一種高純度三氯氧磷儲運供料裝置的製作方法
2023-06-09 02:39:56
專利名稱：一種高純度三氯氧磷儲運供料裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種劇毒危險品高純度三氯氧磷的儲運供料使用裝置。
背景技術：
高純度的三氯氧磷(99. 9999% 99. 99999% )是生產製造光纖預製棒的主要原材料之一，也是集成電路、太陽能電池、電子元器件生產過程的擴散、摻雜工藝中的主要原料，被廣泛運用於光伏、IC產業。但其屬於強腐蝕性、強氧化性、劇毒、遇水劇烈反應的無色透明化學品。目前對高純度三氯氧磷的儲運供料一種是使用高純石英容器(0. 4 1. 5L)盛裝，進出高純氮氣管採用PFA閥門密封、連接，作為運輸和使用容器，其缺點是玻璃容器易碎、換瓶頻繁、操作危險、洩漏風險高、人力成本高、物流成本高；另一種是使用19L不鏽鋼 SS316L儲罐，其缺點是操作煩瑣、裝置結構複雜、工作壓力高、裝置自身成本高、維護成本高 (需專業維護人員)，且不能徹底杜絕金屬雜質對物料的汙染。
發明內容本實用新型的目的是提供一種結構簡單、安全可靠、無洩漏、無汙染、使用方便，運行成本低的高純度三氯氧磷儲運供料裝置。本實用新型的目的是這樣實現的高純三氯氧磷容器上有氮氣入口閥、回料口閥門、出料口閥門，高純三氯氧磷容器連接高位槽，高位槽回接到高純三氯氧磷容器的回料口閥門，形成物料循環，高位槽連接石英鼓泡器，石英鼓泡器連接磷擴散器，石英鼓泡器回接到高純三氯氧磷容器的回料管。石英鼓泡器上有高純氮氣進氣閥。由於本實用新型採用了上述結構，減少了操作的勞動強度，節約人力成本；增加了操作的安全性，同時減少了物料汙染的機率；增強了作業系統的連續性，簡化了操作的難易度；極大地減少了顧客的購置和維護成本；全PFA材料徹底杜絕了玻璃材料和其他材料的金屬雜質溶出風險；極大地減少了生產和物流成本，採用帶有特殊出料管的石英鼓泡器，杜絕了加料時液位過高和溢出的風險，因此，受到三氯氧磷使用廠家的廣泛歡迎。
圖1為本實用新型第一實施例的結構圖。圖2為本實用新型第二實施例的結構圖。圖中1高純三氯氧磷容器、2氮氣入口閥、3回料口閥門、4出料口閥門、5高純度耐腐蝕泵、6單向閥、7高純氮氣調壓閥、8高純氮氣進氣閥、9高位槽、10高位槽出料閥、11鼓泡器加料閥、12第一磷擴散器、13第一石英鼓泡器、14第二石英鼓泡器、15第三石英鼓泡器、16磷擴散器閥門、17石英鼓泡器回料閥門、18第二磷擴散器、19第三磷擴散器。
具體實施方式
3[0010]實施例1 高純三氯氧磷容器1上有氮氣入口閥2、回料口閥門3、出料口閥門4，高純三氯氧磷容器1通過出料口閥門4和高純耐腐蝕泵5連接高位槽9，高位槽9通過回料管連接高純三氯氧磷容器1的回料口閥門3，形成物料循環，高位槽9通過高位槽出料閥10、 鼓泡器加料閥11連接第一石英鼓泡器13，第一石英鼓泡器13通過磷擴散器閥門16連接第一磷擴散器12，第二石英鼓泡器14連接第二磷擴散器18，第三石英鼓泡器15連接第三磷擴散器19，帶高純氮氣進氣閥8的第一石英鼓泡器13通過石英鼓泡器回料閥門17與第二石英鼓泡器14、第三石英鼓泡器15串聯並回接到高純三氯氧磷容器1的回料管中，高純氮氣調壓閥7通過單向閥6連接高純三氯氧磷容器1上的回料口閥門3。該裝置的所有管件、閥門均由高純PFA製成。高純三氯氧磷容器1材質為進口高純PFA，容積為20L-200L，在生產廠家完成灌裝並安全運送到使用廠家，高純氮氣通過高純氮氣調壓閥7和單向閥6分別連接至高純三氯氧磷容器1和尾氣系統，在開路狀態下保證高純三氯氧磷容器1罐內壓力平衡。高純三氯氧磷容器1的出料口閥門4連接高純耐腐蝕泵5，高純耐腐蝕泵5連接高位槽9，高位槽9通過回料管連接三氯氧磷容器1的回料口閥門3，形成物料循環。高位槽9連接第一石英鼓泡器13，第一石英鼓泡器13連接第一磷擴散器12。該裝置由高純度耐腐蝕泵5提供運輸動力，將物料由出料口端輸送到高位槽9中， 再由高位槽9形成的液位差作用將物料運送到各石英鼓泡器中，使用時，調節高純氮氣調壓閥7至合適壓力，打開氮氣入口閥2，氮氣分別流入高純三氯氧磷容器1和尾氣系統。打開出料口閥門4、回料口閥門3，啟動高純度耐腐蝕泵5將物料由高純三氯氧磷容器1輸送到高位槽9，再經由回料口閥門3流回高純三氯氧磷容器1，關閉出料口閥門4和回料口閥門3，關閉高純度耐腐蝕泵5，關閉磷擴散器閥門16，開啟高位槽出料閥10、鼓泡器加料閥 11、石英鼓泡器回料閥門17，物料流入石英鼓泡器中。三個石英鼓泡器串聯連接，物料在第一石英鼓泡器13中達到一定高度後流入第二石英鼓泡器14，再流入第三石英鼓泡器15，最終回到高純三氯氧磷容器1中，完成全部加料過程。實施例2 高純三氯氧磷容器1上有氮氣入口閥2、回料口閥門3、出料口閥門4，高純三氯氧磷容器1通過出料口閥門4和高純耐腐蝕泵5連接高位槽9，高位槽9通過回料管連接高純三氯氧磷容器的回料口閥門3，形成物料循環，高位槽9通過高位槽出料閥10、鼓泡器加料閥11分別連接第一石英鼓泡器13、第二石英鼓泡器14和第三石英鼓泡器15，第一石英鼓泡器13通過磷擴散器閥門16連接第一磷擴散器12，第二石英鼓泡器14連接第二磷擴散器18，第三石英鼓泡器15連接第三磷擴散器19，帶高純氮氣進氣閥8的第一石英鼓泡器13通過石英鼓泡器回料閥門17與第二石英鼓泡器14、第三石英鼓泡器15並聯並回接到高純三氯氧磷容器1的回料管中，高純氮氣調壓閥7通過單向閥6連接高純三氯氧磷容器1上的回料口閥門3。該裝置的所有管件、閥門均由高純PFA製成。高純三氯氧磷容器1材質為進口高純PFA，容積為20L-200L，在生產廠家完成灌裝並安全運送到使用廠家，高純氮氣通過高純氮氣調壓閥7和單向閥6分別連接至高純三氯氧磷容器1和尾氣系統，在開路狀態下保證高純三氯氧磷容器1罐內壓力平衡。高純三氯氧磷容器1的出料口閥門4連接高純耐腐蝕泵5，高純耐腐蝕泵5連接高位槽9，高位槽9通過回料管連接高純三氯氧磷容器1的回料口閥門3，形成物料循環。高位槽9通過高位槽出料閥10、鼓泡器加料閥11分別連接第一石英鼓泡器13、第二石英鼓泡器14和第三石英鼓泡器15，第一石英鼓泡器13連接第一磷擴散器12，帶高純氮氣進氣閥8的第一石英鼓泡器13、第二石英鼓泡器14、第三石英鼓泡器 15並聯並回接到高純三氯氧磷容器1的回料管中。 該裝置由高純度耐腐蝕泵5提供運輸動力，將物料由出料口端輸送到高位槽9中， 再由高位槽9形成的液位差作用將物料運送到各石英鼓泡器中，使用時，調節氮氣調壓閥7 至合適壓力，打開氮氣入口閥2，氮氣分別流入高純三氯氧磷容器1和尾氣系統。打開出料口閥門4、回料口閥門3，啟動高純度耐腐蝕泵5將物料由高純三氯氧磷容器1輸送到高位槽9，再經由回料口閥門3流回高純三氯氧磷容器1，關閉出料口閥門4、回料口閥門3，關閉高純度耐腐蝕泵5，關閉磷擴散器閥門16，開啟高位槽出料閥10、鼓泡器加料閥11，石英鼓泡器回料閥門17，物料流入石英鼓泡器中。三個石英鼓泡器並聯連接，物料在分別流入第一個石英鼓泡器13、第二個石英鼓泡器14和第三個石英鼓泡器15，最終回到高純三氯氧磷容器1中，完成全部加料過程。
權利要求1.一種高純度三氯氧磷儲運供料裝置，其特徵是高純三氯氧磷容器上有氮氣入口閥、回料口閥門、出料口閥門，高純三氯氧磷容器連接高位槽，高位槽回接到高純三氯氧磷容器的回料口閥門，形成物料循環，高位槽連接石英鼓泡器，石英鼓泡器連接磷擴散器，石英鼓泡器回接到高純三氯氧磷容器的回料管。
2.根據權利要求1所述的一種高純度三氯氧磷儲運供料裝置，其特徵是石英鼓泡器上有高純氮氣進氣閥。
專利摘要一種高純度三氯氧磷儲運供料裝置，高純三氯氧磷容器上有氮氣入口閥、回料口閥門、出料口閥門，高純三氯氧磷容器連接高位槽，高位槽回接到高純三氯氧磷容器的回料口閥門，形成物料循環，高位槽連接帶石英鼓泡器，石英鼓泡器連接磷擴散器，石英鼓泡器回接到高純三氯氧磷容器的回料管。該裝置減少了操作的勞動強度，節約人力成本；增加了操作的安全性，同時減少了物料汙染的機率；增強了作業系統的連續性，簡化了操作的難易度；全PFA材料徹底杜絕了玻璃材料和其他材料的金屬雜質溶出風險；極大地減少了生產和物流成本，採用帶有特殊出料管的石英鼓泡器，杜絕了加料時液位過高和溢出的風險，因此，受到三氯氧磷使用廠家的廣泛歡迎。
文檔編號B65D25/38GK201971334SQ20102069919
公開日2011年9月14日 申請日期2010年12月31日 優先權日2010年12月31日
發明者向東, 姜盛君, 舒驍驥 申請人:向東