY工作檯的結構圖 以下結合附圖對本發明作進一步的說明
一種引線鍵合機XY工作檯結構，由引線鍵合機構、礦物質鑄件基座(7)、礦物質支腿(117)和基礎鋼板(118)組成，礦物質鑄件基座(7)為人造理石鑄造而成的三層階梯的臺階形狀基座，其中第一層臺階開有垂直方向的走線孔用於導線安裝；第二層臺階水平表面提供了 X向交叉滾子安裝面(113)，第二層臺階水平表面還開有X向直線電機定子安裝孔(41-44)，X向交叉滾子安裝孔(70-79)，第二層臺階水平表面上還開有X向直線電機安裝凹槽(8)，在X向直線電機安裝凹槽(8)的側面開有走線凹槽(10)，在第二層臺階的垂直面上開有水平向的導線孔；第三層臺階水平表面上開有Y向直線電機定子安裝孔(51-56);礦物質鑄件基座(7)的四角留有礦物質支腿(117)的安裝孔(31-34)，四根大螺栓通過礦物質支腿安裝孔(31-34)將礦物質鑄件基座(J)，礦物質支腿(117)和基礎鋼板(118)固定連接在一起，在礦物質支腿(117)上開有若干個走線孔。引線鍵合機構包括Y向直線電機定子(I)，Y向直線電機動子(2)，X向直線電機定子(3)，X向直線電機動子(4)，X向基座(5)，Y向基座(6)，鍵合頭(9)，交叉滾子安裝螺絲，Y向交叉滾子(111)，X向交叉滾子(114-115)和Y向直線電機動子散熱器(112)；
用交叉滾子專用螺絲將X向交叉滾子(114-115)通過X向交叉滾子安裝孔(70-79)安裝在X向交叉滾子安裝面(113)上；
用螺絲(102)通過X向基座(5)上的X向直線電機動子安裝螺絲孔(116)將X向直線電機動子⑷和X向基座(5)固定在一起；
將Y向直線電機定子(I)用螺絲通過Y向直線電機定子安裝孔(51-56)固定在礦物質基礎基座(圖2)上;
將X向直線電機定子(3)用X向直線電機定子安裝螺絲(101)通過X向直線電機定子安裝孔(41-44)安裝進X向直線電機安裝凹槽(10)裡面；
用X向交叉滾子安裝螺絲(90-99)通過X向交叉滾子螺絲安裝孔(80-89)將X向交叉滾子(114-115)安裝在由礦物質材料鑄成的X向交叉滾子安裝面(113)上；
用X向交叉滾子安裝螺絲(103)將X向交叉滾子(114-115)和X向基座(5)連在一起；用Y向交叉滾子安裝螺絲(104)將Y向交叉滾子(111)的一側安裝到Y向基座(6)上，用Y向交叉滾子安裝螺絲(105)將Y向交叉滾子(111)的另一側固定到X向基座(5)上，將Y向直線電機動子散熱器(I 12)和Y向直線電機動子(2)的對齊邊對齊，用Y向直線電機動子安裝螺絲(106)將其固定在Y向基座(6)上。
權利要求
1.一種引線鍵合機XY工作檯結構，由礦物質鑄件基座，Y向直線電機定子(1)，Y向直線電機動子(2)，X向直線電機定子(3)，X向直線電機動子(4)，X向基座(5)，Y向基座(6)，Y向交叉滾子(111)，X向交叉滾子(114-115)，Y向直線電機動子散熱器(112)組成；礦物質鑄件基座為人造理石鑄造而成的三層階梯的臺階形狀基座，其中第一層臺階開有垂直方向的走線孔用於導線安裝；第二層臺階水平表面提供了 X向交叉滾子安裝面(113)，第二層臺階水平表面還開有X向直線電機交叉滾子安裝孔(70-79)和預留X向直線電機安裝凹槽(8);在X向直線電機安裝凹槽(8)的底部預留X向直線電機定子安裝孔(21-24)，在凹槽(8)側面開有X向直線電機動子走線凹槽(10);第三層臺階水平表面上開有Y向直線電機定子安裝孔(51-56);其特徵在於 引線鍵合機構由Y向直線電機定子(1)，Y向直線電機動子(2)，X向直線電機定子(3)，X向直線電機動子(4)，Χ向基座(5)，Υ向基座(6)，交叉滾子安裝螺絲，Y向交叉滾子(111)，X向交叉滾子(114-115)，Y向直線電機動子散熱器(112)組成； Y向直線電機定子(I)用螺絲通過Y向直線電機定子安裝孔(51-56)固定在礦物質鑄件基座上； X向直線電機定子(3)用X向直線電機定子安裝螺絲(101)通過X向直線電機定子安裝孔(21-24)安裝進X向直線電機安裝凹槽(8)裡面； 用螺絲(102)通過基座(5)上的X向直線電機動子安裝螺絲孔(116)將X向直線電機動子⑷和X向基座(5)固定在一起； X向交叉滾子安裝螺絲(90-99)通過X向交叉滾子螺絲安裝孔(80-89)將X向交叉滾子(114-115)的一側固定在由礦物質材料鑄成的X向交叉滾子安裝面(113)上； 用X向交叉滾子安裝螺絲(103)將X向交叉滾子(114-115)的另一側和X向基座(5)固定在一起，這樣就組成了 XY工作檯的X向運動機械結構； 用Y向交叉滾子安裝螺絲(104)將Y向交叉滾子(111)的一側安裝到Y向基座(6)上，用Y向交叉滾子安裝螺絲(105)將Y向交叉滾子(111)的另一側固定到X向基座(5)上，將Y向直線電機動子散熱器(I 12)和Y向直線電機動子(2)的對齊邊對齊，用Y向直線電機動子安裝螺絲(106 )將其固定在Y向基座(6 )上，這樣就實現了 XY工作檯在X和Y方向上的機械解耦。
全文摘要
一種引線鍵合機XY工作檯結構，屬於半導體集成電路製造領域。這種引線鍵合機XY工作檯結構省略掉傳統結構左側安裝X向直線電機，巧妙的利用了在傳統X基座下方用基座支撐結構的空間，這樣鍵合頭部分的所有重量都承載在X向直線電機動子上方的X向直線電機基座上面，因為不需要額外的機械連接，所以能夠增加X方向的機械剛性和強度；本發明的這種結構的另一個好處就是機臺的重心會向中間偏移，利於整個機臺的穩定，從而大大增加了機器焊接的穩定性。
文檔編號H01L21/60GK102956516SQ20121046765
公開日2013年3月6日 申請日期2012年11月19日 優先權日2012年11月19日
發明者張飛, 徐大林 申請人:大連佳峰電子有限公司