導電性接觸器單元及導電性接觸器的製作方法

2023-06-10 09:02:11 3

專利名稱：導電性接觸器單元及導電性接觸器的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種導電性接觸器單元及導電性接觸器，其在對液晶面 板或半導體集成電路等的電子零件進行導通狀態檢查或動作特性檢査時 與該電子零件的電極或端子接觸來進行電信號的發送接收。
背景技術：
以往，在有關半導體集成電路等檢査對象的電氣特性檢查的技術領 域，公知有按照對應半導體集成電路的連接端子的方式配設多個導電性 接觸器並且使導電性接觸器物理性地接觸連接端子從而具有確保電導通 功能的導電性接觸器單元相關的技術。該導電性接觸器單元的構造是至 少具備多個導電性接觸器、及保持導電性接觸器的導電性接觸器保持件。 此種導電性接觸器單元中，為了能夠對應與作為檢査對象的半導體集成 電路等的微細化傾向相伴的連接端子排列間隔的狹小化，提出了使多個 導電性接觸器的排列間隔狹小化的各種技術方案。
例如，就實現排列間隔狹小化的導電性接觸器而言，提出了一種將 與檢查對象等接觸的接觸部及對該接觸部施以彈壓的彈性部由板狀導電 性材料形成為一體的構造的方案。該技術中，通過將板狀導電性接觸器 沿板厚方向排列而在狹小區域配置多個導電性接觸器，在理論上是可能 的，因此可實現與檢查對象所具備的連接端子的排列間隔狹小化對應的 導電性接觸器(參照例如專利文獻l)。日本特開2001—3"397號公報

發明內容
上述具備板狀導電性接觸器的現有的導電性接觸器單元，具有在導 電性接觸器保持件形成導引孔且將導電性接觸器收納在該導引孔的構造。此時，由與導電性接觸器的個數對應的導引孔的排列間隔來規定導 電性接觸器的排列間隔，但是，就導引孔而言，按照作為形成對象的導 電性接觸器保持件的物理性強度等的條件，其形成間隔的最小值被限制。 因此，儘管導電性接觸器本身具有適於排列間隔狹小化的構成，但由於 未針對導電性接觸器保持件的構造施以充分的對策，因此就導電性接觸 器單元整體來看，有難於使導電性接觸器的排列間隔狹小化的情形。
而且，在利用現有的導電性接觸器單元進行檢查時，希望進行操作 的操作者可目視導電性接觸器前端和檢査對象的接觸，但是現有的導電 性接觸器單元的情形，從上方觀看之際，下方側的導電性接觸器前瑞比 導電性接觸器保持件側面更位於內側的位置，因此在觀察導電性接觸器 前端部附近的與檢查對象的接觸狀況時，操作者本身必須以彎曲姿勢等 窺視接觸部位附近，隨著觀察次數的增加，對操作者的負擔也變大。
再有，現有的導電性接觸器單元中，導電性接觸器前端是沿與彈性
體伸縮方向大致平行的方向產生行程(stroke),因此存在無法充分去除形
成在檢査對象表面的氧化膜或附著在該表面的汙物等就無法獲得穩定的 電接觸的情形。此時，也有對導電性接觸器施加過度的負載之虞。
本發明是監於上述課題而作成的，其目的在於提供一種不僅可對應 排列間隔的狹小化，並且與檢査對象的接觸狀況從上方也易於目視，在 不施加過度的負載的狀態下也可獲得穩定的電接觸的導電性接觸單元及 導電性接觸器。
為了解決上述課題以達成目的，本發明的導電性接觸器單元收納與 電路構造之間分別進行電信號的輸出入的多個導電性接觸器，使得不同
的電路構造間電連接，其特徵在於，具備導電性接觸器保持件，具有
多個第1導引溝及多個第2導引溝，該第1導引溝將上述導電性接觸器 的長度方向的一方緣端部以滑動自如的方式嵌合保持，該第2導引溝與
第1導引溝相對向配置且將嵌入上述第1導引溝的上述導電性接觸器的
另一方緣端部以滑動自如的方式嵌合保持；呈板狀的多個上述導電性接
觸器，其分別具有第1接觸部，與上述不同的電路構造的任一個物理性接觸、第2接觸部，與上述第1接觸部所接觸不同的電路構造物理性 接觸、彈性部，介於上述第1接觸部與上述第2接觸部之間且沿其長度 方向伸縮自如、第1連接部，連接上述彈性部與上述第1接觸部、和第2 連接部，連接上述彈性部與上述第2接觸部，且形成有沿厚度方向貫通的開口部，在收納於上述導電性接觸器保持件時從上述第2導引溝的端 部向上述導電性接觸器保持件的外部突出；和棒狀構件，貫通在多個上 述導電性接觸器分別具有的上述第2連接部所形成的上述開口部，且固 接於上述導電性接觸器保持件。再有，本發明的導電性接觸器單元，其特徵在於，在上述發明中， 上述導電性接觸器具有的上述第2接觸部的至少的一部分，與上述導電 性接觸器保持件外側面即在內側形成有上述第1導引溝部分的外側面相 比，沿該外側面的法線方向突出。再有，本發明的導電性接觸器單元，其特徵在於，在上述發明中， 當上述第2接觸部和上述不同的電路構造的任一個物理性接觸時施加在 上述第2接觸部的負載的方向，與上述第1導引溝及上述第2導引溝分 別延伸的方向交叉。再有，本發明的導電性接觸器單元，其特效在於，在上述發明中， 上述棒狀構件在垂直於其長度方向的剖面積，比上述導電性接觸器所形 成的上述開口部的面積小。本發明的導電性接觸器，使不同的電路構造間電連接，且與各電路構造之間進行電信號的輸出入，其特徵在於具備第1接觸部，與上 述不同的電路構造的任一個物理性接觸；第2接觸部，與上述第1接觸 部所接觸不同的電路構造物理性接觸；彈性部，介於上述第1接觸部與 上述第2接觸部之間，且沿其長度方向伸縮自如；第1連接部，連接上 述彈性部與上述第1接觸部；及第2連接部，連接上述彈性部與上述第2 接觸部，且形成有在厚度方向貫通的開口部；上述第2接觸部比上述第2 接觸部的寬度方向的緣端部更沿該寬度方向突出。[發明的效果]根據本發明的導電性接觸器單元，其具備導電性接觸器保持件，具有多個第1導引溝及多個第2導引溝，該第1導引溝將導電性接觸器 的長度方向的一方緣端部以滑動自如的方式嵌合保持，該第2導引溝與 第1導引溝相對向配置且將嵌入上述第1導引溝的上述導電性接觸器的另一方緣端部以滑動自如的方式嵌合保持；呈板狀的多個上述導電性接觸器，其分別具有第1接觸部，與上述不同的電路構造的任一個物理 性接觸、第2接觸部，與上述第1接觸部所接觸不同的電路構造物理性接觸、彈性部，介於上述第1接觸部與上述第2接觸部之間且沿其長度 方向伸縮自如、第1連接部，連接上述彈性部與上述第1接觸部、和第2 連接部，連接上述彈性部與上述第2接觸部，且形成有沿厚度方向貫通 的開口部，在收納於上述導電性接觸器保持件時從上述第2導引溝的端 部向上述導電性接觸器保持件的外部突出；和棒狀構件，貫通在多個上 述導電性接觸器分別具有的上述第2連接部所形成的上述開口部，且固 接於上述導電性接觸器保持件，由此，不僅可應對排列間隔的狹小化， 並且與檢查對象的接觸狀況從上方也可易於目視，在不施加過度的負載 的情形下也可獲得穩定的電接觸。而且，根據本發明的導電性接觸器，具備第1接觸部，與上述不 同的電路構造的任一個物理性接觸；第2接觸部，與上述第1接觸部所 接觸不同的電路構造物理性接觸；彈性部，介於上述第1接觸部與上述 第2接觸部之間，且沿其長度方向伸縮自如；第1連接部，連接上述彈 性部與上述第1接觸部；及第2連接部，連接上述彈性部與上述第2接 觸部，且形成有在厚度方向貫通的開口部；上述第2接觸部比上述第2 接觸部的寬度方向的緣端部更沿該寬度方向突出，由此，不僅可應對排 列間隔的狹小化，並且在由導電性接觸器保持件保持時與檢查對象的接 觸狀況從上方也可易於目視，在不施加過度的負載的情形下也可獲得穩 定的電接觸。


圖1是表示本發明實施方式1的導電性接觸器單元的構成的立體圖。 圖2是本發明實施方式1的導電性接觸器的構成的示意圖。 圖3是導電性接觸器保持件的上面部的局部放大立體圖。圖4是本發明實施方式1的導電性接觸器單元的內部構成的示意圖。 圖5是表示在導電性接觸器保持件的上方安裝有與檢査用電路連接的電路基板的狀態的局部放大圖。圖6-l是本發明實施方式l的導電性接觸器單元與檢查對象剛接觸後的狀態的示意圖。圖6-2是相對於本發明實施方式l的導電性接觸器單元使檢查對象上升到檢查時的位置之際的狀態的示意圖。圖7是本發明實施方式2的導電性接觸器的構成的示意圖。圖8是本發明的實施方式2的導電性接觸器單元的內部構成的示意圖。圖9是相對於本發明實施方式2的導電性接觸器單元使檢査對象上 升到檢查時的位置之際的狀態的示意圖。圖中1、 10導電性接觸器單元2、 5 導電性接觸器3、 6導電性接觸器保持件 3a、 6a上面部3b、 3c、 6c側面部 3d、 6d底面部4、 7棒狀構件21、 51第1接觸部22、 52第2接觸部23、 53彈性部24、 54第1連接部25、 55第2連接部26、 56開口部 31、 61保持部31a、 61a第1導引溝 31b、 61b第2導引溝 32 固接用孔部100 電路基板101 固定構件 200、 300檢査對象 Pl、 P3 初始接觸點 P2、 P4 最終接觸點 A, 偏離量5" 52、 h突出量具體實施方式
以下，參照附圖對用於實施本發明的優選方式(以下稱為"實施方式") 進行說明。此外，圖式是示意性的，應注意各部分厚度和寬度的關係、 各部分厚度比率等也有與實際者不同的情形，圖式相互間當然也包含彼 此的尺寸關係或比率不同的部分的情形。(實施方式1)圖1是表示本發明實施方式1的導電性接觸器單元的構成的立體圖。 圖1所示的導電性接觸器單元1是進行作為檢查對象的液晶面板等電路 構造的導通狀態檢査或動作特性檢査的單元，其具備多個導電性接觸器 2、用於收納保持多個導電性接觸器2的導電性接觸器保持件3、和與導 電性接觸器保持件3固接以支承多個導電性接觸器2的棒狀構件4。首先，說明導電性接觸器2。圖2是本實施方式1的導電性接觸器2 的構成的示意圖。以下說明中，分別將圖2中的垂直方向稱為"導電性接 觸器2的長度方向"、將圖2中的水平方向稱為"導電性接觸器2的寬度方 向"、將與該等長度方向和寬度方向正交的方向稱為"導電性接觸器2的板厚(厚度)方向"。圖2所示的導電性接觸器2用於確保不同的電路構造間的電連接， 其具備第1接觸部21，與預定的電路構造(具體而言是包含檢査用電 路的電路構造)物理性接觸；第2接觸部22，與不同於第1接觸部21所 接觸的電路構造(具體而言是液晶面板等檢查對象)物理性接觸；彈性 部23，介於第1接觸部21及第2接觸部22之間，且在長度方向自由伸縮；第1連接部24，具有與彈性部23相同的寬度及厚度，且連接第l接 觸部21及彈性部23;和第2連接部25，具有與彈性部23相同的寬度及 厚度，且連接第2接觸部22及彈性部23，並形成有在板厚方向貫通的開 口部26。第2接觸部22比第2連接部25寬度方向的緣端部在該寬度方 向更突出。該導電性接觸器2通過利用導電性材料被形成為板狀。此外，在導電性接觸器2表面的局部或全部形成絕緣層也可。而且， 第1連接部24及第2連接部25也可具有與彈性部23不同的寬度及/或 厚度。接著，說明導電性接觸器保持件3。導電性接觸器保持件3如第1圖 所示那樣，具有保持部31，為大致長方體狀的外觀形狀，貫通上面部 3a和底面部(圖1中未圖示)，保持多個導電性接觸器；及固接用孔部32， 介由保持部31在彼此對向的側面部3b的預定位置分別形成，固接棒狀 構件4的端部。圖3是導電性接觸器保持件3的上面部3a的局部放大立 體圖。如圖3所示，在保持部31形成多對的第l導引溝31a和第2導引 溝31b，該第1導引溝31a是直線狀的，在裝設導電性接觸器2時，將該 導電性接觸器2的寬度方向的一方緣端部以自由滑動方式嵌合保持；該 第2導引溝31b是直線狀的，與該第1導引溝31a相對向配置，將嵌入該 第l導引溝31a的導電性接觸器2的寬度方向的另一方緣端部以自由滑動 方式嵌合保持。成對的第1導引溝31a及第2導引溝31b不僅具有將導電 性接觸器2在與長度方向垂直的面方向進行定位的功能，並且具有對導 電性接觸器2的伸縮動作進行導引的功能。而且，成對的第1導引溝31a 及第2導引溝31b中相鄰之對彼此的間隔完全相等且相互平行。第1導引溝31a及第2導引溝31b各自不僅具有相同的溝寬度(設定 為w)且具有相同的溝深度(設定為d)。其中的溝深度只要導電性接觸 器2在不脫離的狀態下可確實地保持即可，其意味著第1導引溝31a的溝 深度和第2導引溝31b的溝深度當然也可以不同。圖4是包含導電性接觸器保持件3的保持部31內部構成的導電性接 觸器單元1的內部構成的示意圖。圖4所示的導電性接觸器保持件3與 圖3的A-A線剖面相當。如圖4所示，第1導引溝31a及第2導引溝31b 具有沿圖4的z軸方向(與溝寬度方向垂直的方向)相互平行地延伸的構造。第1導引溝31a沿圖4的z軸方向延伸的長度比第2導引溝沿相同z 軸方向延伸的長度更短，第2導引溝31b到達導電性接觸器保持件3的 底面部3d為止，但第1導引溝31a僅到達比底面部3d更靠近垂直上方的 位置。具有以上構成的導電性接觸器保持件3,將導電性接觸器2按照在圖 l及圖4所示的座標系統(xyz)中寬度方向與X軸方向平行、板厚方向 與y軸方向平行、長度方向與z軸方向平行的方式保持。因而，導電性接 觸器2具有比第1導引溝31a及第2導引溝31b的溝寬度(w)略小的板 厚。而且，導電性接觸器2的長度方向的長度被形成得開口部26可由 棒狀構件4貫通；且在第1接觸部21及第2接觸部22不施加負載的狀 態下(圖4所示的狀態)，第2接觸部22的前端比導電性接觸器保持件3 的側面部3c更朝x軸方向突出預定量(將突出量設定為5,);且其前端從 底面部3d朝z軸負的方向突出預定量(將突出量設定為h)。而且，第2 接觸部22形成在從平行於彈性部23或第1連接部24的長度方向的對稱 軸O偏離預定距離的位置(將偏離量設定為A》。突出量&及h、以及偏 離量A1是依據導電性接觸器2或導電性接觸器保持件3的大小、須施加 到檢查對象的負載等條件來適當決定的。就導電性接觸器保持件3而言，從防止其與導電性接觸器2電連接 而產生短路的觀點來看，優選由絕緣性材料形成。試舉一例，利用低熱 膨脹的合成樹脂來形成導電性接觸器保持件3，並通過切割等形成第1導 引溝31a及第2導引溝31b即可。另夕卜，也可由例如氧化鋁(A1203)、氧 化鉛(Zr03)、 二氧化矽(Si02)等陶瓷、矽、環氧等熱硬化性樹脂、聚 碳酸酯等工程塑膠等來形成導電性接觸器保持件3的母材，通過蝕刻等 加上技術形成第l導引溝31a及第2導引溝31b。而且，也可利用其他適 當材料(不論有無絕緣性)來形成母材，並對能與導電性接觸器2接觸 的部分(包含第1導引溝31a和第2導引溝31b的部分)塗布適當的絕緣 性塗料的構成，取代利用絕緣性材料來形成導電性接觸器保持件3。棒狀構件4在多個導電性接觸器2裝設於保持部31且貫通各導電性 接觸器2的開口部26之後，其兩端部插通分別形成於導電性接觸器保持 件3的相互對向的側面部3b的固接用孔部32，被固接於導電性接觸器保持件3。棒狀構件4通過一次貫通由保持部31所保持的多個導電性接觸器2的開口部26就不僅發揮防止導電性接觸器2從保持部31脫落的功 能，並且發揮對導電性接觸器2賦予初期撓曲的功能。棒狀構件4在垂直於其長度方向的剖面，為長方形的角倒角後的形 狀，其面積比導電性接觸器2所具有的開口部26的面積小。通過形成此 種剖面形狀，可使對導電性接觸器2形成固接用孔部32時的加工變得容 易。而且，通過形成上述剖面形狀，可使施加負載於導電性接觸器2時 的導電性接觸器2的動作順暢，也可確保施加預定負載於導電性接觸器2 時的棒狀構件4的支承穩定性。再有，使導電性接觸器2接觸檢査對象 時，開口部26會從棒狀構件4分離，可相對於棒狀構件4自由移動。結 果如後所述，導電性接觸器2可產生微小的旋轉。此外，棒狀構件4在垂直於其長度方向的剖面形狀不限於上述者， 也可為例如多角形或正方形等，也可為圓形。固接用孔部32的形狀當然 也可隨著棒狀構件4的剖面形狀而改變。具有以上構成的棒狀構件4也由絕緣性材料形成。就該棒狀構件4 而言，鑑於貫通多個導電性接觸器2的開口部26以支承這些所有的導電 性接觸器2，所以特別優選由剛性高且施加負載而撓曲也少的陶瓷等絕緣 性材料形成。圖5表示在導電性接觸器保持件3上方安裝有電路基板的狀態的局 部放大圖，其中該電路基板用於確立與產生輸出檢查用信號的信號處理 電路的電連接，為便於比較，利用1點劃線圖示圖4所示的導電性接觸 器2的位置。圖5所示的電路基板100，在聚醯亞胺等所構成的片狀基材 的一方表面，形成有鎳等所構成的多數配線及連接用的電極。圖5中圖 示了以下狀態，即按照電路基板100的電極與導電性接觸器2的第1接 觸部21接觸的方式進行定位，由與導電性接觸器保持件3同樣的材料所 構成的固定構件101及導電性接觸器保持件3，挾持電路基板100並使其 固定的狀態。將電路基板100固定在導電性接觸器單元1時，利用螺絲 等將導電性接觸器保持件3和固定構件101鎖緊即可(未圖示)。由此在 從圖4所示的狀態變到圖5所示的狀態的情況下，對各導電性接觸器2 施加起因於其本身所作用的重力以外的力量的負載(初始負載)，各彈性部23沿長度方向收縮。電路基板100的另一端如上所述與信號處理電路(未圖示)連接， 與第2接觸部22所接觸的檢査對象之間進行電信號的接受發送。此外， 圖5中，使導電性接觸器2接觸電路基板100，但取代之，也可設計成使 信號輸出電路的連接用端子直接接觸導電性接觸器2的構成。現有的導電性接觸器單元，利用平板狀蓋構件以對導電性接觸器賦 予初始負載，但利用該蓋構件時，必須使導電性接觸器前端的接觸部的 突起量增加該蓋構件的厚度，因此，存在著在施加負載時不穩定部分所 佔的比例變大使得前端附近容易彎曲的問題。本實施方式1的導電性接 觸器單元l不使用蓋構件，因此沒有產生上述問題之虞，可將第1接觸 部21形成得明顯比以往小。接著，關於導電性接觸器單元1和檢査對象的接觸形態進行說明。 圖6-1是檢査對象200剛接觸導電性接觸器的第2接觸部22後導電性接 觸器2下端部附近的狀態的示意圖。此外，圖6-2是使檢查對象200上升 到檢査時的位置之際導電性接觸器2下端部附近的狀態的示意圖。圖6-2 中，為便於比較，由1點劃線圖示剛接觸後的導電性接觸器2的位置。第2接觸部22的前端，如參照圖4所說明那樣，從彈性部23或第1 連接部24的長度方向的對稱軸(中心軸)O偏離A,。因此，作用在檢査 對象200所接觸的第2接觸部22前端部的負載的作用線並未通過導電性 接觸器2的重心，而使力矩產生於導電性接觸器2。結果，從圖6-l所示 的狀態變為圖6-2所示的狀態之間，彈性部23收縮且開口部26從棒狀構 件4離開，且通過上述力矩使導電性接觸器2微小地旋轉。就該旋轉而 言，由於彈性部23的寬度方向的緣端部和第1導引溝31a及第2導引溝 31b之間存在有微小隙間，所以可產生。由於上述旋轉，第2接觸部22在圖6-2中沿順時鐘方向旋轉微小角 度，且在持續與檢査對象200的接觸狀態的同時在檢査對象200表面上 移動。更具體而言，第2接觸部22的前端從初始接觸點P,到最終接觸點 P2為止， 一面在檢查對象200上滑行刮過， 一面沿x軸向移動x, (>0)。 如此，通過第2接觸部22前端在檢查對象200上移動，去除形成在檢査 對象200表面的氧化膜或附著在其表面的汙物，就可獲得與檢査對象200之間穩定的電接觸。此時，若適當地控制檢查對象200的移動速度(上升速度)，則第2接觸部22前端不會對檢査對象200表面造成大損傷， 對導電性接觸器2也不會施加過度的負載就可完成，因此更為優選。以上說明的導電性接觸器單元1，以局部嵌入沿著導電性接觸器2的 彈性部23的伸縮方向延伸的第1導引溝31a及第2導引溝31b的狀態， 保持導電性接觸器2。因此，可防止產生板狀導電性接觸器2特有的問題， 也即可防止彈性部23收縮時的壓曲及扭曲，而不會發生起因於上述壓曲 及扭曲的產生造成彈性部23的彈簧特性劣化。因而，即使對導電性接觸 器2在適當範圍內施加一定以上的負載，也不會產生壓曲或扭曲，可實 現大衝程，從而可在與檢査對象200之間獲得所希望的接觸狀態。而且，在導電性接觸器單元l中，由第1導引溝31a及第2導引溝 31b保持導電性接觸器2，因此，可減少導電性接觸器2和導電性接觸器 保持件3 (的保持部31)之間的接觸面積並減少滑動阻力，而可順利地 進行導電性接觸器2的伸縮動作。再有，在導電性接觸器單元l中，第1導引溝31a及第2導引溝31b 的溝寬度(w)為與導電性接觸器2的板厚相同程度的值即可，彼此鄰接 的第1導引溝31a之間及第2導引溝31b之間的各間隔，只要是可充分確 保鄰接的導電性接觸器2之間的絕緣性的值，就可為任意小的值。因而， 可使多個導電性接觸器2的排列間隔狹小化，可充分地應對接觸對象的 電路構造所具有的連接用電極或端子的排列間隔的狹小化。此外，在導電性接觸器單元1中，通過將棒狀構件4貫通導電性接 觸器2，對導電性接觸器2賦予初期撓曲，並防止導電性接觸器2的脫落。 結果，可使第2接觸部22的前端即導電性接觸器2的下端從導電性接觸 器保持件3的底面部3d沿鉛直下方突出的突出量h變小。換言之，在導 電性接觸器單元l中，可使第2接觸部22變小，因此可防止導電性接觸 器2前端的彎曲，且穩定地保持導電性接觸器2。結果，可抑制導電性接 觸器2在下端部附近從第l導引溝31a及/或第2導引溝31b脫落。結果， 可使導電性接觸器2的位置精確度提高，並可提高導電性接觸器單元1 的可靠性及耐久性。而且，在組裝導電性接觸器單元1時將導電性接觸器2收納於保持部31的步驟，通過把第1接觸部21之側先插入保持部31的內部且將寬
度方向的緣端部嵌入第1導引溝31a及第2導引溝31b而完成。因而，與 以往的導電性接觸器單元相比，其組裝容易，也可獲得製造成本降低的效果。
根據以上說明的本發明實施方式1的導電性接觸器單元，具備導 電性接觸器保持件，具有多個第1導引溝及多個第2導引溝，該第1導 引溝將上述導電性接觸器的長度方向的一方緣端部以滑動自如的方式嵌
合保持，該第2導引溝與第1導引溝相對向配置且將嵌入上述第1導引 溝的上述導電性接觸器的另一方緣端部以滑動自如的方式嵌合保持； 呈板狀的多個上述導電性接觸器，其分別具有第1接觸部，與上述不 同的電路構造的任一個物理性接觸、第2接觸部，與上述第1接觸部所 接觸不同的電路構造物理性接觸、彈性部，介於上述第1接觸部與上述 第2接觸部之間且沿其長度方向伸縮自如、第1連接部，連接上述彈性 部與上述第1接觸部、和第2連接部，連接上述彈性部與上述第2接觸 部，且形成有沿厚度方向貫通的開口部，在收納於上述導電性接觸器保 持件時從上述第2導引溝的端部向上述導電性接觸器保持件的外部突出； 和棒狀構件，貫通在多個上述導電性接觸器分別具有的上述第2連接部 所形成的上述開口部，且固接於上述導電性接觸器保持件。並且，上述 導電性接觸器所具有的上述第2接觸部的至少一部分，比上述導電性接 觸器保持件的側壁的外面即在該側壁的內側形成有上述第1導引溝的部 分的外側面，更沿該外側面的法線方向突出，由此，不僅可應對排列間 隔的狹小化，並且與檢查對象的接觸狀況從上方也可易於目視，不施加 過度的負載也可獲得穩定的電接觸。
而且，根據本實施方式1的導電性接觸器，具備與不同的電路構 造的任一個物理性接觸的第1接觸部；與上述第1接觸部所接觸不同的 電路構造物理性接觸的第2接觸部；介於上述第1接觸部和上述第2接 觸部之間且沿其長度方向自由伸縮的彈性部；連接上述彈性部和上述第1 接觸部的第1連接部；及連接上述彈性部和上述第2接觸部且形成有在 厚度方向貫通的開口部的第2連接部；上述第2接觸部比上述第2連接 部寬度方向的緣端部更沿該寬度方向突出，由此，不僅可應對排列間隔的狹小化，並且在由導電性接觸器保持件保持時與檢査對象的接觸狀況 從上方也易於目視，不施加過度的負載也可獲得穩定的電接觸。
如此，根據本實施方式l，在實際檢查時，導電性接觸器單元來自上 方的目視或顯微鏡的觀察易於進行， 一面確認導電性接觸器前端和檢査 對象的物理性接觸， 一面進行檢查作業，因此，操作者不須姿勢彎曲來 觀察導電性接觸器和檢査對象的接觸狀況。因而，可進一步提高檢查的 作業性、可靠性，並減輕操作者的負擔。
此處，列舉適於檢査對象200為液晶面板的場合的導電性接觸器單
元1的一實施例。此實施例中，導電性接觸器2設定為板厚20pm、寬 2.7mm、長15mm。導電性接觸器保持件3大約可收納400片具有上述尺 寸的導電性接觸器2，且第1導引溝31a及第2導引溝31b的溝寬度w設 定為30pm、溝深度d為15(Hmi。棒狀構件4的全長為大約28mm，與該 長度方向垂直的剖面形狀設定為0.8mmxl.5mm的大致長方形(有倒角)。 將第2接觸部21前端從側面部3c突出的突出量S,設為0. 4mm、將第2 接觸部21前端從彈性部23及第1連接部24的對稱軸偏離的偏離量A1 設為2.2mm、將第2接觸部22前端部從導電性接觸器保持件3的底面部 3d突出的突出量h設為0.4mm。
通過如上所述構成導電性接觸器單元1，可將導電性接觸器2的彈性 常數設定為大約0.01g/pm，且能在500pm的撓曲下產生5g的負載。該 值是與針型導電性接觸器同等的值，就形成薄板狀的導電性接觸器2而 言，實現了相當大的負載、大衝程。而且，利用具有上述尺寸的導電性 接觸器單元l，使導電性接觸器2接觸檢查對象200，並施加預定負載， 其結果，在檢查對象200表面產生大約70pm的刮痕。由此，可知不會過 度地損傷檢査對象200，可確實地去除形成在其表面的氧化膜或附著在其 表面的汙物。
(實施方式2)
圖7是本發明實施方式2的導電性接觸器的構成的示意圖。以下說 明中，分別將圖7中的鉛直方向稱為"導電性接觸器5的長度方向"、將圖 7中的水平方向稱為"導電性接觸器5的寬度方向"、將與該等長度方向和寬度方向正交的方向稱為"導電性接觸器5的板厚(厚度)方向"。
圖7所示的導電性接觸器5用於確保不同的電路構造間的電連接， 其具備第1接觸部51，與預定的電路構造(具體而言是包含檢查用電
路的電路構造)物理性接觸；第2接觸部52，與第1接觸部51所接觸不 同的電路構造物理性接觸(具體而言是液晶面板等檢査對象)；彈性部53， 介於第1接觸部51及第2接觸部52之間，且沿長度方向自由伸縮；第1 連接部54，具有和彈性部53相同的寬度及厚度，且連接第1接觸部51 及彈性部53;及第2連接部55，具有和彈性部23相同的寬度及厚度， 連接第2接觸部52及彈性部53，且具有在板厚方向貫通的開口部56。 該導電性接觸器5利用導電性材料形成為板狀，除了第2接觸部52及第 2連接部55之外的各部分的形狀，與上述實施方式1的導電性接觸器2 所對應的部位的形狀相同。
導電性接觸器5的第2接觸部52的前端是形成在從第1連接部54 經由彈性部53到達第2連接部55的寬度方向緣端部的終端位置(圖7 中最下端)。其意味著本實施方式2的導電性接觸器5中，第2接觸部52 並未比第2連接部55更朝寬度方向突出。
圖8是本實施方式2的導電性接觸器單元的構成的示意圖。圖8所 示的導電性接觸器單元10用於進行作為檢查對象的液晶面板等的電路構 造的導通狀態檢査或動作特性檢查，具備具有上述構成的多個導電性 接觸器5;導電性接觸器保持件6，用於收納保持多個導電性接觸器5; 及棒狀構件7，貫通多個導電性接觸器5所形成的開口部56，與長度方 向垂直的剖面積比開口部56小，且兩端固接在導電性接觸器保持件6。
導電性接觸器保持件6具備保持部61 ，其是從上面部6a沿預定方向 貫通導電性接觸器保持件6內部以保持多個導電性接觸器5。該保持部
6i的貫通方向相對於圖8的鉛直方向(z軸向)傾斜預定角e。換言之，
導電性接觸器保持件6所保持的導電性接觸器5的第1接觸部51及彈性 部53的對稱軸(中心軸)O'指向的方向，相對於圖8的z軸向傾斜角度
e。該傾斜角e的值至少有大約1度即可。
在保持部61形成有多對第1導引溝61a和第2導引溝61b，該第1 導引溝61a是直線狀的，在裝設導電性接觸器5時將該導電性接觸器5的寬度方向的一方緣端部以自由滑動方式嵌合保持；該第2導引溝61b 是直線狀的，與該第1導引溝61a相對向配置，將嵌入該第l導引溝61a 的導電性接觸器5的寬度方向的另一方緣端部以自由滑動方式嵌合保持， 且溝底面延伸的方向的長度比第1導引溝61a更長。成對的第1導引溝 61a及第2導引溝61b具有使導電性接觸器5在與該長度方向垂直的面方 向定位的功能，並具有導引導電性接觸器5伸縮動作的功能。而且，第l 導引溝61a及第2導引溝61b形成的對彼此中的鄰接的對彼此之間隔完全 相等，且相互平行。此外，導電性接觸器保持件6與上述實施方式1的 導電性接觸器保持件3同樣，具有插通棒狀構件而固接的固接用孔部， 但未圖示。
在具有以上構成的導電性接觸器單元10中，第2接觸部52和檢查 對象物理性接觸時施加在該第2接觸部52的負載的方向(圖8的z軸方 向)，與第1導引溝61a及第2導引溝61b各自延伸的方向交叉形成角度 9 (>0)，由此決定與檢査對象的位置關係。因此，第2接觸部52前端比 第1導引溝61a外側面即側面部6c更朝x軸方向突出(突出量為52)。因 而，從圖8斜左上方的位置可看見第2接觸部52的前端，可容易地觀察 導電性接觸器5的前端和檢査對象的接觸，因此操作者在檢査時不須以 彎曲姿勢來觀察接觸狀態。
圖9是使檢查對象300接觸導電性接觸器單元10的狀態的示意圖。 在圖9中，將圖8的下端部附近放大，為便於比較，以1點劃線圖示檢 查對象300剛接觸第2接觸部52前端後的狀態。其意味著圖9是對應於 圖6-2的圖式。
如圖9所示，在檢査對象300以接近底面部6d的方式沿著z軸方向 上升而接觸第2接觸部52的前端時，對第2接觸部52的前端施加具有 圖9中的z軸方向的朝向的負載(換言之，從第2接觸部52對檢查對象 300施加朝向圖9的z軸負方向的負載)。由於該負載的作用線並未通過 導電性接觸器5的重心，因此在導電性接觸器5會產生力矩。結果，通 過從檢查對象300施加負載使得彈性部53收縮且開口部56從棒狀構件7 離開，從而，通過上述力矩使導電性接觸器5微小地旋轉，在檢查對象 300的表面上沿x軸方向移動。由於上述旋轉，第2接觸部52在圖9中沿順時鐘方向旋轉微小角度， 從初始接觸點P3到最終接觸點P4為止， 一面在檢查對象300上刮過，一 面沿x軸向移動X2 (>0)。因而，可去除形成在檢查對象300表面的氧化 膜或附著在其表面的汙物，可獲得與檢査對象300之間穩定的電接觸。 本實施方式2中，若適當地控制檢查對象300的移動速度(上升速度)， 則第2接觸部52前端不會對檢查對象300表面造成大損傷，也不會對導 電性接觸器5施加過度的負載，因而更加優選。
此外，導電性接觸器5可利用與上述實施方式1的導電性接觸器同 樣的導電性材料來實現。而且，導電性接觸器保持件6及棒狀構件7可 利用與上述實施方式1的導電性接觸器保持件及棒狀構件分別相同的絕 緣性材料來實現。
根據以上說明的本發明的實施方式2的導電性接觸器單元，具備-導電性接觸器保持件，具有多個第1導引溝及多個第2導引溝，該第1 導引溝將所收納的導電性接觸器的長度方向的一方緣端部以滑動自如的 方式嵌合保持，該第2導引溝與第1導引溝相對向配置且將嵌入上述第1 導引溝的上述導電性接觸器的另一方緣端部以滑動自如的方式嵌合保 持；呈板狀的多個上述導電性接觸器，其分別具有第1接觸部，與上 述不同的電路構造的任一個物理性接觸、第2接觸部，與上述第1接觸 部所接觸不同的電路構造物理性接觸、彈性部，介於上述第1接觸部與 上述第2接觸部之間且沿其長度方向伸縮自如、第1連接部，連接上述 彈性部與上述第1接觸部、和第2連接部，連接上述彈性部與上述第2 接觸部，且形成有沿厚度方向貫通的開口部，在收納於上述導電性接觸 器保持件時從上述第2導引溝的端部向上述導電性接觸器保持件的外部 突出；和棒狀構件，貫通在多個上述導電性接觸器分別具有的上述第2 連接部所形成的上述開口部，且固接於上述導電性接觸器保持件。並且， 當上述第2接觸部與上述不同的電路構造的任一個物理性接觸時施加於 上述第2接觸部的負載的方向，與上述第1導引溝及上述第2導引溝分 別延伸的方向交叉，由此，不僅可應對排列間隔的狹小化，並且與檢查 對象的接觸狀況從上方也可易於目視，不施加過度的負載也可獲得穩定 的電接觸。
19而且，本實施方式2中，在實際檢査時，導電性接觸器單元來自上 方的目視或顯微鏡的觀察易於進行， 一面確認導電性接觸器前端和檢查 對象的物理性接觸， 一面進行檢査作業，因此，操作者不須姿勢彎曲來 觀察導電性接觸器和檢查對象的接觸狀況。因而，可進一步提高檢查的 作業性、可靠性，並減輕操作者的負擔。
(其他實施方式)
至此，作為用於實施本發明的優選方式已詳述了實施方式1及2，但 本發明並非限定於該等兩種實施方式。例如，也可利用實施方式2中的 導電性接觸器保持件收納保持上述實施方式1的導電性接觸器來構成導 電性接觸器單元。
而且，導電性接觸器的第2接觸部形狀應該根據該導電性接觸器的 材質、收納保持該導電性接觸器的導電性接觸器保持件的形狀、應施加 在該導電性接觸器保持件的負載、檢查對象的種類等各種條件來決定， 只要具備本發明的技術特徵而其形狀細部就可以適當變更。
再有，本發明的導電性接觸器單元除了檢查液晶面板以外，也可適 用於搭載有半導體晶片的封裝基板的檢查或晶片等級檢査所使用的高密 度探測單元的檢查。
如此，本發明可包含此處未記載的各種實施方式等，只要在不超出 專利權利要求範圍所特定的技術思想的範圍內，可施行各種設計變更等。
產業上的可利用性
如上所述，本發明的導電性接觸器單元及導電性接觸器，在進行液 晶面板或半導體集成電路等電子零件的導通狀態檢查或動作特性檢査之 際是有用的。
權利要求
1. 一種導電性接觸器單元，收納與電路構造之間分別進行電信號的 輸出輸入的多個導電性接觸器，使得不同的電路構造間電連接，該導電性接觸器單元具備導電性接觸器保持件，具有多個第1導引溝及多個第2導引溝，該 第1導引溝將上述導電性接觸器的長度方向的一方緣端部以滑動自如的 方式嵌合保持，該第2導引溝與上述第1導引溝相對向配置且將嵌入上 述第1導引溝的上述導電性接觸器的另一方緣端部以滑動自如的方式嵌合保持；呈板狀的多個上述導電性接觸器，其分別具有第1接觸部，與上 述不同的電路構造的任一個物理性接觸；第2接觸部，與上述第1接觸 部所接觸的電路構造不同的電路構造物理性接觸；彈性部，介於上述第l 接觸部與上述第2接觸部之間且沿其長度方向伸縮自如；第1連接部， 連接上述彈性部與上述第1接觸部；和第2連接部，連接上述彈性部與 上述第2接觸部，且形成有沿厚度方向貫通的開口部，在收納於上述導 電性接觸器保持件時從上述第2導引溝的端部向上述導電性接觸器保持 件的外部突出；和棒狀構件，貫通在多個上述導電性接觸器分別具有的上述第2連接 部所形成的上述開口部，且固接於上述導電性接觸器保持件。
2. 如權利要求l所述的導電性接觸器單元，其中，上述第2接觸部 的至少一部分，與上述導電性接觸器保持件的外側面即在內側形成有上 述第1導引溝的部分的外側面相比，沿該外側面的法線方向突出。
3. 如權利要求l所述的導電性接觸器單元，其中，當上述第2接觸 部與上述不同的電路構造的任一個物理性接觸時施加於上述第2接觸部 的負載的方向，與上述第1導引溝及上述第2導引溝分別延伸的方向交 叉。
4. 如權利要求1項至第3項中任一所述的導電性接觸器單元，其中， 上述棒狀構件在垂直於其長度方向的剖面積，比上述導電性接觸器所形 成的上述開口部的面積小。
5. —種導電性接觸器，使不同的電路構造間電連接，且與各電路構 造之間進行電信號的輸出輸入， 該導電性接觸器具備第1接觸部，與上述不同的電路構造的任一個物理性接觸； 第2接觸部，與上述第1接觸部所接觸的電路構造不同的電路構造 物理性接觸；彈性部，介於上述第1接觸部與上述第2接觸部之間，且沿其長度 方向伸縮自如；第1連接部，連接上述彈性部與上述第1接觸部；及第2連接部，連接上述彈性部與上述第2接觸部，且形成有在厚度 方向貫通的開口部；上述第2接觸部比上述第2接觸部的寬度方向的緣端部更沿該寬度 方向突出。
全文摘要
本發明提供一種導電性接觸器單元及導電性接觸器，該導電性接觸器單元具備導電性接觸器保持件，具有多個第1導引溝及多個第2導引溝，分別保持導電性接觸器的長度方向的緣端部；多個導電性接觸器，具有第1接觸部及第2接觸部、彈性部、和第2連接部，該第1接觸部及第2接觸部分別與彼此不同的電路構造物理性接觸，該彈性部介於上述第1接觸部和上述第2接觸部之間且沿長度方向自由伸縮，該第2連接部連接上述彈性部和上述第2接觸部且形成有沿厚度方向貫通的開口部、當收納於上述導電性接觸器保持件時自上述第2導引溝端部向外部突出；和棒狀構件，貫通在上述多個導電性接觸器分別具有的上述第2連接部所形成的上述開口部，且固接於上述導電性接觸器保持件。從而，可應對排列間隔的狹小化，與檢查對象的接觸狀況從上方也可易於目視，且在不施加過度的負載的情形下也獲得穩定的電性接觸。
文檔編號G01R1/067GK101313225SQ200680043760
公開日2008年11月26日 申請日期2006年11月21日 優先權日2005年11月22日
發明者力丸泰一, 富永潤, 石川浩嗣 申請人:日本發條株式會社