板狀體的缺陷檢查方法以及缺陷檢查裝置製造方法

2023-05-26 07:10:56

板狀體的缺陷檢查方法以及缺陷檢查裝置製造方法
【專利摘要】本發明提供一種檢查板狀體的缺陷並且能夠獲取缺陷的產生和附著位置的板狀體的缺陷檢查方法以及缺陷檢查裝置。根據本發明，首先，將玻璃板以靠基座放置的方式搭載於基座。接著，獲取坐標原點。即，獲取對玻璃板的四個角部中的一個角部照射來自雷射指針的點光的位置作為坐標原點。接著，使與基座相對置地配置的觀察光學部沿著滑軌水平移動，並且使基座升降移動，通過觀察光學部發現搭載於基座的玻璃板的缺陷。接著，從雷射指針向由觀察光學部發現的缺陷的位置照射點光。而且，通過控制部計算點光在玻璃板的表面上的照射位置的坐標位置並存儲到RAM。
【專利說明】板狀體的缺陷檢查方法以及缺陷檢查裝置
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種板狀體的缺陷檢查方法以及缺陷檢查裝置。
【背景技術】
[0002]近年來,液晶顯示裝置、等離子體顯示裝置、有機EL顯示裝置等FPD (Flat PanelDisplay:板狀體)用作大型電視機、個人計算機、可攜式電話機等可行動裝置的顯示裝置。
[0003]上述顯示裝置使用具備至少一片玻璃板的顯示元件。對於上述顯示元件，要求顯示性能高質量化，因此對於顯示元件的玻璃板，也要求無瑕疵、無波紋(平坦度高)的高質量的玻璃板。另外，隨著顯示畫面尺寸的大型化和可行動裝置的興起，也產生了輕量化、薄型化這種要求。
[0004]作為使用於上述FPD的玻璃板的製造方法的一例，已知浮法。
[0005]在通過上述浮法製造玻璃板的方法中，首先，將玻璃原料放入到溶解槽而製造熔融玻璃。接著，將熔融玻璃連續地提供給收容於浴槽的熔融錫的表面上。被提供的熔融玻璃一邊沿熔融錫的表面從上遊側向下遊側流動一邊成形為帶狀的玻璃帶。從浴槽的出口取出玻璃帶，之後，在使用緩冷爐將其逐漸冷卻到室溫左右之後，利用切斷裝置切斷為規定大小的玻璃板。
[0006]在通過浮法製造玻璃板的方法中，在與浴槽的熔融錫接觸的玻璃板的表面(底面)易於產生由熔融錫中產生的氣泡引起的缺陷。另外，由於成形步驟而有時在玻璃板的表面產生波紋並且附著異物。因此，在玻璃板的製造裝置中設置有將切斷後的玻璃板的上述表面(被研磨麵)研磨成適合於Fro用的高質量(平坦度)的研磨裝置(例如專利文獻
1、2)。
[0007]專利文獻I的研磨裝置是連續式的研磨裝置，其沿玻璃板的輸送路徑配置多臺研磨用具，一邊沿輸送路徑輸送玻璃板，一邊利用多臺研磨用具來研磨玻璃板的表面。
[0008]另外，專利文獻2的研磨裝置是間歇式的研磨裝置，其不輸送玻璃板而使用自轉的一臺研磨用具來研磨玻璃板的表面。
[0009]另外，在上述浮法的製造方法中，有時在玻璃板的表面缺陷(以下稱為表面缺陷)與成形時玻璃帶的移動方向平行地具有某種趨勢地分布。上述表面缺陷是指由附著於輸送玻璃帶的輥的玻璃片、玻璃原料的攪拌不均等各種理由產生的微小的瑕疵、波紋以及異物的附著。
[0010]上述瑕疵、波紋以及異物的附著以具有大致一個方向的規則性的條紋狀產生。利用上述研磨裝置去除這種瑕疵、波紋以及異物，但是根據表面缺陷的大小不同，有時難以完全去除。因此，在研磨裝置的後級例如設置專利文獻3所公開的已知的缺陷檢查系統，利用該缺陷檢查系統來檢查研磨後的玻璃板的表面是否存在瑕疵、異物。
[0011]另外，例如使用專利文獻4所公開的已知的平坦度測量裝置來檢查研磨後的玻璃板的表面的波紋。
[0012]專利文獻1:日本特開2007-190657號公報[0013]專利文獻2:日本特開2004-122351號公報
[0014]專利文獻3:日本特開2010-48745號公報
[0015]專利文獻4:日本專利第3411829號公報

【發明內容】

[0016]發明要解決的問題
[0017]專利文獻3所公開的缺陷檢查系統能夠檢測玻璃板的瑕疵和異物，但是希望進一步詳細地獲取瑕疵的產生位置和異物的附著位置。這是由於，通過獲取這種瑕疵和異物的產生和附著位置能夠驗證瑕疵和異物的產生和附著的原因，成為用於對製造裝置的結構構件(例如輸送輥)進行修補的信息源。然而，以往的玻璃板的缺陷檢查裝置沒有構築這種系統。
[0018]本發明是鑑於這樣的問題而完成的，目的在於提供一種檢查板狀體的缺陷並能夠獲取缺陷的產生和附著位置的板狀體的缺陷檢查方法以及缺陷檢查裝置。
[0019]用於解決問題的方案
[0020]為了達到上述目的，本發明的板狀體的缺陷檢查方法的特徵在於，具備以下步驟:成形步驟，形成板狀體；第一缺陷檢查步驟，通過攝像單元檢查在上述成形步驟中形成的上述板狀體的表面的缺陷；以及第二缺陷檢查步驟，使用檢查單元檢查在上述第一缺陷檢查步驟中檢查出缺陷的上述板狀體的表面，將上述板狀體的表面的缺陷的位置存儲到存儲單
J Li ο
[0021]為了達到上述目的，本發明的板狀體的缺陷檢查裝置的特徵在於，具備:成形部，其形成板狀體；第一缺陷檢查單元，其通過攝像單元檢查由上述成形部形成的上述板狀體的表面的缺陷；以及第二缺陷檢查單元，使用檢查單元檢查由上述第一缺陷檢查單元檢查出缺陷的上述板狀體的表面，將上述板狀體的表面的缺陷的位置存儲到存儲單元。
[0022]根據本發明，首先，通過成形部形成板狀體(成形步驟)。接著，通過第一缺陷檢查單元的攝像單元對成形的板狀體的表面的缺陷(瑕疵、異物)進行檢測(第一缺陷檢查步驟)。作為第一缺陷檢查單元，能夠例示專利文獻3所公開的已知的缺陷檢查系統。然後，由第二缺陷檢查單元獲取由第一缺陷檢查單元檢測出缺陷的板狀體的缺陷的位置，並將其存儲到存儲單元(第二缺陷檢查步驟)。第二缺陷檢查單元是由使用了檢查單元的操作人員進行的目視檢查，操作人員使用檢查單元發現缺陷，將該板狀體中的缺陷的坐標位置存儲到存儲單元。
[0023]因而，根據本發明，能夠提供一種檢查板狀體的缺陷並且能夠獲取缺陷的產生和附著位置的板狀體的缺陷檢查方法和缺陷檢查裝置。此外，上述坐標位置是指例如以板狀體的四個角部中的一個角部為坐標原點、相對於該坐標原點的缺陷的位置。
[0024]在本發明的板狀體的缺陷檢查方法的一個方式中，優選的是，上述第二缺陷檢查步驟具備以下步驟:搭載步驟，將上述板狀體以靠基座放置的方式搭載於基座；缺陷檢測步驟，使與上述基座相對置地配置的觀察光學單元和上述基座相對地移動，來利用上述觀察光學單元發現搭載於上述基座的上述板狀體的缺陷；點光照射步驟，從光源單元對利用上述觀察光學單元發現的上述缺陷的位置照射點光；以及缺陷位置存儲步驟，通過計算單元計算上述點光在上述板狀體的表面上的照射位置的坐標位置並將其存儲到上述存儲單J Li ο
[0025]在本發明的板狀體的缺陷檢查裝置的一個方式中，優選的是，上述第二缺陷檢查單元的上述檢查單元具備:基座，上述板狀體以靠基座放置的方式搭載於該基座；觀察光學單元，其與上述基座相對置地配置；移動單元，其使上述基座與上述觀察光學單元相對地移動；光源單元，其向搭載於上述基座的上述板狀體照射點光；以及計算單元，其計算上述點光在上述板狀體的表面上的照射位置的坐標位置，上述存儲單元存儲計算出的上述坐標位置。
[0026]根據本發明的一個方式，在利用第二缺陷檢查單元的檢查單元所進行的目視檢查中，首先將板狀體以靠基座放置的方式搭載於基座(搭載步驟)。靠基座放置的板狀體的傾斜角度優選為板狀體的表面與水平面呈75±5°。當傾斜角度超過80°時，薄板的板狀體容易翹曲而難以高效率地進行缺陷檢查。另外，當傾斜角度小於70°時，操作人員難以目視檢查大型尺寸的板狀體。
[0027]接著，使與基座相對置地配置的觀察光學單元與基座相對移動，通過觀察光學單元發現搭載於基座的板狀體的缺陷(缺陷檢測步驟)。觀察光學單元優選具備照明單元和具備透鏡的光學系統。另外，說明上述相對移動的一例，使觀察光學單元相對於板狀體例如與板狀體的上邊平行地從板狀體的左邊向右邊移動。而且，在觀察光學單元到達右邊的時間點，使板狀體上升或者下降測量間距量之後，使觀察光學單元從右邊向左邊移動。而且，在觀察光學單元到達左邊的時間點，使板狀體上升或者下降測量間距量。通過相對於板狀體的整個表面進行這樣的移動，能夠檢查板狀體的整個表面。此外，上述測量間距是觀察光學單元的視野範圍。
[0028]接著，從光源單元對利用觀察光學單元發現的缺陷的位置照射點光(點光照射步驟)。而且，通過計算單元計算點光在板狀體的表面的照射位置的坐標位置並存儲到存儲單元(缺陷位置存儲步驟)。由此，能夠獲取缺陷的坐標位置。
[0029]在本發明的板狀體的缺陷檢查方法的一個方式中，優選的是，上述板狀體為矩形狀，厚度為0.1mm?0.7mm, 一邊的長度為1500mm以上。
[0030]在本發明的板狀體的缺陷檢查裝置的一個方式中，優選的是，上述板狀體為矩形狀，厚度為0.1mm?0.7mm, 一邊的長度為1500mm以上。
[0031]根據本發明的一個方式，以用作FPD用板狀體的、厚度為0.1mm?0.7mm的矩形狀的玻璃板為對象。另外，以在平放的狀態下難以進行目視檢查的、一邊的長度為1500mm以上的玻璃板為對象。此外，一邊的長度的上限值沒有限制，當前，作為已製造的FH)用的玻璃板，也有一邊的長度超過3000mm(第十代)的玻璃板。即使是這種大型的玻璃板，也能夠有效地利用本發明的板狀體的缺陷檢查方法和缺陷檢查裝置。
[0032]在本發明的板狀體的缺陷檢查方法的一個方式中，優選的是，在上述缺陷檢測步驟中，一邊使上述基座升降一邊使上述觀察光學單元和上述光源單元在水平方向上移動。
[0033]在本發明的板狀體的缺陷檢查裝置的一個方式中，優選的是，上述移動單元具備使上述基座升降的升降單元以及水平方向移動單元，該水平方向移動單元以使上述觀察光學單元和上述光源單元在水平方向上移動自如的方式支承上述觀察光學單元和上述光源單元。
[0034]根據本發明的一個方式，在缺陷檢測步驟中，一邊通過升降單元使基座升降一邊使觀察光學單元和電源單元在水平方向上移動。操作人員一邊使觀察光學單元和電源單元在水平方向上往復移動一邊對板狀體進行缺陷檢查。而且，基座在高度方向上升降。因此，操作人員從檢查開始時起至檢查結束時為止能夠以固定的姿勢進行缺陷檢查。因而，能夠減輕操作人員的檢查作業負擔。
[0035]在本發明的板狀體的缺陷檢查裝置的一個方式中，優選的是，上述計算單元根據來自上述升降單元的表示升降位置的位置信息以及來自上述水平方向移動單元的表示水平方向位置的位置信息來計算上述點光的照射位置的坐標位置。
[0036]根據本發明的一個方式，計算單元根據從構成升降單元的例如伺服電機的控制裝置輸出的位置信號(表示板狀體的高度方向的位置的信息)以及從構成水平方向移動單元的例如線性編碼器輸出的位置信號(表示點光對板狀體的照射位置的水平方向的位置的信息)來計算坐標位置。
[0037]在本發明的板狀體的缺陷檢查方法的一個方式中，優選的是，上述成形步驟具備以下步驟:玻璃帶成形步驟，通過浮法形成帶狀的玻璃帶；切斷步驟，將上述玻璃帶切斷為規定尺寸的矩形狀的作為上述板狀體的玻璃板；以及研磨步驟，通過研磨單元對上述板狀體的表面進行研磨。
[0038]在本發明的板狀體的缺陷檢查裝置的一個方式中，優選的是，上述成形部具備:玻璃帶成形部，其通過浮法形成帶狀的玻璃帶；切斷部，其將上述玻璃帶切斷為規定尺寸的矩形狀的作為上述板狀體的玻璃板；以及研磨部，其通過研磨單元對上述玻璃板的表面進行研磨。
[0039]根據本發明的一個方式，成形部(成形步驟)具備利用浮法的玻璃帶成形部(玻璃帶成形步驟)、切斷部(切斷步驟)以及研磨部(研磨步驟)。即，在本發明的一個方式中，作為板狀體，以通過浮法製造出的玻璃板為對象，以對與熔融錫接觸的玻璃板的表面產生的缺陷進行檢查的缺陷檢查方法和缺陷檢查裝置為對象。此外，本發明的玻璃板的缺陷檢查方法和缺陷檢查裝置並不限定於通過浮法製造出的玻璃板，例如即使是通過熔融法(下拉法)製造出的玻璃板也能夠進行缺陷檢查。
[0040]在本發明的板狀體的缺陷檢查方法的一個方式中，優選的是，還具備分揀步驟，在該分揀步驟中將在上述第二缺陷檢查步驟中結束檢查的上述板狀體根據缺陷檢查結果分揀至板狀體捆包部、板狀體再研磨部或者板狀體廢棄部。
[0041 ] 在本發明的板狀體的缺陷檢查裝置的一個方式中，優選的是，還具備分揀單元，該分揀單元將由上述第二缺陷檢查單元結束檢查的上述板狀體根據缺陷檢查結果分揀至板狀體捆包部、板狀體再研磨部或者板狀體廢棄部。
[0042]根據本發明的一個方式，通過分揀單元將由上述第二缺陷檢查單元結束檢查的板狀體根據缺陷檢查結果分揀至板狀體捆包部、板狀體再研磨部或者板狀體廢棄部。
[0043]S卩，通過分揀單元將根據缺陷檢查結果判斷為合格品的板狀體分揀至板狀體捆包部。由此，通過板狀體捆包部將板狀體捆包到託盤。即使是由第一缺陷檢查單元判斷為次品的板狀體，有時也被第二缺陷檢查單元判斷為合格品。該缺陷是附著於板狀體的表面的微小的灰塵，在第二缺陷檢查步驟中，由操作人員去除該灰塵而將該板狀體判斷為合格品。
[0044]另外，通過分揀單元將根據缺陷檢查結果判斷為需要再次研磨的板狀體分揀至板狀體再研磨部。由此，板狀體再研磨部對板狀體的表面進行再次研磨。並且，通過分揀單元將根據缺陷檢查結果判斷為廢棄的板狀體分揀至板狀體廢棄部。由此，板狀體被廢棄到板狀體廢棄部。廢棄的板狀體被粉碎，作為玻璃原料再次被利用。
[0045]在本發明的板狀體的缺陷檢查方法的一個方式中，優選的是，將在上述第一缺陷檢查步驟中判斷為合格品的上述板狀體輸送到上述板狀體捆包部，將在上述第一缺陷檢查步驟中判斷為次品的上述板狀體輸送到上述第二缺陷檢查步驟。
[0046]在本發明的板狀體的缺陷檢查裝置的一個方式中，優選的是，還具備:第一輸送單元，其將由上述第一缺陷檢查單元判斷為合格品的上述板狀體輸送到上述板狀體捆包部；以及第二輸送單元，其將由上述第一缺陷檢查單元判斷為次品的上述板狀體輸送到上述第
二缺陷檢查單元。
[0047]根據本發明的一個方式，將由第一缺陷檢查單元判斷為合格品的板狀體通過第一輸送單元輸送到板狀體捆包部。而且，將由第一缺陷檢查單元判斷為次品的板狀體通過第二輸送單元輸送到第二缺陷檢查步驟。
[0048]不是將由第一缺陷檢查單元進行了檢查的全部板狀體輸送到第二缺陷檢查單元，僅將由第一缺陷檢查單元判斷為次品的板狀體輸送到第二缺陷檢查單元，因此板狀體製造裝置整體的運轉率提高。
[0049]在本發明的板狀體的缺陷檢查方法的一個方式中，優選的是，在使上述板狀體的表面朝向水平方向的狀態下將上述板狀體從上述第一缺陷檢查步驟輸送到上述第二缺陷檢查步驟，上述第二缺陷檢查步驟具備:立起步驟，使上述板狀體立起；輸送搭載步驟，將上述立起的上述板狀體輸送到上述基座並搭載於上述基座；搬出步驟，將上述板狀體以立起的狀態從上述基座搬出；以及倒伏步驟，使上述搬出的上述板狀體倒伏到水平方向而搬出。
[0050]在本發明的板狀體的缺陷檢查裝置的一個方式中，優選的是，上述第二輸送單元在使上述板狀體的表面朝向水平方向的狀態下將上述板狀體從上述第一缺陷檢查單元輸送到上述第二缺陷檢查單元，上述第二缺陷檢查單元具備:立起單元，其使上述板狀體立起；輸送搭載單元，其將上述立起的上述板狀體輸送到上述基座並搭載於上述基座；搬出單元，將上述板狀體以立起的狀態從上述基座搬出；以及倒伏單元，使上述搬出的上述板狀體倒伏到水平方向而搬出。
[0051]根據本發明的一個方式，在使板狀體的表面朝向水平方向的狀態下，通過第二輸送單元將板狀體從第一缺陷檢查單元輸送到第二缺陷檢查單元。而且，第二缺陷檢查單元首先通過立起單元使板狀體立起(立起步驟)。接著，將立起的板狀體輸送並搭載於基座(輸送搭載步驟)。接著，將結束檢查的板狀體以立起的狀態從基座搬出(搬出步驟)。然後，使搬出的板狀體倒伏到水平方向而搬出(倒伏步驟)。搬出的板狀體通過分揀單元被分揀至板狀體捆包部、板狀體再研磨部或者板狀體廢棄部。通過這樣變更板狀體的姿勢，能夠將板狀體從第一缺陷檢查單元順利地輸送到第二缺陷檢查單元，然後從第二缺陷檢查單元順利地輸送到分揀單元。
[0052]在本發明的板狀體的缺陷檢查裝置的一個方式中，優選的是，還具備顯示單元，該顯示單元顯示上述存儲單元所存儲的上述坐標位置。
[0053]根據本發明的一個方式，操作人員能夠根據顯示單元所顯示的坐標位置來確認缺陷的坐標位置。另外，在板狀體的製造過程中，具有在一個批次中大致在同一部位產生缺陷的趨勢。因此，操作人員通過確認顯示單元所顯示的坐標位置，能夠預測下一個板狀體的缺陷位置，因此缺陷檢查效率提高。
[0054]在本發明的板狀體的缺陷檢查裝置的一個方式中，優選的是，操作人員所乘載的操作臺與上述基座相對置地設置。
[0055]根據本發明，操作人員乘載於操作臺，使用檢查單元以目視的方式檢查板狀體的缺陷。此時，操作人員在操作臺上一邊在水平方向上往復移動一邊進行缺陷檢查，而基座在高度方向上升降，因此從開始檢查時起至結束檢查時為止，操作人員能夠以同一姿勢進行缺陷檢查。另外，通過使用操作臺，特別是能夠高效率地對被稱為第六代(G6)的長邊為1850mm、短邊為1500mm以上的大型玻璃板進行缺陷檢查。
[0056]為了達到上述目的，本發明的板狀體的缺陷檢查裝置具備對板狀體的表面的缺陷進行檢查的檢查單元以及存儲上述缺陷的位置的存儲單元，上述檢查單元具備:基座，上述板狀體以靠基座放置的方式搭載於該基座；觀察光學單元，其與上述基座相對置地配置；移動單元，其使上述基座與上述觀察光學單元相對地移動；光源單元，其向搭載於上述基座的上述板狀體照射點光；計算單元，其計算上述點光在上述板狀體的表面上的照射位置的坐標位置；以及上述存儲單元，其存儲計算出的上述坐標位置。
[0057]在本發明的板狀體的缺陷檢查裝置的一個方式中，優選的是，上述板狀體為矩形狀，厚度為0.1mm?0.7mm, 一邊的長度為1500mm以上。
[0058]在本發明的板狀體的缺陷檢查裝置的一個方式中，優選的是，上述移動單元具備使上述基座升降的升降單元以及水平方向移動單元，該水平方向移動單元以使上述觀察光學單元和上述光源單元在水平方向上移動自如的方式支承上述觀察光學單元和上述光源單元。
[0059]在本發明的板狀體的缺陷檢查裝置的一個方式中，優選的是，上述計算單元根據來自上述升降單元的表示升降位置的位置信息以及來自上述水平方向移動單元的表示水平方向位置的位置信息來計算上述點光的照射位置的坐標位置。
[0060]在本發明的板狀體的缺陷檢查裝置的一個方式中，優選的是，還具備分揀單元，該分揀單元將由上述檢查單元結束檢查的上述板狀體根據缺陷檢查結果分揀至板狀體捆包部、板狀體再研磨部或者板狀體廢棄部。
[0061 ] 在本發明的板狀體的缺陷檢查裝置的一個方式中，優選的是，還具備顯示單元，該顯示單元顯示上述存儲單元所存儲的上述坐標位置。
[0062]在本發明的板狀體的缺陷檢查裝置的一個方式中，優選的是，操作人員所乘載的操作臺與上述基座相對置地設置。
_3] 發明的效果
[0064]根據本發明的板狀體的缺陷檢查方法和缺陷檢查裝置，檢查板狀體的缺陷並且能夠獲取缺陷的產生和附著位置。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0065]圖1是表示具有實施方式的板狀體的缺陷檢查裝置的板狀體製造裝置的整體結構的框圖。
[0066]圖2是表示目視檢查部及其附近的玻璃板輸送系統的立體圖。[0067]圖3是表示根據來自自動檢查部的判斷信息對目視檢查部和分揀裝置進行控制的控制部的控制系統的框圖。
[0068]圖4是表示利用控制部的目視檢查部的控制系統的框圖。
[0069]圖5是表示目視檢查部的主要部分結構的立體圖。
[0070]圖6的(a)?(e)是表示利用目視檢查部的缺陷檢查方法的一例的說明圖。
[0071]附圖標記說明
[0072]10:缺陷檢查裝置；12:玻璃板製造裝置；14:成形部；16:清洗部；18:玻璃帶成形部；20:切斷部；22:研磨部；24:自動檢查部；26:分揀裝置；28:目視檢查部；30、32:分揀裝置；34:捆包部；36:再研磨部；38:廢棄部；40:控制部；42、44:輸送輥群；46:立起部；48:暗室；50:基座；51:支承銷；51A:定位銷；52:輸送搭載部；54:搬出部；56:倒伏部；58:輸送棍群；60:觀察光學部；62:伺服電機；64:滑軌；66:雷射指針；68:RAM ；70:顯不部；72:殼體；74:臂；76 -M ；78:杆；80:把手；82:線性編碼器；84:操作部;86、88:開關；90:踐踐杆；92:坐標確定開關；94:坐標復位按鈕；96:操作人員；98:操作臺。
【具體實施方式】
[0073]下面，按照附圖詳細說明本發明所涉及的板狀體的缺陷檢查方法和缺陷檢查裝置的優選實施方式。
[0074]圖1是表示具有實施方式的玻璃板的缺陷檢查裝置10的玻璃板製造裝置12的整體結構的框圖。
[0075]玻璃板製造裝置12構成為從玻璃板的製造步驟的上遊側向下遊側依次配置成形部(成形步驟)14、清洗部16以及缺陷檢查裝置(第一缺陷檢查步驟、第二缺陷檢查步驟)10。
[0076]成形部14具備通過浮法形成帶狀的玻璃帶的玻璃帶成形部(玻璃板成形步驟)18、將玻璃帶切斷為規定尺寸的矩形狀的玻璃板的切斷部(切斷步驟)20以及通過研磨墊(研磨單元)對玻璃板的表面進行研磨的研磨部(研磨步驟)22。通過該成形部14製造出厚度為0.1mm?0.7mm且一邊長度為1500mm以上的矩形狀的玻璃板。此外,作為研磨部22，可以是專利文獻I所公開的連續式的研磨裝置，也可以是專利文獻2所公開的間歇式的研磨裝置。玻璃板的表面被研磨部22研磨成適合於FPD的平坦度。之後，在清洗部16中將玻璃板清洗之後，搬出到缺陷檢查裝置10。
[0077]缺陷檢查裝置10具備自動檢查部(第一缺陷檢查單元)24、分揀裝置(分揀單元)26、目視檢查部(第二缺陷檢查單元)28、分揀裝置(分揀單元)30、32、捆包部(玻璃板捆包部)34、再研磨部(玻璃板再研磨部)36以及廢棄部(玻璃板廢棄部)38。
[0078]圖2是表示目視檢查部28及其附近的玻璃板輸送系統的立體圖。另外，圖3是表示根據來自自動檢查部24的判斷信息對目視檢查部28和分揀裝置26、30、32進行控制的控制部40的控制系統的框圖。此外，圖2的附圖標記G為玻璃板。
[0079]圖3示出的控制部40通過圖2的輸送輥群(第一輸送單元)42將由自動檢查部24判斷為合格品的玻璃板G輸送到捆包部34。另外，圖3的控制部40通過圖2的輸送輥群(第二輸送單元)44將由自動檢查部24判斷為次品的玻璃板輸送到目視檢查部28。SP，控制部40控制分揀裝置26,將在輸送棍群42的上遊側輸送的次品玻璃板G傳送到與輸送棍群42正交的方向的輸送棍群44。
[0080]也就是說，實施方式的缺陷檢查裝置10不是將由自動檢查部24進行了檢查的全部玻璃板G輸送到目視檢查部28，而是僅將由自動檢查部24判斷為次品的玻璃板G輸送到目視檢查部28。由此，提高玻璃板製造裝置12的運轉率。
[0081]另外，圖3的控制部40將根據目視檢查部28的缺陷檢查結果判斷為合格品的玻璃板G通過分揀裝置30分揀至捆包部34。由此，合格品玻璃板G在捆包部34中被捆包到託盤(未圖示)。此外，即使是由自動檢查部24判斷為次品的玻璃板G，有時也通過目視檢查部28而被判斷為合格品。該表面缺陷為附著於玻璃板G的表面的微小的灰塵，在目視檢查部28中，操作人員去除該灰塵，由此將該玻璃板G判斷為合格品。
[0082]另外，控制部40將根據目視檢查部28的缺陷檢查結果判斷為需要再研磨的玻璃板G通過分揀裝置30、32分揀至再研磨部36。由此，玻璃板G的表面被再研磨部36再次研磨。此外，可以如圖1所示分開設置再研磨部36，但是也可以將該玻璃板返回至研磨部22而進行再次研磨。
[0083]控制部40還將根據目視檢查部28的缺陷檢查結果判斷為廢棄的玻璃板G通過分揀裝置30、32分揀至廢棄部38。由此，玻璃板G被廢棄至廢棄部38。被廢棄的玻璃板G被粉碎而作為玻璃原料再次被利用。
[0084]作為圖1、圖3示出的自動檢查部24，能夠應用專利文獻3所公開的現有的缺陷檢查系統。省略該缺陷檢查系統的詳細說明，但是該缺陷檢查系統具備缺陷檢查部，該缺陷檢查部具有對玻璃板G的表面投光的線狀光源、會聚通過了玻璃板G的透過光而拍攝明視野圖像的照相機、以及在照相機的透過光的光路中設置於照相機的前面的位置的刀刃狀的光路遮蔽構件。另外，具備處理裝置，該處理裝置從由上述照相機拍攝得到的明視野圖像中，將比明視野圖像的背景成分的信號值高的信號值作為閾值來從明視野圖像中搜索明部的區域，在搜索的結果是提取出明部的區域時，使用該明部的區域判斷玻璃板G是否存在缺陷區域。
[0085]接著，參照圖2說明目視檢查部28中的玻璃板G的輸送方式。
[0086]輸送棍群44以使位於上面的玻璃板G的表面朝向水平方向的狀態將玻璃板G從自動檢查部24輸送到目視檢查部28。目視檢查部28具備使玻璃板G立起的立起部(立起單兀)46、將立起的玻璃板G向設置於暗室48的基座50輸送並搭載於基座50的輸送搭載部(輸送搭載單元)52、將玻璃板G以立起的狀態從基座50搬出的搬出部(搬出單元)54以及使搬出的玻璃板G倒伏到水平方向而搬出的倒伏部(倒伏單元)56。
[0087]即，通過輸送輥群44向目視檢查部28輸送的玻璃板G在輸送輥群44的下遊側停止，通過立起部46被立起(立起步驟)。接著，立起的玻璃板G被輸送搭載部52輸送並搭載於基座50 (輸送搭載步驟)。在靠基座50放置玻璃板G的狀態下，由操作人員對其表面的缺陷進行目視檢查。在後文中說明該目視檢查方法和檢查裝置(檢查單元)。
[0088]接著，通過搬出部54將結束目視檢查的玻璃板G以立起的狀態從基座50搬出，搬出暗室48 (搬出步驟)。然後，搬出的玻璃板G通過倒伏部56被倒伏到水平方向(倒伏步驟)。倒伏的玻璃板G通過輸送輥群58向分揀裝置30輸送。通過這樣將玻璃板G的輸送姿勢從水平變更為立起、從立起變更為水平，能夠將玻璃板G從自動檢查部24順利地輸送到目視檢查部28，然後從目視檢查部28順利地輸送到分揀裝置30。[0089]此外，立起部46與倒伏部56是相同的結構，通過轉動接收玻璃板G的背面的框體，能夠使玻璃板G起伏。另外，輸送搭載部52與搬出部54也是相同的結構，具備與玻璃板G的下緣部抵接並轉動的多個輥等。通過這些輥的轉動而在玻璃板G立起的狀態下輸送玻璃板G。另外，輸送輥群42、44、立起部46、輸送搭載部52、搬出部54、倒伏部56以及輸送輥群58的動作也由控制部40所控制(參照圖4)。
[0090]接著，詳細說明圖1?圖3示出的目視檢查部28。
[0091]圖4是表示利用控制部40的目視檢查部28的控制系統的框圖。另外，圖5是表示目視檢查部28的主要部分結構的立體圖。
[0092]如圖4、圖5所示，目視檢查部28具備以使玻璃板G倚靠的方式搭載玻璃板G的基座50、與基座50相對置地配置的觀察光學部(觀察光學單元)60、使基座50沿箭頭Y方向升降移動的伺服電機(升降單元)62、以使觀察光學部60沿箭頭X方向水平移動自如的方式支承觀察光學部60的滑軌(水平方向移動單元)64、向搭載於基座50的玻璃板G照射點光的雷射指針(光源單元)66、計算點光在玻璃板G的表面的照射位置PM (Point Mark)的坐標位置的控制部(計算單元)40、存儲計算出的坐標位置的RAM (Random Access Memory:存儲單元)68以及顯示坐標位置的顯示部(顯示單元)70。控制部40根據從伺服電機62的控制裝置輸出的位置信號來計算玻璃板G的高度方向的坐標。
[0093]如圖5所示，觀察光學部60被筒狀的殼體72支承，該殼體72經由臂74與塊76連結。該塊76沿水平方向移動自如地被滑軌64支承。另外，雷射指針66安裝於臂74，顯示部70經由杆78安裝於殼體72。另外，操作人員把持操作的把手80安裝於殼體72。
[0094]在滑軌64和塊76安裝有圖4的線性編碼器82。線性編碼器82是對塊76相對於滑軌64的位置進行檢測並作為位置信息輸出的裝置。線性編碼器82由條紋圖案的標尺(未圖示)、具備對標尺照射光的投光部和接收從標尺反射的光的接收部的檢測器(未圖示)以及對來自檢測器的接通和斷開信號進行計數的升降計數器(未圖示)構成。上述標尺安裝於滑軌64，上述檢測器安裝於塊76。另外，上述升降計數器內置於控制部40。控制部40對由上述升降計數器計數的上述信號的數量進行加減法運算，由此計算塊76在水平方向的坐標位置。
[0095]另一方面，在殼體72安裝有圖4示出的操作部84。在操作部84設置有點光的開關86、觀察光學部60的照明光的開關88、使基座50升降的蹺蹺杆90、坐標確定開關92以及坐標復位按鈕94。
[0096]操作人員通過操作開關86，能夠從雷射指針66對玻璃板G照射點光以及停止對玻璃板G照射點光。另外，操作人員通過操作開關88，能夠將來自觀察光學部60的照明光照射到玻璃板G以及停止對玻璃板G照射照明光。並且，操作人員通過操作蹺蹺杆90，根據其操作方向和操作量，向正轉方向或者反轉方向驅動伺服電機62，由此能夠使基座50升降移動。另外，操作人員通過操作坐標確定開關92，能夠確定高度方向和水平方向的坐標位置，通過操作坐標復位按鈕94,能夠將臨時存儲在RAM68的坐標原點復位。
[0097]接著，說明具有上述結構的目視檢查部28的作用。
[0098]首先，將玻璃板G以靠基座50放置的方式搭載於基座50 (搭載步驟)。靠基座50放置的玻璃板G的傾斜角度優選玻璃板G的表面與水平面呈75±5°。當傾斜角度超過80°時，薄板的玻璃板G容易翹曲而難以高效率地進行缺陷檢查。另外，當傾斜角度小於70°時，操作人員難以目視檢查大型尺寸的玻璃板G。
[0099]接著，獲取玻璃板G的坐標原點。即，對玻璃板G的四個角部中的一個角部照射來自雷射指針66的點光,在該狀態下操作坐標復位按鈕94。由此獲取坐標原點,存儲到RAM68。
[0100]接著，使與基座50相對置地配置的觀察光學部60沿滑軌64水平移動，並且使基座50升降移動，通過觀察光學部60發現搭載於基座50的玻璃板G的缺陷(缺陷檢測步驟)。
[0101]圖6的(a)~(e)是表示利用目視觀察部28的缺陷檢查方法的一例的說明圖。
[0102]圖6的(a)示出緊接著通過輸送搭載部52將玻璃板G向基座50輸送過來之前的狀態。此時，操作人員96在乘載於與基座50相對置地設置的操作臺98上的狀態下待機。
[0103]圖6的(b)示出玻璃板G停止於在基座50的下部突出設置的支承銷51、51…的上方的狀態。此時，操作人員96把持把手80，使雷射指針66移動，在使來自雷射指針66的點光照射到玻璃板G的左上角部的狀態下，操作坐標復位按鈕94來獲取坐標原點。
[0104]圖6的(C)示出操作人員96操作蹺蹺杆90而使基座50上升的狀態。通過使基座50上升，玻璃板G的下邊部被支承銷51、51…支承而與基座50 —起上升。將此時的基座50的上升量設定為觀察光學部60的視野範圍位於玻璃板G的左上角部的量。另外，上升的玻璃板G的側端部被基座50的定位銷51A、51A保持，與基座50不偏離地搭載於基座50。
[0105]之後，開始玻璃板G的缺陷檢查。
[0106]即，如圖6的(C)的虛線表示的箭頭A所示，使觀察光學部60相對於玻璃板G以與玻璃板G的上邊平行地從玻璃板G的左邊向右邊的方式進行水平移動而檢查缺陷。然後，在觀察光學部60到達右邊的時間點，如圖`6的(d)所示，使基座50上升測量間距量之後，使觀察光學部60從右邊向左邊進行水平移動。
[0107]然後，在觀察光學部60到達左邊的時間點，使玻璃板G上升測量間距量。通過對玻璃板G的整個表面進行這種動作，能夠檢查玻璃板G的整個表面。圖6的(e)的箭頭C表示觀察光學部60在玻璃板G的表面的移動軌跡。此外，上述測量間距是觀察光學部60的視野範圍。
[0108]在進行這種目視檢查作業時，當操作人員96經由觀察光學部60發現缺陷時，使雷射指針66移動至其缺陷的位置，從雷射指針66向缺陷位置照射點光(點光照射步驟)。然後，當在該狀態下操作坐標確定開關92時，控制部40根據從伺服電機62的控制裝置(未圖示)輸出的當前的位置信號(表示玻璃板G的高度方向的位置的信息)和從線性編碼器82輸出的當前的位置信息(表示點光對玻璃板G的照射位置的水平方向的位置的信息)來計算點光的照射位置的坐標位置、即缺陷在玻璃板G的產生位置。然後，控制部40將計算出的坐標位置存儲到RAM68 (缺陷位置存儲步驟)。由此，能夠獲取缺陷的坐標位置。
[0109]因而，根據實施方式的缺陷檢查裝置10，能夠通過自動檢查部24檢查玻璃板G的缺陷，另外，能夠通過目視檢查部28獲取缺陷的產生和附著位置。此外，坐標位置是水平方向位置X和高度方向位置Y，其解析度優選為毫米單位。在該情況下，在顯示部70中顯示為^ Xmm λ Ymm，，?
[0110]另外，操作人員96在目視檢查部28中一邊手動操作使觀察光學部60和雷射指針66沿水平方向移動一邊進行缺陷檢查。而且，在高度方向上通過伺服電機62使基座50升降。因此，操作人員從開始檢查時至結束檢查時為止能夠以固定姿勢進行缺陷檢查。因此，能夠減輕操作人員的檢查作業負擔。
[0111]並且，在目視檢查部28中具備顯示部70，該顯示部70顯示RAM68所存儲的坐標位置，因此操作人員96能夠根據顯示部70所顯示的坐標位置來確認缺陷的坐標位置。在玻璃板G的製造過程中，具有在一個批次中大致在同一部位產生缺陷的趨勢。因此，通過由操作人員96確認顯示部70所顯示的坐標位置，操作人員96能夠預測下一個玻璃板G的缺陷位置，因此缺陷檢查效率提高。
[0112]並且，如圖2、圖6所示，與基座50相對置地設置操作人員96所乘載的操作臺98，因此操作人員96能夠乘載於操作臺98，使用觀察光學部60等以目視的方式進行玻璃板G的缺陷檢查。
[0113]此時，操作人員96在操作臺98上一邊沿水平方向往復移動一邊進行缺陷檢查，而基座50在高度方向上升降，因此從開始檢查時至結束檢查時為止，能夠以同一姿勢進行缺陷檢查。另外，通過使用操作臺98，特別是能夠高效率地對被稱為第六代(G6)的長邊為1850mm、短邊為1500mm以上的大型的玻璃板進行缺陷檢查。
[0114]並且，實施方式的玻璃板的缺陷檢查裝置10具有以下示出的優點。
[0115]S卩，通過在自動檢查部24的後級配置目視檢查部28，在目視檢查部28中能夠檢查特定位置的缺陷。也就是說，這是由於由自動檢查部24檢查出的缺陷的位置信息(特定位置)顯示在自動檢查部24的顯示部。
[0116]另外，從自動檢查部24的缺陷位置的累積數據(在一片玻璃板中難以發現，但是幾片、幾十片玻璃板的缺陷MAP數據)，有時在缺陷的產生位置現出某種趨勢性。在產生具有這種趨勢性的缺陷的情況下，將通常在線流動的玻璃板搬入到目視檢查部28，使用點光源位置信息細查缺陷產生位置。在該情況下，在玻璃板的兩面進行檢查是汙垢還是損傷。
[0117]除此以外，作為目視檢查部28的重要作用，在自動檢查部24發生故障等自動檢查部24不能使用的情況下，目視檢查部28作為自動檢查部24的緩衝裝置而發揮功能。
[0118]另外，在目視檢查部28的上遊進行某些質量改進活動的情況下，目視檢查部28作為對玻璃板整體的質量進行細查的檢查機而發揮功能。例如，在研磨步驟中使用新構件(研磨墊、漿料等)時能夠確認損傷、汙垢以及確認清洗步驟的清洗用刷的痕跡以何種程度產生等。
[0119]特別是，清洗用刷的痕跡在自動檢查部24中難以發現。也就是說，自動檢查部24以微小的凹凸為檢查對象，清洗用刷的痕跡那樣的淺條紋的集合體在自動檢查部24中難以被發現。然而，如果是目視檢查部28則能夠看到整體的狀態，因此能夠發現清洗用刷的痕跡。並且，如果是目視檢查部28則能夠評價整體閃爍的損傷(不反應於外觀的微細的損傷)等玻璃板的整個面的質量。
[0120]並且，目視檢查部28還使用於離線的、例如以質量保證為目的的合格品抽檢，通過目視進行整面檢查，還能夠利用於作為合格品而出廠的產品的質量確認。另外，該離線的目視檢查在在線的目視檢查中無法仔細地進行觀察的情況等下起作用，在離線檢查中，使用點光源位置坐標來確定對象缺陷，能夠對該對象缺陷進行細查，或者做標記並切出而進行顯微鏡細查等。
[0121]此外，在實施方式中以使用於Fro用的玻璃板為對象，但是並不限定於此，本發明也可以應用於在可移動、可攜式電話機等可攜式顯示裝置的領域中使用的所謂的玻璃蓋片。
[0122]另外，在實施方式中，作為板狀體例示了玻璃板，但是並不限定於此，也能夠應用於樹脂制和金屬制的板狀體的缺陷檢查方法及其裝置。
[0123]以上，詳細說明了本發明的板狀體的缺陷檢查方法以及缺陷檢查裝置，但是本發明並不限定於上述實施方式，在不脫離本發明的宗旨的範圍內，也可以進行各種改進、變更。
【權利要求】
1.一種板狀體的缺陷檢查方法，其特徵在於，具備以下步驟: 成形步驟，形成板狀體； 第一缺陷檢查步驟，通過攝像單元檢查在上述成形步驟中形成的上述板狀體的表面的缺陷；以及 第二缺陷檢查步驟，使用檢查單元檢查在上述第一缺陷檢查步驟檢查出缺陷的上述板狀體的表面，將上述板狀體的表面的缺陷的位置存儲到存儲單元。
2.根據權利要求1所述的板狀體的缺陷檢查方法，其特徵在於， 上述第二缺陷檢查步驟具備以下步驟: 搭載步驟，將上述板狀體以靠基座放置的方式搭載於基座； 缺陷檢測步驟，使與上述基座相對置地配置的觀察光學單元和上述基座相對地移動，來利用上述觀察光學單元發現搭載於上述基座的上述板狀體的缺陷； 點光照射步驟，從光源單元對利用上述觀察光學單元發現的上述缺陷的位置照射點光；以及` 缺陷位置存儲步驟，通過計算單元計算上述點光在上述板狀體的表面上的照射位置的坐標位置並將其存儲到上述存儲單元。
3.根據權利要求1或者2所述的板狀體的缺陷檢查方法，其特徵在於， 上述板狀體為矩形狀，厚度為0.1mm~0.7mm,—邊的長度為1500mm以上。
4.根據權利要求2或者3所述的板狀體的缺陷檢查方法，其特徵在於， 在上述缺陷檢測步驟中，一邊使上述基座升降一邊使上述觀察光學單元和上述光源單元在水平方向上移動。
5.根據權利要求1~4中的任一項所述的板狀體的缺陷檢查方法，其特徵在於， 上述成形步驟具備以下步驟: 玻璃帶成形步驟，通過浮法形成帶狀的玻璃帶； 切斷步驟，將上述玻璃帶切斷為規定尺寸的矩形狀的作為上述板狀體的玻璃板；以及 研磨步驟，通過研磨單元對上述玻璃板的表面進行研磨。
6.根據權利要求1~5中的任一項所述的板狀體的缺陷檢查方法，其特徵在於， 還具備分揀步驟，在該分揀步驟中將在上述第二缺陷檢查步驟中結束檢查的上述板狀體根據缺陷檢查結果分揀至板狀體捆包部、板狀體再研磨部或者板狀體廢棄部。
7.根據權利要求6所述的板狀體的缺陷檢查方法，其特徵在於， 將在上述第一缺陷檢查步驟中判斷為合格品的上述板狀體輸送到上述板狀體捆包部， 將在上述第一缺陷檢查步驟中判斷為次品的上述板狀體輸送到上述第二缺陷檢查步驟。
8.根據權利要求1~7中的任一項所述的板狀體的缺陷檢查方法，其特徵在於， 在使上述板狀體的表面朝向水平方向的狀態下將上述板狀體從上述第一缺陷檢查步驟輸送到上述第二缺陷檢查步驟， 上述第二缺陷檢查步驟具備:立起步驟，使上述板狀體立起；輸送搭載步驟，將上述立起的上述板狀體輸送到上述基座並搭載於上述基座；搬出步驟，將上述板狀體以立起的狀態從上述基座搬出；以及倒伏步驟，使上述搬出的上述板狀體倒伏到水平方向而搬出。
9.一種板狀體的缺陷檢查裝置，其特徵在於，具備:成形部，其形成板狀體； 第一缺陷檢查單元，其通過攝像單元檢查由上述成形部形成的上述板狀體的表面的缺陷；以及 第二缺陷檢查單元，使用檢查單元檢查由上述第一缺陷檢查單元檢查出缺陷的上述板狀體的表面，將上述板狀體的表面的缺陷的位置存儲到存儲單元。
10.根據權利要求9所述的板狀體的缺陷檢查裝置，其特徵在於， 上述第二缺陷檢查單元的上述檢查單元具備: 基座，上述板狀體以靠基座放置的方式搭載於該基座； 觀察光學單元，其與上述基座相對置地配置； 移動單元，其使上述基座與上述觀察光學單元相對地移動； 光源單元，其向搭載於上述基座的上述板狀體照射點光；以及 計算單元，其計算上述點光在上述板狀體的表面上的照射位置的坐標位置， 上述存儲單元存儲計算出的上述坐標位置。
11.根據權利要求9或者 10所述的板狀體的缺陷檢查裝置，其特徵在於， 上述板狀體為矩形狀，厚度為0.1mm~0.7mm, 一邊的長度為1500mm以上。
12.根據權利要求10或者11所述的板狀體的缺陷檢查裝置，其特徵在於， 上述移動單元具備使上述基座升降的升降單元以及水平方向移動單元，該水平方向移動單元以使上述觀察光學單元和上述光源單元在水平方向上移動自如的方式支承上述觀察光學單元和上述光源單元。
13.根據權利要求12所述的板狀體的缺陷檢查裝置，其特徵在於， 上述計算單元根據來自上述升降單元的表示升降位置的位置信息以及來自上述水平方向移動單元的表示水平方向位置的位置信息來計算上述點光的照射位置的坐標位置。
14.根據權利要求9~13中的任一項所述的板狀體的缺陷檢查裝置，其特徵在於， 上述成形部具備: 玻璃帶成形部，其通過浮法形成帶狀的玻璃帶； 切斷部，其將上述玻璃帶切斷為規定尺寸的矩形狀的作為上述板狀體的玻璃板；以及 研磨部，其通過研磨單元對上述玻璃板的表面進行研磨。
15.根據權利要求9~14中的任一項所述的板狀體的缺陷檢查裝置，其特徵在於， 還具備分揀單元，該分揀單元將由上述第二缺陷檢查單元結束檢查的上述板狀體根據缺陷檢查結果分揀至板狀體捆包部、板狀體再研磨部或者板狀體廢棄部。
16.根據權利要求15所述的板狀體的缺陷檢查裝置，其特徵在於，還具備: 第一輸送單元，其將由上述第一缺陷檢查單元判斷為合格品的上述板狀體輸送到上述板狀體捆包部；以及 第二輸送單元，其將由上述第一缺陷檢查單元判斷為次品的上述板狀體輸送到上述第二缺陷檢查單元。
17.根據權利要求16所述的板狀體的缺陷檢查裝置，其特徵在於， 上述第二輸送單元在使上述板狀體的表面朝向水平方向的狀態下將上述板狀體從上述第一缺陷檢查單元輸送到上述第二缺陷檢查單元， 上述第二缺陷檢查單元具備:立起單元，其使上述板狀體立起；輸送搭載單元，其將上述立起的上述板狀體輸送到上述基座並搭載於上述基座；搬出單元，將上述板狀體以立起的狀態從上述基座搬出；以及倒伏單元，使上述搬出的上述板狀體倒伏到水平方向而搬出。
18.根據權利要求10~17中的任一項所述的板狀體的缺陷檢查裝置，其特徵在於， 還具備顯示單元，該顯示單元顯示上述存儲單元所存儲的上述坐標位置。
19.根據權利要求9~18中的任一項所述的板狀體的缺陷檢查裝置，其特徵在於， 操作人員所乘載的操作臺與上述基座相對置地設置。
20.一種板狀體的缺陷檢查裝置，具備對板狀體的表面的缺陷進行檢查的檢查單元以及存儲上述缺陷的位置的存儲單元， 上述檢查單元具備: 基座，上述板狀體以靠基座放置的方式搭載於該基座； 觀察光學單元，其與上述基座相對置地配置； 移動單元，其使上述基座與上述觀察光學單元相對地移動； 光源單元，其向搭載於上述基座的上述板狀體照射點光；以及 計算單元，其計算上述點光在上述板狀體的表面上的照射位置的坐標位置， 上述存儲單元存儲計算出的上述坐標位置。
21.根據權利要求20所述的板狀體的缺陷檢查裝置，其特徵在於， 上述板狀體為矩形狀，厚度為0.1mm~0.7mm,—邊的長度為1500mm以上。
22.根據權利要求20或者21所述的板狀體的缺陷檢查裝置，其特徵在於， 上述移動單元具備使上述基座升降的升降單元以及水平方向移動單元，該水平方向移動單元以使上述觀察光學單元和上述光源單元在水平方向上移動自如的方式支承上述觀察光學單元和上述光源單元。
23.根據權利要求22所述的板狀體的缺陷檢查裝置，其特徵在於， 上述計算單元根據來自上述升降單元的表示升降位置的位置信息以及來自上述水平方向移動單元的表示水平方向位置的位置信息來計算上述點光的照射位置的坐標位置。
24.根據權利要求20~23中的任一項所述的板狀體的缺陷檢查裝置，其特徵在於， 還具備分揀單元，該分揀單元將由上述檢查單元結束檢查的上述板狀體根據缺陷檢查結果分揀至板狀體捆包部、板狀體再研磨部或者板狀體廢棄部。
25.根據權利要求20~24中的任一項所述的板狀體的缺陷檢查裝置，其特徵在於， 還具備顯示單元，該顯示單元顯示上述存儲單元所存儲的上述坐標位置。
26.根據權利要求20~25中的任一項所述的板狀體的缺陷檢查裝置，其特徵在於， 操作人員所乘載的操作臺與上述基座相對置地設置。
【文檔編號】G01N21/958GK103630552SQ201310372689
【公開日】2014年3月12日 申請日期:2013年8月23日 優先權日:2012年8月24日
【發明者】木村宏, 平石雅裕 申請人:旭硝子株式會社