一種無遮攔自適應變焦距光學系統及其標定方法
2023-06-15 00:12:41
專利名稱：一種無遮攔自適應變焦距光學系統及其標定方法
技術領域：
本發明涉及變焦距光學系統技術領域，具體涉及一種無遮攔自適應變焦距光學系 統及其標定方法。
背景技術：
變焦距光學系統是一種焦距可以連續變化而像面位置保持相對穩定的光學系統， 通過移動一個或多個透鏡組使焦距在一定範圍內連續變化，並保持像面位置不變，目前，常 用的變焦距光學系統主要為機械補償變焦距系統，機械補償變焦距系統主要靠凸輪的非線 性運動實現焦距的連續變化，這種機械補償變焦距系統存在的缺點是凸輪的加工精度在 很大程度上決定了這種變焦距系統的成像質量，凸輪的加工精度不能保證，從而降低了每 個焦距位置的成像質量，只能對幾個主要焦距的像差校正得比較好，而且這種系統結構復 雜，裝調困難。受環境溫度、溼度等條件的影響，這種系統的機械及玻璃元件都會發生一定 的變形，進而造成系統成像質量的下降。發明內容
為了解決現有機械補償變焦距系統應用機械凸輪變焦存在的成像質量低、只能對 幾個主要焦距的像差校正得比較好、環境適應性差、裝調困難的問題，本發明提供一種結構 簡單、能夠對像差進行自適應校正、裝調方便、成像質量高、誤差小的無遮攔自適應變焦距 光學系統及其標定方法。
本發明為解決技術問題所採用的技術方案如下
本發明提供一種無遮攔自適應變焦距光學系統，包括兩個或兩個以上變形反射 鏡、成像透鏡組、分光鏡、成像相機、視場光闌、第一準直透鏡、Shack-Hartmann波前傳感器 和自適應控制系統組件；
所述Shack-Hartmann波前傳感器與所述自適應控制系統組件相連，所述自適應 控制系統組件與所述兩個或兩個以上變形反射鏡相連；
目標光依次經過各個變形反射鏡進入到成像透鏡組中，經過成像透鏡組的會聚 後，一部分目標光經過分光鏡進入到成像相機中進行成像，另一部分目標光經過分光鏡反 射並通過視場光闌進入到第一準直透鏡中，第一準直透鏡將目標光準直成平行光進入到 Shack-Hartmann波前傳感器中，Shack-Hartmann波前傳感器測量出像點數據，自適應控制 系統組件根據像點數據解算出波像差並運算出相應的校正信號，從而控制兩個或兩個以上 變形反射鏡中的至少一個變形反射鏡對該變焦距光學系統的波像差進行校正。
所述兩個變形反射鏡包括依次排列的一個第一變形反射鏡和一個第二變形反射 鏡;
所述兩個以上變形反射鏡包括依次排列的至少一個第一變形反射鏡和至少一個第二變形反射鏡。
所述第一變形反射鏡包括
薄變形鏡片；
與所述薄變形鏡片的下表面粘接固定的促動器；
與所述促動器的下端面粘接固定的基底；
所述薄變形鏡片的圓周與所述基底通過固定支撐杆固定，所述促動器位於所述薄 變形鏡片和基底之間的中心位置。
所述第二變形反射鏡包括
薄變形鏡片；
與所述薄變形鏡片的下表面粘接固定的至少兩個促動器；
與所述至少兩個促動器的下端面粘接固定的基底；
所述至少兩個促動器均布在所述薄變形鏡片和基底之間的位置。
所述Shack-Hartmann波前傳感器主要由微透鏡陣列和CXD相機組成，目標光經過 第一準直透鏡準直成平行光入射到微透鏡陣列上，微透鏡陣列將平行光會聚到CCD相機上 並在CXD相機上形成多個像點，自適應控制系統組件根據CXD相機上的像點數據解算出波 像差並運算出相應的校正信號，從而控制兩個或兩個以上變形反射鏡中的至少一個變形反 射鏡對該變焦距光學系統的波像差進行校正。
所述自適應控制系統組件包括
與所述CXD相機相連的CXD相機信號採集卡；
與所述CXD相機信號採集卡相連的主控計算機；
與所述主控計算機相連的D/A轉換卡；
與所述D/A轉換卡相連的高壓放大器，所述高壓放大器與所述兩個或兩個以上變 形反射鏡中的至少一個變形反射鏡相連；
所述主控計算機中運行的主控軟體對所述CCD相機信號採集卡採集的CCD相機的 像點數據進行解算，解算出波像差並運算出相應的校正信號，校正信號通過所述D/A轉換 卡轉換後再經高壓放大器放大，給出變形反射鏡的校正量，通過高壓放大器控制兩個或兩 個以上變形反射鏡中的至少一個變形反射鏡對該變焦距光學系統的波像差進行校正。
本發明還提供一種無遮攔自適應變焦距光學系統的標定方法，該方法的步驟如 下將標定光源組件移入該變焦距光學系統中，標定光源組件發出的光線依次經過各個 變形反射鏡，再進入到成像透鏡組中，成像透鏡組對由變形反射鏡反射來的目標光進行 會聚，會聚後的目標光經過分光鏡，一部分目標光進入成像相機中進行成像，另一部分目 標光經過視場光闌進入到第一準直透鏡中，第一準直透鏡將目標光準直成平行光入射到 Shack-Hartmann波前傳感器中的微透鏡陣列上，微透鏡陣列再將平行光會聚到CXD相機 上，在C⑶相機上形成多個像點，自適應控制系統組件中的CXD相機信號採集卡採集CXD 相機的像點數據，主控計算機中運行的主控軟體根據像點數據可解算出該變焦距光學系統 的波像差並運算出相應的校正信號，校正信號先通過D/A轉換卡轉換後再經高壓放大器放 大，給出變形反射鏡的校正量，通過高壓放大器控制兩個或兩個以上變形反射鏡中至少一 個變形反射鏡，使促動器進行推拉運動，實現對鏡面面形的校正，重複上述採集計算校正過 程，直到測得的波像差小於該變焦距光學系統設定的閾值，同時監測成像相機上的成像質 量。
所述標定光源組件包括
步進電機控制平移臺；
依次安裝在所述步進電機控制平移臺上的標定光源、第二準直透鏡和平面反射 鏡;
所述標定光源發出的光線經過所述第二準直透鏡準直後，再經過所述平面反射鏡 反射進入到兩個或兩個以上變形反射鏡中，並對該變焦距光學系統進行標定。
本發明的有益效果是與現有技術相比，本發明的無遮攔自適應變焦距光學系統 採用兩個或兩個以上變形反射鏡作為變焦距控制組件，充分利用了變形反射鏡能夠實現離 焦控制的特點，從而實現對整個變焦距光學系統的變焦距控制，省去了機械凸輪設計加工 的麻煩；本發明採用了無遮攔式光學設計，充分利用了目標光的入射效率；本發明應用了 自適應光學技術，採用Shack-Hartmann波前傳感器,實現對波像差的自適應校正控制，對 由加工、裝調、形變、氣流擾動等因素造成的波像差進行主動校正控制，使變焦距光學系統 的性能接近理想狀況，從而提高光學成像質量。
本發明的變焦距光學系統結構簡單，裝調方便，成像質量高，適用於需要變焦距控 制的攝像、目標跟蹤記錄等的光學系統以及需要連續變焦距的成像光學系統中。
圖I為本發明的一種無遮攔自適應變焦距光學系統的示意圖2為第一變形反射鏡的結構示意圖3為第二變形反射鏡的結構示意圖4為Shack-Hartmann波前傳感器的基本原理示意圖5為自適應控制系統組件的結構示意圖6為本發明的一種無遮攔自適應變焦距光學系統的標定過程示意圖。
圖中1、第一變形反射鏡，2、第二變形反射鏡，3、成像透鏡組，4、分光鏡，5、成像相 機，6、視場光闌，7、第一準直透鏡，8、Shack-Hartmann波前傳感器，81、微透鏡陣列，82、CXD 相機，9、CXD相機信號採集卡，10、主控計算機，11、D/A轉換卡，12、高壓放大器，13、薄變形 鏡片，14、促動器，15、基底，16、固定支撐杆，17、標定光源，18、第二準直透鏡，19、平面反射 鏡，20、步進電機控制平移臺，21、自適應控制系統組件。
具體實施方式
以下結合附圖對本發明作進一步詳細說明。
如圖I所示，本發明的一種無遮攔自適應變焦距光學系統，主要由兩個或兩個以 上變形反射鏡、成像光學組件、視場光闌6、第一準直透鏡7、Shack-Hartmann波前傳感器8 和自適應控制系統組件21組成，兩個或兩個以上變形反射鏡放置在成像光學組件的前端， 目標光先依次經過各個變形反射鏡，然後再進入成像光學組件中，一部分目標光在成像光 學組件中進行成像，另一部分目標光經過視場光闌6進入第一準直透鏡7中，第一準直透鏡 7將目標光準直成平行光進入Shack-Hartmann波前傳感器8中，Shack-Hartmann波前傳感 器8測量出像點數據，自適應控制系統組件21根據像點數據解算出該變焦距光學系統的波 像差並運算出相應的校正信號，從而控制兩個或兩個以上變形反射鏡中的至少一個第二變 形反射鏡對系統波像差進行校正。
變形反射鏡用於實現系統的變焦距控制，主要有兩種形式可以實現，包括第一變 形反射鏡I和第二變形反射鏡2，如圖2所示，第一變形反射鏡I由薄變形鏡片13、促動器 14、基底15和固定支撐杆16組成，薄變形鏡片13的上表面經過拋光、鍍膜作為反射面，薄 變形鏡片13的下表面和促動器14的上端面粘接固定，促動器14的下端面粘接固定在基底 15上，促動器14位於第一變形反射鏡I的中心位置，通過控制促動器14的推拉運動來改變 薄變形鏡片13的鏡面面形，根據離焦控制需求，薄變形鏡片13的圓周與基底15之間採用 固定支撐杆16固定，第一變形反射鏡I中只有一個促動器14，只能對鏡面進行離焦控制，不 能對該變焦距光學系統中的波像差進行校正，如圖3所示，第二變形反射鏡2由薄變形鏡片13、基底15和至少兩個促動器14組成，薄變形鏡片13、促動器14和基底15的連接方式與 第一反射鏡I中的相同，至少兩個促動器14均布在薄變形鏡片13和基底15之間，第二變 形反射鏡2中的薄變形鏡片13下面有多個促動器14，既可以實現對鏡面的離焦控制，又可 以對該變焦距光學系統的波像差進行校正。基底15可以採用玻璃基底或者其他材料的基。
在本發明的變焦距光學系統中，可以根據該系統的實際需要及系統控制的難易程 度適當地增加變形反射鏡的數量，變形反射鏡之間根據空間關係，可以增加平面反射鏡19 作為光路折返使用，在滿足空間位置關係，又對光線不造成遮攔的情況下，應儘量保證入射 目標光線與鏡面光軸的夾角較小，這樣就能儘量保證變形鏡在兩維空間校正頻率上面的一 致性；兩個或兩個以上變形反射鏡分別包括至少一個第一變形反射鏡I和至少一個第二變 形反射鏡2，可以根據實際系統控制需要而選用。
如圖I所示，成像光學組件位於兩個或兩個以上變形反射鏡之後，由成像透鏡組3、分光鏡4和成像相機5組成，成像透鏡組3對由兩個或兩個以上變形反射鏡反射來的目 標光進行會聚，會聚後的目標光經過分光鏡4，一部分進入成像相機5中進行成像，另一部 分目標光經過視場光闌6進入第一準直透鏡7中,第一準直透鏡7將目標光準直成平行光 進入Shack-Hartmann波前傳感器8中進行波前探測。
如圖I所示，成像透鏡組3隻用一個光學透鏡做示意，但是該成像透鏡組3包括至 少一個合適的光學透鏡，根據使用條件、相對孔徑和視場等要求確定該成像透鏡組3的具 體結構形式。
如圖4所示，Shack-Hartmann波前傳感器8的基本元件是微透鏡陣列81和(XD相 機82，第一準直透鏡7將經過分光鏡4之後的另一部分目標光準直成平行光入射到微透鏡 陣列81上，微透鏡陣列81再將平行光會聚到CXD相機82上，在CXD相機82上形成多個像 點，自適應控制系統組件21根據CCD相機82上的像點數據解算出該變焦距光學系統的波 像差並輸出相應的校正信號，從而控制兩個或兩個以上變形反射鏡中的至少一個第二變形 反射鏡2對鏡面面形進行校正。
如圖4所示，微透鏡陣列81對來自第一準直透鏡7的平行光實現分割測量，當平 行光為參考平面波時，微透鏡陣列81中的每個微透鏡在CCD相機82上所成的像點均位於 光軸上，可以把這些像點當做參考點，而當平行光有畸變時，每個微透鏡在CCD相機82上所 成的像點相對參考點會有二維偏移，通過對該偏移量進行計算，並作相應的數據處理就可 以擬合出畸變波面，控制該變焦距光學系統中的至少一個第二變形反射鏡2對該畸變波面 進行校正，就可以使該變焦距光學系統接近衍射極限性能。
當校正的目標光為面目標時，需要在目標光會聚點，也就是第一準直透鏡7的前 焦點位置放置一個視場光闌6，從而限制微透鏡陣列81在CXD相機82上形成的像點大小， 便於Shack-Hartmann波前傳感器8對像點數據的提取解算；當校正的目標光為點目標時， 可以選擇放置或者不放置視場光闌6。
如圖5所示，自適應控制系統組件21包括CXD相機信號採集卡9、主控計算機10、 D/A轉換卡11和高壓放大器12，CXD相機信號採集卡9與CXD相機82相連，用於採集CXD 相機82的像點數據，主控計算機10中運行的主控軟體對CCD相機信號採集卡9採集的CCD 相機82的像點數據進行解算，解算出該變焦距光學系統的波像差並輸出相應的校正信號， 校正信號先通過D/A轉換卡11轉換後再經高壓放大器12放大，給出變形反射鏡的校正量， 通過高壓放大器12控制兩個或兩個以上變形反射鏡中至少一個第二變形反射鏡2，使促動 器14進行推拉運動，實現對鏡面面形的校正，從而校正該變焦距光學系統的波像差，提高 成像質量。
本發明的變焦距光學系統的動態像差校正方法具體為目標光先依次經過各個變 形反射鏡，然後再進入成像透鏡組3中，成像透鏡組3對由變形反射鏡反射來的目標光進 行會聚，會聚後的目標光經過分光鏡4，一部分進入成像相機5中進行成像，另一部分目標 光經過視場光闌6進入第一準直透鏡7中，第一準直透鏡7將目標光準直成平行光入射到 Shack-Hartmann波前傳感器8中的微透鏡陣列81上，微透鏡陣列81再將平行光會聚到CXD 相機82上，在CXD相機82上形成多個像點，自適應控制系統組件21中的CXD相機信號採 集卡9採集(XD相機82的像點數據，主控計算機10中運行的主控軟體根據(XD相機82上 的像點數據可解算出該變焦距光學系統的波像差並運算出相應的校正信號，校正信號先通 過D/A轉換卡11轉換後再經高壓放大器12放大，給出變形反射鏡的校正量，通過高壓放大 器12控制兩個或兩個以上變形反射鏡中至少一個第二變形反射鏡2，使促動器14進行推拉 運動，實現對鏡面面形的校正，從而校正該變焦距光學系統的波像差，提高成像質量。
本發明的變焦距光學系統的動態像差校正方法可以校正由氣流引起的光學波面 擾動，同時還可以校正由環境溫溼度變化造成的機械、光學元件變形對光學成像的影響，還 可以對系統的裝調誤差和鏡面像差等進行自適應光學校正，提高光學系統的成像質量。
本發明的變焦距光學系統在對目標進行成像之前，需要對其進行標定，採用標定 光源組件對該變焦距光學系統進行標定，如圖6所示，標定光源組件由標定光源17、第二準 直透鏡18、平面反射鏡19和步進電機控制平移臺20組成，標定光源17、第二準直透鏡18、 平面反射鏡19依次安裝在步進電機控制平移臺20上，第二準直透鏡18安裝在標定光源17 和平面反射鏡19之間位置，平面反射鏡19的放置角度是由成像透鏡組3決定，只要調整平 面反射鏡19、第一變形反射鏡I和第二變形反射鏡2的傾斜角度，使標定光線正好入射到成 像透鏡組3中即可，標定光源17給系統提供基準平面波，標定光源17發出的光線經過第二 準直透鏡18準直後，再經過平面反射鏡19反射進入到兩個或兩個以上變形反射鏡及後續 光路中。標定光源組件在該變焦距光學系統標定時移入系統中，在標定之後移出系統。
本發明的變焦距光學系統的標定方法具體為將標定光源組件通過步進電機控制 平移臺20移入該變焦距光學系統中，標定光源17發出的光線經過第二準直透鏡18準直 後，再經過平面反射鏡19反射依次經過各個變形反射鏡，然後再進入成像透鏡組3中，成像 透鏡組3對由變形反射鏡反射來的目標光進行會聚，會聚後的目標光經過分光鏡4，一部分進入成像相機5中進行成像，另一部分目標光經過視場光闌6進入第一準直透鏡7中，第一 準直透鏡7將目標光準直成平行光入射到Shack-Hartmann波前傳感器8中的微透鏡陣列 81上，微透鏡陣列81再將平行光會聚到CXD相機82上，在CXD相機82上形成多個像點， 根據CCD相機82上的像點數據可解算出該變焦距光學系統的波像差，自適應控制系統組件 21中的CXD相機信號採集卡9採集CXD相機82的像點數據，主控計算機10中運行的主控 軟體由像點數據解算出波像差並運算出相應的校正信號，校正信號先通過D/A轉換卡11轉 換後再經高壓放大器12放大，給出變形反射鏡的校正量，通過高壓放大器12控制兩個或兩 個以上變形反射鏡中至少一個第二變形反射鏡2，使促動器14進行推拉運動，實現對鏡面 面形的校正，重複上述採集計算校正過程，直到測得的波像差小於該變焦距光學系統設定 的閾值(如小於1/30波長)，同時監測成像相機5上的成像質量，理想情況下，在校正後應能 觀測到衍射斑。系統標定後，利用步進電機控制平移臺20將標定光源組件從系統中移出， 該變焦距光學系統就可以對目標進行成像。
對本發明的變焦距光學系統進行標定，一方面可以校正掉變形反射鏡的初始面形 誤差，另一方面可以校正系統裝調的殘餘誤差，同時，利用標定光源17，還可以對系統的變 焦距性能進行驗證測試。
權利要求
1.一種無遮攔自適應變焦距光學系統，其特徵在於，包括兩個或兩個以上變形反射鏡、成像透鏡組(3)、分光鏡(4)、成像相機(5)、視場光闌(6)、第一準直透鏡(7)、 Shack-Hartmann波前傳感器(8)和自適應控制系統組件(21)；所述Shack-Hartmann波前傳感器(8 )與所述自適應控制系統組件(21)相連,所述自適應控制系統組件(21)與所述兩個或兩個以上變形反射鏡相連；目標光依次經過各個變形反射鏡進入到成像透鏡組(3)中，經過成像透鏡組(3)的會聚後，一部分目標光經過分光鏡(4)進入到成像相機(5)中進行成像，另一部分目標光經過分光鏡(4 )反射並通過視場光闌(6 )進入到第一準直透鏡(7 )中，第一準直透鏡(7 )將目標光準直成平行光進入到Shack-Hartmann波前傳感器(8)中，Shack-Hartmann波前傳感器(8)測量出像點數據，自適應控制系統組件(21)根據像點數據解算出波像差並運算出相應的校正信號，從而控制兩個或兩個以上變形反射鏡中的至少一個變形反射鏡對該變焦距光學系統的波像差進行校正。
2.根據權利要求I所述的一種無遮攔自適應變焦距光學系統，其特徵在於，所述兩個變形反射鏡包括依次排列的一個第一變形反射鏡(I)和一個第二變形反射鏡(2)；所述兩個以上變形反射鏡包括依次排列的至少一個第一變形反射鏡(I)和至少一個第二變形反射鏡(2)。
3.根據權利要求2所述的一種無遮攔自適應變焦距光學系統，其特徵在於，所述第一變形反射鏡(I)包括薄變形鏡片(13)；與所述薄變形鏡片(13)的下表面粘接固定的促動器(14)；與所述促動器(14)的下端面粘接固定的基底(15)；所述薄變形鏡片(13)的圓周與所述基底(15)通過固定支撐杆(16)固定，所述促動器 (14)位於所述薄變形鏡片(13)和基底(15)之間的中心位置。
4.根據權利要求2所述的一種無遮攔自適應變焦距光學系統，其特徵在於，所述第二變形反射鏡(2)包括薄變形鏡片(13)；與所述薄變形鏡片(13)的下表面粘接固定的至少兩個促動器(14)；與所述至少兩個促動器(14)的下端面粘接固定的基底(15)；所述至少兩個促動器(14)均布在所述薄變形鏡片(13)和基底(15)之間的位置。
5.根據權利要求I所述的一種無遮攔自適應變焦距光學系統，其特徵在於，所述Shack-Hartmann波前傳感器(8)主要由微透鏡陣列(81)和(XD相機(82)組成，目標光經過第一準直透鏡(7)準直成平行光入射到微透鏡陣列(81)上，微透鏡陣列(81)將平行光會聚到C⑶相機(82)上並在C⑶相機(82)上形成多個像點，自適應控制系統組件(21) 根據CCD相機(82)上的像點數據解算出波像差並運算出相應的校正信號，從而控制兩個或兩個以上變形反射鏡中的至少一個變形反射鏡對該變焦距光學系統的波像差進行校正。
6.根據權利要求5所述的一種無遮攔自適應變焦距光學系統，其特徵在於，所述自適應控制系統組件(21)包括與所述CXD相機(82)相連的CXD相機信號採集卡(9)；與所述CXD相機信號採集卡(9)相連的主控計算機(10);與所述主控計算機(10)相連的D/A轉換卡(11);與所述D/A轉換卡(11)相連的高壓放大器(12)，所述高壓放大器(12)與所述兩個或兩個以上變形反射鏡相連；所述主控計算機(10)中運行的主控軟體對所述CCD相機信號採集卡(9)採集的CCD相機(82)的像點數據進行解算，解算出波像差並運算出相應的校正信號，校正信號通過所述 D/A轉換卡(11)轉換後再經高壓放大器(12)放大，給出變形反射鏡的校正量，通過高壓放大器(12)控制兩個或兩個以上變形反射鏡中的至少一個變形反射鏡對該變焦距光學系統的波像差進行校正。
7.如權利要求I所述的一種無遮攔自適應變焦距光學系統的標定方法，其特徵在於， 該方法的步驟如下將標定光源組件移入該變焦距光學系統中，標定光源組件發出的光線依次經過各個變形反射鏡，再進入到成像透鏡組(3 )中，成像透鏡組(3 )對由變形反射鏡反射來的目標光進行會聚，會聚後的目標光經過分光鏡(4), 一部分目標光進入成像相機(5) 中進行成像，另一部分目標光經過視場光闌(6 )進入到第一準直透鏡(7 )中，第一準直透鏡(7)將目標光準直成平行光入射到Shack-Hartmann波前傳感器(8)中的微透鏡陣列(81) 上，微透鏡陣列(81)再將平行光會聚到CXD相機(82)上，在CXD相機(82)上形成多個像點， 自適應控制系統組件(21)中的CXD相機信號採集卡(9)採集CXD相機(82)的像點數據，主控計算機(10)中運行的主控軟體根據像點數據可解算出該變焦距光學系統的波像差並運算出相應的校正信號，校正信號先通過D/A轉換卡(11)轉換後再經高壓放大器(12)放大， 給出變形反射鏡的校正量，通過高壓放大器(12)控制兩個或兩個以上變形反射鏡中至少一個變形反射鏡，使促動器(14)進行推拉運動，實現對鏡面面形的校正，重複上述採集計算校正過程，直到測得的波像差小於該變焦距光學系統設定的閾值，同時監測成像相機(5)上的成像質量。
8.根據權利要求7所述的一種無遮攔自適應變焦距光學系統的標定方法，其特徵在於，所述標定光源組件包括步進電機控制平移臺(20);依次安裝在所述步進電機控制平移臺(20)上的標定光源(17)、第二準直透鏡(18)和平面反射鏡(19)；所述標定光源(17)發出的光線經過所述第二準直透鏡(18)準直後，再經過所述平面反射鏡(19)反射進入到兩個或兩個以上變形反射鏡中，並對該變焦距光學系統進行標定。
全文摘要
一種無遮攔自適應變焦距光學系統及其標定方法，該系統利用變形反射鏡進行變焦距控制，該系統中的Shack-Hartmann波前傳感器與自適應控制系統組件相連，自適應控制系統組件與兩個或兩個以上變形反射鏡相連；目標光依次經過各個變形反射鏡進入到成像透鏡組中，會聚後的一部分目標光經分光鏡進入成像相機中成像，另一部分經分光鏡反射通過視場光闌進入第一準直透鏡中，準直成平行光進入到Shack-Hartmann波前傳感器中並測量出像點數據，自適應控制系統組件根據像點數據解算出波像差並運算出相應的校正信號，控制至少一個變形反射鏡對系統波像差進行校正。本發明結構簡單，裝調方便，成像質量高。
文檔編號G02B26/06GK102981270SQ20121057067
公開日2013年3月20日 申請日期2012年12月25日 優先權日2012年12月25日
發明者林旭東, 劉欣悅, 王建立, 衛沛鋒, 王亮 申請人:中國科學院長春光學精密機械與物理研究所