一種光罩盒外掛標籤盒的製作方法

2023-06-15 17:23:36 2

本實用新型涉及一種標籤盒，更具體的說，是涉及一種光罩盒外掛標籤盒。

背景技術：

在現有半導體超大規模集成電路晶圓生產工藝中，電路圖掩膜版(Mask或Reticle)的使用是必要的且相當之重要。在大型晶圓製造工廠中通常有數以萬計甚至幾十萬片光罩掩膜版，這麼多掩膜版的有序管理使用對管理者來說是極大的挑戰。為保護掩膜版在生產中的順利流通使用，需要把掩膜版裝到光罩盒(mask POD)內便於運送及使用。大型晶圓廠內有需要配置幾千上萬個光罩盒。對這些光罩盒的及時快速正確識別對生產相當重要。現在業內解決方案有使用電子標籤，電子標籤相當昂貴，阻止其廣泛應用。現在通行的做法是在光罩盒外表面貼上紙質標籤紙，標籤紙上印有條形碼及光罩的名稱等信息。光罩盒內光罩倒換之後，需要把舊的標籤揭掉重新貼新的相應標籤。長期如此使用之後造成光罩盒外殘膠。這些殘膠會造成掩膜版的沾汙以及釋放有害氣體造成二次汙染，最後會導致晶圓良率的降低。

技術實現要素：

本實用新型的目的是為了克服現有技術中的不足，提供一種光罩盒外掛標籤盒，可以固定於光罩盒的側面和上表面，操作人員可以根據光罩盒內不同的光罩信息方便的打開標籤盒合扣更換標籤盒內的紙質標籤，可以避免紙質標籤多次揭帖造成的殘膠汙染問題以及標籤邊角翹曲造成的6S缺陷。

本實用新型的目的可通過以下技術方案實現。

本實用新型的一種光罩盒外掛標籤盒，包括相互連接的前面板和後面板，所述前面板底部和後面板底部採用軟連接方式連接，所述前面板頂部和後面板頂部以合扣方式連接，所述前面板頂部軟連接有固定板，所述固定板設置有螺栓孔，所述前面板左右兩側下端對稱設置有第一固定件，所述第一固定件自底部向上開設有凹槽。

所述前面板頂部對稱設置有第一肩板。

所述前面板內側設置有標籤固定槽。

本實用新型的目的還可通過以下技術方案實現。

本實用新型的一種光罩盒外掛標籤盒，包括相互連接的前面板和後面板，所述前面板底部和後面板底部採用軟連接方式連接，所述前面板頂部和後面板頂部以合扣方式連接，所述後面板頂部軟連接有第一固定扣，所述後面板左右兩側上端對稱設置有第一卡扣，所述後面板左右兩側下端對稱設置有第二固定件，所述第二固定件自底部向上開設有凹槽。

所述前面板頂部對稱設置有第一肩板。

所述前面板內側設置有標籤固定槽。

本實用新型的目的可通過以下技術方案實現。

本實用新型的一種光罩盒外掛標籤盒，包括相互連接的前面板和後面板，所述前面板底部和後面板底部採用軟連接方式連接，所述前面板頂部和後面板頂部以合扣方式連接，所述前面板左右兩側對稱設置有第二卡扣，所述前面板頂部軟連接有第三固定扣。

所述後面板頂部對稱設置有第二肩板。

本實用新型的目的可通過以下技術方案實現。

本實用新型的一種光罩盒外掛標籤盒，包括相互連接的前面板和後面板，所述前面板底部和後面板底部採用軟連接方式連接，所述前面板頂部和後面板頂部以合扣方式連接，所述後面板頂部軟連接有第二固定扣，所述後面板左右兩側對稱設置有第三卡扣。

所述後面板頂部對稱設置有第二肩板。

與現有技術相比，本實用新型的技術方案所帶來的有益效果是：

(1)本實用新型可以避免紙質標籤多次揭帖造成的殘膠汙染問題以及標籤邊角翹曲造成的6S缺陷；

(2)本實用新型易拆裝，可多次重複使用，使用簡單方便；

(3)本實用新型可一次模具成型，製作簡單。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例一的展開圖；

圖2是本實用新型實施例二的展開圖；

圖3是本實用新型中實施例一和實施例二採用的模型展開圖；

圖4是本實用新型實施例三的展開圖；

圖5是本實用新型實施例四的展開圖；

圖6是本實用新型中實施例三和實施例四採用的模型展開圖。

附圖標記:1前面板；2後面板；3固定板；4螺栓孔；5第一肩板；6第二肩板；7標籤固定槽；8第一固定件；9第二固定件；10第一固定扣；11第二固定扣；12第一卡扣；13第二卡扣；14第三卡扣；15第三固定扣。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步的描述。

依據現在半導體晶圓廠內廣泛使用的兩種光罩盒：一種是雅士利(Asyst)外形(包括家登公司)的基本款光罩盒；另一種是美商英特格(Entegris)的RSP系列光罩盒。本實用新型根據不同用途為光罩盒量身定做放置標籤紙的標籤盒，分別設計適用於以上兩種光罩盒的立式標籤盒和橫式標籤盒，這兩種標籤盒可以一次模具成型，然後修剪成適用不同盒子的標籤盒。

實施例一：

如圖1所示，本實用新型的一種光罩盒外掛標籤盒，包括相互連接的前面板1和後面板2，所述前面板1底部和後面板2底部採用軟連接方式連接(如鉸鏈連接)，所述前面板1頂部和後面板2頂部以合扣方式連接。所述前面板1頂部軟連接有固定板3，所述固定板3設置有螺栓孔4，所述前面板1左右兩側下端對稱固定設置有第一固定件8，所述第一固定件8自底部向上開設有凹槽。所述前面板1頂部對稱設置有第一肩板5，便於前面板1和後面板2進行打開，更換標籤。所述前面板1內側設置有標籤固定槽7，當前面板1和後面板2之間放置的標籤較小時，小標籤固定於標籤固定槽7內；當前面板1和後面板2之間放置的標籤較大時，大標籤壓緊於標籤固定槽7和後面板2之間。

使用時，將標籤放置於前面板1和後面板2之間，通過合扣鎖緊前面板1和後面板2，將固定板3通過螺栓與光罩盒的平衡板固定連接，將前面板1左右兩側的第一固定件8分別與光罩盒下部的卡槽固定連接，實現標籤盒的固定，便於區分光罩盒。

實施例二：

如圖2所示，本實用新型的一種光罩盒外掛標籤盒，包括相互連接的前面板1和後面板2，所述前面板1底部和後面板2底部採用軟連接方式連接(如鉸鏈連接)，所述前面板1頂部和後面板2頂部以合扣方式連接。所述後面板2頂部軟連接有第一固定扣10，所述後面板2左右兩側上端對稱設置有第一卡扣12，所述後面板2左右兩側下端對稱設置有第二固定件9，所述第二固定件9自底部向上開設有凹槽。所述前面板1頂部對稱設置有第一肩板5，便於前面板1和後面板2進行打開，更換標籤。所述前面板1內側設置有標籤固定槽7，當前面板1和後面板2之間放置的標籤較小時，小標籤固定於標籤固定槽7內；當前面板1和後面板2之間放置的標籤較大時，大標籤壓緊於標籤固定槽7和後面板2之間。

使用時，將標籤放置於前面板1和後面板2之間，通過合扣鎖緊前面板1和後面板2，將後面板2扣於標籤牌部位前端面，所述後面板2頂部的第一固定扣10與光罩盒上部的凹槽進行卡扣連接，所述後面板2左右兩側的第一卡扣12與標籤牌部位的兩側進行固定連接，所述後面板2左右兩側的第二固定件9分別與光罩盒下部的卡槽固定連接，實現標籤盒的固定，便於區分光罩盒。

上述實施例一和實施例二中的標籤盒整體採用高透光聚丙烯材料製作，可以滿足肉眼識別和條形碼掃描槍識別。上述實施例一和實施例二中的標籤盒用一套模具一次成型，如圖3所示，使用時把不需要的部件去掉即可。

將圖3中的第一固定扣10、第一卡扣12和第二固定件9全部修剪掉，其餘部件保留，便成為放置於光罩盒側面的立式標籤盒，如圖2所示，這款可用於Asyst和家登基本款的光罩盒。將圖1中的固定板3和第一固定件8全部修剪掉，其餘部件保留，便成為放置於光罩盒側面的立式標籤盒，如圖3所示，這款可用於Entegris RSP系列款的光罩盒。

實施例三：

如圖4所示，本實用新型的一種光罩盒外掛標籤盒，包括相互連接的前面板1和後面板2，所述前面板1底部和後面板2底部採用軟連接方式連接(如鉸鏈連接)，所述前面板1頂部和後面板2頂部以合扣方式連接。所述前面板1左右兩側對稱設置有第二卡扣13，所述前面板1頂部軟連接有第三固定扣15，所述後面板2頂部對稱設置有第二肩板6，便於前面板1和後面板2進行打開，更換標籤。

使用時，將標籤放置於前面板1和後面板2之間，通過合扣鎖緊前面板1和後面板2，將後面板2放置於標籤牌部位上端，通過前面板1左右兩側的第二卡扣13和頂部的第三卡扣15實現標籤盒的固定，便於區分光罩盒。

實施例四：

如圖5所示，本實用新型的一種光罩盒外掛標籤盒，包括相互連接的前面板1和後面板2，所述前面板1底部和後面板2底部採用軟連接方式連接(如鉸鏈連接)，所述前面板1頂部和後面板2頂部以合扣方式連接。所述後面板2頂部軟連接有第二固定扣11，所述後面板2左右兩側對稱設置有第三卡扣14，所述後面板2頂部對稱設置有第二肩板6，便於前面板1和後面板2進行打開，更換標籤。

使用時，將標籤放置於前面板1和後面板2之間，通過合扣鎖緊前面板1和後面板2，將後面板2套接與標籤牌部位的側面，所述後面板2頂部的第二固定扣10固定於標籤牌部位的內圓上，所述後面板2左右兩側的第三卡扣14與標籤牌部位的兩側進行固定連接，實現標籤盒的固定，便於區分光罩盒。

上述實施例三和實施例四中的標籤盒整體採用高透光聚丙烯材料製作，可以滿足肉眼識別和條形碼掃描槍識別。本實施例三和實施例四中的標籤盒用一套模具一次成型，如圖6所示，使用時把不需要的部件去掉即可。

將圖6中的第二固定扣11和第三卡扣14全部修剪掉，其餘部件保留，便成為放置於光罩盒上面的橫式標籤盒，如圖4所示，這款可用於Integris款的光罩盒。將圖6中的第二卡扣13和第三固定扣15全部修剪掉，其餘部件保留，便成為放置於光罩盒側面的立式標籤盒，如圖5所示，這款可用於Asyst和家登基本款的光罩盒。

儘管上面結合附圖對本實用新型的功能及工作過程進行了描述，但本實用新型並不局限於上述的具體功能和工作過程，上述的具體實施方式僅僅是示意性的，而不是限制性的，本領域的普通技術人員在本實用新型的啟示下，在不脫離本實用新型宗旨和權利要求所保護的範圍情況下，還可以做出很多形式，這些均屬於本實用新型的保護之內。