300mm立式氧化爐的報警系統的製作方法
2023-05-26 04:28:36 1
專利名稱：300mm立式氧化爐的報警系統的製作方法
技術領域：
本實用新型屬於一種矽片加工裝置，具體的是一種用於矽片氧化工藝的立式氧化爐 的報警系統。
背景技術：
矽片是一種重要的半導體材料，它的加工工藝，特別是氧化工藝是一種對系統穩定 性要求非常高的工藝。目前國內設計的矽片氧化爐大多是臥式結構的，系統穩定性需要
改進。特別是工藝過程中的報警、安全性報警需要進一步完善。
實用新型內容
本實用新型的目的是為了解決上述技術問題，提出一種300mm立式氧化爐的報警系 統，該報警系統設計完善合理，控制集中靈活，保證設備正常安全運行效果好。
本實用新型的目的是通過以下技術方案來實現的300mra立式氧化爐的報警系統，其 特徵在於設有冷卻系統水流量報警裝置、工藝氣體壓力報警裝置、源溫控制與渥液報 警裝置、工藝氣體洩漏報警裝置、內環境壓力報警裝置、設備安全門互鎖報警裝置、點 火器火焰檢測報警裝置；
所述冷卻系統水流量報警裝置設有流量計組，該流量計組中的流量計分別與立式 氧化爐的石英管法蘭、外點火器、石英舟、爐體法蘭、工藝門、爐體、PTI冷凝器的水冷 卻管連通，並且該所有流量計都集中安裝在水盒中，在該水盒底部設置有進行液位檢測 的光電傳感器，該流量計及光電傳感器與可編程控制器PLC進行連接；
所述工藝氣休壓力報警裝置，包括氣休壓力傳感器組，該壓力傳感器設置在工藝氣 體氮、氫、氧和一氧化氮的管路中，設有氣路箱，所述氣體壓力傳感器都集中安裝在
該氣路箱裡；氣路箱還設置有門開關；所述氣休壓力傳感器及門開關與可編程控制器PLC
連接；
所述源溫控制與漏液報警裝置，設有源溫控制器和流量開關，該源溫控制器和流量 開關設置在工藝液體的液源管路上，並設有漏液檢測傳感器，還設有源溫控制器盒，所 述源溫控制器、流量開關、檢測傳感器都集中安裝在該控制器盒內，該控制器盒設有門
開關，該門開關及所述源溫控制器、檢測傳感器與可編程控制器PLC連接；
所述工藝氣休洩漏報警裝置，包括在爐口處設置的HCL檢測傳感器；在外點火器處設置的H2檢測傳感器、在源溫控制器卜設置的HCL檢測傳感器、在氣路盒內部設置的H2 和N0檢測傳感器；所述傳感器與控制器及可編程控制器PLC連接；
所述內環境壓力報警裝置，包括控制氣路櫃排氣出口、爐體棑氣出口和爐口排氣出
口排氣壓力的壓差計組，該壓差計組與控制器PLC連接；
所述設備安全門互鎖報警裝置，包括在後檢修門卜.安裝的門開關，並設有氧氣分析
儀，該門開關及氧氣分析儀與控制器PLC連接；
所述外點火器火焰檢測報警裝置，包括在外點火器處設置的火焰檢測器。該火焰檢 測器與可編程控制器PLC連接；所述控制器PLC與上位機連接。
所述可編程控制器PLC為一個或多個。
本實用新型設置了大量的報警信息提供裝置和信息處理的控制器PLC,以及接收PLC 信息並進行判斷和發出報警控制信號的卜，位機，這些組成了完備的報警系統，使設備的 一些故障及時反饋給操作者，方便操作人員査找故障，儘快恢復相應工序的運行，避免 不必要的損失。這個報警系統保證了立式氧化爐在做工藝時的安全可靠性，減少了故障 的發生概率，提高產品的合格率。系統還充分從操作人員的安全性方面考慮，設置了一 些工作環境的檢測報警，防止一些有毒或者大量惰性氣體對人體產生傷害和使人窒息等 情況的發生。在系統運行過程中還增加了一些問詢報警，這些報警對正在運行的爐體系 統不產生影響，主要是為了提醒操作人員爐體某些工序目前的運行狀況，提醒工作人員 注意，及時消除隱患。因此，本實用新型具有結構完善，整體性強，報警控制全面，控 制靈活，能充分保障氧化爐正常安全行的優點。
圖1是本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式
下而結合附圖和實施例對本實用新型作進一步的說明；實施例；參見附圖，300mm 立式氧化爐的報警系統，設有冷卻系統水流量報警裝置、工藝氣體壓力報警裝置、源溫 控制與漏液報警裝置、工藝氣體洩漏報警裝置、內環境壓力報警裝置、設備安全門互鎖 報警裝置、點火器火焰檢測報警裝置；
所述冷卻系統水流量報警裝置設有流量計組，該流量計組中的流量計1.2分別與 立式氧化爐的石英管法蘭11、外點火器6、石英舟13、爐體法蘭14、工藝門15、爐體 16、 PTI冷凝器19的水冷卻管連通，並且該所有流量計1,2都集中安裝在水盒1中，在 該水盒底部設置有進行液位檢測的光電傳感器1. l，該流量計及光電傳感器與可編程控制器PLC IO進行連接；
所述工藝氣體壓力報警裝置，包括氣體壓力傳感器組，該壓力傳感器2. 2設置在工 藝氣體；氮、氫、氧和一氧化氮的管路中，設有氣路箱2，所述氣體壓力傳感器都集中安
裝在該氣路箱裡，氣路箱還設置有門開關2.1，所述氣體壓力傳感器及門開關與可編程控
制器PLC IO連接;
所述源溫控制與漏液報警裝置，設有源溫控制器5. 2和流量開關5. 1，該源溫控制器 和流量開關設置在工藝液體的液源管路h，並設有漏液檢測傳感器5， 4，還設有源溫控制 器盒5，所述源溫控制器、流量開關、檢測傳感器都集中安裝在該控制器盒內，該控制器 盒設有門開關5.3，該門開關及所述源溫控制器、檢測傳感器與可編程控制器PLC 10連 接。
所述丁藝氣體洩漏報警裝置，包括在爐口處設置的HCL檢測傳感器8， 1，在外點火器 6處設置的H2檢測傳感器6. 1、在源溫控制器上設置的HCL檢測傳感器5. 5、在氣路盒2 內部設置的氫(H2) 2. 3和氮(N0) 2.4檢測傳感器；所述傳感器與控制器組3及可編程 控制器PLC IO連接。
所述內環境壓力報警裝置，包括控制氣路櫃排氣出口 7、爐體排氣出口 9和爐口排氣 出口 8排氣壓力的壓差計組4，該壓差計組與控制器PLC連接。
所述設備安全門互鎖報警裝置，包括在後檢修門17卜安裝的門開關12，並設有與氧 氣分析儀18，該門開關及氧氣分析儀與控制器PLC IO連接。
所述外點火器火焰檢測報警裝置，包括在外點火器6處設置的火焰檢測器6. 2。該火 焰檢測器與可編程控制器PLC IO連接；所述控制器PLC與上位機連接。
權利要求1、一種300mm立式氧化爐的報警系統，其特徵在於設有冷卻系統水流量報警裝置、工藝氣體壓力報警裝置、源溫控制與漏液報警裝置、工藝氣體洩漏報警裝置、內環境壓力報警裝置、設備安全門互鎖報警裝置、點火器火焰檢測報警裝置；所述冷卻系統水流量報警裝置設有流量計組，該流量計組中的流量計(1.2)分別與立式氧化爐的石英管法蘭(11)、外點火器(6)、石英舟(13)、爐體法蘭(14)、工藝門(15)、爐體(16)、PTI冷凝器(19)的水冷卻管連通，並且該所有流量計(1.2)都集中安裝在水盒(1)中，在該水盒底部設置有進行液位檢測的光電傳感器(1.1)，該流量計及光電傳感器與可編程控制器PLC(10)進行連接；所述工藝氣體壓力報警裝置，包括氣體壓力傳感器組，該壓力傳感器(2.2)設置在工藝氣體氮、氫、氧和一氧化氮的管路中，設有氣路箱(2)，所述氣體壓力傳感器都集中安裝在該氣路箱裡，氣路箱還設置有門開關(2.1)，所述氣體壓力傳感器及門開關與可編程控制器PLC(10)連接；所述源溫控制與漏液報警裝置，設有源溫控制器(5.2)和流量開關(5.1)，該源溫控制器和流量開關設置在工藝液體的液源管路上，並設有漏液檢測傳感器(5.4)，還設有源溫控制器盒(5)，所述源溫控制器、流量開關、檢測傳感器都集中安裝在該控制器盒內，該控制器盒設有門開關(5.3)，該門開關及所述源溫控制器、檢測傳感器與可編程控制器PLC(10)連接；所述工藝氣體洩漏報警裝置，包括在爐口處設置的HCL檢測傳感器(8.1)，在外點火器(6)處設置的H2檢測傳感器(6.1)、在源溫控制器上設置的HCL檢測傳感器(5.5)、在氣路盒(2)內部設置的H2(2.3)和NO(2.4)檢測傳感器；所述傳感器與控制器組(3)及可編程控制器PLC(10)連接；所述內環境壓力報警裝置，包括控制氣路櫃排氣出口(7)、爐體排氣出口(9)、爐口排氣出口(8)排氣壓力的壓差計組(4)，該壓差計組與控制器PLC連接；所述設備安全門互鎖報警裝置，包括在後檢修門上安裝的門開關(12)，和氧氣分析儀(18)，該門開關及氧氣分析儀與控制器PLC(10)連接；所述外點火器火焰檢測報警裝置，包括在外點火器(6)處設置的火焰檢測器(6.2)。該火焰檢測器與可編程控制器PLC(10)連接；所述控制器PLC與上位機連接。
專利摘要本實用新型公開了一種300mm立式氧化爐的報警系統，其特徵在於設有冷卻系統水流量報警裝置、工藝氣體壓力報警裝置、源溫控制與漏液報警裝置、工藝氣體洩漏報警裝置、內環境壓力報警裝置、設備安全門互鎖報警裝置、外點火器火焰檢測報警裝置和可編程控制器PLC、上位機；所述控制器PLC與上位機連接。本實用新型適用於立式氧化爐的運行安全報警，結構完善，控制集中靈活，能保證立式氧化爐的安全正常地運行和操作人員的安全，並提高工藝的質量和效率。
文檔編號G08B19/00GK201382681SQ200820234109
公開日2010年1月13日 申請日期2008年12月31日 優先權日2008年12月31日
發明者曾豔麗, 王曉衛, 程朝陽, 米奇.阿伽穆罕默德 申請人:北京七星華創電子股份有限公司