一種led晶片表面粘附力測試儀的製作方法

2023-05-26 18:53:06

專利名稱：一種led晶片表面粘附力測試儀的製作方法
技術領域：
本發明涉及LED晶片的生產測試領域，尤其涉及一種能夠檢測LED晶片表面粘附力的自動化設備。
背景技術：
LED是一種固態的半導體器件，利用電轉化為光的特性實現LED燈發光。LED的心臟是一個半導體的晶片，因此對LED晶片生產過程管控對於提高LED燈的質量就顯得十分重要的事情。在LED晶片的生產過程中，LED晶片表面狀態的檢測是一道十分重要的工序。 為了達到對LED晶片表面狀態的檢測，採用人工在LED晶片的每個晶粒上點焊上焊點，通過檢測焊點粘附在晶片表面的粘附力來作為測試LED晶片表面粘附力的指標。本發明所提供的一種LED晶片表面粘附力測試儀採用載物機構來放置LED晶片和定位LED晶片在空間內的位置、利用推力機構來檢測LED晶片表面的粘附力、通過顯微鏡機構來觀察LED晶片表面測試點，並通過本測試儀測試出的數據以標準儀表進行對比分析，具有操作簡單，運動精度高和測試數據可靠性高的特點。

發明內容
本發明的目的在於提供一種LED晶片表面粘附力測試儀，以達到對LED晶片表面粘附力測試的目的。為達到上述目的，本發明提供一種LED晶片表面粘附力測試儀採用載物機構來放置LED晶片和定位LED晶片在空間內的位置、利用推力機構來檢測LED晶片表面的粘附力、 通過顯微鏡機構來觀察LED晶片表面測試點，並通過本測試儀測試出的數據以標準儀表進行對比分析。本發明包括機架、載物機構、顯微鏡升降機構、推力機構和PLC與搖杆控制系統，其中載物機構設置在機架的上方，用於固定LED晶片。其進一步包括Y軸伺服電機、Y 軸滾珠絲杆副、Y軸支承座、Y軸直線導軌副、第一 Y軸限位開關、第二 Y軸限位開關、X軸伺服電機、第一 X軸限位開關、載物臺、X軸滾珠絲杆副、第二 X軸限位開關、X軸直線導軌副、 載物臺支撐、X軸支承座和X軸運動機架。所述Y軸伺服電機固定在機架上，用於產生載物機構Y軸運動的動力；所述Y軸滾珠絲杆副與Y軸伺服電機相連接，用於產生載物機構Y軸運動；所述Y軸支撐座固定在機架上，用於支撐Y軸滾珠絲杆副；所述Y軸直線導軌副固定在機架上，用於載物機構Y軸運動的導向；所述第一Y軸限位開關和第二Y軸限位開關固定在機架上，用於載物機構Y軸運動的限位；所述X軸伺服電機固定在X軸運動機架上，用於產生載物機構X軸運動的動力；所述第一X軸限位開關和第二 X軸限位開關固定在X軸運動機架上，用於載物機構X軸運動的限位；所述X軸直線導軌副與X軸伺服電機相連接，用於產生載物機構X軸運動；所述載物臺支撐固定在X軸滾珠絲杆副和X軸直線導軌副上，用於支撐載物臺；所述X軸支承座固定在X軸運動機架上，用於支撐X軸直線導軌副；所述X 軸運動機架固定在Y軸直線導軌副和Y軸滾珠絲杆副上。顯微鏡升降機構設置在載物機構的上方並且固定在機架上，用於放置顯微鏡並且用於控制顯微鏡的升降運動。其進一步包括精調旋鈕、精調旋軸、精調齒輪、粗調齒輪、 旋轉齒輪、顯微鏡升降梯形絲杆副、顯微鏡升降導向軸、連接塊、顯微鏡旋轉軸、顯微鏡固定軸、顯微鏡固定塊、顯微鏡、顯微鏡升降機構機架、顯微鏡旋轉固定螺絲、粗調旋鈕和粗調旋軸；所述精調旋鈕固定在精調旋軸上，用於顯微鏡升降機構精調的手動操作；所述精調旋軸固定在顯微鏡升降機構機架上，用於連接精調旋鈕和精調齒輪；所述精調齒輪固定在精調旋軸上，用於顯微鏡升降機構的傳動；所述粗調齒輪固定在粗調旋軸上，用於顯微鏡升降機構的傳動；所述旋轉齒輪固定在顯微鏡升降梯形絲槓副上，用於顯微鏡升降機構的傳動； 所述顯微鏡升降梯形絲杆副與顯微鏡升降機構機架上，用於產生顯微鏡升降的運動；所述顯微鏡升降導向軸固定在顯微鏡升降機構機架上，用於顯微鏡升降的導向；所述連接塊固定在顯微鏡升降機構梯形絲杆副上，並在顯微鏡升降導向軸上進行滑動；所述顯微鏡旋轉軸固定在連接塊上，用於顯微鏡的旋轉；所述顯微鏡固定軸與顯微鏡旋轉軸相連接，用於顯微鏡固定塊的固定；所述顯微鏡固定塊固定在顯微鏡固定軸上，用於固定顯微鏡；所述顯微鏡固定在顯微鏡固定塊上，用於觀察LED晶片上的晶粒；所述顯微鏡升降機構機架固定在推力機構的顯微鏡升降機構直線導軌副上；所述顯微鏡旋轉固定螺絲固定在顯微鏡固定軸上，用於顯微鏡的旋轉固定；所述粗調旋鈕固定在粗調旋軸上，用於顯微鏡機構粗調的手動操作；所述粗調旋軸固定在顯微鏡升降機構機架上，用於連接粗調旋鈕和粗調齒輪。
推力機構設置在載物機構的上方和顯微鏡升降機構的下方，用於測試LED晶片表面的粘附力。其進一步包括推力機構機架、第一推力機構微型導軌副、推拉力計、推拉力計劈刀、推力機構驅動板、粘附力測試劈刀、粘附力測試劈刀固定塊、測力傳感器、油壓緩衝器、油壓緩衝塊、第二推力機構微型導軌副、第一推力機構滾珠絲杆副、推力機構直線導軌副、推力機構升降伺服電機、減速機、聯軸器、顯微鏡升降機構水平驅動梯形絲杆副、顯微鏡升降機構水平驅動梯形絲杆副滾花旋鈕、顯微鏡升降機構直線導軌副、顯微鏡升降機構水平驅動梯形絲杆副支撐、第二推力機構滾珠絲杆副、推拉力計固定板、推力機構固定板和推力機構水平伺服電機；所述推力機構機架固定在機架上，用於支撐推力機構；所述第一推力機構微型導軌副固定在推力機構固定板上，用於對推拉力計進行運動導向；所述推拉力計固定在推拉力計固定板上，用於對LED晶片表面粘附力提供標準示值；所述推拉力計劈刀固定在推拉力計的端部，用於對LED晶片表面焊點進行撥動；所述推力機構驅動板固定在第一推力機構微型導軌副、第二推力機構微型導軌副和第一推力機構滾珠絲杆副；所述粘附力測試劈刀固定在粘附力測試劈刀固定塊上，用於對LED晶片表面焊點進行撥動；所述粘附力測試劈刀固定塊固定在第二推力機構微型直線導軌副上，用於和測力傳感器的固定；所述測力傳感器分別固定在粘附力測試劈刀固定塊和推力機構驅動板，用於檢測LED 晶片表面粘附力；所述油壓緩衝器固定在推力機構固定板上，用於對推力機構水平伺服電機的驅動力進行減力緩衝；所述油壓緩衝塊固定在推力機構驅動板上，用於對油壓緩衝器進行碰撞接觸；所述第二推力機構微型導軌副固定在推力機構固定板上，用於測力傳感器受力方向進行導向；所述第一推力機構滾珠絲杆副用於連接推力機構驅動板和聯軸器；所述推力機構直線導軌副固定在推力機構固定板上，用於推力機構固定板的運動導向；所述推力機構升降伺服電機固定在推力機構機架上，用於為推力機構的升降提供動力；所述減速機用於連接推力機構升降伺服電機和聯軸器，用於推力機構升降伺服電機進行減速；所述聯軸器用於連接第一推力機構滾珠絲杆副和推拉力計；顯微鏡升降機構直線導軌副固定在推力機構機架，用於固定顯微鏡升降機構機架；所述顯微鏡升降機構水平驅動梯形絲杆副滾花旋鈕固定在顯微鏡升降機構水平驅動梯形絲杆副上，用於人工操作顯微鏡升降機構的水平運動；所述顯微鏡升降機構水平驅動梯形絲杆副支撐固定在推力機構機架上，用於支撐顯微鏡升降機構水平驅動梯形絲杆副；所述第二推力機構滾珠絲杆副用於連接推力機構驅動板和推力機構水平伺服電機；所述推拉力計固定板固定在第一推力機構微型導軌副上，用於固定推拉力計；所述推力機構固定板固定在推力機構直線導軌副上；所述推力機構水平伺服電機固定在推力機構固定板上，用於推力機構的水平運動提供動力。PLC與搖杆控制系統用於控制測試儀的運動，並接受傳感器信號。


圖1為本發明實施例的一種LED晶片表面粘附力測試儀的正視圖。圖2為本發明實施例的一種LED晶片表面粘附力測試儀的載物機構的正視圖。圖3為本發明實施例的一種LED晶片表面粘附力測試儀的顯微鏡升降機構的正視圖。圖4為本發明實施例的一種LED晶片表面粘附力測試儀的推力機構的正視圖。
具體實施例方式以下結合附圖，具體說明本發明。請參閱圖1，一種LED晶片表面粘附力測試儀，包括機架(100)、載物機構(200)、 顯微鏡升降機構(300)、推力機構(400)和PLC與搖杆控制系統(500)。請參閱圖2和圖1，載物機構(200)設置在機架(100)的上方，用於固定LED晶片。 其進一步包括Y軸伺服電機(201)、Y軸滾珠絲杆副(202)、Y軸支承座(203)、Y軸直線導軌副(204)、第一 Y軸限位開關(205)、第二 Y軸限位開關(206)、Χ軸伺服電機(207)、第一 X 軸限位開關(208)、載物臺(209)、Χ軸滾珠絲杆副(210)、第二 X軸限位開關(211)、Χ軸直線導軌副(212)、載物臺支撐(213)、X軸支承座(214)和X軸運動機架(215)。所述Y軸伺服電機(201)固定在機架(100)上，用於產生載物機構Y軸運動的動力；所述Y軸滾珠絲杆副 (202)與Y軸伺服電機(201)相連接，用於產生載物機構Y軸運動；所述Y軸支撐座(203) 固定在機架(100)上，用於支撐Y軸滾珠絲杆副(202);所述Y軸直線導軌副(204)固定在機架(100)上，用於載物機構Y軸運動的導向；所述第一 Y軸限位開關(205)和第二 Y軸限位開關(206)固定在機架上，用於載物機構Y軸運動的限位；所述X軸伺服電機(207)固定在 X軸運動機架(215)上，用於產生載物機構X軸運動的動力；所述第一 X軸限位開關(207) 和第二 X軸限位開關(208)固定在X軸運動機架(215)上，用於載物機構X軸運動的限位； 所述X軸直線導軌副(212)與X軸伺服電機(207)相連接，用於產生載物機構X軸運動；所述載物臺支撐(213)固定在X軸滾珠絲杆副(210)和X軸直線導軌副(212)上，用於支撐載物臺(209)；所述X軸支承座(214)固定在X軸運動機架(215)上，用於支撐X軸直線導軌副(212)；所述X軸運動機架(215)固定在Y軸直線導軌副(204)和Y軸滾珠絲杆副(202) 上。請參閱圖1、圖2和圖3，顯微鏡升降機構(300)設置在載物機構(200)的上方並且固定在機架(100)上，用於放置顯微鏡(312)並且用於控制顯微鏡(312)的升降運動。其進一步包括精調旋鈕(301)、精調旋軸(302)、精調齒輪(303)、粗調齒輪(304)、旋轉齒輪(305)、顯微鏡升降梯形絲杆副(306)、顯微鏡升降導向軸(307)、連接塊(308)、顯微鏡旋轉軸(309 )、顯微鏡固定軸(310 )、顯微鏡固定塊(311)、顯微鏡(312)、顯微鏡升降機構機架
(315)、顯微鏡旋轉固定螺絲(313)、粗調旋鈕(314 )和粗調旋軸(316)；所述精調旋鈕(301) 固定在精調旋軸(302)上，用於顯微鏡升降機構精調的手動操作；所述精調旋軸(302)固定在顯微鏡升降機構機架(315)上，用於連接精調旋鈕(301)和精調齒輪(303);所述精調齒輪(303)固定在精調旋軸(302)上，用於顯微鏡升降機構的傳動；所述粗調齒輪(304)固定在粗調旋軸(316)上，用於顯微鏡升降機構的傳動；所述旋轉齒輪(305)固定在顯微鏡升降梯形絲槓副(306)上，用於顯微鏡升降機構的傳動；所述顯微鏡升降梯形絲杆副(306)與顯微鏡升降機構機架(315)上，用於產生顯微鏡升降的運動；所述顯微鏡升降導向軸(307)固定在顯微鏡升降機構機架(315)上，用於顯微鏡升降的導向；所述連接塊(308)固定在顯微鏡升降機構梯形絲杆副(306)上，並在顯微鏡升降導向軸(307)上進行滑動；所述顯微鏡旋轉軸(309)固定在連接塊(308)上，用於顯微鏡(312)的旋轉；所述顯微鏡固定軸(311)與顯微鏡旋轉軸(309)相連接，用於顯微鏡固定塊(311)的固定；所述顯微鏡固定塊(311)固定在顯微鏡固定軸(311)上，用於固定顯微鏡(312);所述顯微鏡(312)固定在顯微鏡固定塊(311)上，用於觀察LED晶片上的晶粒；所述顯微鏡升降機構機架(315)固定在推力機構 (400)的顯微鏡升降機構直線導軌副(421)上；所述顯微鏡旋轉固定螺絲(313)固定在顯微鏡固定軸(311)上，用於顯微鏡(312)的旋轉固定；所述粗調旋鈕(314)固定在粗調旋軸
(316)上，用於顯微鏡機構粗調的手動操作；所述粗調旋軸(316)固定在顯微鏡升降機構機架(315 )上，用於連接粗調旋鈕(314)和粗調齒輪(304 )。 請參閱圖1、圖2、圖3和圖4，推力機構(400)設置在載物機構(200)的上方和顯微鏡升降機構(300)的下方，用於測試LED晶片表面的粘附力。其進一步包括推力機構機架(401)、第一推力機構微型導軌副(402)、推拉力計(403)、推拉力計劈刀(404)、推力機構驅動板(405)、粘附力測試劈刀(406)、粘附力測試劈刀固定塊(407)、測力傳感器(408)、 油壓緩衝器(409)、油壓緩衝塊(410)、第二推力機構微型導軌副(411)、第一推力機構滾珠絲杆副(412)、推力機構直線導軌副(413)、推力機構升降伺服電機(414)、減速機(415)、聯軸器(416)、顯微鏡升降機構水平驅動梯形絲杆副(417)、顯微鏡升降機構水平驅動梯形絲杆副滾花旋鈕(418)、顯微鏡升降機構水平驅動梯形絲杆副支撐(419)、第二推力機構滾珠絲杆副(420)、顯微鏡升降機構直線導軌副(421)、推拉力計固定板(422)、推力機構固定板 (423)和推力機構水平伺服電機(似4)；所述推力機構機架(401)固定在機架(100)上，用於支撐推力機構(400)；所述第一推力機構微型導軌副(402)固定在推力機構固定板(423) 上，用於對推拉力計(403)進行運動導向；所述推拉力計(403)固定在推拉力計固定板 (422)上，用於對LED晶片表面粘附力提供標準示值；所述推拉力計劈刀(404)固定在推拉力計(403)的端部，用於對LED晶片表面焊點進行撥動；所述推力機構驅動板(405)固定在第一推力機構微型導軌副(402)、第二推力機構微型導軌副(411)和第一推力機構滾珠絲杆副(412);所述粘附力測試劈刀(406)固定在粘附力測試劈刀固定塊(407)上，用於對LED 晶片表面焊點進行撥動；所述粘附力測試劈刀固定塊(407)固定在第二推力機構微型直線導軌副(411)上，用於和測力傳感器(408)的固定；所述測力傳感器(408)分別固定在粘附力測試劈刀固定塊(407)和推力機構驅動板(405)，用於檢測LED晶片表面粘附力；所述油壓緩衝器(410)固定在推力機構固定板(423)上，用於對推力機構水平伺服電機(似4)的驅動力進行減力緩衝；所述油壓緩衝塊(410)固定在推力機構驅動板(405)上，用於對油壓緩衝器(409)進行碰撞接觸；所述第二推力機構微型導軌副(411)固定在推力機構固定板 (423)上，用於測力傳感器(408)受力方向進行導向；所述第一推力機構滾珠絲杆副(412) 用於連接推力機構驅動板(405)和聯軸器(416)；所述推力機構直線導軌副(413)固定在推力機構固定板(423)上，用於推力機構固定板(423)的運動導向；所述推力機構升降伺服電機(414)固定在推力機構機架(401)上，用於為推力機構的升降提供動力；所述減速機 (415)用於連接推力機構升降伺服電機(414)和聯軸器(416)，用於推力機構升降伺服電機 (414)進行減速；所述聯軸器(416)用於連接第一推力機構滾珠絲杆副(412)和推拉力計 (403);顯微鏡升降機構直線導軌副(421)固定在推力機構機架(401)，用於固定顯微鏡升降機構機架(315);所述顯微鏡升降機構水平驅動梯形絲杆副滾花旋鈕(418)固定在顯微鏡升降機構水平驅動梯形絲杆副(417)上，用於人工操作顯微鏡升降機構的水平運動；所述顯微鏡升降機構水平驅動梯形絲杆副支撐(419)固定在推力機構機架(401)上，用於支撐顯微鏡升降機構水平驅動梯形絲杆副(417);所述第二推力機構滾珠絲杆副(411)用於連接推力機構驅動板(405)和推力機構水平伺服電機(4 );所述推拉力計固定板(422)固定在第一推力機構微型導軌副(402)上，用於固定推拉力計(403);所述推力機構固定板(423)固定在推力機構直線導軌副(413)上；所述推力機構水平伺服電機(似4)固定在推力機構固定板(423 )上，用於推力機構的水平運動提供動力。本發明還包括PLC與搖杆控制系統用於控制測試儀的運動，並接受傳感器信號。本發明的一種LED晶片表面粘附力測試儀主要用於LED晶片的生產測試領域，採用載物機構來放置LED晶片和定位LED晶片在空間內的位置、利用推力機構來檢測LED晶片表面的粘附力、通過顯微鏡機構來觀察LED晶片表面測試點，並通過本測試儀測試出的數據以標準儀表進行對比分析。其具體工作過程如下。第一，將LED晶片放置在載物機構的載物臺。第二，旋轉顯微鏡升降機構水平驅動梯形絲杆副滾花旋鈕，並調節顯微鏡旋轉軸， 使得顯微鏡正好對準粘附力測試劈刀，並利用顯微鏡旋轉固定螺絲將顯微鏡固定住。第三，撥動搖杆控制載物機構上的Y軸伺服電機和X軸伺服電機，並利用顯微鏡觀察，使得LED晶片上的焊點正好在粘附力測試劈刀的下方。第四，撥動搖杆，控制推力機構升降伺服電機，和使得粘附力測試劈刀在LED晶片上焊點的正前方。第五，點擊測試按鈕，啟動推力機構水平伺服電機，此時粘附力測試劈刀撥動LED 晶片上的焊點，然後，測力傳感器輸出測力值，此值即LED晶片表面粘附力的一次測試值。第六，重複第一到第五步驟，連續測試三次，取測量結果的平均值作為最終的LED 晶片表面粘附力值。第七，旋轉顯微鏡升降機構水平驅動梯形絲杆副滾花旋鈕，並調節顯微鏡旋轉軸， 使得顯微鏡正好對準推拉力計劈刀，並利用顯微鏡旋轉固定螺絲將顯微鏡固定住。第八，撥動搖杆控制載物機構上的Y軸伺服電機和X軸伺服電機，並利用顯微鏡觀察，使得LED晶片上的焊點正好在推拉力計劈刀的下方。第九，點擊測試按鈕，啟動推力機構水平伺服電機，此時推拉力計劈刀撥動LED晶片上的焊點，然後，推拉力計輸出測力值，此值即LED晶片表面粘附力的一次標準值。第十，重複第七、第八和第九步驟，連續測試三次，取測量結果的平均值作為最終的LED晶片表面粘附力標準值。第十一，比較LED晶片表面粘附力標準值和LED晶片表面粘附力值，進而檢驗所測量值的準確性。本發明的一種LED晶片表面粘附力測試儀、採用載物機構來放置LED晶片和定位 LED晶片在空間內的位置、利用推力機構來檢測LED晶片表面的粘附力、通過顯微鏡機構來觀察LED晶片表面測試點，並通過本測試儀測試出的數據以標準儀表進行對比分析，具有操作簡單，運動精度高和測試數據可靠性高的特點。以上公開的僅為本發明的幾個具體實施例，但本發明並非局限於此，任何本領域的技術人員能思之的變化，都應落在本發明的保護範圍內。
權利要求
1.一種LED晶片表面粘附力測試儀，包括機架、載物機構、顯微鏡升降機構、推力機構和PLC與搖杆控制系統，其中所述載物機構設置在機架的上方，用於固定LED晶片；所述顯微鏡升降機構設置在載物機構的上方並且固定在機架上，用於放置顯微鏡並且用於控制顯微鏡的升降運動；所述推力機構設置在載物機構的上方和顯微鏡升降機構的下方，用於測試LED晶片表面的粘附力；所述PLC與搖杆控制系統用於控制測試儀的運動。
2.如權利要求1所述的一種LED晶片表面粘附力測試儀，其特徵在於，所述載物機構進一步包括Y軸伺服電機、Y軸滾珠絲杆副、Y軸支承座、Y軸直線導軌副、第一 Y軸限位開關、第二 Y軸限位開關、X軸伺服電機、第一 X軸限位開關、載物臺、X軸滾珠絲杆副、第二 X 軸限位開關、X軸直線導軌副、載物臺支撐、X軸支承座和X軸運動機架；所述Y軸伺服電機固定在機架上，用於產生載物機構Y軸運動的動力；所述Y軸滾珠絲杆副與Y軸伺服電機相連接，用於產生載物機構Y軸運動；所述Y軸支撐座固定在機架上，用於支撐Y軸滾珠絲杆副；所述Y軸直線導軌副固定在機架上，用於載物機構Y軸運動的導向；所述第一 Y軸限位開關和第二 Y軸限位開關固定在機架上，用於載物機構Y軸運動的限位；所述X軸伺服電機固定在X軸運動機架上，用於產生載物機構X軸運動的動力；所述第一 X軸限位開關和第二 X軸限位開關固定在X軸運動機架上，用於載物機構X軸運動的限位；所述X軸直線導軌副與X軸伺服電機相連接，用於產生載物機構X軸運動；所述載物臺支撐固定在X軸滾珠絲杆副和X軸直線導軌副上，用於支撐載物臺；所述X軸支承座固定在X軸運動機架上，用於支撐χ軸直線導軌副；所述X軸運動機架固定在Y軸直線導軌副和Y軸滾珠絲杆副上。
3.如權利要求1所述的一種LED晶片表面粘附力測試儀，其特徵在於，所述顯微鏡升降機構其進一步包括精調旋鈕、精調旋軸、精調齒輪、粗調齒輪、旋轉齒輪、顯微鏡升降梯形絲杆副、顯微鏡升降導向軸、連接塊、顯微鏡旋轉軸、顯微鏡固定軸、顯微鏡固定塊、顯微鏡、 顯微鏡升降機構機架、顯微鏡旋轉固定螺絲、粗調旋鈕和粗調旋軸；所述精調旋鈕固定在精調旋軸上，用於顯微鏡升降機構精調的手動操作；所述精調旋軸固定在顯微鏡升降機構機架上，用於連接精調旋鈕和精調齒輪；所述精調齒輪固定在精調旋軸上，用於顯微鏡升降機構的傳動；所述粗調齒輪固定在粗調旋軸上，用於顯微鏡升降機構的傳動；所述旋轉齒輪固定在顯微鏡升降梯形絲槓副上，用於顯微鏡升降機構的傳動；所述顯微鏡升降梯形絲杆副與顯微鏡升降機構機架上，用於產生顯微鏡升降的運動；所述顯微鏡升降導向軸固定在顯微鏡升降機構機架上，用於顯微鏡升降的導向；所述連接塊固定在顯微鏡升降機構梯形絲杆副上，並在顯微鏡升降導向軸上進行滑動；所述顯微鏡旋轉軸固定在連接塊上，用於顯微鏡的旋轉；所述顯微鏡固定軸與顯微鏡旋轉軸相連接，用於顯微鏡固定塊的固定；所述顯微鏡固定塊固定在顯微鏡固定軸上，用於固定顯微鏡；所述顯微鏡固定在顯微鏡固定塊上，用於觀察LED晶片上的晶粒；所述顯微鏡升降機構機架固定在推力機構的顯微鏡升降機構直線導軌副上；所述顯微鏡旋轉固定螺絲固定在顯微鏡固定軸上，用於顯微鏡的旋轉固定；所述粗調旋鈕固定在粗調旋軸上，用於顯微鏡機構粗調的手動操作；所述粗調旋軸固定在顯微鏡升降機構機架上，用於連接粗調旋鈕和粗調齒輪。
4.如權利要求1所述的一種LED晶片表面粘附力測試儀，其特徵在於，所述推力機構其進一步包括推力機構機架、第一推力機構微型導軌副、推拉力計、推拉力計劈刀、推力機構驅動板、粘附力測試劈刀、粘附力測試劈刀固定塊、測力傳感器、油壓緩衝器、油壓緩衝塊、 第二推力機構微型導軌副、第一推力機構滾珠絲杆副、推力機構直線導軌副、推力機構升降伺服電機、減速機、聯軸器、顯微鏡升降機構直線導軌副、顯微鏡升降機構水平驅動梯形絲杆副、顯微鏡升降機構水平驅動梯形絲杆副滾花旋鈕、顯微鏡升降機構水平驅動梯形絲杆副支撐、第二推力機構滾珠絲杆副、推拉力計固定板、推力機構固定板和推力機構水平伺服電機；所述推力機構機架固定在機架上，用於支撐推力機構；所述第一推力機構微型導軌副固定在推力機構固定板上，用於對推拉力計進行運動導向；所述推拉力計固定在推拉力計固定板上，用於對LED晶片表面粘附力提供標準示值；所述推拉力計劈刀固定在推拉力計的端部，用於對LED晶片表面焊點進行撥動；所述推力機構驅動板固定在第一推力機構微型導軌副、第二推力機構微型導軌副和第一推力機構滾珠絲杆副；所述粘附力測試劈刀固定在粘附力測試劈刀固定塊上，用於對LED晶片表面焊點進行撥動；所述粘附力測試劈刀固定塊固定在第二推力機構微型直線導軌副上，用於和測力傳感器的固定；所述測力傳感器分別固定在粘附力測試劈刀固定塊和推力機構驅動板，用於檢測LED晶片表面粘附力；所述油壓緩衝器固定在推力機構固定板上，用於對推力機構水平伺服電機的驅動力進行減力緩衝；所述油壓緩衝塊固定在推力機構驅動板上，用於對油壓緩衝器進行碰撞接觸； 所述第二推力機構微型導軌副固定在推力機構固定板上，用於測力傳感器受力方向進行導向；所述第一推力機構滾珠絲杆副用於連接推力機構驅動板和聯軸器；所述推力機構直線導軌副固定在推力機構固定板上，用於推力機構固定板的運動導向；所述推力機構升降伺服電機固定在推力機構機架上，用於為推力機構的升降提供動力；所述減速機用於連接推力機構升降伺服電機和聯軸器，用於推力機構升降伺服電機進行減速；所述聯軸器用於連接第一推力機構滾珠絲杆副和推拉力計；顯微鏡升降機構直線導軌副固定在推力機構機架，用於固定顯微鏡升降機構機架；所述顯微鏡升降機構水平驅動梯形絲杆副滾花旋鈕固定在顯微鏡升降機構水平驅動梯形絲杆副上，用於人工操作顯微鏡升降機構的水平運動； 所述顯微鏡升降機構水平驅動梯形絲杆副支撐固定在推力機構機架上，用於支撐顯微鏡升降機構水平驅動梯形絲杆副；所述第二推力機構滾珠絲杆副用於連接推力機構驅動板和推力機構水平伺服電機；所述推拉力計固定板固定在第一推力機構微型導軌副上，用於固定推拉力計；所述推力機構固定板固定在推力機構直線導軌副上；所述推力機構水平伺服電機固定在推力機構固定板上，用於推力機構的水平運動提供動力。
5.如權利要求1所述的一種LED晶片表面粘附力測試儀，其特徵在於，PLC與搖杆控制系統用於控制測試儀的運動，並接受傳感器信號。
全文摘要
一種LED晶片表面粘附力測試儀，包括機架、載物機構、顯微鏡升降機構、推力機構和PLC與搖杆控制系統。載物機構設置在機架的上方，用於固定LED晶片；顯微鏡升降機構設置在載物機構的上方並且固定在機架上，用於放置顯微鏡並且用於控制顯微鏡的升降運動；推力機構設置在載物機構的上方和顯微鏡升降機構的下方，用於測試LED晶片表面的粘附力；PLC與搖杆控制系統用於控制測試儀的運動。本發明的一種LED晶片表面粘附力測試儀採用載物機構來放置LED晶片和定位LED晶片在空間內的位置、利用推力機構來檢測LED晶片表面的粘附力、通過顯微鏡機構來觀察LED晶片表面測試點，並通過本測試儀測試出的數據以標準儀表進行對比分析，具有操作簡單，運動精度高和測試數據可靠性高的特點。
文檔編號G01N19/04GK102519874SQ201110440988
公開日2012年6月27日 申請日期2011年12月26日 優先權日2011年12月26日
發明者盧傳播 申請人:廈門市弘瀚電子科技有限公司