用於印刷的組合物和使用該組合物的印刷方法

2023-06-15 03:15:46

用於印刷的組合物和使用該組合物的印刷方法
【專利摘要】本發明提供了一種在使用基於矽的橡皮布的印刷方法中使用的用於印刷的組合物和使用該組合物的印刷方法，所述組合物包括：1）粘合劑樹脂，2）具有小於100℃的沸點的低沸點溶劑，3）具有100℃以上且小於180℃的沸點的中沸點溶劑，和4）具有180℃以上的沸點的高沸點溶劑，其中，所述低沸點溶劑和高沸點溶劑與粘合劑樹脂具有3(cal.cm)1/2以下的溶解度參數差以及與基於矽的橡皮布具有4(cal.cm)1/2以上的溶解度參數差，以及具有對於基於矽的橡皮布的2以下的溶脹參數。
【專利說明】用於印刷的組合物和使用該組合物的印刷方法
【技術領域】
[0001]本發明要求於2011年4月5日向韓國知識產權局提交的第10-2011-0031367號韓國專利申請的優先權和權益，並在此將其全部內容通過引用方式併入本申請。
[0002]本申請涉及用於印刷的組合物和使用該組合物的印刷方法。具體而言，本申請涉及用於能夠形成精細圖案的反向膠版印刷的組合物，以及使用該組合物的印刷方法。更具體而言，本申請涉及用於使用基於矽的橡皮布的反向膠版印刷的組合物，特別是涉及一種光致抗蝕劑組合物，還涉及使用該組合物的印刷方法。
【背景技術】
[0003]近來，隨著電子設備(如觸控螢幕、顯示器、半導體等)性能的多樣化和高度發展，需要使用具有各種功能的材料來形成圖案，而且對於進一步精細地形成圖案的線寬和線間距的需求正在增加。
[0004]例如，已在許多的情況下使用用於在各種電子設備中形成電極的導電圖案，用於形成濾色片或導電圖案的黑矩陣(black matrix)的光致抗蝕劑圖案等，而且，隨著電子設備的小型化和其性能的高度發展，需要更加精細地形成這些圖案。
[0005]根據用途，形成圖案的方法是多樣化的，且其代表性的例子包括光刻法、絲網印刷
法、噴墨法等。
[0006]光刻法是這樣的一種方法，其可以用光敏材料形成光敏層，並選擇性地使用於圖案化的光敏層曝光和顯影以形成圖案。
[0007]然而，光刻法導致工藝成本增加，這是由於不包含在最終產品中且經顯影並去除的光敏材料的成本、蝕刻劑的成本、以及光敏材料和蝕刻劑的處置成本導致的。此外,還有因所述材料的處置造成的環境汙染的問題。此外，該方法具有許多工藝而且複雜，因此需要許多時間和成本。
[0008]絲網印刷法是通過如下方式進行的:使用基於具有由幾百納米至幾十微米的範圍內尺寸的導電顆粒的墨水進行絲網印刷，然後進行燒結。
[0009]絲網印刷法和噴墨法在實現具有幾十微米尺寸的精細圖案方面有局限。

【發明內容】

[0010]【技術問題】
[0011]本發明致力於提供一種反向膠版印刷組合物，其可以通過使用基於矽的橡皮布的反向膠版印刷工藝而實現精細圖案，並改進塗層的均勻性和印刷工藝裕度。本發明還提供了使用該組合物的印刷方法。
[0012]【技術方案】
[0013]本發明的一個不例性實施方式提供了一種使用基於娃的橡皮布的反向膠版印刷組合物，包括:1)粘合劑樹脂，2)具有小於100°C的沸點的低沸點溶劑，3)具有100°C以上且小於180°C的沸點的中沸點溶劑，和4)具有180°C以上的沸點的高沸點溶劑，其中，所述低沸點溶劑和高沸點溶劑具有對於粘合劑樹脂的3 (cal.cm)1/2以下的溶解度參數差以及對於基於矽的橡皮布的4(cal.cm)1/2以上的溶解度參數差，以及對於基於矽的橡皮布的2以下的溶脹參數。
[0014]本發明的另一個示例性實施方式提供了一種使用反向膠版印刷組合物(其使用基於矽的橡皮布)的印刷方法。具體而言，所述印刷方法包括在基於矽的橡皮布上施加印刷組合物；使鉛板與在基於矽的橡皮布上施加的印刷組合物塗層接觸以除去部分的塗層；以及將保留在基於矽的橡皮布上的印刷組合物塗層轉移到印刷目標上。
[0015]【有益效果】
[0016]根據本發明的印刷組合物是這樣一種物質，其被優化以特別適用於使用基於矽的橡皮布的反向膠版印刷方法，而且即使在印刷數重複時，仍可能使橡皮布的溶脹現象最小化，提高印刷工藝性，並通過控制在印刷組合物中的溶劑精確地實現具有精細線寬和線間隔的圖案從而具有與在印刷工藝期間使用的粘合劑樹脂和基於矽的橡皮布相關的預定的物理性能。此外，有可能提高通過印刷得到的塗層的均勻性以及印刷工藝裕度。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1說明了反向膠版印刷方法的工藝模擬圖。
【具體實施方式】
[0018]以下將更加詳細地描述本發明。
[0019]根據本發明的印刷組合物是這樣一種物質，其應用於使用基於矽的橡皮布的反向膠版印刷，所述印刷組合物包括:1)粘合劑樹脂，2)具有小於100°C的沸點的低沸點溶劑，
3)具有100°C以上且小於180°C的沸點的中沸點溶劑，和4)具有180°C以上的沸點的高沸點溶劑，其中，所述低沸點溶劑和高沸點溶劑具有對於粘合劑樹脂的3 (cal.cm)1/2以下的溶解度參數差以及對於基於矽的橡皮布的4(cal.cm)1/2以上的溶解度參數差，以及對於基於矽的橡皮布的2以下的溶脹參數。
[0020]發明人已發現，通過考慮在用於印刷的組合物中包含的粘合劑樹脂和在印刷工藝中使用的橡皮布材料的特性以選擇用於印刷的組合物的溶劑，在使用由基於矽的材料形成的橡皮布的反向膠版印刷方法中使用的用於印刷的組合物能夠提高印刷工藝性，並實現精細圖案，並基於此在使用基於矽的橡皮布時得到溶劑的最優化物理值。
[0021]具體而言，在本發明的示例性實施方式中，在用於印刷的組合物中一起使用具有100°C以下的沸點的低沸點溶劑、具有100 V以上且小於180V的沸點的中沸點溶劑和具有180 V以上沸點的高沸點溶劑作為溶劑。此外，所述低沸點溶劑和高沸點溶劑具有與粘合劑樹脂的3 (cal.cm)1/2以下的溶解度參數差，與基於矽的橡皮布的4 (cal.cm)1/2以上的溶解度參數差，以及對於基於矽的橡皮布的2以下的溶脹參數。
[0022]在本發明的示例性實施方式中，一起使用低沸點溶劑、中沸點溶劑和高沸點溶劑，且低沸點溶劑使得用於印刷的組合物在該組合物塗布在橡皮布上以前能夠保持用於印刷的組合物的低粘度，以及對於橡皮布的 優異的可塗布性，並可通過揮發除去來增加用於印刷的組合物的粘度並在橡皮布上良好地形成並保持圖案。同時，高沸點溶劑是顯示出相對低的揮發性的溶劑，且在圖案被轉移到待印刷目標上以前其可以賦予用於印刷的組合物粘性。中沸點溶劑可以在即使低沸點溶劑被揮發掉時仍保留在印刷組合物中起作用。在本發明中，印刷組合物的粘度可以通過使用具有不同沸點三種以上類型的溶劑如上所述被更精確地控制。
[0023]在本發明的示例性實施方式中，所述低沸點溶劑具有優選100°C以下，更優選95°C以下且更優選90°C以下的沸點。通過包含具有在數值範圍內的沸點的低沸點溶劑，可以在橡皮布上塗布用於印刷的組合物，然後鉛板可以與在去除部分塗布膜以前塗布在橡皮布上的用於印刷的組合物的塗布膜接觸，以減少工藝等待時間並減少橡皮布的溶脹。
[0024]在本發明的示例性實施方式中，所述低沸點溶劑具有優選50°C以上的沸點。在低沸點溶劑的沸點太低時，可能發生在塗布用於印刷的組合物時，所述用於印刷的組合物在噴嘴中乾燥的問題。此外，為了在塗布用於印刷的組合物以後立即得到優異的流平性，所述低沸點溶劑優選具有50°C以上的沸點。
[0025]所述中沸點溶劑的沸點優選為100°C以上且小於180°C，且更優選為130至170°C。在上述範圍內的中沸點溶劑的沸點對於增加印刷工藝裕度是有用的。具體而言，由於中沸點溶劑在低沸點溶劑的揮發時間和高沸點溶劑的揮發時間之間揮發，可以通過減少印刷組合物的粘度的增加速率保持印刷組合物的粘性以提高印刷工藝裕度。作為參考，印刷等待時間是指在橡皮布上塗覆印刷組合物的時間至通過鉛板除去在橡皮布上的部分塗層的第一次轉移工藝(off process)之前的時間，且印刷工藝裕度是指通過從為了在整個區域有利地形成所需的圖案所需的最大印刷等待時間減去最小印刷等待時間所得到的值。此外，通過保持中沸點溶劑的粘度，即使低沸點溶劑被揮發掉，仍可改進印刷組合物的塗布的均勻性。
[0026]在中沸點溶劑的沸點與低沸點溶劑和高沸點溶劑中的每一個的沸點之間的差優選為5°C以上且更優選為10°C以上 。如果溶劑的沸點之間的差太低，對低沸點溶劑或高沸點溶劑的揮發時間相似，因此，難以完成根據中沸點溶劑的自身作用的效果。
[0027]此外，所述高沸點溶劑優選具有180°C以上的沸點。通過包含具有所述數值範圍內的沸點的高沸點溶劑，在圖案轉移到待印刷的目標上以前可以賦予用於印刷的組合物粘性，可以減少工藝等待時間，並可以減少橡皮布的溶脹。
[0028]根據本發明的示例性實施方式，所述高沸點溶劑的沸點可以是300°C以下，且優選250°C以下。如果所述高沸點溶劑具有250°C以下的沸點，可以防止在最終的印刷材料中表現出的溶劑殘留從而延長用於乾燥或固化時間的問題，且還可以提高印刷圖案的精度。
[0029]在本發明中，所述低沸點溶劑和高沸點溶劑具有與粘合劑樹脂的3(cal.cm)1/2以下的溶解度參數差，以及與基於矽的橡皮布的4 (cal.cm)1/2以上的溶解度參數差，以及對於基於矽的橡皮布的2以下的溶脹參數。
[0030]在此，所述溶解度參數是溶解度的量度，而且是指希爾德布蘭德(Hildebrand)溶解度參數。
[0031]所述低沸點溶劑和高沸點溶劑優選具有與粘合劑樹脂的3 (cal.cm)1/2以下且更優選2 (cal.cm)1/2以下的溶解度參數差。當高沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差在所述數值範圍內時，高沸點溶劑對粘合劑樹脂的溶解度高，且溶劑與粘合劑樹脂的相容性高。因此，可以賦予在橡皮布上塗布的塗布膜以粘性。
[0032]由於塗布膜的粘性性能，所述塗布膜不能輕易地從橡皮布分離，而且在通過鉛板分離和除去部分塗布膜時，可實現精確的圖案，而在塗布膜應被分離的區域和在塗布膜不應被分離的區域之間的邊界處沒有任何任何圖案拉毛。
[0033]此外，當粘合劑樹脂的溶解度參數差在所述範圍內時，可以防止粘合劑通過發生相分離可能在溶劑中不溶的問題，且由此可以提供均勻的用於印刷的組合物。出於此原因，在高沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差越小越好。
[0034]此外，所述低沸點溶劑和高沸點溶劑具有與基於矽的橡皮布的優選4(cal.cm)1/2以上且更優選4.5 (cal.cm)1/2以上的溶解度參數差。
[0035]在基於矽的橡皮布的溶解度參數差在上述數值範圍內時，高沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶解度低，且因此即使在印刷數重複時，仍可以最小化橡皮布的溶脹，並可控制橡皮布形狀的變形。因此，即使在印刷數重複時，仍可以恆定地保持印刷工藝時間，並精確地保持形成的圖案。此外，當所述差值在所述範圍內時，其優勢在於，在用鉛板粘取在基於矽的橡皮布上塗布的用於印刷的組合物的部分塗布膜的第一次轉移工藝(off process)中可順利地進行從橡皮布到鉛板的圖案轉移。出於此原因，在高沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差越大越好。
[0036]此外，低沸點溶劑和高沸點溶劑優選對於基於矽的橡皮布具有2以下的溶脹參數。在此，溶脹參數是通過測量矽橡皮布對於溶劑的溶脹度而得到的數值，且其通過使具有20微米線寬和300微米線間距的圖案的壓印網的基於矽的橡皮布浸泡在溶劑中12小時，然後測量線間距的變化而得到。溶脹參數可以由以下公式I表示。
[0037][公式I]
[0038]溶脹參數={(浸泡後的線間距-浸泡前的線間距)/(浸泡前的線間距)}X100
[0039]當對於基於矽的橡皮布的溶脹參數在上述數值範圍內時，基於矽的橡皮布對於高沸點溶劑的溶脹度低，且因此即使在印刷數重複時，仍可以最小化橡皮布的溶脹，並可控制橡皮布形狀的變形。因此，即使在印刷數重複時，仍可以恆定地保持印刷工藝時間，並優異地保持形成的圖案的精度。出於此原因，高沸點溶劑對於基於矽的橡皮布的溶脹參數越小越好。
[0040]在本發明的示例性實施方式中，關於低沸點溶劑和高沸點溶劑對於橡皮布的溶解度參數差的數值範圍，以及低沸點溶劑和高沸點溶劑對於橡皮布的溶脹參數的數值範圍，與橡皮布的材料具有緊密關係。因此，在橡皮布為基於矽的材料時，可適當地應用數值範圍。
[0041]在本發明的示例性實施方式中，可以通過選擇和使用如上述的與粘合劑樹脂和基於矽的橡皮布具有特定物理性能的溶劑而控制用於印刷的組合物的粘性性能和內聚能。由此，可以薄且均勻地形成所述印刷塗布層，且如上所述，可通過防止橡皮布的變形而精確地形成精細圖案，並提高印刷工藝性。
[0042]在本發明的一個示例性實施方式中，可通過上述配置形成具有小線寬的印刷圖案，從而具有均勻的線寬。在本發明中，印刷圖案的線寬的差可以達到，例如10%以下且更優選5%以下。通常地，為了形成具有精細尺寸的圖案，優選印刷圖案的線寬為小。然而，當印刷圖案的線寬為小時，其問題在於可能降低線寬的均勻性。然而，在本發明中，即使在印刷圖案具有500nm以下且優選300nm以下的線寬時，仍可達到上述的線寬均勻性。在此，印刷圖案的線寬是基於乾燥狀態。[0043]在本發明的一個示例性實施方式中，可通過上述配置形成印刷圖案，從而具有小的線寬變化率。在本發明中，印刷圖案的線寬變化率可以達到，例如20%以下，優選10%以下且更優選5%以下。當所述線寬變化率為20%以下時，圖案可評估為正常。所述線寬變化率越小，圖案的精度越高。所述線寬變化率越小，可正常實施圖案交叉部分且不會產生發環(hair ring)的可能性越高。所述的發環(hair ring)是指在第一次轉移工藝期間圖案垂下(hanging down)的現象。在此，印刷圖案的線寬是基於乾燥狀態。
[0044]線寬變化率(％)可以由以下公式2表示。在公式2中，印刷圖案的線寬和鉛板圖案的線寬是指彼此對應的部分的線寬。
[0045][公式2]
[0046]線寬變化率(%) = {(印刷圖案的線寬尺寸-鉛板圖案的線寬尺寸)/(鉛板圖案的線寬尺寸)} XlOO
[0047]優選中沸點溶劑具有與粘合劑樹脂的3 (cal.cm)1/2以下，以及與基於矽的橡皮布的4 (cal.cm)1/2以上的溶解度參數差，以及對於基於矽的橡皮布的2以下的溶脹參數。
[0048]在使用根據本發明的示例性實施方式的用於印刷的組合物時，可以形成具有30微米以下，優選20微米以下且更優選15微米以下的線寬或線間距的精細圖案，也可形成具有7微米以下且更優選5微米以下的線寬的精細圖案。基於乾燥狀態，所述圖案具有500nm以下且更優選300nm以下的線寬。
[0049]在本發明的示例性實施方式中，所述基於矽的橡皮布是指橡皮布的外側邊緣部分是由基於矽的材料形成的。所述基於矽的材料並無特別限制，只要該材料是包括可固化基團同時包括矽的材料，但硬度優選為20至70且更優選為30至60。所述硬度是指肖氏A型硬度(Shore A hardness)。通過使用在所述硬度範圍內的基於娃的材料,橡皮布的變形可以在合適的範圍內發生。在所述橡皮布材料的硬度太低時，部分橡皮布可能由於橡皮布的變形而在通過鉛板從橡皮布除去·部分用於印刷的組合物的塗布膜的第一次轉移工藝期間接觸鉛板的鐫刻部分，且由此可能劣化圖案精度。此外，考慮到選擇橡皮布材料的容易性，可選擇具有70以下硬度的材料。
[0050]例如，可以使用基於聚二甲基矽氧烷(PDMS )的可固化材料作為基於矽的橡皮布材料。可以在橡皮布材料中以不損害本發明的目的的範圍內進一步包括本領域中已知的添加劑。
[0051]在本發明的示例性實施方式中，可以依據最終用途的目的而選擇合適的材料作為粘合劑樹脂。根據本發明的用於印刷的組合物優選為用於形成光致抗蝕劑圖案的組合物。在此情況下，優選使用線型酚醛樹脂(Novolac resin)作為粘合劑樹脂。優選線型酚醛樹脂是因為該樹脂在形成光致抗蝕劑圖案方面，以及與滿足上述根據本發明的條件的溶劑具有優異的相容性方面是有利的。此外，線型酚醛樹脂對蝕刻劑具有優異的耐化學性，因此其有可能進行穩定的蝕刻工藝。該樹脂對剝離溶液(stripping solution)具有高溶解度,且因此其優點在於剝離後較少地產生異物以及減少剝離時間。所述線型酚醛樹脂具有優選2，000至8，000的重均分子量。在所述重均分子量小於2000時，可能不能確保對於蝕刻劑的充足的化學耐性，從而在蝕刻工藝期間在光致抗蝕劑塗布膜上引起裂紋或剝離。當所述重均分子量大於8000時，對剝離溶液的溶解度可能依據固化條件而降低。
[0052]所述線型酚醛樹脂可以通過基於酚的化合物和基於醛的化合物的縮合反應而製備。可以使用本領域已知的那些作為基於酚的化合物，例如，選自間甲酚、鄰甲酚、對甲酚，2，5- 二甲苯酚、3，4- 二甲苯酚、3，5- 二甲苯酚和2，3，5-三甲基苯酚中的至少一個。可以使用本領域已知的那些作為基於醛的化合物，例如，選自甲醛、多聚甲醛、乙醛、安息香醛(benzaldehyde)、苯甲醒(phenylaldehyde)和水楊醒中的至少一個。所述線型酹醒樹脂可進一步包括在不損害本發明的目的的範圍內的任何單體。
[0053]在本發明的示例性實施方式中，所述高沸點溶劑並無特別限制，只要該溶劑滿足上述要求，但其可以為基於芳香醇的溶劑。具體而言，可以使用選自間苯二酚、間甲酚、鄰甲酚、對甲酚、苯甲醇，苯酚，4-甲氧基苯甲醇，二甲亞碸，丙二醇苯基酯、乙二醇、乙二醇苯基酯和辛醇中的至少一種作為所述高沸點溶劑。這些溶劑可單獨使用或以兩種以上的其混合物來使用。
[0054]所述中沸點溶劑沒有特別限制，只要該溶劑滿足上述要求，且可以使用選自乳酸乙酯、PGMEA、甲基-3-甲氧基丙酸酯、甲基戊基酮、乙基-3-乙氧基丙酸酯和乙酸丁酯中的至少一種。這些溶劑可單獨使用或以兩種以上的其混合物來使用。然而，本發明的範圍並不限於此。
[0055]所述低沸點溶劑沒有特別的限制，只要所述溶劑滿足上述的要求，且可以使用醇、酮、乙酸酯等。具體而言，可以使用選自碳酸二甲酯、甲醇、甲基乙基酮、異丙醇、乙酸乙酯、乙醇、丙醇和烯丙醇中的至少一種。這些溶劑可單獨使用或以其兩種以上的組合來使用。然而，本發明的範圍並不僅限於這些例子。
[0056]優選根據本發明的印刷組合物包括5至30wt%的粘合劑樹脂、50至85wt%的低沸點溶劑、0.5至15wt%的中沸點溶劑和I至25wt%的高沸點溶劑。
[0057]根據本發明的示例性 實施方式的組合物可額外包括表面活性劑。所述表面活性劑可以使用典型的流平劑，例如，基於矽的、基於氟的或基於聚醚的表面活性劑。
[0058]根據本發明的示例性實施方式的組合物可額外包括增粘劑。可以使用基於三聚氰胺的、基於苯乙烯的或丙烯酸系低聚物或聚合物作為增粘劑。所述低聚物或聚合物具有優選5000以下，更優選3000以下且更優選1000以下的重均分子量。
[0059]所述表面活性劑和增粘劑的含量可以依照添加的材料和用於印刷的組合物的組分而選擇。例如，基於用於印刷的組合物的總量，可以以2wt%以下、優選lwt%以下且更優選0.5wt%以下的量添加每種表面活性劑和增粘劑。
[0060]可以通過混合上述組分而製備根據本發明的示例性實施方式的組合物。根據需要，可以通過使用過濾器進行過濾以製備所述組合物。通過這樣的過濾可以除去異物或灰
/1、土。
[0061]此外，在本發明的示例性實施方式中，提供了一種使用上述用於印刷(其使用基於矽的橡皮布)的組合物的印刷方法。所述印刷方法包括印刷所述用於印刷的組合物。具體而言，所述印刷方法包括在基於矽的橡皮布上塗布所述用於反向膠版印刷的組合物；使鉛板與在基於矽的橡皮布上塗布的用於反向膠版印刷的組合物的塗布膜接觸以除去部分的塗布膜；以及將保留在基於矽的橡皮布上的用於反向膠版印刷的組合物的塗布膜轉移到待印刷的目標上。根據需要，可額外包括乾燥或固化被轉移到待印刷的目標上的用於印刷的組合物的步驟。
[0062]在圖1中示出了反向膠版印刷方法。所述反向膠版印刷方法包括i)在橡皮布上塗布用於印刷的組合物；ii)使作為鐫刻形狀形成了對應於將要形成的圖案的圖案的鉛板與橡皮布接觸以在所述橡皮布上形成用於印刷的組合物的圖案，其與上述圖案相對應；iii)將在橡皮布上的用於印刷的組合物的圖案轉移到待印刷的目標上。此時，所述橡皮布的外側邊緣部分是由基於矽的材料形成的。
[0063]在圖1中，附圖標記10是在橡皮布上塗布了金屬圖案材料的塗布機，附圖標記20是用於負載橡皮布的輥筒型支撐體，附圖標記21是橡皮布，且附圖標記22是在橡皮布上塗布的印刷組合物圖案材料。附圖標記30是鉛板支撐體且附圖標記31是具有圖案的鉛板，其中，形成了作為鐫刻形狀的對應於將要形成的圖案的圖案。附圖標記40是待印刷的目標且附圖標記41是轉移到待印刷的目標的印刷組合物圖案。
[0064]根據本發明的示例性實施方式的用於印刷的組合物的整體表面轉印率可以是80%至100%。整體表面轉印率可以在基於印刷圖案乾燥的狀態，在用於印刷的組合物轉移到待印刷的目標的圖案中確認。整體表面轉印率(％)可以由以下公式3表示。 [0065][公式3]
[0066]整體表面轉印率(%) = {(轉移到待印刷的目標的用於印刷的組合物的面積mm2)/(IOOmmX 100mm)} XlOO
[0067]在根據本發明的示例性實施方式的用於印刷的組合物乾燥或固化時，工藝溫度可以在常溫至350°C的範圍內選擇，且所述乾燥或固化溫度依粘合劑樹脂在常溫至350°C，且優選從50°C至300°C的範圍內選擇。所述乾燥或固化時間可以依組合物的組分和組成以及工藝溫度選擇。
[0068]通過使用根據本發明的示例性實施方式的用於印刷的組合物和印刷方法而形成的圖案可具有，例如，幾微米至幾十微米、具體而言100微米以下、優選80微米以下且更優選30微米以下的線寬和線間距。特別地，根據本發明，可以實現通過之前應用的噴墨印刷法等方法不能實現的精細圖案，例如，具有20微米以下、優選15微米以下、更優選7微米以下且更優選5微米以下的線寬的圖案。可以形成0.5微米以上、優選I微米以上且更優選3微米以上的尺寸的線寬。
[0069]因此，在使用根據本發明的示例性實施方式的用於印刷的組合物和印刷方法時，可以在待印刷的目標上同時形成具有不同線寬的兩個以上圖案。特別地，在本發明中，可以在待印刷的目標上同時形成具有100微米以下的線寬的圖案和具有7微米以下的線寬的圖案。
[0070]可以使用通過本發明的用於印刷的組合物和印刷方法形成的圖案作為光致抗蝕劑圖案。可以使用所述光致抗蝕劑圖案作為用於形成導電圖案、金屬圖案、玻璃圖案、半導體圖案等的蝕刻抗蝕劑。例如，可以使用所述光致抗蝕劑圖案作為用於形成各種電子設備，包括顯示器，如TFT、觸控螢幕、IXD或TOP、發光器件和太陽能電池的電極或輔助電極。此外，還可以使用通過所述用於印刷的組合物和印刷方法形成的圖案作為在各種電子設備中需要的絕緣圖案。所述絕緣圖案可以是覆蓋金屬圖案的絕緣圖案。例如，可以使用絕緣圖案作為覆蓋了 OLED光基板的輔助電極的鈍化層。
[0071]將參考實施例、對比實施例和實驗實施例更詳細地描述本發明。但是，提供下面的實施例、對比實施例和實驗實施例僅用於說明本發明，本發明的範圍並不限於此。
[0072][0073]在75g的乙醇(其為低沸點溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點溶劑)和9g的苯甲醇(其為高沸點溶劑)中溶解IOg的通過以5:5的重量比混合間甲酚和對甲酚而製造的具有4500的聚苯乙烯換算(polystyrene-reduced)重均分子量的線型酹醒樹脂、0.5g的基於三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑，然後通過具有I μ m尺寸的過濾器過濾以製造印刷組合物。在此情況下，所述低沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是1.2、所述高沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是0.6、所述低沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是5.4、所述高沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是4.8、所述低沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是1.3、且所述高沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是0.1。通過肖氏A型硬度計測量的基於矽的橡皮布的硬度為47。通過以下實驗實施例1至5的方法測量製造的印刷組合物的整體表面轉印率、初始印刷等待時間、連續印刷數、印刷等待裕度和圖案精度。[0074]
[0075]在75g的1-丙醇(其為低沸點溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點溶劑)和9g的苯甲醇(其為高沸點溶劑)中溶解IOg的通過以5:5的重量比混合間甲酚和對甲酚而製造的具有4500的聚苯乙烯換算(polystyrene-reduced)重均分子量的線型酹醒樹脂、0.5g的基於三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑，然後通過具有I μ m尺寸的過濾器過濾以製造印刷組合物。在此情況下，所述低沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是0.4、所述高沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是0.6、所述低沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是4.6、所述高沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是4.8、所述低沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是2.0、且所述高沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是0.1。通過肖氏A型硬度計測量的基於矽的橡皮布的硬度為47。通過以下實驗實施例1至5的方法測量製造的印刷組合物的整體表面轉印率、初始印刷等待時間、連續印刷數、印刷等待裕度和圖案精度。
[0076]〈對比實施例1>
[0077]在75g的甲酸(其為低沸點溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點溶劑)和9g的苯甲醇(其為高沸點溶劑)中溶解IOg的通過以5:5的重量比混合間甲酚和對甲酚而製造的具有4500的聚苯乙烯換算重均分子量的線型酚醛樹脂、0.5g的基於三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑，然後通過具有Iym尺寸的過濾器過濾以製造印刷組合物。在此情況下，所述低沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是0.6、所述高沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是0.6、所述低沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是4.8、所述高沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是4.8、所述低沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是1.2、且所述高沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是0.1。通過肖氏A型硬度計測量的基於矽的橡皮布的硬度為47。通過以下實驗實施例1至5的方法測量製造的印刷組合物的整體表面轉印率、初始印刷等待時間、連續印刷數、印刷等待裕度和圖案精度。
[0078]
[0079]在75g的乙醇(其為低沸點溶劑)、5g的乙酸丁酯(其為中沸點溶劑)和9g的苯甲醇(其為高沸點溶劑)中溶解IOg的通過以5:5的重量比混合間甲酚和對甲酚而製造的具有4500的聚苯乙烯換算重均分子量的線型酚醛樹脂、0.5g的基於三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑，然後通過具有Iym尺寸的過濾器過濾以製造印刷組合物。在此情況下，所述低沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是1.2、所述高沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是0.6、所述低沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是5.4、所述高沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是4.8、所述低沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是1.3、且所述高沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是0.1。通過肖氏A型硬度計測量的基於矽的橡皮布的硬度為47。通過以下實驗實施例1至5的方法測量製造的印刷組合物的整體表面轉印率、初始印刷等待時間、連續印刷數、印刷等待裕度和圖案精度。
[0080]〈對比實施例2>
[0081]在75g的乙醇(其為低沸點溶劑)、5g的乙酸異丙酯(其為中沸點溶劑)和9g的苯甲醇(其為高沸點溶劑)中溶解IOg的通過以5:5的重量比混合間甲酚和對甲酚而製造的具有4500的聚苯乙烯換算重均分子量的線型酚醛樹脂、0.5g的基於三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑，然後通過具有Iym尺寸的過濾器過濾以製造印刷組合物。在此情況下，所述低沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是1.2、所述高沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是0.6、所述低沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是5.4、所述高沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是4.8、所述低沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是1.3、且所述高沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是0.1。通過肖氏A型硬度計測量的基於矽的橡皮布的硬度為47。通過以下實驗實施例1至5的方法測量製造的印刷組合物的整體表面轉印率、初始印刷等待時間、連續印刷數、印刷等待裕度和圖案精度。
[0082]〈對比實施例3> [0083]在75g的乙醇(其為低沸點溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點溶劑)和9g的N，N- 二甲基甲醯胺(其為高沸點溶劑)中溶解IOg的通過以5:5的重量比混合間甲酚和對甲酚而製造的具有4500的聚苯乙烯換算重均分子量的線型酚醛樹脂、0.5g的基於三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑，然後通過具有I μ m尺寸的過濾器過濾以製造印刷組合物。在此情況下，所述低沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是1.2、所述高沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是0.6、所述低沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是5.4、所述高沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是4.8、所述低沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是1.3、且所述高沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是0.1。通過肖氏A型硬度計測量的基於矽的橡皮布的硬度為47。通過以下實驗實施例1至5的方法測量製造的印刷組合物的整體表面轉印率、初始印刷等待時間、連續印刷數、印刷等待裕度和圖案精度。
[0084]
[0085]在75g的乙醇(其為低沸點溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點溶劑)和9g的4_甲氧基苯甲醇(其為高沸點溶劑)中溶解IOg的通過以5:5的重量比混合間甲酚和對甲酚而製造的具有4500聚苯乙烯換算的重均分子量的線型酚醛樹脂、0.5g的基於三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑，然後通過具有I μ m尺寸的過濾器過濾以製造印刷組合物。在此情況下，所述低沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是1.2、所述高沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是0.8、所述低沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是5.4、所述高沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是5、所述低沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是1.3、且所述高沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是0.1。通過肖氏A型硬度計測量的基於矽的橡皮布的硬度為47。通過以下實驗實施例1至5的方法測量製造的印刷組合物的整體表面轉印率、初始印刷等待時間、連續印刷數、印刷等待裕度和圖案精度。
[0086]
[0087]在75g的甲醇(其為低沸點溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點溶劑)和9g的苯甲醇(其為高沸點溶劑)中溶解IOg的通過以5:5的重量比混合間甲酚和對甲酚而製造的具有4500的聚苯乙烯換算重均分子量的線型酚醛樹脂、0.5g的基於三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑，然後通過具有Iym尺寸的過濾器過濾以製造印刷組合物。在此情況下，所述低沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是3、所述高沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是0.6、所述低沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是7.2、所述高沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是4.8、所述低沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是0.3、且所述高沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是0.1。通過肖氏A型硬度計測量的基於矽的橡皮布的硬度為47。通過以下實驗實施例1至5的方法測量製造的印刷組合物的整體表面轉印率、初始印刷等待時間、連續印刷數、印刷等待裕度和圖案精度。
[0088]
[0089]在75g的甲醇(其為低沸點溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點溶劑)和9g的二甲亞碸(其為高沸點溶劑)中溶解IOg的通過以5:5的重量比混合間甲酚和對甲酚而製造的具有4500的聚苯乙烯換算重均分子量的線型酚醛樹脂、0.5g的基於三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑，然後通過具有Iym尺寸的過濾器過濾以製造印刷組合物。在此情況下，所述低沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是1.2、所述高沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是3、 所述低沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是5.4、所述高沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是7.2、所述低沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是1.3、且所述高沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是0.2。通過肖氏A型硬度計測量的基於矽的橡皮布的硬度為47。通過以下實驗實施例1至5的方法測量製造的印刷組合物的整體表面轉印率、初始印刷等待時間、連續印刷數、印刷等待裕度和圖案精度。
[0090]〈對比實施例4>
[0091]在75g的乙醇(其為低沸點溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點溶劑)和9g的乙二醇(其為高沸點溶劑)中溶解IOg的通過以5:5的重量比混合間甲酚和對甲酚而製造的具有4500的聚苯乙烯換算重均分子量的線型酚醛樹脂、0.5g的基於三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑，然後通過具有Iym尺寸的過濾器過濾以製造印刷組合物。在此情況下，所述低沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是1.2、所述高沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是3.1、所述低沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是5.4、所述高沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是7.3、所述低沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是1.3、且所述高沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是O。通過肖氏A型硬度計測量的基於矽的橡皮布的硬度為47。通過以下實驗實施例1至5的方法測量製造的印刷組合物的整體表面轉印率、初始印刷等待時間、連續印刷數、印刷等待裕度和圖案精度。
[0092]
[0093]在75g的烯丙醇(其為低沸點溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點溶劑)和9g的苯甲醇(其為高沸點溶劑)中溶解IOg的通過以5:5的重量比混合間甲酚和對甲酚而製造的具有4500的聚苯乙烯換算重均分子量的線型酚醛樹脂、0.5g的基於三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑，然後通過具有Iym尺寸的過濾器過濾以製造印刷組合物。在此情況下，所述低沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是0.3、所述高沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是0.6、所述低沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是4.5、所述高沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是4.8、所述低沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是1.9、且所述高沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是0.1。通過肖氏A型硬度計測量的基於矽的橡皮布的硬度為47。通過以下實驗實施例1至5的方法測量製造的印刷組合物的整體表面轉印率、初始印刷等待時間、連續印刷數、印刷等待裕度和圖案精度。
[0094]〈對比實施例5>
[0095]在75g的碳酸二甲酯(其為低沸點溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點溶劑)和9g的苯甲醇(其為高沸點溶劑)中溶解IOg的通過以5:5的重量比混合間甲酚和對甲酚而製造的具有4500的聚苯乙烯換算重均分子量的線型酚醛樹脂、0.5g的基於三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑，然後通過具有I μ m尺寸的過濾器過濾以製造印刷組合物。在此情況下，所述低沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是1.6、所述高沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是0.6、所述低沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是
2.6、所述高沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是4.8、所述低沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是1.9、且所述高沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是0.1。通過肖氏A型硬度計測量的基於矽的橡皮布的硬度為47。通過以下實驗實施例1至5的方法測量製造的印刷組合物的整體表面轉印率、初始印刷等待時間、連續印刷數、印刷等待裕度和圖案精度。
[0096]〈對比實施例6>
[0097]在75g的乙醇(其為低沸點溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點溶劑)和9g的間甲酹(其為高沸點溶劑)中溶解IOg的通過以5:5的重量比混合間甲酚和對甲酚而製造的具有4500的聚苯乙烯換算重均分子量的線型酚醛樹脂、0.5g的基於三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑，然後通過具有Iym尺寸的過濾器過濾以製造印刷組合物。在此情況下，所述低沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是1.2、所述高沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是1.3、所述低沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是5.4、所述高沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是2.9、所述低沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是1.3、且所述高沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是O。通過肖氏A型硬度計測量的基於矽的橡皮布的硬度為47。通過以下實驗實施例1至5的方法測量製造的印刷組合物的整體表面轉印率、初始印刷等待時間、連續印刷數、印刷等待裕度和圖案精度。
[0098]〈對比實施例7>[0099]在75g的異丙醇(其為低沸點溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點溶劑)和9g的苯甲醇(其為高沸點溶劑)中溶解IOg的通過以5:5的重量比混合間甲酚和對甲酚而製造的具有4500的聚苯乙烯換算重均分子量的線型酚醛樹脂、0.5g的基於三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑，然後通過具有Iym尺寸的過濾器過濾以製造印刷組合物。在此情況下，所述低沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是O、所述高沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是0.6、所述低沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是4.2、所述高沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是4.8、所述低沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是2.8、且所述高沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是0.1。通過肖氏A型硬度計測量的基於矽的橡皮布的硬度為47。通過以下實驗實施例1至5的方法測量製造的印刷組合物的整體表面 轉印率、初始印刷等待時間、連續印刷數、印刷等待裕度和圖案精度。
[0100]〈對比實施例8>
[0101]在75g的乙醇(其為低沸點溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點溶劑)和9g的辛醇(其為高沸點溶劑)中溶解IOg的通過以5:5的重量比混合間甲酚和對甲酚而製造的具有4500的聚苯乙烯換算重均分子量的線型酚醛樹脂、0.5g的基於三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑，然後通過具有Iym尺寸的過濾器過濾以製造印刷組合物。在此情況下，所述低沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是1.2、所述高沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是1.2、所述低沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是5.4、所述高沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是3、所述低沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是1.3、且所述高沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是2.7。通過肖氏A型硬度計測量的基於矽的橡皮布的硬度為47。通過以下實驗實施例1至5的方法測量製造的印刷組合物的整體表面轉印率、初始印刷等待時間、連續印刷數、印刷等待裕度和圖案精度。
[0102]〈實施例8>
[0103]在75g的乙醇(其為低沸點溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點溶劑)和9g的乙二醇苯基酯(其為高沸點溶劑)中溶解IOg的通過以5:5的重量比混合間甲酚和對甲酚而製造的具有4500的聚苯乙烯換算重均分子量的線型酚醛樹脂、0.5g的基於三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑，然後通過具有I μ m尺寸的過濾器過濾以製造印刷組合物。在此情況下，所述低沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是1.2、所述高沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是0.6、所述低沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是5.4、所述高沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是4.8、所述低沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是1.3、且所述高沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是0.1。通過肖氏A型硬度計測量的基於矽的橡皮布的硬度為62。通過以下實驗實施例1至5的方法測量製造的印刷組合物的整體表面轉印率、初始印刷等待時間、連續印刷數、印刷等待裕度和圖案精度。
[0104]〈對比實施例9>
[0105]在75g的乙醇(其為低沸點溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點溶劑)和9g的乙二醇苯基酯(其為高沸點溶劑)中溶解IOg的通過以5:5的重量比混合間甲酚和對甲酚而製造的具有4500的聚苯乙烯換算重均分子量的線型酚醛樹脂、0.5g的基於三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑，然後通過具有I μ m尺寸的過濾器過濾以製造印刷組合物。在此情況下，所述低沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是1.2、所述高沸點溶劑和粘合劑樹脂之間的溶解度參數差是0.6、所述低沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是
5.4、所述高沸點溶劑和基於矽的橡皮布之間的溶解度參數差是4.8、所述低沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是1.3、且所述高沸點溶劑對基於矽的橡皮布的溶脹參數是0.1。通過肖氏A型硬度計測量的基於矽的橡皮布的硬度為18。通過以下實驗實施例1至5的方法測量製造的印刷組合物的整體表面轉印率、初始印刷等待時間、連續印刷數、印刷等待裕度和圖案精度。
[0106]整體表面轉印率
[0107]以50mm/s的速率在具有47的硬度的矽橡皮布上塗布實施例1至8和對比實施例I至9的組合物以形成乾燥前具有3 μ m厚度的塗布膜。塗布後，使膜靜置30秒，然後在50mm/s的轉移速率和20 μ m的接觸壓力(在施加印刷壓力時在一點的變形長度)的條件下在具有IOOmmXlOOmm的尺寸的玻璃基板上進行整體表面的轉移以測量轉移到作為待印刷的目標的玻璃基板上的用於印刷的組合物的面積。
[0108][公式3]
[0109]整體表面轉印率(%) = {(轉移到待印刷的目標的用於印刷的組合物的面積_2)/(IOOmmX 100mm)} XlOO
[0110]A:100% 轉移
[0111]B: 80% 轉移
[0112]C: 50% 轉移
[0113]D: 30% 轉移
[0114]E: 10% 轉移
[0115]F:未轉移
[0116]優選所述印刷組合物的整體表面轉印率為80至100%。由下表2的測量結果可以看出，在實施例中的整體表面轉印率為100%。
[0117]初始印刷等待時間
[0118]以50mm/s的速率在矽橡皮布上塗布實施例1至8和對比實施例1至9的組合物以形成乾燥前具有3μπι厚度 的塗布膜。在塗布後，使膜靜置30秒以上，然後在50mm/s的轉移速率和20 μ m的接觸壓力的條件下在具有IOOmmX IOOmm的尺寸且具有7 μ m的線寬和300 μ m的線間距的鐫刻網格圖案的鉛板上進行轉移以在橡皮布上形成對應於鉛板的圖案。在50mm/s的轉移速率和20 μ m的接觸壓力(在施加印刷壓力時在一點的變形長度)的條件下使在橡皮布上形成的用於印刷的組合物的圖案轉移到具有IOOmmXlOOmm的尺寸的玻璃基板上以形成最終圖案。通過變化工藝等待時間確認實現正常圖案時的時間。初始印刷等待時間可以由以下公式4表示。最小的初始印刷等待時間為30秒。
[0119][公式4]
[0120](初始印刷等待時間)=(去除初始時間點)-(塗布完成時間點)
[0121]作為參考，使用在玻璃基板上形成的與鉛板相比具有圖案的線寬變化率為20%以內的正常圖案。
[0122]優選所述初始印刷等待時間為30至45秒。從以下表2的測量結果可以看出，在對比實施例中不能進行測量，或者結果為45秒以上，而在實施例中，結果為30至45秒。
[0123]連續印刷性能
[0124]以50mm/s的速率在矽橡皮布上塗布實施例1至8和對比實施例1至9的組合物以形成乾燥前具有3 μ m厚度的塗布膜。在塗布後，應用形成了正常圖案的初始印刷等待時間，然後進行具有有7 μ m的線寬和300 μ m的線間距的鐫刻網格圖案的連續印刷以測量圖案線寬的變化，並測量與初始印刷圖案相比保持了 10%以內的線寬變化率的印刷數。
[0125]優選的連續印刷數為10以上。從以下表2的測量結果可以看出，在對比實施例中不能進行測量，或者結果小於10，而在實施例中，結果為10以上。[0126]印刷等待裕度的測量
[0127]以50mm/s的速率在矽橡皮布上施加實施例1至8和對比實施例1至9以形成乾燥前具有3 μ m厚度的塗層。在進行上述施加30以後等待30秒以上之後，在50mm/s的轉移速率和20 μ m的接觸壓力(在施加印刷壓力時在一點的長度變化)的條件下在具有IOOmmX IOOmm的尺寸且具有7 μ m的線寬和300 μ m的線間距的凹版網格圖案的鉛板上進行轉移以在橡皮布上形成對應於鉛板的圖案。在50mm/s的轉移速率和20 μ m的接觸壓力的條件下使在橡皮布上形成的印刷組合物圖案轉移到具有IOOmmXlOOmm的尺寸的玻璃基板上以形成最終圖案。在改變工藝等待時間的情況下確認實現正常圖案的最小等待時間和最大等待時間。
[0128][公式5]
[0129](印刷等待裕度)=(實現正常圖案的最大等待時間)_(實現正常圖案的最小等待時間)
[0130]優選的印刷等待裕度為25秒以上。從以下表2的測量結果可以看出，在對比實施例中不能進行測量，或者結果小於25秒，而在實施例中，結果為25秒以上。
[0131]圖案精度的測量
[0132]以50mm/s的速率在矽橡皮布上塗布實施例1至8和對比實施例1至9的組合物以形成乾燥前具有3μπι厚度的塗布膜。在塗布後，應用形成了正常圖案的印刷等待時間，然後在50mm/s的轉移速率和20 μ m的接觸壓力的條件下在具有IOOmmX IOOmm的尺寸，且具有7 μ m的線寬和300 μ m的線間距的鐫刻網格圖案的鉛板上進行轉移以在橡皮布上形成對應於鉛板的圖案。在50mm/s的轉移速率和20 μ m的接觸壓力的條件下使在橡皮布上形成的用於印刷的組合物的圖案轉移到具有IOOmmXlOOmm的尺寸的玻璃基板上以形成最終圖案。以顯微鏡觀察得到的圖案並根據以下標準評價。
[0133][公式2]
[0134]線寬變化率(%) = {(印刷圖案的線寬尺寸-鉛板圖案的線寬尺寸)/(鉛板圖案的線寬尺寸)} XlOO
[0135]發環:在第一次轉移工藝期間圖案垂下(hanging down)的現象
[0136]A:5%以內的線寬變化率，圖案交叉部分正常實現
[0137]B:10%以內的線寬變化率，圖案交叉部分發生線的斷開
[0138]C:20%以內的線寬變化率，圖案交叉部分正常實現
[0139]D:20%以內的線寬變化率，圖案交叉部分發生線的斷開
[0140]E:20%以上的線寬變化率，圖案交叉部分發生線的斷開[0141]F:20%以上的線寬變化率，圖案交叉部分發生線的斷開並發生發環
[0142]實施例1至8和對比實施例1至9的條件如下表1中所述,且對於實施例1至8和對比實施例1至9的實驗實施例1至5的結果如表2中所述。
[0143][表1]
[0144]
【權利要求】
1.一種使用基於娃的橡皮布的反向膠版印刷組合物,包括: .1)粘合劑樹脂， .2)具有小於100°C的沸點的低沸點溶劑， .3)具有100°C以上且小於180°C的沸點的中沸點溶劑，和 . 4)具有180°C以上的沸點的高沸點溶劑， 其中，所述低沸點溶劑和高沸點溶劑具有與粘合劑樹脂的3(cal.cm)1/2以下的溶解度參數差，以及與基於矽的橡皮布的4 (cal.cm)1/2以上的溶解度參數差，以及對於基於矽的橡皮布的2以下的溶脹參數。
2.根據權利要求1所述的反向膠版印刷組合物，其中，所述粘合劑樹脂是線型酚醛樹脂。
3.根據權利要求1所述的反向膠版印刷組合物，其中，所述線型酚醛樹脂的重均分子量是2000至8000。
4.根據權利要求1所述的反向膠版印刷組合物，其中，所述高沸點溶劑是基於芳族醇的溶劑。
5.根據權利要求4所述的反向膠版印刷組合物，其中，所述高沸點溶劑包括選自間苯二酚、間甲酚、鄰甲酚、對甲酚、苯甲醇、二甲亞碸、乙二醇、乙二醇苯基酯、丙二醇苯基酯、辛醇和苯酚中的一種以上。
6.根據權利要求1所述的反向膠版印刷組合物，其中，所述中沸點溶劑包括選自乳酸乙酯、PGMEA、甲基-3-甲氧基丙酸酯、甲基戊基酮和乙基-3-乙氧基丙酸酯中的一種以上。
7.根據權利要求1所述的反向膠版印刷組合物，其中，所述低沸點溶劑包括選自碳酸二甲酯、甲醇、甲基乙基酮、異丙醇、乙酸乙酯、乙醇、烯丙醇和丙醇中的一種以上。
8.根據權利要求1所述的反向膠版印刷組合物，其中，所述中沸點溶劑的沸點與各個低沸點溶劑和高沸點溶劑的沸點差為5°C以上。
9.根據權利要求1所述的反向膠版印刷組合物，其中，所述組合物包括5至30wt%的粘合劑樹脂、50至85wt%的低沸點溶劑、0.5至15wt%的中沸點溶劑和I至25wt%的高沸點溶劑。
10.根據權利要求1所述的反向膠版印刷組合物，進一步包括: 表面活性劑和增粘劑的一種以上。
11.根據權利要求1所述的反向膠版印刷組合物，其中，基於矽的橡皮布的硬度為20至70的肖氏A型硬度。
12.根據權利要求1至11中任一項所述的反向膠版印刷組合物，其中，所述反向膠版印刷組合物用於形成光致抗蝕劑圖案或絕緣圖案。
13.—種使用基於娃的橡皮布的反向膠版印刷組合物,包括: .1)5至30wt%的粘合劑樹脂， . 2)50至85wt%的具有小於100°C的沸點的低沸點溶劑， .3)0.5至15wt%的具有100°C以上且小於180°C的沸點的中沸點溶劑，和 .4)I至25wt%的具有180°C以上的沸點的高沸點溶劑， 其中，所述低沸點溶劑和高沸點溶劑具有與粘合劑樹脂的3(cal.cm)1/2以下的溶解度參數差，以及與基於矽的橡皮布的4 (cal.cm)1/2以上的溶解度參數差，以及對於基於矽的橡皮布的2以下的溶脹參數。
14.一種印刷方法，其使用根據權利要求1至11和13中任一項所述的反向膠版印刷組合物。
15.根據權利要求14所述的印刷方法，包括: 在基於矽的橡皮布上施加印刷組合物； 使鉛板與在基於矽的橡皮布上施加的印刷組合物塗層接觸以除去部分塗層；以及 將保留在基於矽的橡皮布上的印刷組合物塗層轉移到印刷目標上。
16.根據權利要求15所述的印刷方法，進一步包括: 乾燥或固化轉移到印刷目標上的印刷組合物。
17.根據權利要求15所述的印刷方法，其中，轉移到印刷目標上的印刷組合物的圖案包括具有100微米以下的線寬的圖案。
18.根據權利要求15所述的印刷方法，其中，轉移到印刷目標上的印刷組合物的圖案包括具有7微米以下的線寬的圖案。
19.根據權利要求15所述的印刷方法，其中，轉移到印刷目標上的印刷組合物塗層包括具有100微米以下的線寬的圖案和具有7微米以下的線寬的圖案。
20.根據權利要求15所述的印刷方法，其中，轉移到印刷目標上的印刷組合物的圖案具有由以下公式2表示的20%以下的線寬變化率:` [公式2] 線寬變化率(%) = {(印刷圖案的尺寸-鉛板圖案的尺寸)/(鉛板圖案的尺寸MX100。
21.根據權利要求15所述的印刷方法，其中，轉移到印刷目標上的印刷組合物的圖案具有80至100 (%)的整體表面轉印率。
【文檔編號】C09D11/103GK103582681SQ201280017331
【公開日】2014年2月12日 申請日期:2012年4月5日 優先權日:2011年4月5日
【發明者】孫鏞久, 黃智泳, 具範謨, 黃仁皙, 李承憲, 全相起, 成知玹, 金姝延 申請人:Lg化學株式會社