監測設備機臺狀況的方法
2023-05-30 00:23:56
監測設備機臺狀況的方法
【專利摘要】本發明提出了一種監測設備機臺運行狀態的方法，通過EAP伺服器收集設備運行狀態數據，並進入資料庫，經過伺服器對所述數據值的處理和分析，從而判斷控制基板是否存在異常，達到對控制基板進行實時監控的目的，及時偵測故障並通知技術人員進行相應處理，避免造成更大損害，能夠提高設備機臺的利用率並達到一定的經濟效益。
【專利說明】監測設備機臺狀況的方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及半導體製造領域，尤其涉及一種監測設備機臺狀況的方法。
【背景技術】
[0002]半導體行業所使用的設備機臺通常都屬於高精密設備，內嵌有許多控制基板，控制不同部件進行相應的動作和功能。例如尼康(Nikon)步進式光刻機、掃描式光刻機就屬於一種高精密設備，安裝了超過100塊的控制基板。
[0003]然而，控制基板自身的工作狀況卻並非能被現有的軟體系統完全偵測到。也就是說，控制基板自判斷存在問題時，會通知設備報警，生產停止，人工介入幹預；若控制基板發生無法自判斷的問題或基板軟體死機時，設備得不到基板異常的信號故不會報警，生產也並不會停止，所產半導體晶圓存在異常，不符合工藝要求等。
[0004]因此，控制基板的工作狀況如何直接決定了設備機臺狀況的好壞。那麼，如何對所述控制基板進行監測便成為本領域技術人員急需解決的技術問題。
【發明內容】
[0005]本發明的目的在於提供一種遠程判斷設備機臺狀況的方法，能夠監測設備機臺內部控制基板的工作狀況，達到監測設備機臺狀況的目的。
[0006]為了實現上述目的，本發明提出了一種監測設備機臺狀況的方法，包括步驟:
[0007]EAP伺服器間隔預定時間t向設備機臺內部的控制基板發送索取數據值的信號；
[0008]所述控制基板將所述數據值反饋至所`述EAP伺服器內；
[0009]所述EAP伺服器對所述數據值進行處理，並判斷所述控制基板是否存在異常。
[0010]進一步的，所述EAP伺服器對所述數據值進行處理的步驟包括:
[0011]記錄不同時間點的數據值Dp DfDn ；
[0012]數據處理後生成判斷差值dn=Dn_Dn_k在連續時間T之內是否均為0，若所述差值dn在連續時間T之內均為0，則說明控制基板反饋的數據已經不變化，可推斷出控制基板存在異常。
[0013]其中，所述數據值DpD^Dn分別為預定時間為lt、2t?"nt時，所述控制基板反饋至所述EAP伺服器內的不同數據值；所述差值dn=Dn-Dn_k，η為正整數，k為小於η的正整數。
[0014]進一步的，所述連續時間T大於等於5分鐘。
[0015]進一步的，所述預定時間t時間為3秒。
[0016]進一步的，所述EAP伺服器通過RS232協議向設備機臺內部的控制基板發送索取數據值的信號。
[0017]進一步的，所述EAP伺服器包括一資料庫，所述數據值均存儲在所述資料庫內。
[0018]與現有技術相比，本發明的有益效果主要體現在:通過EAP伺服器實時獲取設備狀態數據，經處理後實現判斷，達到對控制基板進行實時監控的目的，可實現極早期故障偵測，及時通知技術人員進行相應處理，避免造成製品異常，大大減少報廢接近達到O損失，提高製品質量、良率從而實現經濟效益。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0019]圖1為本發明監測設備機臺狀況的方法的流程圖；
[0020]圖2為本發明監測設備機臺狀況的示意圖。
【具體實施方式】
[0021]下面將結合示意圖對本發明的監測設備機臺狀況的方法進行更詳細的描述，其中表示了本發明的優選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本發明，而仍然實現本發明的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對於本領域技術人員的廣泛知道，而並不作為對本發明的限制。
[0022]為了清楚，不描述實際實施例的全部特徵。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結構，因為它們會使本發明由於不必要的細節而混亂。應當認為在任何實際實施例的開發中，必須做出大量實施細節以實現開發者的特定目標，例如按照有關系統或有關商業的限制，由一個實施例改變為另一個實施例。另外，應當認為這種開發工作可能是複雜和耗費時間的，但是對於本領域技術人員來說僅僅是常規工作。
[0023]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本發明。根據下面說明和權利要求書，本發明的優點和特徵將更清楚。需說明的是，附圖均採用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、 明晰地輔助說明本發明實施例的目的。
[0024]請參考圖1和圖2，在本實施例中，提出了一種監測設備機臺狀況的方法，包括步驟:
[0025]SlOO:EAP (設備自動化程序，Equipment Automation Program)伺服器間隔預定時間t向設備機臺內部的控制基板發送索取數據值的信號；
[0026]在步驟SlOO中，所述預定時間t時間為3秒，即，EAP伺服器每隔3s便向設備機臺內部的控制基板發送索取數據值的信號，以便從所述控制基板獲取數據值，其中，所述EAP伺服器是通過RS232協議向設備機臺內部的控制基板發送索取數據值的信號。
[0027]S200:所述控制基板將所述數據值反饋至所述EAP伺服器內；
[0028]在步驟S200中，所述EAP伺服器包括一資料庫，所述數據值均存儲在所述資料庫內。
[0029]S300:所述EAP伺服器對所述數據值進行處理，並判斷所述控制基板是否存在異
常
[0030]在步驟S300中，所述EAP伺服器對所述數據值進行處理的步驟包括:
[0031]記錄不同時間點的數據值D1'DfDn ；
[0032]數據處理後生成判斷差值dn=Dn_Dn_k在連續時間T之內是否均為0，若所述差值dn在連續時間T之內均為0，則說明控制基板反饋的數據已經不變化，可推斷出控制基板存在異常。
[0033]其中，所述數據值DpD^Dn分別為預定時間為lt、2t?"nt時，所述控制基板反饋至所述EAP伺服器內的不同數據值；所述差值dn=Dn-Dn_k，η為正整數，k為小於η的正整數。
[0034]在本實施例中，所述連續時間T大於等於5分鐘，具體的連線時間T可以根據工藝要求來決定。
[0035]由於設備機臺的均處於一種動態變動的狀態下，若監測一數據值在超過5分鐘時的差值Cln均為0，即一直未出現任何變化，則說明該控制基板存在異常，此時需要對設備機臺進行檢查。
[0036]綜上，在本發明實施例提供的監測設備機臺狀況的方法中，通過EAP伺服器對設備機臺內的控制基板間隔發送索取數據值的信號，控制基板根據信號反饋數據值至EAP伺服器，經過EAP伺服器對所述數據值的處理和分析，從而判斷控制基板是否存在異常，達到對控制基板進行實時監控的目的，及時偵測故障並通知技術人員進行相應處理，避免造成更大損害，能夠提高設備機臺的利用率並達到一定的經濟效益，採用本實施例提出的方法能夠實現遠程監測設備機臺的狀況
[0037]上述僅為本發明的優選實施例而已，並不對本發明起到任何限制作用。任何所屬【技術領域】的技術人員，在不脫離本發明的技術方案的範圍內，對本發明揭露的技術方案和技術內容做任何形式的等同替換或修改等變動，均屬未脫離本發明的技術方案的內容，仍屬於本發明的保護範圍之內。
【權利要求】
1.一種監測設備機臺狀況的方法，包括步驟: EAP伺服器間隔預定時間t向設備機臺內部的控制基板發送索取數據值的信號； 所述控制基板將所述數據值反饋至所述EAP伺服器內； 所述EAP伺服器對所述數據值進行處理，並判斷所述控制基板是否存在異常。
2.如權利要求1所述的監測設備機臺狀況的方法，其特徵在於，所述EAP伺服器對所述數據值進行處理的步驟包括: 記錄不同時間點的數據值D1、D2…Dn ； 數據處理後生成判斷差值dn=Dn-Dn-k在連續時間T之內是否均為O，若所述差值dn在連續時間T之內均為O，則說明控制基板反饋的數據已經不變化，可推斷出控制基板存在異常 其中，所述數據值D1、D2…Dn分別為預定時間為lt、2t…nt時，所述控制基板反饋至所述EAP伺服器內的不同數據值；所述差值dn=Dn-Dn-k，n為正整數，k為小於η的正整數。
3.如權利要求2所述的監測設備機臺狀況的方法，其特徵在於，所述連續時間T大於等於5分鐘。
4.如權利要求2所述的監測設備機臺狀況的方法，其特徵在於，所述預定時間t時間為3秒。
5.如權利要求1所述的監測設備機臺狀況的方法，其特徵在於，所述EAP伺服器通過RS232協議向設備機臺內部的控制基板發送索取數據值的信號。
【文檔編號】H01L21/67GK103871934SQ201410098498
【公開日】2014年6月18日 申請日期:2014年3月17日 優先權日:2014年3月17日
【發明者】葛斌 申請人:上海華虹宏力半導體製造有限公司