將微致動器集成於懸臂件上的方法及系統的製作方法

2023-06-26 23:38:06

專利名稱：將微致動器集成於懸臂件上的方法及系統的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種信息記錄磁碟驅動單元，更具體地涉及一種用於磁碟驅動
器的磁頭折片組合(headgimbal assembly, HGA)的懸臂件及微致動器。
背景技術：
一種常見的信息存儲設備是磁碟驅動系統，其使用磁性媒介來存儲數據及 設置於該磁性媒介上方的可移動讀寫頭來選擇性地從磁性媒介上讀取數據或將 數據寫在磁性媒介上。
消費者總是希望這類磁碟驅動系統的存儲容量不斷增加，同時希望其讀寫 速度更快更精確。因此石茲盤製造商一直致力於開發具有較高存儲容量的^茲盤系
間接增加磁碟的存儲容量。然而，隨著磁軌密度的增加，對讀寫頭的位置控制 精度也必須相應的提高，以便在高密度磁碟中實現更快更精確的讀寫操作。隨 著磁軌密度的增加，使用傳統技術來實現更快更精確將讀寫頭定位於磁碟上適 當的磁軌變得更加困難。因此，磁碟製造商一直尋找提高對讀寫頭位置控制的 方式，以便利用不斷增加的磁軌密度所帶來的益處。
磁碟製造商經常使用的一種提高讀寫頭在高密度盤上位置控制精度的方法 為採用第二個驅動器，也叫微致動器。該微致動器與一個主驅動器配合共同實 現對讀寫頭的位置控制精度及速度。包含微致動器的磁碟系統被稱為雙驅動器 系統。
在過去曾經開發出許多用於提高存取速度及讀寫頭在高密度磁碟的磁軌上 定位精度的雙驅動器系統。這種雙驅動器系統通常包括一主音圈馬達驅動器及 一副微致動器，比如PZT微致動器(即壓電微致動器，以下簡稱為壓電微致動
器)。該音圏馬達驅動器由伺服控制系統控制，該伺服控制系統導致驅動臂旋轉， 該驅動臂上承栽讀寫頭以便將讀寫頭定位於存儲盤上適當的石茲軌上。壓電微致 動器與音圏馬達驅動器配合使用共同提高存取速度及實現讀寫頭在》茲軌上位置 的微調。音圈馬達驅動器對讀寫頭的位置粗調，而壓電微致動器對讀寫頭相對 於磁碟的位置的精調。通過兩個驅動器的配合，共同實現數據在存儲盤上高效 而精確的讀寫操作。
一種已知的用於實現對讀寫頭位置微調的微致動器包含有壓電元件。該壓 電微致動器具有相關的電子裝置，該電子裝置可導致微致動器上的壓電元件選 擇性的收縮或擴張。壓電微致動器具有適當的結構，使得壓電元件的收縮或擴 張引起微致動器的運動，進而引起讀寫頭的運動。相對於僅僅使用音圏馬達驅 動器的石茲盤系統，該讀寫頭的運動可以實現對讀寫頭位置更快更^"確的調整。 這類範例性的壓電微致動器揭露於許多專利中，比如名稱為"微致動器及磁頭
折片組合"的日本專利JP2002-133803，及名稱為"具有實現位置微調的驅動器 的磁頭折片組合，包含該磁頭折片組合的磁碟系統及該磁頭折片組合的製造方 法"的日本專利JP2002-074871。這類範例性的壓電微致動器同時揭露於其它專 利中，比如美國專利第6， 671, 131及6, 700, 749。
圖1及圖2所示為傳統的磁碟驅動單元，磁碟101安裝在主軸馬達102上 並由其旋轉。音團馬達臂104上承栽有磁頭折片組合100,該磁頭折片組合IOO 包括含有磁頭103的微致動器105，該磁頭103上安裝有讀寫頭。 一音圏馬達控 制音圏馬達臂104的運動，進而控制磁頭103在磁碟101的表面上的磁軌之間 的移動，最終實現讀寫頭在磁碟101上數據的讀寫。
圖3展示了圖1-2所示傳統磁碟驅動單元的磁頭折片組合100,其上具有雙 驅動器。然而，由於音圈馬達及磁頭懸臂組合的固有誤差，磁頭103無法實現 快速而精確的位置控制，相反地，而是影響讀寫頭精確讀寫磁碟上數據的性能。 為此，增加上述壓電微致動器105，以便提高磁頭及讀寫頭的位置控制精度。更 具體地講，與音圏馬達比較，該壓電微致動器105以更小的幅度來調整^P茲頭103 的位移，以便補償音圈馬達和(或)磁頭懸臂組合的共振誤差。該壓電微致動
器使得應用更小的磁軌間距成為可能，並且可以將磁碟系統的磁軌密度(TPI, 每英寸所舍磁軌數量)提高50%,同時可以減少磁頭的尋軌時間(seeking time ) 及定位時間(settlingtime)。因此，壓電微致動器105可以大幅度提高存儲盤的 表面記錄密度。
如圖3、4所示，所述磁頭折片組合100包括具有懸臂舌片108的懸臂件106。 所迷懸臂舌片108用於承栽所述壓電微致動器105及磁頭103。所述懸臂舌片 108的相對邊上形成懸臂導線110。
參考圖5，傳統的壓電微致動器105包括一個金屬框架130。該金屬框架130 包括頂支撐板132、底支撐板134及連接上述頂支撐板132與底支撐板134的兩 個邊臂136、 138。所述邊臂136、 138的外表面分別安裝用於致動(actuation) 的壓電元件140、 142。所述磁頭103支撐在該頂支撐板132上。
參考圖4、 6，所述壓電微致動器105藉助所述框架130的底支撐板134而 安裝到懸臂舌片108上。所述底支撐板134可通過環氧樹脂158而固定到所述 懸臂舌片108上。多個連接球，比如三個電連接球150 (金球連接或錫球連接) 將壓電微致動器105固定在每個壓電元件140、 142側邊的懸臂導線IIO上。另 外，多個連接球，比如四個電連接球(金球連接或錫球連接)152將磁頭103連 接到懸臂導線110上，以便電性連接磁頭103上的讀寫傳感器。當通過懸臂導 線IIO對所述壓電元件140、 142施加電壓時，壓電元件140、 142膨脹或收縮 並導致側臂136及138沿著共同的側向方向彎曲。該彎曲導致金屬框架130產 生剪切變形，即該金屬框架130的形狀由矩形變成平行四邊形，從而導致頂支 撐板132的運動。該運動導致安裝在頂支撐板132上的磁頭103沿磁碟軌道運 動，以便實現精確調整讀寫頭的位置。通過上述方式，可實現磁頭位置控制的 微調。
參考圖6，所述懸臂件106的負載杆160上具有與所述懸臂舌片108配合的 凸點162。所述懸臂舌片108與微致動器框架130的頂支撐板132之間形成一個 平行間隙170，從而允許所述壓電微致動器105及磁頭103在使用時能夠自由光 滑地運動。該間隙170對於微致動器運行及磁頭折片組合的性能非常重要。
在將孩史致動器105裝配到懸臂件106時，維持上述平行間隙170非常困難。 由於環氧樹脂158為軟性材料，該環氧樹脂158可以導致微致動器105產生傾 斜，比如所述懸臂舌片108與微致動器105之間的間隙170變小。所述框架傾 斜將影響磁頭折片組合的性能，比如縱向傾角(pitch angle )、橫向傾角(roll angle) 或微致動器與懸臂舌片之間的幹涉。另外，所述框架傾斜也會影響磁頭折片組 合的製造成本。
因此有必要提供一種改進的系統，以克服現有技術的不足。

發明內容
本發明一方面涉及一種磁頭折片組合，其包括具有懸臂撓性件的懸臂件。 所述懸臂撓性件包括機械地形成於其上的臺階板。微致動器安裝在所述懸臂撓 性件的臺階板上。所述臺階板支撐所述微致動器，從而使得在工作時所述微致 動器的頂支撐板與懸臂撓性件之間形成一個基本恆定的間隙。
本發明另一方面涉及一種磁碟驅動裝置，其包括磁頭折片組合、與該磁 頭折片組合連接的驅動臂、磁碟及驅動該磁碟轉動的旋轉馬達。所述磁頭折片 組合包括具有懸臂撓性件的懸臂件。所述懸臂撓性件包括機械地形成於其上的 臺階板。微致動器安裝在所述懸臂撓性件的臺階板上。所述臺階板支撐所述微 致動器，從而使得在工作時所述微致動器的頂支撐板與懸臂撓性件之間形成一 個基本恆定的間隙。
本發明另一方面涉及一種製造磁頭折片組合的方法，其包括形成具有多 個互相連接的長形條(rowbar)的金屬片，所述每個長形條具有多個互相連接的框 架單元；從所述金屬片上切割出單個長形條；將所述框架單元形成微致動器框 架；將壓電元件安裝到所述微致動器框架；從所述單個長形條上切割出框架； 準備懸臂件的懸臂撓性件；在所述懸臂撓性件上形成臺階板；將所述框架雷射 焊接到所述懸臂撓性件的臺階板上；準備所述懸臂件的基板、負栽杆及樞接件； 通過將所述基板、負載杆及柩接件互相安裝起來而實現對所述懸臂件的裝配； 檢查所述懸臂件；及包裝所述懸臂件。
本發明另一方面涉及一種製造^f茲頭折片組合的方法，其包括形成具有多 個互相連接的長形條的金屬片，所述每個長形條具有多個互相連接的框架單元； 從所述金屬片上切割出單個長形條；將所述框架單元形成微致動器框架；從所 述單個長形條上切割出框架；準備懸臂件的懸臂撓性件；在所迷懸臂撓性件上 形成臺階板；將所述框架雷射焊接到所述懸臂撓性件的臺階板；準備所述懸臂 件的基板、負栽杆及樞接件；通過將所述基板、負栽杆及樞接件互相安裝起來 而實現對所述懸臂件的裝配；將壓電元件安裝到組裝後的懸臂件上的微致動器 框架上；檢查所述懸臂件；及包裝所述懸臂件。
通過以下的描述並結合附圖，本發明將變得更加清晰，這些附圖用於解釋 本發明的實施例。


圖1為傳統磁碟驅動單元的立體圖。
圖2為圖1所示傳統^茲盤驅動單元的局部立體圖。
圖3為傳統石茲頭折片組合(head gimbal assembly, HGA)的立體圖。
圖4為圖3所示磁頭折片組合局部放大的立體圖。
圖5為圖3所示磁頭折片組合的磁頭及壓電微致動器的立體圖。
圖6為圖3所示磁頭折片組合的局部截面圖。
圖7為本發明一個實施例所述^f茲頭折片組合的立體圖。
圖8為圖7所示磁頭折片組合局部放大的立體圖。
圖9為圖8所示結構沿線9-9的剖碎見圖。
圖IO為圖7所示磁頭折片組合的分解圖。
圖lla-llc為立體圖，展示了本發明一個實施例所述將微致動器安裝到懸臂 舌片的焊接流程。
圖lh-12d為立體圖，展示了本發明一個實施例所述在懸臂舌片內形成臺階 板(st印plate)的製造流程。
圖13展示了本發明一個實施例所述的製造流程圖。
圖14a-14e為一系列視圖，展示了圖13所示的製造流程。 圖15a-15e為一系列視圖，展示了圖13所示的製造流程。 圖16展示了本發明另一個實施例所述的製造流程圖。
具體實施例方式
現在參考附圖描述本發明的實施例，附圖中類似的元件標號代表類似的元 件。本發明一方面對微致動器與懸臂舌片之間的平行間隙進行控制，同時利用 微致動器精確地驅動磁頭。通過控制微致動器與懸臂舌片之間的平行間隙，所 述磁頭折片組合的縱向靜態姿勢(pitch static attitude, PSA )、橫向靜態姿勢(roll static attitude, RSA)及幹涉問題得以解決。另外，製造工序得以簡化且成本得 以降低。
現在描述磁頭折片組合的實施例。應當注意所述微致動器安裝結構可應 用於任何具有微致動器的磁碟驅動裝置中，以便提高對平行間隙的控制，而不 限於附圖所示的特定磁頭折片組合。即本發明適用於任何領域內任何適當的含 有微致動器的設備。
圖7-9為本發明一個實施例所述的具有微致動器安裝結構的磁頭折片組合 210。該磁頭折片組合210包括壓電微致動器212、磁頭214及用於承栽上迷壓 電微致動器212與磁頭214的懸臂件216。
如圖7、 IO所示，所述懸臂件216包括基板218、負載杆220、樞接件222、 撓性件224及位於該撓性件224內的懸臂導線226。該基板218由相對較硬或剛 度較好的材料比如金屬形成，以便穩定地將懸臂件216固定於一個音圏馬達的 驅動臂上。
所述樞接件222通過比如焊接方式安裝到所述基板218與負載杆220上。 如圖所示， 228。
所述負栽杆220通過比如焊4妄的方式固定在樞接件222上。所述負載杆220
上形成與所述撓性件224相互配合的凸點234 (如圖9所示)。
所述撓性件224通過比如坪接方式而安裝到樞接件222與負載杆220上。 所述撓性件224上具有用以將所述壓電微致動器212支撐於懸臂件216的懸臂 舌片230。所述負栽杆220上的凸點234與所述懸臂舌片230配合併支撐該懸臂 舌片230。而且，所述撓性件224上具有懸臂導線226,以便將所述石茲頭214及 壓電微致動器212上的壓電元件242、 243與一個外部控制系統電性連接起來。
在一個實施例中，所述壓電微致動器212首先通過比如雷射焊接的方式而 被安裝到所述撓性件224的懸臂舌片230上，然後所述撓性件224被安裝到其 它懸臂部件，比如基板218、負載杆220及樞接件222上。從而在所述懸臂件 216上形成集成壓電微致動器212。
如圖lla所示，所述壓電微致動器212包括微致動器框架252及安裝在該微 致動器框架252的相應邊臂的壓電元件242、 243。
所述微致動器框架252包括頂支撐板254、底支撐板256及連接所述頂支撐 板254與底支撐板256的邊臂258、 259。所述微致動器框架252最好由金屬材 料形成，然而用其它合適材料形成也可以。
所述微致動器框架252的相應邊臂258、 259面向外側的表面上安裝有壓電 元件242、 243。每個壓電元件242、 243藉助比如四個電連接球(金球焊接或錫 球焊接，GBB或SBB ) 260而與所述懸臂導線226電性連接。
如圖9及lla-llc所示，所述底支撐板256具有適當結構從而將壓電微致動 器框架252連接到所述懸臂件216上。具體地講，所述懸臂件216的懸臂舌片 230上形成有臺階板(step plate)或支撐臺階(support step) 270。微致動器安裝 結構215以支撐臺階的形式疊壓在所述懸臂件216的懸臂舌片238上。所述底 支撐板256通過焊接方式例如雷射焊接方式而安裝到所迷臺階板270上。如圖 lib (該圖為所述撓性件224在舌片區域230的背面結構)所示，雷射焊接是在 所述臺階板270的背面進行的。在上述實施例中，所述底支撐板256藉助一組 雷射點280，比如兩個雷射點而焊接到所述臺階板270上。由於是從所述撓性件
224的背面進行的，因此如圖llc所示，所述壓電孩史致動器212 (位於所述撓性 件224的頂側)的頂側上沒有焊接痕跡。在另一個實施例中，雷射焊接也可以 在所述臺階板270的頂側上進行，該臺階板270支撐所述微致動器的底支撐板 256。這種焊接方式與背面焊接方式相同。
如圖9所示，這種安裝結構將所述底支撐板256與懸臂舌片230連接起來， 並且在懸臂舌片230與所述孩麼致動器框架252的頂支撐板254之間形成平行間 隙290,從而允許所述壓電微致動器212及》茲頭214在使用時能夠光滑地及自由 地移動。
圖12a-12d展示了在所述懸臂舌片230內形成所述臺階板270的流程。所述 臺階板270可以通過比如沖壓方式而機械地形成於所述懸臂舌片230內。例如，
所述舌片230內可以藉助化學蝕刻方式而形成四個孔274。所述四個孔274有助 於形成具有理想的盒子形狀或方形形狀的臺階板270。然後，如圖12c-12d(分
通過沖壓而形成於所述懸臂舌片230上。所述臺階板270的高度可以在35-50 /rni 之間。
在上述實施例中，所述臺階板270具有大體為方形的形狀。然而，所述臺 階板也可以具有其它適當形狀，例如三角形、梯形、圓形或方形與圓形的組合 形狀。而且，所述臺階板的成型邊緣(forming edge )可以為傾斜邊緣(slope edge )、 圓形邊緣(round edge)等。另外，所述舌片230內可以藉助化學蝕刻方式形 成多個孔，以便形成具有很好的盒子形狀的臺階板270。
這種微致動器框架252的安裝結構，即在所述懸臂舌片230內機械地形成 所述臺階板270，並且將所述孩史致動器框架252藉助雷射焊接方式而安裝到所述 臺階板270上，使得在使用時所述微致動器框架252與懸臂舌片230之間維持 一個實質上恆定的間隙290。即，與環氧樹脂安裝方式相比較，間隙的控制得以 改善。例如通過控制所述臺階板270的高度，所述間隙的尺寸可以很容易地被
控制。另外，由於所述安裝工序可以集成到懸臂件製造工序中，成本可以有效 低降低。
此外，通過控制所述平行間隙，所述磁頭折片組合的縱向靜態姿勢、橫向 靜態姿勢及幹涉問題得以解決。因此，所述微致動器及磁頭折片組合的性能得 以改善。
所述頂支撐板254將所述框架252固定到所述磁頭214上。具體地講，所 述^ 茲頭214藉助比如環氧樹脂而安裝到所述頂支撐板254。所述^f茲頭214藉助比 如電連接球(金球焊接或錫球焊接)266而與所述懸臂導線226電性地連接。
在工作時，例如通過在所述壓電元件242、 243上經由懸臂導線226而施加 電壓，令所述壓電元件242、 243選擇性地膨脹或收縮。所述壓電^f敖致動器212 具有適當結構使得壓電元件242、 243的膨脹或收縮引發上述邊臂258、 259產 生運動，該邊臂258、 259的運動導致頂支撐板254產生運動，該頂支撐板254 的運動又導致連接在該頂支撐板254上的磁頭214產生運動。
圖13、 14a-14e及15a-15e展示了本發明一個實施例所述磁頭折片組合210 的製造流程的主要步驟。當流程開始後(圖13中的步驟1 )， 如圖14a所示， 藉助例如蝕刻的方式形成包含多個由互相連接的框架單元294組成的排列292 (如長形條)的金屬片291 (圖13中的步驟2)。
在上述實施例中，所述金屬片291包括四個互相連接的排列292，其中每個 排歹U 292包括八個互相連接的框架單元294。然而，所述金屬片290也可以包括 其它適當數量的排列292及框架單元294。
接下來，如圖14b所示，將單獨的長形條292從所述金屬片291切出(圖 13中的步驟3 )。如圖14c所示，每個框架單元294藉助橫梁298而與一個公 共基板296連接。然後，如圖14d-14e所示，形成金屬框架(圖13中的步驟4) 並將壓電元件242、 243安裝到所述金屬框架(圖13中的步驟5)。接下來，將 單獨的框架294從所述單個長形條292切出。如圖所示，該單獨的框架單元294 形成了上述微致動器框架252。
圖13中的步驟6形成撓性件。該步驟可以包4舌通過比如蝕刻方式而形成包 括由互相連接的撓性件單元394組成的多個排列392 (比如長形條)的金屬片 391 (如圖15a所示)，及從所述金屬片391上切割而形成單個長形條392 (如圖 15b所示)。
接著，如圖15c-15d所示，所述臺階板270形成於所述撓性件內，以便用於 安裝框架單元297(圖13中的步驟7)。然後，如圖15e所示，所述框架單元294 憑藉比如雷射點280而藉助前述方式被雷射焊接到撓性件(圖13中的步驟8 )。
在圖13中的步驟9中將所述懸臂件的基板、負栽杆及樞接件準備好。然後， 將所述懸臂件組裝起來(圖13中的步驟10)。在該步驟中，所述撓性件、基板、 負載杆及樞接件藉助例如雷射焊接的方式而被互相裝配起來。然後檢查所述懸 臂件(圖13中的步驟11),並且包裝所述i茲頭折片組合從而完成製造流程(圖 13中的步驟12)
圖16展示了本發明另一個實施例所述磁頭折片組合210的製造流程的主要 步驟。圖16所示流程與圖13所示流程類似。比較而言，所述壓電元件是在懸 臂件裝配完畢後再被安裝到金屬框架上的。
本發明實施例中所述的磁頭折片組合210可以應用在》茲盤驅動裝置上。該 》茲盤驅動裝置可以為結合圖1所描述的類型。由於這些^f茲盤驅動裝置的結構、 運行及組裝工序為本技術領域的普通技術人員所知悉，這裡省略其詳細描述， 以使本發明更加清晰。
以上結合最佳實施例對本發明進行了描述，但本發明並不局限於以上揭示 的實施例，而應當涵蓋各種根據本發明的本質進行的修改、等效組合。
權利要求
1.一種磁頭折片組合，其包括具有懸臂撓性件的懸臂件，所述懸臂撓性件包括機械地形成於其上的臺階板；及安裝在所述懸臂撓性件的臺階板上的微致動器；其中，所述臺階板支撐所述微致動器，從而使得在工作時所述微致動器的頂支撐板與懸臂撓性件之間形成一個基本恆定的間隙。
2. 根據權利要求1所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述臺階板形成 於所迷懸臂撓性件的懸臂舌片上。
3. 根據權利要求1所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述微致動器包 括金屬框架，該金屬框架包括安裝於所述臺階板上的底支撐板、用於承載磁頭 的頂支撐板及將所述底支撐板與頂支撐板互相連接起來的一對邊臂。
4. 根據權利要求3所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述底支撐板激 光焊接到所述臺階板上。
5. 根據權利要求4所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述底支撐板借 助一組雷射點而雷射焊接到所述臺階板上。
6. 根據權利要求4所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述雷射焊接是 在所述臺階板的背面進行的，該背面與所述臺階板上用以支撐所述底支撐板的 頂側相對。
7. 根據權利要求4所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述雷射焊接是 在所述臺階板上用以支撐所述底支撐板的頂側上進行的。
8. 根據權利要求l所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述臺階板藉助 衝壓方式而機械地形成於所述懸臂撓性件上。
9. 根據權利要求l所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述臺階板為方 形、三角形、梯形、圓形、方形與圓形的組合形狀中的任意一種形狀。
10. 根據權利要求9所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述懸臂撓性件 上蝕刻形成有多個用於成型所述臺階板的孔。
11. 根據權利要求l所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述臺階板具有 傾斜邊緣或圓形邊緣。
12. 根據權利要求1所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述臺階板的高 度在35-50 gm之間。
13. —種》茲盤驅動裝置，其包括 磁頭折片組合；與該i茲頭折片組合連接的驅動臂；驅動該;茲盤轉動的旋轉馬達； 其中所述i茲頭折片組合包括具有懸臂撓性件的懸臂件，所述懸臂撓性件包括機械地形成於其 上的臺階板；及安裝在所述懸臂撓性件的臺階板上的微致動器； 其中，所述臺階板支撐所述微致動器，從而使得在工作時所述微 致動器的頂支撐板與懸臂撓性件之間形成一個基本恆定的間隙。
14. 根據權利要求13所述的磁碟驅動裝置，其特徵在於所述臺階板形 成於所述懸臂撓性件的懸臂舌片上。
15. 根據權利要求13所述的磁碟驅動裝置，其特徵在於所述微致動器 包括金屬框架，該金屬框架包括安裝於所述臺階板上的底支撐板、用於承載磁 頭的頂支撐板及將所述底支撐板與頂支撐板互相連接起來的一對邊臂。
16. 根據權利要求15所述的磁碟驅動裝置，其特徵在於所述底支撐板 雷射焊接到所述臺階板上。
17. 根據權利要求16所述的磁碟驅動裝置，其特徵在於所述底支撐板 藉助一組雷射點而雷射焊接到所述臺階板上。
18. 根據權利要求16所述的磁碟驅動裝置，其特徵在於所述雷射焊接 是在所述臺階板的背面進行的，該背面與所述臺階板上用於支撐所述底支撐板 的頂側相對。
19. 根據權利要求16所述的磁碟驅動裝置，其特徵在於所述雷射焊接 是在所述臺階板上用於支撐所述底支撐板的頂側上進行的。
20. 根據權利要求13所述的磁碟驅動裝置，其特徵在於所述臺階板借 助沖壓方式而機械地形成於所述懸臂撓性件上。
21. 根據權利要求13所述的磁碟驅動裝置，其特徵在於所述臺階板為 方形、三角形、梯形、圓形、方形與圓形的組合形狀中的任意一種形狀。
22. 根據權利要求21所述的磁碟驅動裝置，其特徵在於所述懸臂撓性 件上蝕刻形成有多個用於成型所述臺階板的孔。
23. 根據權利要求13所述的磁碟驅動裝置，其特徵在於所述臺階板具 有傾斜邊緣或圓形邊緣。
24. 根據權利要求13所述的磁碟驅動裝置，其特徵在於所述臺階板的 高度在35-50/mi之間。
25. —種制it》茲頭折片組合的方法，其包括 形成具有多個互相連接的長形條的金屬片，所述每個長形條具有多個互相連接的框架單元；從所述金屬片上切割出單個長形條； 將所述框架單元形成微致動器框架； 將壓電元件安裝到所述微致動器框架； 從所述單個長形條上切割出框架； 準備懸臂件的懸臂撓性件； 在所述懸臂撓性件內形成臺階板； 將所述框架雷射焊接到所述懸臂撓性件的臺階板； 準備所述懸臂件的基板、負載杆及樞接件；通過將所述基板、負載杆及樞接件互相安裝起來而實現對所述懸臂件的裝配；檢查所述懸臂件；及 包裝所述懸臂件。
26. 根據權利要求25所述的方法，其特徵在於形成金屬片包括通過蝕 刻方式形成金屬片。
27.—種製造石茲頭折片組合的方法，其包括形成具有多個互相連接的長形條的金屬片，所述每個長形條具有多個互相連接的框架單元；從所述金屬片上切割出單個長形條； 將所述框架單元形成微致動器框架； 從所述單個長形條上切割出框架；準備懸臂件的懸臂撓性件； 在所述懸臂撓性件內形成臺階板； 將所述框架雷射焊接到所述懸臂撓性件的臺階板； 準備所述懸臂件的基板、負載杆及樞接件；通過將所述基板、負載杆及樞接件互相安裝起來而實現對所述懸臂件的裝配；將壓電元件安裝到組裝後的懸臂件上的微致動器框架上；檢查所述懸臂件；及包裝所述懸臂件。
全文摘要
一種磁頭折片組合，其包括具有懸臂撓性件的懸臂件。所述懸臂撓性件包括機械地形成於其上的臺階板。微致動器安裝在所述懸臂撓性件的臺階板上。所述臺階板支撐所述微致動器，從而使得在工作時所述微致動器的頂支撐板與懸臂撓性件之間形成一個基本恆定的間隙。
文檔編號G11B21/10GK101114461SQ200610109068
公開日2008年1月30日 申請日期2006年7月26日 優先權日2006年7月26日
發明者姚明高, 白石一雅, 謝怡如, 黃奉安 申請人:新科實業有限公司