一種曝光設備及其擋板控制方法
2023-05-30 11:33:36
一種曝光設備及其擋板控制方法
【專利摘要】本發明公開一種曝光設備及其擋板控制方法，該曝光設備包括：設置有發射器和接收器擋板、和擋板驅動器，擋板和擋板驅動器用於與具有多組感應點的基板配合自動確定擋板的位置。該控制方法包括：擋板和擋板驅動器與具有多組感應點的基板配合自動確定擋板的位置；擋板設置有發射器和接收器，其中，發射器發射探測信號至基板上；接收器採集經基板上感應點反射的反射信號，並根據所述反射信號的光信號形成電信號；擋板驅動器根據所述電信號確定擋板的位置。根據本發明的技術方案，該曝光設備能夠自動確定擋板的位置，提高測試精度，降低測試工藝複雜度。
【專利說明】一種曝光設備及其擋板控制方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及液晶顯示器製備中的曝光技術，尤其涉及一種曝光設備及其擋板控制方法。
【背景技術】
[0002]在薄膜場效應電晶體(TFT-LCD,Thin Film Transistor-Liquid CrystalDisplay)的生產過程中，利用曝光機和各種類型的掩膜板，可在基板上形成各種不同的圖形，如信號線、柵極線、溝道、過孔等。擋板是曝光機中的一個核心部件。採用現有技術，目前的擋板位置，都需要利用人工先在顯微鏡下進行測量而確定，然後再在曝光機上進行手動修正。採用現有人工方式確定擋板位置並不精確且工藝相對複雜。
【發明內容】
[0003]有鑑於此，本發明的主要目的在於提供一種曝光設備及其擋板控制方法，能夠自動確定擋板位置。
[0004]為達到上述目的，本發明的技術方案是這樣實現的:
[0005]一種曝光設備，該曝光設備包括擋板和擋板驅動器，所述擋板和擋板驅動器用於與具有多組感應點的基板配合自動確定擋板的位置，所述多組感應點分別位於曝光區一側；其中，所述擋板設置有發射器和接收器，
[0006]所述發射器，用於發射探測信號至基板上；
[0007]所述接收器，用於採集經基板上感應點反射的反射信號，並根據所述反射信號的光信號形成電信號；
[0008]所述擋板驅動器，用於根據所述電信號確定擋板的位置。
[0009]其中，所述接收器包括光纖探針，用於採集經基板上感應點反射的反射信號。
[0010]其中，所述發射器和所述接收器位於所述擋板的異側，且所述發射器位於所述擋板面向所述基板一側，所述接收器位於所述擋板向所述掩膜板一側。
[0011]其中，所述擋板驅動器，進一步用於根據所述電信號的有或無，確定擋板的位置。
[0012]其中，所述擋板驅動器，進一步用於根據所述電信號的峰值大小變化，確定擋板的位置。
[0013]一種曝光設備的擋板控制方法，該方法包括:擋板和擋板驅動器與具有多組感應點的基板配合自動確定擋板的位置；擋板設置有發射器和接收器，其中，
[0014]發射器發射探測信號至基板上；
[0015]接收器採集經基板上感應點反射的反射信號，並根據所述反射信號的光信號形成電信號；
[0016]擋板驅動器根據所述電信號確定擋板的位置。
[0017]其中，所述擋板驅動器根據所述電信號確定擋板的位置具體包括:
[0018]根據所述電信號的有或無，確定擋板的位置。[0019]其中，所述擋板驅動器根據所述電信號確定擋板的位置具體包括:
[0020]根據所述電信號的峰值大小變化，確定擋板的位置。
[0021]本發明提供的曝光設備及其擋板控制方法，擋板和擋板驅動器用於與具有多組感應點的基板配合自動確定擋板的位置，多組感應點分別位於曝光區一側。其中，擋板設置有發射器和接收器，發射器發射探測信號至基板上；接收器用於採集經基板上感應點反射的反射信號，並根據反射信號的光信號形成電信號；擋板驅動器根據電信號確定擋板的位置。採用本發明，由於能控制擋板的移動或停止，從而自動確定擋板位置，與現有技術人工確定擋板位置的方式相比，不僅測試精確且大大降低了測試工藝的複雜度，節省人力消耗。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0022]圖1是本發明設置有發射器和接收器的擋板與基板、擋板驅動器及掩膜板的位置關係不例圖；
[0023]圖2是本發明中基板的薄膜經過第一次曝光處理後的圖形示意圖；
[0024]圖3至圖6是本發明中基板的薄膜經過若干次曝光處理後的圖形示意圖。
[0025]附圖標記說明:
[0026]101:發射器102:接收器
[0027]103:擋板驅動器 104:擋板
[0028]105:基板106:掩膜板 107:待曝光產品
【具體實施方式】
[0029]下面通過附圖及具體實施例對本發明再做進一步的詳細說明。
[0030]如圖1所示，該曝光設備包括:設置有發射器101和接收器102的擋板104，擋板驅動器103 ;其中，擋板104和擋板驅動器103配合使用，用於與具有多組感應點的基板105配合自動確定擋板的位置，所述多組感應點分別位於曝光區一側。
[0031]發射器101，用於發射探測信號至基板105的被曝光產品107上；
[0032]接收器102，用於採集經基板105上感應點反射的反射信號，並根據所述反射信號的光信號形成電信號；
[0033]擋板驅動器103，用於根據所述電信號確定擋板的位置。
[0034]這裡，接收器102包括光纖探針，用於採集經基板上感應點反射的反射信號。
[0035]這裡，發射器101和接收器102位於擋板104的異側，且發射器101位於擋板104面向基板105 —側,接收器102位於擋板104向掩膜板106 —側。
[0036]這裡，擋板驅動器103，進一步用於根據電信號的有或無，確定擋板的位置。
[0037]這裡，擋板驅動器103，進一步用於根據電信號的峰值大小變化，確定擋板的位置。
[0038]一種曝光設備的擋板控制方法，該方法包括:擋板和擋板驅動器與具有多組感應點的基板配合自動確定擋板的位置；擋板設置有發射器和接收器，其中，
[0039]發射器發射探測信號至基板上；
[0040]接收器採集經基板上感應點反射的反射信號，並根據所述反射信號的光信號形成電信號；
[0041]擋板驅動器根據所述電信號確定擋板的位置。[0042]這裡，擋板驅動器根據所述電信號確定擋板的位置具體包括:根據所述電信號的有或無，確定擋板的位置。
[0043]這裡，擋板驅動器根據所述電信號確定擋板的位置具體包括:根據所述電信號的峰值大小變化，確定擋板的位置。
[0044]以下，以探測信號為紫外光的情況具體闡述。
[0045]本發明中，發射器101中的汞燈發射紫外光，該紫外光入射到基板105的薄膜上時，紫外光經過基板105的反射後，反射光可以被接收器102中伸出的光纖探針所採集，光纖探針採集經基板105上感應點反射的反射光後，並根據反射光的光信號形成電信號，擋板驅動器103根據所述電信號確定擋板的位置。
[0046]如圖2所示，擋板104位於掩膜板106的四周(位於掩膜板106的上下左右四個位置)，也就是說，在曝光時，一個掩膜板對應4個擋板。
[0047]利用上述曝光設備和掩膜板及基板的配合，可以在基板的薄膜上形成圖形，並在形成圖形的同時，自動確定擋板的位置，具體的:
[0048]1、在基板的薄膜上製作被曝光產品上的第一層金屬圖形(被曝光產品的基本圖形)時，由於第一層金屬圖形全是金屬，沒有形成任何圖形，因此不能根據反射光確定曝光區域，只能人工在顯微鏡下進行測量和調節以確定曝光區域，經過第一次曝光處理後，基板的薄膜上形成如圖3所示的圖形。
[0049]2、在製作被曝光產品上的其它層圖形時，由於基板的薄膜上已經形成有圖3所示的圖形，因此曝光設備能夠根據反射光自動確定擋板的位置；具體的:
[0050]方案一:如圖2所不，四個擋板104會按箭頭方向由掩膜板106四周向掩膜板106移動，同時曝光設備中的發射器101向基板105發射紫外光；當擋板104向掩膜板106移動到第一個感應點時，根據收到的反射光的光信號得到電信號；擋板驅動器103根據該電信號可以確定此時出現第一個電流極大值，因此可以確定擋板104是位於第一個感應點的位置，擋板驅動器103向擋板104發送反饋信號，擋板104收到反饋信號後停止移動；利用曝光設備在基板105的薄膜上形成如圖4所示的圖形，圖4中黑色粗實線方框的四個邊分別代表四個擋板104，從而實現根據電信號自動確定擋板位置。
[0051]在製備下一個圖形時，移動基板105，如圖5所示，執行上一段描述的處理過程，如此反覆；這裡，陰影部分的感應點可以被重複曝光。
[0052]這種方式適用於形成與圖2中相同的圖形，圖形包括陰影部分和並列的感應點，如果在製備其它層的圖形時，想要得到不同於圖2中的圖形，例如僅想得到陰影部分的圖形，不想得到並列的感應點圖形，則需要採用方案二。
[0053]方案二:如圖2所示，擋板向掩膜板移動，同時曝光設備中的發射器101向基板105發射紫外光；擋板104向掩膜板106移動到第一個感應點時,根據收到的反射光的光信號得到電信號；處理器103根據該電信號可以確定當前位置對應第一個電流極大值，然後擋板104繼續向掩膜板106移動，移動到第一個感應點和第二個感應點中間某個位置時，根據收到的反射光的光信號得到電信號，擋板驅動器103根據該電信號可以確定當前位置對應第一個電流極小值；擋板104繼續向掩膜板106移動，直到移動到第三個感應點時，根據收到的反射光的光信號得到電信號，擋板驅動器103根據該電信號可以確定當前位置對應第三個電流極大值，然後向擋板104發送反饋信號，擋板104收到反饋信號後停止移動。如圖6所示，利用曝光設備和掩膜板在基板的薄膜上形成圖形，並實現自動確定擋板位置。在製備下一個圖形時，移動基板105，再執行上述過程，如此反覆；上述過程中，擋板104在第X個電流極大值時停止移動。
[0054]綜上所述，通過以上方案，在製備曝光所需要的圖形時，設置有發射器和接收器的擋板，和擋板驅動器與具有多組感應點的基板和掩膜板配合，能自動確定擋板的位置，是一種靈活的、自動的測試工藝，與現有技術相比，降低了工藝複雜度，且提高了測試精度。
[0055]以上所述，僅為本發明的較佳實施例而已，並非用於限定本發明的保護範圍，凡在本發明的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本發明的保護範圍之內。
【權利要求】
1.一種曝光設備，該曝光設備包括擋板和擋板驅動器，其特徵在於，所述擋板和擋板驅動器用於與具有多組感應點的基板配合自動確定擋板的位置，所述多組感應點分別位於曝光區一側；其中，所述擋板設置有發射器和接收器， 所述發射器，用於發射探測信號至基板上； 所述接收器，用於採集經基板上感應點反射的反射信號，並根據所述反射信號的光信號形成電信號； 所述擋板驅動器，用於根據所述電信號確定擋板的位置。
2.根據權利要求1所述的曝光設備，其特徵在於，所述接收器包括光纖探針，用於採集經基板上感應點反射的反射信號。
3.根據權利要求1所述的曝光設備，其特徵在於，所述發射器和所述接收器位於所述擋板的異側，且所述發射器位於所述擋板面向所述基板一側，所述接收器位於所述擋板向所述掩膜板一側。
4.根據權利要求1、2或3所述的曝光設備，其特徵在於，所述擋板驅動器，進一步用於根據所述電信號的有或無，確定擋板的位置。
5.根據權利要求1、2或3所述的曝光設備，其特徵在於，所述擋板驅動器，進一步用於根據所述電信號的峰值大小變化，確定擋板的位置。
6.—種曝光設備的擋板控制方法,其特徵在於,該方法包括:擋板和擋板驅動器與具有多組感應點的基板配合自動確定擋板的位置；擋板設置有發射器和接收器，其中， 發射器發射探測信號至基板上； 接收器採集經基板上感應點反射的反射信號，並根據所述反射信號的光信號形成電信號; 擋板驅動器根據所述電信號確定擋板的位置。
7.根據權利要求6所述的方法，其特徵在於，所述擋板驅動器根據所述電信號確定擋板的位置具體包括: 根據所述電信號的有或無，確定擋板的位置。
8.根據權利要求6所述的方法，其特徵在於，所述擋板驅動器根據所述電信號確定擋板的位置具體包括: 根據所述電信號的峰值大小變化，確定擋板的位置。
【文檔編號】G03F7/20GK103576468SQ201210285757
【公開日】2014年2月12日 申請日期:2012年8月10日 優先權日:2012年8月10日
【發明者】王德帥, 郭建 申請人:北京京東方光電科技有限公司