有機電致發光屏電極的製作方法
2023-06-17 05:24:01 2
專利名稱：有機電致發光屏電極的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種電極的製作方法，特別是涉及一種有機電致發光屏的電極的製作方法。
背景技術：
一般的有機電致發光屏(或稱有機電致發光顯示屏-OLED)需要製作前電極和背電極。製作發光屏的首道工序就是製作前電極。製作前電極是將透明導電膜層刻製成條狀的電極。
在先技術中，前電極的製作過程，如圖1所示的製作過程1首先在發光屏的玻璃基片1上覆蓋一層ITO(氧化銦錫)透明導電膜2；2在ITO透明導電膜2上塗上一層光刻膠層3；3在光刻膠層3上置放一相對應電極條掩膜的掩膜板4，並用紫外光源5進行光刻，刻製成與電極條相對應的光刻膠條6；4用腐蝕刻制的方法，刻去兩兩光刻膠條6之間所露出的ITO透明導電膜，即刻制出ITO電極條7和兩電極條之間的間隙8；5去掉覆蓋ITO電極條7上的光刻膠條6；為了防止ITO電極條邊緣漏電，要再用光刻的方法在ITO電極的邊緣做一層絕緣層，然後再做隔離柱為最後蒸發背電極時，形成相互隔離的垂直於ITO電極條的背電極條。所以，要進行下一步6用甩膠的方法在ITO電極條上塗上一層專做絕緣層的正性光刻膠層12；7用專做絕緣層的掩膜板13進行精確對位後進行曝光，其精確度要求5微米以下；8進行顯影，把需要留下的絕緣層14留下並進行高溫烘烤。上述的製作過程中要求兩次對準掩膜板，兩次光刻。其操作比較複雜，嚴重的影響了製作效率。而且由於製作的是正性光刻膠層的絕緣層，是有機絕緣層，不僅所用的光刻膠價格昂貴，而且還容易帶來殘留有機氣氛，影響有機電致發光器件的性能，經常會出現光點的收縮等不良效果。
發明內容
本發明的目的是為了克服製作絕緣層時再次需要精確對準的掩膜板光刻和有機絕緣層所帶來的麻煩以及對有機電致發光屏的不利因素。提供一種製作有機電致發光屏電極的方法。製作的絕緣層是無機絕緣層，絕緣層製作後無須再用掩膜板和光刻。
本發明為了達到上述的目的所採取的技術方案分為前電極和背電極的製作過程。在製作前電極的過程中，當刻制出透明電極條及其間隙之後，即上述製作前電極過程中，第4步完成之後，先不去掉覆蓋在電極條上的光刻膠條，而是用溶劑溶解光刻膠條，使光刻膠條的長度和寬度收縮，露出透明電極條的邊緣，然後在上面覆蓋一層無機絕緣層，再將覆蓋在透明電極條上的光刻膠條連同覆蓋在它上的絕緣層一起去掉，則留下的是覆蓋透明電極條之間間隙和包住透明電極條邊緣的絕緣層，此絕緣層起到了保護電極條邊緣的作用。
製作背電極的過程中，採用拉線模具和一次蒸鍍的方法製作背電極條。本發明電極的製作方法效果顯著。
①本發明的前電極製作過程中，比在先技術製作前電極的過程中減少了一次置放掩膜板和光刻的工藝過程，縮短了製作前電極的總過程，提高了生產效率。
②本發明前電極的製作過程中，製作絕緣層是自對準。不存在對準掩膜板不準確的問題，從而工藝簡單化了，精度也提高了。
③本發明前電極的製作過程中，製作絕緣層是用無機絕緣材料，它的性能穩定可靠，也免去了在先技術中用有機絕緣層對有機電致發光器件所帶來的不良影響。
④本發明製作背電極的過程中，因為採用拉線模具一次蒸鍍成功。而且，該拉線模具能夠時時繃緊拉線，蒸鍍出的電極條均勻而精確度高，而且操作簡單方便。又減少了一道光刻的工藝過程。
圖1是在先技術製作有機電致發光屏前電極的方法過程示意圖；圖2是本發明製作有機電致發光屏前電極的方法過程示意圖；
圖2-1是圖2中第4步的A平面放大圖；圖2-2是圖2中第5步的B平面放大圖。
具體實施例方式
下面結合附圖進一步說明本發明製作有機電致發光屏電極的方法以及與在先技術對比存在的優點。
圖2是本發明有機電致發光屏前電極的製作過程示意圖。如圖2所示1首先在發光屏的透明基片1上覆蓋一層透明導電膜2；在本實施例中，透明基片選擇玻璃基片，透明導電膜選用ITO(氧化銦錫)透明導電膜作為前電極的膜層；2在上述透明導電膜2上塗上一層光刻膠層3；在本實施例中，採用正性光刻膠層；3在上述的光刻膠層3上置放一掩膜板4，掩膜板4上的掩膜為相對應的透明電極條7，並用紫外光源5進行光刻，將光刻膠層刻製成光刻膠條6；4對上述覆蓋有光刻膠條6的透明導電膜進行腐蝕刻制，經過蝕刻後留下覆蓋有光刻膠條6的透明電極條7以及透明電極條7之間的間隙8；5用溶劑溶解上述覆蓋在透明電極條7上的光刻膠條6，使光刻膠條6的長寬收縮，露出透明導電條7的邊緣，如圖2和圖2-2中所示的溶解後的光刻膠條9；在本實施例中，所採用的溶劑是比一般顯影液濃度低30％至50％的顯影液；由圖2-2的平面放大圖與圖2-1的平面放大圖比較，顯然，被溶解後的光刻膠條9比溶解前的光刻膠條6收縮5微米到10微米，，也就是說，溶解光刻膠條6至收縮到露出透明電極條7的邊緣5微米到10微米為止；6在其上面覆蓋一層無機絕緣層10；所覆蓋的無機絕緣層10是由無機絕緣材料氧化物，或氮化物，或硫化物，或氟化物構成。在本實施例中，採用無機絕緣材料SiO2作為絕緣層，絕緣層的厚度為200納米；所述的覆蓋無機絕緣層的方法可以採用真空蒸發的方法，或者採用高頻濺射的方法，或者採用溶膠凝膠的方法。在本實施例中，採用高頻濺射的方法塗鍍SiO2絕緣層；7採用一般的去膠液或用雷射去膠的方法把光刻膠和附在它上面的無機絕緣層(SiO2層)一起去掉，留下覆蓋住透明電極條邊緣和透明電極條之間間隔的無機絕緣層11。
由圖2與圖1對比，顯然，圖2本發明製作有機電致發光屏前電極的過程比圖1在先技術製作前電極的過程短，省去了一次加掩膜板和光刻的工藝過程，提高了生產效率和製作精度。
本發明製作有機電致發光屏的背電極是採用拉線模具(中國專利200310109330.6提供)和一次蒸鍍的方法製作背電極條。在本實施例中，是採用真空蒸鍍的方法一次蒸鍍成功。這一次成功地蒸鍍背電極條又比在先技術省去了一次加掩膜板和光刻的工藝過程。所以，綜合本發明有機電致發光屏電極的製作方法比在先技術製作電極的過程省去了二次光刻的工藝過程，不僅縮短了製作過程，而且製作精度也提高了。
權利要求
1.一種有機電致發光屏電極的製作方法，分為前電極和背電極的製作過程，其中前電極的製作過程是1首先在發光屏的透明基片上覆蓋一層透明導電膜；2在透明導電膜上塗上一層光刻膠層；3在上述的光刻膠層上置放上一掩膜板，並用紫外光源進行光刻，將光刻膠層刻製成光刻膠條；4對上述覆蓋有光刻膠條的透明導電膜進行蝕刻，經蝕刻後留下覆蓋有光刻膠條的透明電極條及透明電極條之間的間隙；其特徵在於5用溶劑溶解上述覆蓋在透明電極條上的光刻膠條，使光刻膠條的長寬收縮，露出透明電極條的邊緣；6在其上面覆蓋一層無機絕緣層；7採用一般的去膠液或用雷射去膠的方法，將覆蓋在透明電極條上的光刻膠條及覆蓋在它上面的無機絕緣層一起去掉，留下覆蓋住透明電極條邊緣和透明電極條之間間隙的無機絕緣層；所述的背電極的製作過程中，採用拉線模具和一次蒸鍍的方法製作背電極條。
2.根據權利要求1所述的有機電致發光屏電極的製作方法，其特徵在於所述的溶解覆蓋在透明電極條上的光刻膠條的溶劑是低於一般顯影液濃度30％至50％的顯影液。
3.根據權利要求1所述的有機電致發光屏電極的製作方法，其特徵在於所述的溶解覆蓋在透明電極條上的光刻膠條至光刻膠條的長寬收縮到露出透明電極條的邊緣5微米到10微米為止。
4.根據權利要求1所述的有機電致發光屏電極的製作方法，其特徵在於所述的覆蓋的無機絕緣層是由無機絕緣材料氧化物，或氮化物，或硫化物，或氟化物構成。
5.根據權利要求1所述的有機電致發光屏電極的製作方法，其特徵在於所述的覆蓋無機絕緣層的方法可以採用真空蒸發的方法，或者採用高頻濺射的方法，或者採用溶膠凝膠的方法。
全文摘要
一種有機電致發光屏電極的製作方法，在製作前電極的過程中，當刻制出透明電極條及其間隙之後，先不去掉覆蓋在透明電極條上的光刻膠條，而是用溶劑溶解光刻膠條，使光刻膠條的長寬收縮，露出透明電極條的邊緣。然後在其上面覆蓋一層無機絕緣層，再將覆蓋在透明電極條上的光刻膠條連同覆蓋在它上面的絕緣層一起去掉，留下是包住透明電極條邊緣和覆蓋透明電極條之間間隙的絕緣層；製作背電極的過程中採用拉線模具和一次蒸鍍製成背電極條的方法。比在先技術製作前後電極省去了二次光刻的工藝過程，縮短了製作電極的過程，提高了製作精度。
文檔編號H01L21/28GK1828975SQ200610024068
公開日2006年9月6日 申請日期2006年2月22日 優先權日2006年2月22日
發明者張志林, 李曉峰, 張積梅 申請人:上海廣電電子股份有限公司, 上海大學