半導體流水線中的零度控制器的製作方法

2023-06-24 02:30:31

專利名稱：半導體流水線中的零度控制器的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種半導體生長流水線中所採用的裝置，尤其是一種半導體流水 線中的零度控制器。
背景技術：
半導體流水線中的零度控制器(ZERO CON)在工作時需要保證其腔內溫度始終恆 定在零度附近，一旦溫度偏離零度過大，將會大大影響其製品的性能和質量。現有的半導體 流水線中的零度控制器中的溫度控制是依靠一個熱脹冷縮的部件，當溫度過高，該熱脹冷 縮的部件會觸發零度控制器製冷裝置開關，從而啟動製冷，當溫度過低，該熱脹冷縮部件會 關閉上述製冷開關， 使得零度控制器停止製冷。但是，零度控制器中的這個熱脹冷縮的部件 有一定的壽命，一旦其發生了故障，就會導致零度控制器內溫度發生偏移，這樣會嚴重降低 製品的性能和質量，並且這種情況發生之後，必須等相應的製品生產出來後才會被發現，造 成大量的浪費，耽誤許多時間。

實用新型內容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種半導體流水線中的零度控制器，能夠 實時監控半導體流水線中的零度控制器的溫度，在溫度發生異常的時候及時報警，並且可 靠性高，成本低廉。為解決上述技術問題，本實用新型半導體流水線中的零度控制器的技術方案是， 包括對所述零度控制器腔內溫度進行採集的溫度傳感器，所述溫度傳感器信號連接到一個 o°c監測報警裝置，所述o°c監測報警裝置將所述溫度傳感器採集的溫度信息與一個預先設
定的範圍進行比較，如果所述溫度信息超出了該設定範圍，則所述o°c監測報警裝置發出報
m 目。本實用新型通過設置溫度傳感器以及相應的0°C監測報警裝置，能夠實時監控半 導體流水線中的零度控制器的溫度，在溫度發生異常的時候及時報警，並且可靠性高，成本 低廉。
以下結合附圖和實施例對本實用新型作進一步詳細的說明

圖1為本實用新型半導體流水線中的零度控制器實施例的結構示意圖；圖2為圖1所示實施例中主控板的電路圖；圖3為圖1所示實施例工作過程的示意圖。
具體實施方式
本實用新型公開了一種半導體流水線中的零度控制器，包括對所述零度控制器腔 內溫度進行採集的溫度傳感器，所述溫度傳感器信號連接到一個0°c監測報警裝置，所述o°c監測報警裝置將所述溫度傳感器採集的溫度信息與一個預先設定的範圍進行比較，如果所述溫度信息超出了該設定範圍，則所述0°c監測報警裝置發出報警。所述0°C監測報警裝置信號連接到半導體流水線中的機臺，當所述溫度信息超出 了該設定範圍，0°c監測報警裝置發信號給所述機臺，所述機臺發出報警。所述0°C監測報警裝置還信號連接到遠程監控計算機，當所述溫度信息超出了該
設定範圍，o°c監測報警裝置發信號給所述遠程監控計算機，所述遠程監控計算機發出報警。所述0°C監測報警裝置對溫度傳感器採集到的溫度信息進行顯示。本實用新型的實施例可參見圖1所示，零度控制器ZERO CON上設置有溫度傳感 器，所述溫度傳感器連接至o°c監測報警裝置，所述o°c監測報警裝置包括溫控器、主控板、 控制輸出部分以及聲光報警部分，所述0°c監測報警裝置中的控制輸出部分連接到零度控 制器的聯鎖(Interlock)上，通過零度控制器中原先已有的與機臺的通信接口向機臺及遠 程監控計算機發出報警信號。本實用新型中0°C監測報警裝置中主控板的電路圖如圖2所 示，其中No、com、Nc連接零度控制器的聯鎖，TC為溫度傳感器溫度信號，該信號經過主控 板電路直接連接到溫控器，所述溫控器對溫度進行比較，之後將比較結果以開關導通或者 斷開的方式返回給主控板，所述主控板中ALM-T連接比較結果，主控板的ALM Lamp連接報 警燈，Buzzer連接報警喇叭。該實施例的工作過程如圖3所示，當zero con當前檢測到的 溫度超出或是低於設定的溫度時，溫控器將比較結果以開關導通的方式返回給主控板，然 後報警指示燈工作，繼電器KAl線圈得電吸合，報警喇叭工作。工程師來檢修時，激活復位 Reset，使得KA2線圈得電吸合併自鎖，KAl失電，報警器停止工作，故障處理後恢復正常狀 態。綜上所述，本實用新型通過設置溫度傳感器以及相應的0°C監測報警裝置，便於工 程師的日常點檢，有利於提前發現問題，當機臺在發生故障後，能第一時間發出報警，對機 臺穩定運行、起到了保護預警作用，保證製品的質量不受影響，有利於提高生產效率，減少 損失，提高效益。
權利要求一種半導體流水線中的零度控制器，其特徵在於，包括對所述零度控制器腔內溫度進行採集的溫度傳感器，所述溫度傳感器信號連接到一個0℃監測報警裝置，所述0℃監測報警裝置信號連接到半導體流水線中的機臺。
2.根據權利要求1所述的半導體流水線中的零度控制器，其特徵在於，所述0°C監測報 警裝置還信號連接到遠程監控計算機。
3.根據權利要求1所述的半導體流水線中的零度控制器，其特徵在於，所述0°C監測報 警裝置對溫度傳感器採集到的溫度信息進行顯示。
專利摘要本實用新型公開了一種半導體流水線中的零度控制器，包括對所述零度控制器腔內溫度進行採集的溫度傳感器，所述溫度傳感器信號連接到一個0℃監測報警裝置，所述0℃監測報警裝置將所述溫度傳感器採集的溫度信息與一個預先設定的範圍進行比較，如果所述溫度信息超出了該設定範圍，則所述0℃監測報警裝置發出報警。本實用新型通過設置溫度傳感器以及相應的0℃監測報警裝置，能夠實時監控半導體流水線中的零度控制器的溫度，在溫度發生異常的時候及時報警，並且可靠性高，成本低廉。
文檔編號G01K1/02GK201575865SQ200920074248
公開日2010年9月8日 申請日期2009年7月8日 優先權日2009年7月8日
發明者倪立華, 楊立華, 許青峰 申請人:上海華虹Nec電子有限公司