圖案模擬方法及其程序和存儲其程序的媒體及其裝置的製作方法
2023-05-30 22:45:46
專利名稱：圖案模擬方法及其程序和存儲其程序的媒體及其裝置的製作方法
技術領域：
本發明有關對在基板上被曝光的曝光圖案進行模擬的圖案模擬方法、其程序、及其裝置。
背景技術：
通常，液晶顯示裝置有掃描線、信號線等布線、象素電極等電極、或薄膜電晶體(Thin Film TransistorTFT)等開關元件。而且這些布線、電極、及開關元件各自通過反覆以下的工序而形成，即成膜工序中，在基板上形成導電體或電介質等薄膜；塗布工序中，在成膜的薄膜上塗布光刻膠；曝光工序中藉助有規定圖案的分劃板(reticle)使塗布的光刻膠曝光；顯象工序中，使曝光過的光刻膠顯象；腐蝕工序中，除去消除該光刻膠後露出的薄膜。
另外，近些年，隨著液晶顯示裝置畫面的增大，包括在玻璃基板上曝光的TFT陣列圖案在內的液晶顯示屏的大小比曝光設備的掩膜尺寸大，所以採用將基板分割成多個區域通過依次對應的掩膜對各區域的光刻膠曝光的分區曝光處理方法。而用該分區曝光處理方法、在被曝光的區域間有被稱為多次曝光區域的具有3-10μm寬的分割線上的區域。該分割線上的區域被多次曝光。
而且作為分區曝光處理用的光掩模的分劃板通常採用計算機設計(Computer Aided Design CAD)系統設計。而作為該分區曝光處理方法的分劃板圖案的設計步驟為，將液晶顯示裝置的液晶顯示屏大小的圖案設計成滿足設計標準後，再將這一圖案分割成合乎分劃板的大小、及該分劃板的張數。這時，分割這一圖案的分割數沿不影響特性的部位形成。
還有，該液晶顯示面板的分區曝光設計數據存在CAD系統伺服器的存儲媒體中。而且，按照這些設計數據，形成與液晶顯示屏及分割線的設計圖案相對應的分劃板圖案，通過追加覆蓋稱為遮光帶的遮光區域的遮光帶圖案，從而光掩模完成。
而且，使用這一光掩模(分劃板)數據和稱為曝光用數據的座標數據，使基板上多個液晶顯示圖案曝光。曝光用數據包括表示分劃板曝光區域的範圍及成為基準的中心點的數據、及被曝光的基板上的座標數據等，將分劃板上指定的範圍曝光在基板上指定的區域(例如，特開2002-367890號公報，特別是參照第2-4頁及圖1-10)。
但是上述分區曝光方式的曝光處理中，在曝光用數據輸入搞錯時，由於利用該錯誤的曝光用數據進行錯誤處理，有時能發現該差錯，但有時靠對基板上基板圖案被曝光形成後的圖案檢查才會發現。
另外，在著手分割分劃板的工作時搞錯，基板上鄰接的曝光區域的邊線不一致的場合，在該基板上形成的基板圖案中產生斷線或短路的部分，該基板圖案就不合格。尤其是為了讓人難以看到基板上的分割線，將這一分割線做成之字形，在該分割線上設置緩衝區域時，存在不容易發現基板上形成的基板圖案不良的問題。
本發明系鑑於上述問題而作，其目的在於提供一種能容易地發現分劃板數據及曝光用數據設計錯誤的圖案模擬方法、其程序、及其裝置。
發明內容
本發明是一種利用分劃板數據和曝光用數據對基板上曝光形成的基板圖案進行模擬的圖案模擬方法，所述分劃板數據用於表示將想在基板上形成的全體圖案分成多個區域的每個區域的分劃板圖案、所述曝光用數據用於表示將所述分劃板圖案拍攝在所述基板的哪個位置上，根據所述分劃板數據及曝光用數據在所述基板上形成所述基板圖案之際，對與該基板上的每一次拍攝被曝光的多個區域相當的圖案作OR運算或AND運算，根據上述的OR運算或AND運算，對所述基板上的一次以上被曝光的區域的圖案進行模擬。
最終，利用分劃板數據及曝光用數據在基板上形成基板圖案之際，能識別該基板上未曝光的區域。
另外，利用所述分劃板數據及曝光用數據在所述基板上形成所述基板圖案之際生成預想的預想圖案，對一這預想圖案和利用所述分劃板數據及曝光用數據在所述基板上形成所述基板圖案之際與曝光圖案相當的圖案進行運算，模擬該基板上被曝光區域的圖案，生成表示這一運算時的差分的差分圖案，將這一差分圖案重迭在所述預想圖案上，或對它們進行運算，利用所述分劃板數據及曝光用數據，對在所述基板上形成的所述基板圖案模擬。
其結果，利用分劃板數據及曝光用數據在基板上形成基板圖案之際，識別該基板上未曝光的部分，或與基板上重複曝光部分相當的圖案。
圖1為表示本發明圖案模擬方法第1實施形態的流程圖。
圖2為表示用上述圖案模擬方法的分劃板的說明圖。
圖3為表示利用上述圖案模擬方法形成的基板圖案的說明圖。
圖4為利用上述圖案模擬方法對使部分基板曝光的狀態進行模擬的說明圖。
圖5為利用上述圖案模擬方法對再使部分基板曝光的狀態進行模擬的說明圖。
圖6為利用上述圖案模擬方法對使基板曝光的狀態進行模擬的說明圖。
圖7為表示本發明第2實施形態的圖案模擬方法的流程圖。
圖8為利用上述圖案模擬方法對使部分基板曝光的狀態進行模擬的說明圖。
圖9為利用上述圖案模擬方法對還使部分基板曝光的狀態進行模擬的說明圖。
圖10為利用本發明第3實施形態的圖案模擬方法對使部分基板曝光的狀態進行模擬的說明圖。
圖11為利用上述圖案模擬方法對還使部分基板曝光的狀態進行模擬的說明圖。
圖12為表示本發明第4實施形態的圖案模擬方法的流程圖。
圖13為表示利用上述圖案模擬法生成的預想圖案的說明圖。
圖14為表示用上述圖案模擬方法的分劃板的說明圖。
圖15為表示用上述圖案模擬方法每次拍攝的曝光圖案的說明圖。
圖16為表示利用上述圖案模擬方法的差分圖案的說明圖。
圖17為表示將上述差分圖案作AND運算及OR運算後的結果的說明圖。
圖18為表示將預想圖案重疊在上述差分圖案作AND運算及OR運算後的結果上的狀態的說明圖。
圖19為表示在上述預想圖案上加上AND運算結果，刪除(減去)OR運算結果後的狀態的說明圖。
圖20為表示利用本發明第5實施形態的圖案模擬方法生成的預想圖案的說明圖。
圖21為表示用上述圖案模擬方法的分劃板的說明圖。
圖22為表示用上述圖案模擬方法的每次拍攝的曝光圖案的說明圖。
圖23為表示用上述圖案模擬方法的差分圖案的說明圖。
圖24為表示對上述差分圖案作AND運算及OR運算後的結果的說明圖。
圖25為表示在預想圖案上加上上述的AND運算後的結果，從預想圖案上刪除(減去)OR運算結果後的狀態的說明圖。
圖26為表示用本發明第6實施形態的圖案模擬方法生成的預想圖案的說明圖。
圖27為表示用上述圖案模擬方法的每次拍攝的曝光圖案的說明圖。
圖28為表示用上述圖案模擬方法僅在有效區域的差分圖案的說明圖。
圖29為表示對上述差分圖案作AND運算及OR運算結果的說明圖。
圖30為表示在預想圖案上加上上述AND運算結果，並從預想圖案上刪除(減去)OR運算結果後的狀態的說明圖。
符號說明1分劃板圖案7作為基板的玻璃基板11分劃板數據12曝光用數據21預想圖案22差分圖案具體實施方式
以下參照附圖1至6說明本發明第1實施形態。
在圖1至圖6中，分劃板(reticle)圖案1例如包括4塊，第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5及第4分劃板6。而且，該分劃板圖案1為將玻璃基板7上形成的液晶顯示屏8分區曝光顯象或腐蝕用的光掩模。
本發明中玻璃基板7例如形成400mm×500mm的矩形平板狀，該玻璃基板7上的液晶顯示屏8為對角線10.4英寸解析度XGA(1024×768象素)，例如在該玻璃基板7上形成4塊。上述液晶顯示屏8的區域至少由導電體層及電介質層中的一層構成。由此，一張玻璃基板7的曝光次數為拍攝16次。
第1分劃板3如圖2所示，有對液晶屏8的左上部曝光的圖案。第2分劃板4有對液晶屏8的右上部曝光的圖案。還有，第3分劃板5有對液晶屏8的左下部曝光的圖案。再有，第4分劃板6有對液晶屏8的右下部曝光的圖案。
而與這些第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5、及第4分劃板6有關的電子數據作為分劃板數據11。該分劃板數據11是由將想在玻璃基板7上形成的全部圖案分成多個區域的分劃板圖案組成的CAD數據。
還有，表示將這些分劃板圖案拍攝在玻璃基板7上哪個位置的曝光用數據12包括表示分割成格子狀的第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5及第4分劃板6的曝光區域的數據、及利用上述第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5、第4分劃板6表示對玻璃基板7上的某處曝光的數據。而且，該曝光用數據12每次曝光輸入或若是重複相同曝光則只輸入坐標的移動量。還有，該曝光用數據12作為矩陣輸入數據是每單一拍攝都分解輸入的數據。
另外，曝光用數據12中也包括與每個成為分劃板圖案1的分割線的所有層(レイヤ)相等的分割線9有關的數據。還有，曝光用數據12保存在圖中未示出的伺服器的曝光用數據文件中，用圖中未示出的曝光設備使玻璃基板7上規定位置的分劃板圖案曝光。
這些曝光用數據12和分劃板數據11的構成為能用圖案模擬用計算機讀取。該計算機中包括按照曝光用數據12及分劃板數據11，對利用曝光設備在玻璃基板7上曝光形成的基板圖案(全體曝光圖案)14進行模擬的圖案模擬程序。
以下，說明利用上述計算機進行模擬的圖案版面布置的生成方法。
首先，作為必要的規格，決定組件外形，作為液晶單元構成的單元尺寸、液晶單元的畫面尺寸、畫面周圍的邊框部分的尺寸、OLB安裝尺寸、沿X方向及Y方向配置的IC的輸出數及其尺寸等的產品規格、生產線及該生產線固有的制約條件等。
接著，設想要在該玻璃基板7上形成的概要的TFT陣列基板的全體圖案，根據該概要的TFT陣列基板的全體圖案和曝光設備的性能，考慮到能用相同的分劃板反覆完成拍攝決定分劃板圖案1的分割線9。
此後，根據這一設定好的分割線9利用CAD詳細生成每一個分劃板圖案、同時，用遮光帶圖案覆蓋分劃板圖案以外的區域，使得不需要的區域不曝光。
再依拍攝次序排列完成後的分劃板圖案，利用實際的圖案，用CAD方式構成詳細的TFT陣列基板上的全體圖案。採用如此生成的詳細的陣列基板上的全體圖案，識別表示與分劃板圖案1有關的分劃板數據11及該分劃板圖案1的第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5、第4分劃板6的關係的曝光用數據，判斷時分如所規定地構成分劃板圖案之後，再將分劃板數據11及曝光用數據12分別保存在伺服器的分劃板數據用文件及曝光用數據文件中。
以下，說明利用該計算機的圖案模擬方法。
首先，將曝光用數據12從曝光用數據文件讀入計算機(步驟1)。
又將保存在伺服器的其它存儲區的分劃板數據11讀入計算機(步驟2)。
然後，根據這些曝光用數據12及分劃板數據11起動圖案模擬程序，在利用這些曝光用數據12及分劃板數據11在玻璃基板7上形成基板圖案之際，生成與該玻璃基板上每次拍攝被曝光的區域相當的曝光圖案13(步驟3)。
這裡，參照圖4至圖6說明這一步驟3和下一步驟4的處理。
利用模擬計算機首先如圖4所示，在利用第1分劃板3對玻璃基板7的左上部露光時，對與光照在該玻璃基板7上的區域相當的第1曝光區域15進行模擬在監視器上顯示。
利用計算機，再如圖5所示，在顯示該第1曝光區域15後，利用第2分劃板4對玻璃基板7的上方中央偏左處曝光之際，在監視器上顯示與光是照射該玻璃基板7上的區域相當的第2曝光區域16。
這時，上述第1曝光區域15及第2曝光區域16的形狀，與將第1分劃板3及第2分劃板4的各自的遮光圖案反轉後的圖案描畫在玻璃基板7上的圖案相似。
在實際的光刻過程中，上述第1曝光區域15和第2曝光區域16重疊的部分利用第1分劃板3及第2分劃板4的曝光，只要是光至少照射過一次光刻膠的區域，該區域通過顯象就消失。
因而，對在使上述第1分劃板3及第2分劃板4反轉之際與所形成的圖案相當的曝光圖案13作OR運算，利用上述的第1分劃板3及第2分劃板4中任一個一次以上的拍攝通過計算機模擬與光照射並曝光的圖案相當的全部曝光圖案14在監視器上顯示(步驟4)。
這一OR運算實際上不必做計算，只要在與使第1分劃板3反轉的圖案相當的曝光區域13上，重疊利用計算機模擬與使第2分劃板4反轉的圖案相當的曝光圖案13再在監視器上顯示便可。
同樣在顯示與上述圖案相當的第1曝光區域15及第2曝光區域16之後，用計算機通過模擬在利用第3分劃板5對玻璃基板7的左上部曝光之際在監視器上顯示與光照射在該玻璃基板7上的區域相當的第3曝光區域17。
再在顯示與這些圖案相當的第1曝光區域15、第2曝光區域16及第3曝光區域17後，用計算機通過模擬在監視器上顯示在利用第4分劃板6對玻璃基板7的左上部曝光之際，與光照射在該玻璃基板7上的區域相當的第4曝光區域18。
這時，對與使第3分劃板5及第4分劃板6反轉的圖案相當的曝光圖案13進行OR運算，通過用計算機模擬第3曝光區域17及第4曝光區域18使其重疊在第1曝光區域15及第2曝光區域16上，在監視器上顯示。
此後，重複步驟3及步驟4，如圖6所示，通過用計算機模擬與通過分劃板圖案1使玻璃基板7曝光的狀態相當的全液晶屏8，以在監視器上顯示。
接著，在對該玻璃基板7上全部拍攝取和之後，NOT運算與該玻璃基板7上形成的圖案相當的全部曝光圖案14，使該圖案反轉(步驟5)。
再在監視器上顯示利用該NOT運算在反轉的玻璃基板7上一次都沒有曝光的區域，即利用顯象或腐蝕與殘留區域相當的遮光區域圖案(步驟6)。
如上所述，按照上述第1實施形態利用計算機模擬，根據分劃板數據11及曝光用數據12使分劃板圖案反轉對與所形成的圖案相當的曝光圖案13作OR運算，利用該分劃板圖案1的第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5、及第4分劃板6的各分劃板，將與所曝光的區域相當的圖案第1曝光區域15、第2曝光區域16、第3曝光區域17及第4曝光區域18的各個區域重疊作為全部曝光圖案14在監視器上顯示。再在取分劃板圖案1的第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5、及第4分劃板6各個的玻璃基板7上的與全部拍攝相當的圖案之和後，通過NOT運算使與該玻璃基板7上形成的圖案相當的全部曝光圖案14反轉，在監視器上顯示與玻璃基板7上一次都未曝光的區域相當的遮光區域圖案。
最終，根據分劃板數據11及曝光用數據12能容易地檢查在玻璃基板7上形成基板圖案時產生的遮光區域圖案。因而，根據上述分劃板數據11及曝光用數據12實際上在曝光後不檢查玻璃基板7，就能容易地發現上述分劃板數據11及曝光用數據12的設計錯誤。
由此，因為能在短時間內方便地對在分區曝光玻璃基板7上形成的液晶屏8之際採用的分劃板圖案1進行檢查，所以該分劃板圖案1設計容易。於是，能提高包括該玻璃基板7的液晶顯示裝置的生產性之同時，還能很容易地提高該液晶顯示裝置的合格率。
還有，上述第1實施形態中，OR運算使分劃板圖案1反轉時與所形成的圖案相當的拍攝曝光圖案13作為全部曝光圖案14，通過對該全體曝光圖案14NOT運算而反轉，在監視器上顯示與玻璃基板7上遮光區域相當的圖案，但由於這一NOT運算花時間，所以OR運算使分劃板圖案1反轉時與所形成的圖案相當的拍攝曝光圖案13，分別利用該分劃板圖案1的第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5及第4分劃板6將與所曝光的區域相當的第1曝光區域15、第2曝光區域16、第3曝光區域17及第4曝光區域18重疊僅通過在監視器上顯示全部曝光圖案14，就能在根據分劃板數據11及曝光用數據12在玻璃基板7上形成基板圖案之際，在監視器上顯示與玻璃基板7上至少一次被曝光的區域相當的全部曝光圖案14。
其結果與該玻璃基板7上至少一次曝光的全部曝光區域14以外的區域相當的圖案為與該玻璃基板7上未曝光的區域相當的圖案，故能方便地確認該玻璃基板7上未曝光的區域，所以起到和上述第1實施形態同樣的作用效果。另外，將玻璃基板7上的分劃板圖案1的分割線9做成在每一個全部層上都相等，但在每層上上述分割線9也可改變。
以下參照圖7至圖9說明本發明第2實施形態。
圖7至圖9所示的圖案模擬方法基本上和圖1至圖6所示的圖案模擬方法相同，但根據分劃板數據11及曝光用數據12，在使與分劃板圖案1的各個第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5及第4分劃板6相當的圖案反轉時，對與玻璃基板7上相鄰區域形成的圖案相當的曝光圖案13作AND運算，利用上述各第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5、及第4分劃板6能模擬與未曝光的玻璃基板7上的遮光區域相當的圖案。
具體為將曝光用數據12從曝光用數據文件讀入計算機之同時(步驟11)，將分劃板數據11讀入計算機後(步驟12)，根據上述的分劃板數據11及曝光用數據12生成與玻璃基板7上形成的基板圖案相當的圖案、及與該玻璃基板7上所曝光的區域相當的曝光圖案13(步驟13)。
這裡，參照圖8及圖9說明這一步驟13的處理。
利用計算機模擬，先如圖8所示，在利用第1分劃板3曝光玻璃基板7上的左上部之際，將該玻璃基板7上光照的第1曝光區域15作為與使第1分劃板3的遮光圖案反轉的圖案相當的曝光圖案13在監視器上顯示。
此後，如圖9所示，利用第2分劃板4對玻璃基板7上左上部曝光時，將與該玻璃基板7上光照的區域相當的第2曝光區域16作為與使第2分劃板4的遮光圖案反轉的圖案相當的曝光圖案13在監視器上顯示。
這時，與用第1分劃板3曝光後利用第2分劃板4曝光結果相當的圖案變成和對第1曝光區域15及第2曝光區域16作AND運算的結果相同。這是因為光只要照射一次玻璃基板7上的光刻膠就消失的緣故，所以該玻璃基板7上殘存光一次都未照射過的遮光區域。
其結果，通過預先準備數次拍攝各第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5、及第4分劃板6生成的拍攝曝光圖案13，依次作AND運算(步驟14)，從而能夠顯示利用上述各第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5、及第4分劃板6模擬未曝光的區域(步驟15)。
因而，這一圖7至圖9所示的圖案模擬方法根據分劃板數據11及曝光用數據12，通過AND運算與使各第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板材、及第4分劃板6反轉的圖案相當的曝光圖案13，從而能模擬顯示利用上述第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5、及第4分劃板6與未曝光的玻璃基板7上的遮光區域相當的圖案，所以能起到與圖1至圖6所示的圖案模擬方法同樣的作用效果。
還有，上述第2實施形態中，在使各第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5、及第4分劃板6反轉時對與所形成的玻璃基板7上相鄰區域的曝光區域13相當的圖案作AND運算，模擬表示利用上述的第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5、及第4分劃板6與所形成的玻璃基板7上的遮光區域相當的圖案，但也可以如圖10及圖11所示的第3實施形態那樣，優先拍攝玻璃基板7上不相鄰的區域，將利用各第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5、及第4分劃板6與所形成的曝光圖案13有關的數據作為曝光用數據12，也能將多次拍攝匯總作AND運算。
即，在曝光時不產生重疊的拍攝不必做AND運算，所以如圖10所示，設在同時使玻璃基板7上的各液晶屏8的第1分劃板3的曝光部分曝光後，同時使該玻璃基板7的各液晶屏8的第2分劃板4、第3分劃板5、及第4分劃板6的曝光部分依次曝光，依次同時執行利用上述的第1分劃板3與所形成的圖案相當的第1曝光區域15和利用第2分劃板4與所形成的圖案相當的第2曝光區域16的AND運算、該第2曝光區域16和由第3分劃板5與所形成的圖案相當的第3曝光區域17的AND運算、及該第3曝光區域17和由第4分劃板6所形成的圖案相當的第4曝光區域18的AND運算。
最終，將利用上述的各第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5、及第4分劃板6的拍攝匯總作為一次拍攝，用合計4次拍攝的AND運算就足夠，所以，即使是一般地做這種運算的驗證工具，特別是現在主流的分級式驗證工具等大規模的圖案，因能減少運算次數所以可縮短運算時間。
再在利用上述各第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5、及第4分劃板6將玻璃基板7上使水平方向及垂直方向正交十字地分割曝光時，因為在利用上述各第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5、及第4分劃板6與所形成的圖案相當的各第1曝光區域15、第2曝光區域16、第3曝光區域17、及第4曝光區域18中位於對角位置的曝光區域彼此之間都在一點上相接，所以在這一點上的多次曝光部分不存在曝光圖案13時，利用位於對角位置的各第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5、及第4分劃板6的拍攝也能同時進行。
其結果是，第1分劃板3及第4分劃板6、第2分劃板4和第3分劃板5能在同一拍攝中完成，故第1曝光區域15及第4曝光區域18和第2曝光區域16及第3曝光區域17隻要作AND運算就可。尤其在作為液晶顯示裝置的陣列基板用的玻璃基板7的場合，由於能分成4種以內的拍攝，所以無論該玻璃基板7上的分割線9是怎樣的形狀都能用4次以內的拍攝次數運算。
還有，上述實施形態中，對分割後形成4塊液晶屏8的大型液晶用的玻璃基板7進行了說明，但是，如是手機等用的小型液晶顯示裝置用的玻璃基板7，則該玻璃基板7上的液晶屏8內不存在分割線9時也能與其對應使用。
以下，參照圖12至圖19說明本發明第4實施形態。
這一圖12至圖19所示的圖案模擬方法基本上和圖1至圖6所示的圖案模擬方法相同，但根據分劃板數據11及曝光用數據12在玻璃基板7上形成基板圖案之際生成所預想的預想圖案21，對該預想圖案21、及與想要在玻璃基板7上形成的曝光圖案相當的曝光圖案13作運算，利用計算機模擬與該玻璃基板7上曝光的區域相當的全部曝光圖案14在監視器上顯示。
具體為，將曝光用數據12從曝光用數據文件讀入計算機中同時(步驟21)，將分劃板數據11讀入模擬計算機後(步驟22)，根據上述分劃板數據11及曝光用數據12在玻璃基板7上形成基板圖案之際生成與所預想的預想曝光圖案相當的圖13所示的預想圖案21(步驟23)。
此後，利用計算機，根據上述分劃板數據11及曝光用數據12在玻璃基板7上形成基板圖案之際，利用該玻璃基板7上的圖14所示的第1分劃板3及第2分劃板4與曝光形成的圖案相當的圖15所示的曝光圖案13(步驟24)。
然後，對與在步驟24生成的每次拍攝的圖案相當的曝光圖案13、和在步驟23生成的預想圖象作ANDNOT運算，如圖16所示，生成表示它們的差分的差分圖案22(步驟25)。
這時，圖案23與存在於上述差分圖案22中的拍攝曝光圖案13、並不存在於預想圖案21的圖案相當，圖案24與存在於上述差分圖案22的拍攝曝光圖案13、並不存在於預想圖案21的圖案相當。這裡，圖案23與不存在預想圖案21的圖案相當，但是是與光一次都沒有照射不曝光的區域相當的圖案。另外，圖案24是存在預想圖案21的圖案，與光至少照射一次以上曝光的區域相當的圖案。
由此，如圖17所示，對差分圖案22中的圖案23彼此之間作AND運算，模擬顯示光一次都沒有照射的區域(步驟26)，同時對上述差分圖案22中的圖案24彼此之間作OR運算，模擬顯示光至少照射一次的區域(步驟27)。
此後，如圖18所示，將預想圖案21重迭在步驟26的AND運算結果及步驟27的OR運算的結果的各個結果上並將其顯示(步驟28)。
以這一狀態，如圖19所示，將步驟26的AND運算結果加在預想圖案21上之同時，從預想圖案21刪除(減去)步驟27的OR運算的結果，加工將上述的AND運算及OR運算的結果重疊在預想圖案21上使其顯示的數據(步驟29)。
最終，根據分劃板數據11及曝光用數據12利用第1分劃板3及第2分劃板4能模擬顯示在玻璃基板7上形成基板圖案之際的、該玻璃基板7上至少一次被光照射曝光的全部曝光圖案14(步驟30)。
因而，這一圖12至圖19所示的圖案模擬方法根據分劃板數據11及曝光用數據12，在玻璃基板7上形成基板圖案之際生成所預想的預想圖案21，通過計算這一預想圖案21、如與用第1分劃板3及第2分劃板4曝光的圖案相當的拍攝曝光圖案13，從而利用上述各第1分劃板3及第2分劃板4模擬顯示曝光一次以上的玻璃基板7上的全部曝光圖案14，所以能起到與圖1至圖6所示的圖案模擬方法同樣的作用效果。
再有，根據分劃板數據11及曝光用數據12預先生成的預想圖案21實際上全部曝光圖案14與玻璃基板7上所曝光的圖案越相似，則在最終工序的ANDNOT運算、AND運算及OR運算的運算處理量就越少。由此，儘量使這一預想圖案21近似於與實際的圖案相當的全部曝光圖案14而生成，則能減少處理的數據量，能更加迅速並確實地發現分劃板數據11及曝光用數據12的設計錯誤，能用更短的時間對分劃板圖案1進行檢查。這時，一般大畫面液晶顯示裝置描畫屏幕尺寸或基板尺寸的圖案，此後配合分劃板圖案1的大小，分割利用這一分劃板圖案1曝光的部分，因預想圖案21與實際的圖案相當的全體曝光圖案14近似，所以更加有效。
還有，上述第4實施形態中，用兩張分劃板即第1分劃板3及第2分劃板4分割曝光玻璃基板7，但是，如圖20至圖25所示的第5實施形態那樣，即使在利用4張分劃板即第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5、及第4分劃板6將玻璃基板十字分割曝光的場合，也能起到和上述第4實施形態同樣的作用效果。
具體如圖20所示，預先形成預想圖案21之同時，根據圖21所示的各第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5、及第4分劃板6如圖22所示生成與模擬用的基板尺寸圖案相當的全部曝光圖案20。此後，如圖23所示，對利用這一預想圖案和第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5、及第4分劃板6與所形成的圖案相當的曝光圖案13作AND NOT運算生成差分圖案22。還有，上述的差分圖案22與圖案23彼此之間作AND運算，同時，對上述的差分圖案22與圖案24彼此之間作OR運算，生成圖24示出的圖案。然後，將上述的AND運算結果及OR運算結果加在預想圖案21上，又從該預想圖案21上刪除(減去)OR運算結果，則如圖25所示，在監視器上模擬顯示利用第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5、及第4分劃板6在玻璃基板7上至少被曝光一次的全部曝光圖案14。
另外，上述第5實施形態中，根據各第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5、及第4分劃板6生成與模擬用基板尺寸的圖案相當的曝光圖案13，在與玻璃基板7上的全部區域相當的區域中對上述曝光圖案13和預想圖案21作AND NOT運算，但是如圖26至圖30所示的第6實施形態那樣，利用各第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5、及第4分劃板6對於預想圖案21僅作與被光照射曝光的玻璃基板7上有效區域相當區域的AND NOT運算，也能起到和上述第5實施形態同樣的作用效果。
具體為預先形成圖26所示的預想圖案21，同時如圖27所示根據各第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5、及第4分劃板6生成與模擬用的基板尺寸圖案相當的曝光圖案13。此後，如圖28所示，利用預想圖案21和各第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5、及第4分劃板6僅對與被光照射的曝光圖案13中的有效區域相當的圖案作AND NOT運算生成差分圖案22。而且，如圖29所示，對上述差分圖案22的圖案23彼此之間作AND運算之同時，對上述差分圖案22的圖案24彼此之間作OR運算，將上述的AND運算結果及OR運算的結果在預想圖案21上顯示。而且如圖30所示，將AND運算結果加在這一預想圖案21上，同時，在這一預想圖案21上刪除(減去)OR運算結果，用分別利用第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5、及第4分劃板6的拍攝模擬顯示玻璃基板7上至少被曝光一次的全部曝光圖案14。
因而，利用各第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5、及第4分劃板6對於預想圖案21隻對與光照射的有效區域的圖案相當的曝光圖案13作ANDNOT運算生成差分圖案22，減去成為ANDNOT運算對象的區域，能減少處理數據量，所以能更高速地生成差分圖案22。由此，能更加迅速並確實地發現分劃板數據11及曝光用數據12的設計錯誤，故能用更短的時間對分劃板圖案1進行檢查。
再有，上述第4至第6實施形態中，在將對差分圖案22的圖案23彼此之間作AND運算後的結果加在預想圖案21上之同時，從預想圖案21上刪除(減去)對上述差分圖案22的圖案24彼此之間作OR運算的結果，加工將上述AND運算和OR運算的結果重疊在預想圖案21上後的數據，模擬顯示與玻璃基板7上至少被曝光一次的圖案相當的全部曝光圖案14，但是不加工預想圖案21，僅通過將對差分圖案22的圖案23彼此之間作AND運算結果和對上述的差分圖案22的圖案24彼此之間作OR運算的結果的各個結果重疊在預想圖案21上並顯示，能確認玻璃基板7上全部曝光圖案14。
具體為將對差分圖案22的圖案23彼此之間作AND運算結果作為追加圖案原樣地重疊在預想圖案21上顯示，同時，不是將對差分圖案22的圖案24之間作OR運算結果作為刪除(減去)圖案而實際上刪除(相減)，通過做監視器上看不到的處理，將上述AND運算及OR運算的結果重疊在預想圖案21上顯示。
最終，因為能確認與玻璃基板7上至少被曝光一次以上的圖案相當的全部曝光圖案14，所以能獲得和上述第4至第6實施形態同樣的效果，同時，由於沒有對差分圖案22的追加圖案及刪除(相減)圖案在數據上的加工，所以能更高速顯示與玻璃基板7上的圖案相當的全部曝光圖案，能容易地完成上述數據的處理。
再有，也可以利用各第1分劃板3、第2分劃板4、第3分劃板5、及第4分劃板6的拍攝將表示與玻璃基板7上所曝光的圖案相當的曝光圖案13的模擬結果和預想圖案21之間的差分圖案22重疊在預想圖案21上顯示，或者也可以將上述差分圖案22相對於預想圖案21加工後顯示。這時，需要按照玻璃基板7上的基板尺寸進行運算，所以處理時間長，但因能高速地顯示，故也能起到和上述第4至第6實施形態同樣的效果。
根據本發明，利用分劃板數據及曝光用數據在基板上形成基板圖案之際對與該基板上每次拍攝都曝光的多個區域相當的圖案作OR運算或AND運算後，按照上述OR運算或AND運算，通過模擬基板上至少被曝光一次的區域的圖案，利用分劃板數據及曝光用數據在基板上形成基板圖案之際，因能識別並容易理解該基板上未曝光的區域，所以能容易發現上述分劃板數據及曝光用數據的設計錯誤。
另外，利用分劃板數據及曝光用數據在基板上形成基板圖案之際，生成預想的預想圖案後，運算這一預想圖案和利用分劃板數據及曝光用數據在基板上形成基板圖案之際的曝光圖案，模擬基板上被曝光區域的圖案，或生成表示這一運算時的差分的差分圖案，將該差分圖案疊在預想圖案上，或對它們運算，通過模擬利用分劃板數據及曝光用數據在基板上形成的基板圖案，從而在利用分劃板數據及曝光用數據在基板上形成基板圖案之際能識別該基板上未曝光的部分、或該基板上曝光的重疊部分並方便地檢查，所以能容易地發現上述分劃板數據及曝光用數據的設計錯誤。
權利要求
1.一種圖案模擬方法，是對根據分劃板數據和曝光用數據模擬在基板上曝光形成的基板圖案進行模擬的圖案模擬方法，所述分劃板數據用於表示將想要在所述基板上形成的全部圖案分割成多個區域的每個分割區域的分劃板圖案，所述曝光用數據用於表示將所述分劃板圖案拍攝在所述基板的哪個位置上，其特徵在於，在利用所述分劃板數據及曝光用數據在所述基板上形成所述基板圖案之際，對與該基板上的每次拍攝曝光的多個區域相當的圖案作OR運算，根據這一OR運算，模擬所述基板被曝光一次以上的區域的圖案。
2.如權利要求1所述的圖案模擬方法，其特徵在於，利用分劃板數據及曝光用數據在基板上形成基板圖案之際，對與該基板上被曝光的區域相當的圖案作NOT運算，根據該NOT運算，模擬所述基板上未曝光區域的圖案。
3.一種圖案模擬方法，是對根據分劃板數據和曝光用數據模擬在基板上曝光形成的基板圖案的圖案模擬方法，所述分劃板數據用於表示將想要在所述基板上形成的全部圖案分割成多個區域的每個分割區域的分劃板圖案，所述曝光用數據用於表示將所述分劃板圖案拍攝在所述基板的哪個位置上，其特徵在於，利用所述分劃板數據及曝光用數據在所述基板上形成所述基板圖案之際，對與該基板上相鄰區域的每次拍攝被曝光的多個區域相當的圖案作AND運算，根據這一AND運算，模擬所述基板上被多次曝光的區域的圖案。
4.如權利要求3所述的圖案模擬方法，其特徵在於，曝光用數據具有使對基板上不相鄰的區域的拍攝優先，使以分劃板圖案為依據的基板圖案在所述基板上曝光的數據。
5.一種圖案模擬方法，是對根據分劃板數據和曝光用數據模擬在所述基板上曝光形成的基板圖案的圖案模擬方法，所述分劃板數據用於表示將想要在所述基板上形成的全部圖案分割成多個區域的每個分割區域的分劃板圖案，所述曝光用數據用於表示將所述分劃板圖案拍攝在所述基板的哪個位置上，其特徵在於，根據所述分劃板數據及曝光用數據在所述基板上形成所述基板圖案之際生成預想的預想圖案，對這一預想圖案以及、與根據所述分劃板數據及曝光用數據在所述基板上形成所述基板圖案之際的曝光圖案相當的圖案作計算，對該基板上曝光的區域的圖案作模擬。
6.如權利要求5所述的圖案模擬方法，其特徵在於，對預想圖案和與根據所述分劃板數據及曝光用數據在所述基板上形成所述基板圖案之際的曝光圖案相當的圖案作運算，生成表示其差分的差分圖案，對該差分圖案和與根據所述分劃板數據及曝光用數據在所述基板上形成所述基板圖案之際的曝光圖案相當的圖案進行運算，同時計算所述預想圖案與所述差分圖案，根據所述分劃板數據及曝光用數據對所述基板上形成的基板圖案進行模擬。
7.一種圖案模擬方法，是利用分劃板數據和曝光用數據模擬在所述基板上曝光形成的基板圖案的圖案模擬方法，所述分劃板數據用於表示將想要在所述基板上形成的全部圖案分割成多個區域的每個分割區域的分劃板圖案，所述曝光用數據用於表示將所述分劃板圖案拍攝在所述基板的哪個位置上，其特徵在於，利用所述分劃板數據及曝光用數據在所述基板上形成所述基板圖案之際生成預想的預想圖案，對該預想圖案和與根據所述分劃板數據及曝光用數據在所述基板上形成所述基板圖案之際的曝光圖案相當的圖案進行運算，並生成表示其差分的差分圖案，將一差分圖案重疊在所述預想圖案上，根據所述分劃板數據及曝光用數據模擬在所述基板上形成的所述基板圖案。
8.一種圖案模擬方法，是對根據分劃板數據及曝光用數據模擬在基板上曝光形成的基板圖案的圖案模擬方法，所述分劃板數據用於表示將想要在所述基板上形成的全部圖案分割成多個區域的每個分割區域的分劃板圖案，所述曝光用數據用於表示將所述的分劃板圖案拍攝在所述基板的哪個位置上，其特徵在於，在根據所述分劃板數據及曝光用數據在所述基板上形成所述基板圖案之際生成預想的預想圖案，對該預想圖案，和與根據所述分劃板數據及曝光用數據在所述基板上形成所述基板圖案之際的曝光圖案相當的圖案作運算並生成表示其差分的差分圖案，對該差分圖案和所述預想圖案進行運算，模擬根據所述分劃板數據及曝光用數據生成的所述基板圖案。
9.一種圖案模擬程序，是對根據分劃板數據及曝光用數據在所述基板上曝光形成的基板圖案進行模擬的計算機可讀取的圖案模擬程序，所述分劃板數據用於表示將想要在所述基板上形成的全部圖案分割成多個區域的每個分割區域的分劃板圖案，所述曝光用數據用於表示將所述分劃板圖案拍攝在所述基板的哪個位置上，其特徵在於，包括根據所述分劃板數據和曝光用數據在所述基板上形成所述基板圖案之際，對該基板上的與每次拍攝被曝光的多個區域相當的圖案進行OR運算的步驟、以及根據所述OR運算，模擬所述基板上的至少被曝光一次的區域的圖案的步驟。
10.如權利要求9所述的圖案模擬程序，其特徵在於，包括根據分劃板數據及曝光用數據在基板上生成基板圖案之際，對與該基板上被曝光區域相當的圖案進行NOT運算的步驟、及根據所述NOT運算，模擬所述基板上未被曝光區域的圖案的步驟。
11.一種圖案模擬程序，是根據分劃板數據及曝光用數據，對在所述基板上被曝光形成的基板圖案進行模擬的計算機可讀取的圖案模擬程序，所述分劃板數據用於表示將想要在所述基板上形成的全部圖案分割成多個區域的每個分割區域的分劃板圖案，所述曝光用數據用於表示將所述分劃板圖案拍攝在所述基板的哪個位置上，其特徵在於，根據所述分劃板數據及曝光用數據在所述基板上形成所述基板圖案之際，對與該基板上的相鄰區域的每次拍攝曝光的多個區域相當的圖案作AND運算的步驟、及根據所述AND運算，模擬所述基板上被多次曝光區域的圖案的步驟。
12.如權利要求11所述的圖案模擬程序，其特徵在於，曝光用數據具有使對基板上不相鄰的區域的拍攝優先，使以分劃板圖案為依據的基板圖案在所述基板上曝光的數據。
13.一種圖案模擬程序，是根據分劃板數據及曝光用數據，對在基板上曝光形成的基板圖案進行模擬的計算機可讀取的圖案模擬程序，所述分劃板數據用於表示將想要在所述基板上形成的全部圖案分割成多個區域的每個分割區域的分劃板圖案，所述曝光用數據用於表示將所述分劃板圖案拍攝在所述基板的哪個位置上，其特徵在於，具備根據所述分劃板數據及曝光用數據在所述基板上形成所述基板圖案之際生成預想的預想圖案的步驟、對所述預想圖案、和與根據所述分劃板數據及曝光用數據在所述基板上形成所述基板圖案之際的曝光圖案相當的圖案作運算的步驟、以及根據所述運算，對所述基板上被曝光的區域的圖案進行模擬的步驟。
14.如權利要求13所述的圖案模擬程序，其特徵在於，包括在對預想圖案和根據分劃板數據及曝光用數據在基板上形成基板圖案之際的曝光圖案進行運算時生成表示其差分的差分圖案的步驟、對該差分圖案、和與根據所述分劃板數據及曝光用數據在所述基板上形成所述基板圖案之際的曝光圖案相當的圖案進行運算的步驟、對所述預想圖案的差分圖案進行運算的步驟、以及根據所述各運算，對利用所述分劃板數據及曝光用數據模擬在所述基板上形成的基板圖案進行模擬的步驟。
15.一種圖案模擬程序，是根據分劃板數據及曝光用數據，對在所述基板上曝光形成的基板圖案進行模擬的計算機可讀取的圖案模擬程序，所述分劃板數據用於表示將想要在所述基板上形成的全部圖案分割成多個區域的每個分割區域的分劃板圖案，所述曝光用數據用於表示將所述分劃板圖案拍攝在所述基板的哪個位置上，其特徵在於，包括根據分劃板數據及曝光用數據在所述基板上形成所述基板圖案之際生成預想的預想圖案的步驟、對所述預想圖案，和與根據所述分劃板數據及曝光用數據在所述基板上形成所述基板圖案之際的曝光圖案相當的圖案進行運算的步驟、根據所述運算，生成與所述預想圖案和根據所述分劃板數據及曝光用數據在所述基板上形成所述基板圖案時的曝光圖案之間的差分相當的差分圖案的步驟、以及將所述差分圖案重疊在所述預想圖案上，模擬與根據所述分劃板數據及曝光用數據在所述基板上形成的所述基板圖案相當的圖案的步驟。
16.一種圖案模擬程序，是利用分劃板數據及曝光用數據，對在基板上被曝光的基板圖案進行模擬的計算機可讀取的圖案模擬程序，所述分劃板數據用於表示將想要在所述基板上形成的全部圖案分割成多個區域的每個分割區域的分劃板圖案，所述曝光用數據用於表示將所述分劃板圖案拍攝在所述基板的哪個位置上，其特徵在於，包括根據所述分劃板數據及曝光用數據在所述基板上形成所述基板圖案之際生成預想的預想圖案的步驟、對該預想圖案、和與根據所述分劃板數據及曝光用數據與在所述基板上形成所述基板圖案之際的曝光圖案相當的圖案進行運算的步驟、根據該運算，生成所述預想圖案和根據所述分劃板數據及曝光用數據在所述基板上形成所述基板圖案時的曝光圖案之間的差分相當的差分圖案的步驟、對該差分圖案和所述預想圖案進行運算的步驟、以及根據該運算，利用所述分劃板數據及曝光用數據對在所述基板上形成的所述基板圖案進行模擬的步驟。
17.一種記錄圖案模擬程序的媒體，其特徵在於，如權利要求9至16中任何一項所述的圖案模擬程序可讀取地記錄在計算機中。
18.一種圖案模擬裝置，其特徵在於，根據權利要求9至16中任何一項所述的圖案模擬程序，對在基板上形成的基板圖案進行模擬。
全文摘要
本發明提供一種能容易地發現分劃板數據及曝光用數據的設計錯誤的圖案模擬方法。分劃板數據是將在玻璃基板上形成的全部圖案分割成多個區域的每個分割區域的分劃板圖案。曝光用數據表示將分劃板圖案拍攝在玻璃基板的哪個位置上。利用分劃板數據及曝光用數據在玻璃基板上形成基板圖案之際，對玻璃基板上每次拍攝的曝光區域作OR運算。根據OR運算模擬玻璃基板上的曝光圖案。利用分劃板數據及曝光用數據能容易地檢查在玻璃基板上形成基板圖案之際的玻璃基板上的未曝光的遮光區域。
文檔編號G02F1/1362GK1521566SQ20041000530
公開日2004年8月18日 申請日期2004年2月10日 優先權日2003年2月10日
發明者樫本登, 伊月義治, 本登, 治 申請人:東芝松下顯示技術有限公司