液態源的汽化補液裝置的製作方法
2023-05-26 03:47:51 1
專利名稱：液態源的汽化補液裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種汽化補液裝置，尤其涉及一種液態源的汽化補液裝置。
背景技術：
液態源和特種氣體一樣，是電子行業的重要原料。液態源常溫下蒸汽壓很低，以液態存在。但必須轉化為氣態，才能參與工藝反應。如光纖預製棒的製造工藝需要用到 SiC14、GeC14、P0C13等液態源。用於芯層和包層的沉積工藝。矽基太陽能電池生產中用到的P0C13，需要經過氮氣攜帶進入擴散爐，生成PN結。薄膜太陽能電池成產用到的DEZn， 蒸發後參與反應，生成TCO玻璃。半導體晶片製造用到的TE0S，經過蒸發進入反應腔，生成 Si02絕緣層。晶片製造中用到的TCS，汽化後用於製造矽外延片。工藝中化學品輸送需要使用的輸送設備是整個工業系統的關鍵，而汽化裝置又是整個輸送設備的核心部分。對於光纖行業，汽化裝置將直接影響到預製棒的光學性能，決定了整個系統能否生產出合格預製棒。傳統汽化裝置一般分為兩種，一種不使用補液裝置，通常在用盡汽化容器中的液體時更換新的汽化容器，以保證正常需求。這種方法屬於間歇式的供應。在容器更換期間嚴重影響系統的正常運行，使工藝穩定性下降，同時大多數液態源具有強烈的毒性、腐蝕性， 更換容器中很容易使系統出現洩漏，為環境、人身保護造成隱患；另一種屬於連續式輸送， 即靠近容器底部、在汽化容器側面開孔，插入補液管。這種方式雖然可以實現連續供應，但補入液體對容器內蒸汽壓和溫度分布影響較大，同樣影響工藝的穩定性。由上可知，傳統汽化裝置的補液方式無法保證系統的穩定性和安全性，因此，有必要對現有的液態源的汽化補液裝置進行改進。
實用新型內容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種液態源的汽化補液裝置，實現連續補液，此種補液方式可有效避免對容器內蒸汽壓和溫度造成過大影響，保證系統的穩定性和安全性。本實用新型為解決上述技術問題而採用的技術方案是提供一種液態源的汽化補液裝置，包括盛放液態源的補液容器，所述補液容器中設有內部加熱棒，所述內部加熱棒的加熱區靠近補液容器的底部，其中，所述補液容器內設有液位計，所述補液容器的底部開孔設有補液管路，所述補液管路和控制閥門相連。上述的液態源的汽化補液裝置，其中，所述液位計為浮球液位計。上述的液態源的汽化補液裝置，其中，所述液態源為液化氣體SiC14、GeC14、 P0C13、DEZn、TEOS 或 TCS。上述的液態源的汽化補液裝置，其中，所述補液管路所用部件為經過電解拋光的 SS316L不鏽鋼材料。本實用新型對比現有技術有如下的有益效果本實用新型提供的液態源的汽化補液裝置，通過在補液容器的底部設置補液管路，實現連續補液，此種補液方式可有效避免對容器內蒸汽壓和溫度造成過大影響，保證系統的穩定性和安全性。
圖1為本實用新型液態源的汽化補液裝置結構示意圖。圖中1補液容器2液位計3補液管路4內部加熱棒5控制閥門
具體實施方式
以下結合附圖和實施例對本實用新型作進一步的描述。圖1為本實用新型液態源的汽化補液裝置結構示意圖。請參見圖1，本實用新型提供的液態源的汽化補液裝置包括盛放液態源的補液容器1，所述補液容器1中設有內部加熱棒4，所述內部加熱棒4的有效加熱區靠近補液容器 1的底部，其中，所述補液容器1內設有液位計2，所述補液容器1的底部開孔設有補液管路 3，所述補液管路3和控制閥門5相連。本實用新型提供的液態源的汽化補液裝置，主要用於高純(一般純度大於 99. 999%) SiC14、GeC14、P0C13、DEZn, TEOS, TCS等液態源在蒸發或鼓泡時完成補液過程。 裝置由汽化容器底部補液，具體可由補液容器1底面中心插入插管，液位計2可以選用浮球液位計指示液位，當容器內液位低於補液下線時，控制閥門5打開，開始通過補液管路3由容器底部向裝置內補液，當浮球到達補液上線時，補液停止。通常情況下，汽化裝置內的液體通過蒸發的方式達到飽和蒸汽壓，以氣態方式輸出，裝置配置內部加熱棒4，內部加熱棒 4的有效加熱區靠近容器底部。料液由容器底部中心進入，使得冷的液體進入裝置時，對液面上已經汽化的蒸汽壓造成的影響降至最小。同時，液體進入可以儘快接觸到內部加熱棒4 的有效加熱區，可較快的加熱剛進入容器的冷液體，並使液體均勻受熱，內部加熱棒4表面局部溫度不至於過高。SiC14在加熱到一定溫度時，極易與原料中的微量H20劇烈反應，生成Si02顆粒，並附著在內部加熱棒4表面，使加熱效率明顯下降，系統產生顆粒，而由底部進料可有效地避免此種現象產生。除此之外，補液裝置還可方便的從容器底部排出液相雜質，不易殘留，確保高純介質純度。補液管路3所用部件均採用SS316L不鏽鋼材料，經過電解拋光，適用於高純介質。綜上所述，本實用新型提供的液態源的汽化補液裝置，整套液態源的汽化補液裝置不僅實現連續的補液功能，同時使補液過程對工藝穩定性的影響降至最低，同時保證汽化容器底部的殘液完全排出，延長裝置使用壽命。雖然本實用新型已以較佳實施例揭示如上，然其並非用以限定本實用新型，任何本領域技術人員，在不脫離本實用新型的精神和範圍內，當可作些許的修改和完善，因此本實用新型的保護範圍當以權利要求書所界定的為準。
權利要求1.一種液態源的汽化補液裝置，包括盛放液態源的補液容器(1)，所述補液容器(1)中設有內部加熱棒(4)，所述內部加熱棒(4)的加熱區靠近補液容器(1)的底部，其特徵在於， 所述補液容器(1)內設有液位計(2)，所述補液容器(1)的底部開孔設有補液管路(3)，所述補液管路(3)和控制閥門(5)相連。
2.如權利要求1所述的液態源的汽化補液裝置，其特徵在於，所述液位計(2)為浮球液位計。
3.如權利要求1或2所述的液態源的汽化補液裝置，其特徵在於，所述液態源為液化氣體 SiC14、GeC14、P0C13、DEZn, TEOS 或 TCS。
4.如權利要求1所述的液態源的汽化補液裝置，其特徵在於，所述補液管路(3)所用部件為經過電解拋光的SS316L不鏽鋼材料。
專利摘要本實用新型公開了一種液態源的汽化補液裝置，包括盛放液態源的補液容器，所述補液容器中設有內部加熱棒，所述內部加熱棒的加熱區靠近補液容器的底部，其中，所述補液容器內設有液位計，所述補液容器的底部開孔設有補液管路，所述補液管路和控制閥門相連。本實用新型提供的液態源的汽化補液裝置，通過在補液容器的底部設置補液管路，實現連續補液，此種補液方式可有效避免對容器內蒸汽壓和溫度造成過大影響，保證系統的穩定性和安全性。
文檔編號F17C7/04GK202118510SQ20112016097
公開日2012年1月18日 申請日期2011年5月19日 優先權日2011年5月19日
發明者效廣濤, 李東升, 繆南山 申請人:上海正帆半導體設備有限公司, 上海正帆科技有限公司, 上海正帆超淨技術有限公司