一種可尋址電調成像波譜紅外探測晶片的製作方法
2023-06-09 04:42:26 2
一種可尋址電調成像波譜紅外探測晶片的製作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種可尋址電調成像波譜紅外探測晶片，包括電調成像波譜液晶模塊、面陣非製冷紅外探測器和驅控預處理模塊；電調成像波譜液晶模塊包括多個陣列分布的電調成像波譜液晶結構單元，用於使目標波束髮生多級次高反射幹涉相干，通過獨立調節加載在各電調成像波譜液晶結構單元上的電壓信號，調變透過各電調成像波譜液晶結構單元的譜紅外光波的波長；面陣非製冷紅外探測器用於將透過電調成像波譜液晶模塊的譜紅外光波轉換成電信號；驅控預處理模塊用於將光電信號進行量化、配準和非均勻性校正，得到目標紅外圖像數據。該晶片可實現可尋址的快速譜檢錄、譜搜索、譜凝視、譜跟蹤或譜鎖定，易與其它光學、光電和機械結構耦合，環境適應性好。
【專利說明】一種可尋址電調成像波譜紅外探測晶片
【技術領域】
[0001]本實用新型屬於紅外成像探測【技術領域】，更具體地，涉及一種可尋址電調成像波譜紅外探測晶片。
【背景技術】
[0002]通常情況下，自然界中的物質結構均具有可標記的指紋性電磁輻射能譜形態，常以納米/皮米級譜寬的光頻電磁輻射形式呈現出來，出現在成像系統視場中的是本徵譜輻射特徵各異的目標與景物。基於譜福射特徵相對穩定這一屬性捕捉複雜背景環境中的局域目標，通過光學硬體將目標直觀地凸顯出來，將有效降低信息處理量，節省電子資源，顯著提升目標的電子圖像構建、信息處理和系統應對速度。目前已廣泛應用的譜成像措施包括:(一)通過能譜測量解算寬譜圖像，得到靜態或前一緩變時段的序列譜圖像；(二)基於譜波束變換得到目標的靜態或緩變時序譜圖像；(三)通過級聯濾波或多級次相干幹涉得到目標的序列譜圖像；(四)通過配置多臺套並行工作的譜成像裝置，得到譜空變或時序譜圖像；(五)通過衍射分光實現波譜數量有限的譜並行成像等。進入新世紀以來，基於光子或熱效應的大面陣寬譜紅外成像探測技術持續快速發展，微/納光學與紅外光敏結構的匹配耦合技術也在日趨成熟。研發具備譜時序、譜空變、譜凝視、譜跳轉、快速譜掃描或譜檢錄等功能，成本相對低廉的小/微型化譜成像探測技術，已成為發展先進紅外成像技術的一個主要分支，受到廣泛關注和重視。
[0003]目前的譜紅外成像探測技術其缺陷主要表現在以下方面:需配置複雜精密的飼月艮、驅動或掃描機構，譜分光成像裝置的體積和質量大，波譜切換依特定秩序展開，響應慢且耗時長，不適用于波譜成分豐富的高速運動載荷或目標，難以執行局域視場的受控譜切入與譜調變，難以並行執行全視場中的局域譜凝視、譜掃描或譜變更，難以對局域視場進行快速譜檢錄、譜搜索、譜跟蹤或譜鎖定，難以對成像視場執行任意的空間譜分割與譜整合
坐寸ο
[0004]近幾年來，基於電控法布裡泊羅(Fabry-Perot或簡寫為FP)幹涉濾波效應的晶片級電調液晶譜成像探測技術，基於關鍵性的電控液晶波譜結構及其與光敏器件集成方面所取得的進展，已成為解決上述問題的一個突破口。目前已具備的主要功能包括:(一)可在液晶結構上施加所選定的電驅控信號，成像探測可在任意波譜處展開、凝固或調變；(二)具有時序多色性，即依時間順序輸出譜圖像；(三)基於時序譜掃描的單譜、多譜複合；(四)譜操作受先驗知識或圖像處理結果的約束、幹預或引導。儘管如此，尚缺乏空間譜並行這樣的成像探測能力，即成像波譜不能隨成像空域調變。因此，如何基於小/微型化的電控液晶FP譜成像技術，實現成像視場的可尋址靈巧譜紅外成像探測，已成為推進紅外譜成像探測技術繼續發展所面對的難點問題，迫切需要新的突破。
實用新型內容
[0005]針對現有技術的以上缺陷或改進需求，本實用新型提供了一種可尋址電調成像波譜紅外探測晶片，可實現可尋址的快速譜檢錄、譜搜索、譜凝視、譜跟蹤、譜跳轉或譜鎖定，易與其它光學/光電/機械結構耦合，環境適應性好。
[0006]為實現上述目的，本實用新型提供了一種可尋址電調成像波譜紅外探測晶片，其特徵在於，包括電調成像波譜液晶模塊、面陣非製冷紅外探測器和驅控預處理模塊；其中，所述面陣非製冷紅外探測器被劃分成多個陣列分布的子面陣非製冷紅外探測器，每個子面陣非製冷紅外探測器包括數量和排布方式相同的多個陣列分布的光敏元；所述電調成像波譜液晶模塊與所述面陣非製冷紅外探測器匹配耦合，包括多個陣列分布的電調成像波譜液晶結構單元，電調成像波譜液晶結構單元與子面陣非製冷紅外探測器一一對應；所述電調成像波譜液晶模塊用於使目標波束髮生多級次高反射幹涉相干，通過獨立調節加載在各電調成像波譜液晶結構單元上的電壓信號，調變透過各電調成像波譜液晶結構單元的譜紅外光波的波長；所述面陣非製冷紅外探測器用於將透過所述電調成像波譜液晶模塊的譜紅外光波轉換成電信號；所述驅控預處理模塊用於將光電信號進行量化、配準和非均勻性校正，得到目標紅外圖像數據。
[0007]優選地，所述電調成像波譜液晶模塊和所述面陣非製冷紅外探測器均為mXn元，其中，m、η均為大於I的整數。
[0008]優選地，所述子面陣非製冷紅外探測器為pXq元，其中，P、q均為大於I的整數。
[0009]優選地，所述驅控預處理模塊採用SoC和FPGA結合的結構。
[0010]優選地，所述驅控預處理模塊還用於為所述電調成像波譜液晶模塊和所述面陣非製冷紅外探測器提供驅動和調控信號，驅動所述電調成像波譜液晶模塊和所述面陣非製冷紅外探測器工作，並對施加在各電調成像波譜液晶結構單元上的電壓信號進行調控。
[0011 ] 優選地，還包括陶瓷外殼和金屬支撐散熱板；其中，所述陶瓷外殼位於所述金屬支撐散熱板的上方，所述金屬支撐散熱板與所述陶瓷外殼固聯，用於支撐和散熱，所述驅控預處理模塊、所述面陣非製冷紅外探測器和所述電調成像波譜液晶模塊同軸順序置於所述陶瓷外殼內，其中，所述面陣非製冷紅外探測器位於所述驅控預處理模塊的上方，所述電調成像波譜液晶模塊位於所述面陣非製冷紅外探測器的上方且其光入射面通過所述陶瓷外殼的面部開孔裸露出來。
[0012]優選地，所述驅控預處理模塊上設有第二埠和第二指示燈，所述面陣非製冷紅外探測器上設有第三埠和第三指示燈，所述電調成像波譜液晶模塊上設有第四埠和第四指示燈；所述第二埠用於從所述驅控預處理模塊向所述面陣非製冷紅外探測器和所述電調成像波譜液晶模塊輸出驅動和調控信號，還用於接收來自所述面陣非製冷紅外探測器的紅外光電響應信號，還用於接收外部設備向探測器輸入的工作指令，所述第二指示燈用於指示所述驅控預處理模塊是否處在正常的工作狀態；所述第三埠用於輸入所述驅控預處理模塊提供給所述面陣非製冷紅外探測器的驅動和調控信號，還用於從所述面陣非製冷紅外探測器向所述驅控預處理模塊輸出紅外光電響應信號，所述第三指示燈用於指示所述面陣非製冷紅外探測器是否處在正常工作狀態；所述第四埠用於輸入所述驅控預處理模塊提供給所述電調成像波譜液晶模塊的驅動和調控信號，所述第四指示燈用於指示所述電調成像波譜液晶模塊是否處在正常工作狀態。
[0013]優選地，所述驅控預處理模塊上設有第一埠和第一指示燈，所述第一埠用於接入電源線以連接外部電源，所述第一指示燈用於指示電源是否接通。[0014]優選地，所述驅控預處理模塊上設有第五埠和第五指示燈，所述第五埠用於將所述目標紅外圖像數據從所述驅控預處理模塊輸出，所述第五指示燈用於指示所述驅控預處理模塊是否處在正常的數據輸出狀態。
[0015]總體而言，通過本實用新型所構思的以上技術方案與現有技術相比，具有以下有益效果:
[0016]1、成像視場的可尋址譜分割與譜調變。本實用新型基於電調成像波譜液晶模塊與面陣非製冷紅外探測器匹配耦合的結構，實現成像視場的譜分割與譜調變，具有時序譜成像與譜空間並行成像探測的優點。
[0017]2、譜成像方式靈活。通過對各電調成像波譜液晶結構單元獨立執行加電操作，可對成像視場進行可尋址的快速譜檢錄，以及局域化的動態譜搜索、譜凝視、譜跟蹤、譜跳轉與譜鎖定。
[0018]3、智能化。通過調變電調成像波譜模塊的加電模式，使譜成像探測可在先驗知識或圖像處理結果的約束、幹預或引導下展開。
[0019]4、測量精度高。由於本實用新型採用電調成像波譜液晶模塊和大面陣非製冷紅外探測器，均具有極高的性能穩定性和精度，所以本實用新型具有測量精度高的優點。
[0020]5、使用方便。本實用新型的電調成像波譜液晶模塊、面陣非製冷紅外探測器和驅控預處理模塊集成在單個晶片上，接插方便，易與常規紅外光學系統、電子和機械裝置匹配耦合。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0021]圖1是本實用新型實施例的可尋址電調成像波譜紅外探測晶片的結構示意圖；
[0022]圖2是本實用新型實施例的可尋址電調成像波譜紅外探測晶片的原理示意圖。
[0023]圖1中:1_第一指示燈，2-第一埠，3-第二指示燈，4-第三指示燈，5-第四指示燈，6-第二埠，7-第三埠，8-驅控預處理模塊，9-面陣非製冷紅外探測器，10-第四埠，11-電調成像波譜液晶模塊，12-第五指示燈，13-第五埠，14-金屬支撐散熱板，15-陶瓷外殼。
【具體實施方式】
[0024]為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，並不用於限定本實用新型。此外，下面所描述的本實用新型各個實施方式中所涉及到的技術特徵只要彼此之間未構成衝突就可以相互組合。
[0025]如圖1所示，本實用新型實施例的可尋址電調成像波譜紅外探測晶片包括:陶瓷外殼15、金屬支撐散熱板14和可尋址電調成像波譜紅外探測架構。
[0026]可尋址電調成像波譜紅外探測架構位於陶瓷外殼15內，包括:驅控預處理模塊8、面陣非製冷紅外探測器9和電調成像波譜液晶模塊11。
[0027]陶瓷外殼15位於金屬支撐散熱板14的上方。金屬支撐散熱板14與陶瓷外殼15固聯，用於支撐和散熱。驅控預處理模塊8、面陣非製冷紅外探測器9和電調成像波譜液晶模塊11同軸順序置於陶瓷外殼15內。其中，驅控預處理模塊8採用SoC和FPGA結合的結構，面陣非製冷紅外探測器9位於驅控預處理模塊8的上方，電調成像波譜液晶模塊11位於面陣非製冷紅外探測器9的上方且其光入射面通過陶瓷外殼15的面部開孔裸露出來。
[0028]面陣非製冷紅外探測器9被劃分成多個陣列分布的子面陣非製冷紅外探測器，每個子面陣非製冷紅外探測器包括數量和排布方式相同的多個陣列分布的光敏元。基於封閉在微腔中的液晶材料的電控FP幹涉濾波效應的電調成像波譜液晶模塊11，包括多個陣列分布的電調成像波譜液晶結構單元。電調成像波譜液晶模塊11與面陣非製冷紅外探測器9匹配耦合，電調成像波譜液晶結構單元與子面陣非製冷紅外探測器一一對應。電調成像波譜液晶模塊11和面陣非製冷紅外探測器9均為mXn元，其中，m、n均為大於I的整數。子面陣非製冷紅外探測器為PXq元，其中，P、q均為大於I的整數，例如，子面陣非製冷紅外探測器可以是32X32元、64X 64元、128 X 128元甚至更大規模陣列。
[0029]目標紅外入射光進入電調成像波譜液晶模塊11後，與受控電場激勵下的液晶分子作用，光程發生改變。譜紅外光波在電調成像波譜液晶模塊11內經過多級次高反射幹涉相干後，被與電調成像波譜液晶模塊11混合集成的面陣非製冷紅外探測器9轉換成紅外光電響應信號，驅控預處理模塊8將紅外光電響應信號量化進行量化、配準和非均勻性校正後，得到目標紅外圖像數據並通過輸出埠輸出。對電調成像波譜液晶模塊11的電調成像波譜液晶結構單元獨立執行加電操作，等效於對成像視場進行與電調成像波譜液晶模塊11對應的區域化分割，可對成像視場進行可尋址式的快速譜檢錄、譜搜索、譜凝視、譜跟蹤或譜鎖定。
[0030]驅控預處理模塊8還用於為電調成像波譜液晶模塊11和面陣非製冷紅外探測器9提供驅動和調控信號，驅動電調成像波譜液晶模塊11和面陣非製冷紅外探測器9工作，並對施加在各電調成像波譜液晶結構單元上的電壓信號進行調控。
[0031]驅控預處理模塊8上設有第一埠 2、第二埠 6、第五埠 13、第一指示燈1、第二指示燈3和第五指示燈12。其中，第一埠 2用於接入電源線以連接外部電源，第二埠 6用於從驅控預處理模塊8向面陣非製冷紅外探測器9和電調成像波譜液晶模塊11輸出驅動和調控信號，還用於接收來自面陣非製冷紅外探測器9的紅外光電響應信號，還用於接收外部設備向探測器輸入的工作指令，第五埠 13用於將目標紅外圖像數據從驅控預處理模塊8輸出。第一指示燈I用於指示電源是否接通，電源接通則第一指示燈I亮，否則熄滅，第二指示燈3用於指示驅控預處理模塊8是否處在正常的工作狀態，驅控預處理模塊8處在正常的工作狀態則第二指示燈3閃爍，否則熄滅，第五指示燈12用於指示驅控預處理模塊8是否處在正常的數據輸出狀態，驅控預處理模塊8處在正常的數據輸出狀態，則第五指示燈12閃爍，否則熄滅。
[0032]面陣非製冷紅外探測器9上設有第三埠 7和第三指示燈4。其中，第三埠 7用於輸入驅控預處理模塊8提供給面陣非製冷紅外探測器9的驅動和調控信號，還用於從面陣非製冷紅外探測器9向驅控預處理模塊8輸出紅外光電響應信號。第三指示燈4用於指示面陣非製冷紅外探測器9是否處在正常工作狀態，面陣非製冷紅外探測器9處在正常工作狀態，則第三指示燈4閃爍，否則熄滅。
[0033]電調成像波譜液晶模塊11上設有第四埠 10和第四指示燈5。其中，第四埠10用於輸入驅控預處理模塊8提供給電調成像波譜液晶模塊11的驅動和調控信號，第四指示燈5用於指示電調成像波譜液晶模塊11是否處在正常工作狀態，電調成像波譜液晶模塊11處在正常工作狀態則第四指示燈5閃爍，否則熄滅。
[0034]上述第一埠 2、第二埠 6、第三埠 7、第四埠 10、第五埠 13、第一指示燈
1、第二指示燈3、第三指示燈4、第四指示燈5及第五指示燈12均通過陶瓷外殼15的面部開孔裸露在外。
[0035]下面結合圖1說明本實用新型實施例的可尋址電調成像波譜紅外探測晶片的工作過程。
[0036]首先用並行信號線將第二埠 6分別連接第三埠 7和第四埠 10，該並行信號線同時作為與外部設備連接的通訊線，以送入開始工作和中止工作指令。用並行數據線連接第五埠 13，電源線連接第一埠 2。通過並行信號線從第二埠 6送入電源開啟指令，探測器開始自檢，此時第一指示燈1、第二指示燈3、第三指示燈4、第四指示燈5和第五指示燈12接通閃爍，自檢通過後，第一指示燈I亮，第二指示燈3、第三指示燈4、第四指示燈5和第五指示燈12熄滅，探測器進入工作狀態。通過並行信號線從第二埠 6送入開始工作指令後，探測器開始執行譜紅外成像探測操作。驅控預處理模塊8分別經第四埠 10和第三埠 7向電調成像波譜液晶模塊11和面陣非製冷紅外探測器9輸入驅動和調控信號，面陣非製冷紅外探測器9經第二埠 6向驅控預處理模塊8輸入紅外光電響應信號，此時第二指示燈3、第三指示燈4和第四指示燈5再次接通閃爍。紅外光電響應信號經驅控預處理模塊8處理後得到的紅外圖像數據由第五埠 13輸出。
[0037]為使本領域技術人員更好地理解本實用新型，下面詳細介紹本實用新型的可尋址電調成像波譜紅外探測晶片的工作原理。
[0038]電調成像波譜液晶模塊、面陣非製冷紅外探測器和驅控預處理模塊混合集成，構成可尋址電調成像波譜紅外探測架構，被置於由主鏡構成的紅外成像光學系統的焦面處或進行弱離焦配置。
[0039]紅外光學系統所匯聚的目標和景物波束，在進入電調成像波譜液晶模塊後，與受控電場激勵下構建的、具有特定折射率狀態的液晶分子作用，呈現電調變的光程形態，基於FP效應，在液晶模塊內多級次高反射幹涉相干後，從電調成像波譜液晶模塊出射的譜紅外波束被送至與電調成像波譜液晶模塊匹配耦合的面陣非製冷紅外探測器進行光電轉換，得到紅外光電響應信號。獨立調節加載在各電調成像波譜液晶結構單元上的電壓信號頻率或幅度，改變液晶材料的折射率，從而調變透過各電調成像波譜液晶結構單元的譜紅外光波的波長。對面陣非製冷紅外探測器所輸出的陣列化紅外光電響應信號進行量化、配準和非均勻性校正，獲得譜紅外圖像數據並輸出。
[0040]圖2是本實用新型實施例的可尋址電調成像波譜紅外探測晶片的工作原理圖。如圖2所示，電調成像波譜液晶模塊由4X4分區的可尋址獨立加電液晶波譜結構構成，即包含16個電調成像波譜液晶結構單元。將256X256元面陣非製冷紅外探測器進行4X4分區，使得每單元電調成像波譜液晶結構對應一個64X64元(圖中未全部示出)子面陣非製冷紅外探測器。各單元電調成像波譜液晶結構包括液晶材料、液晶初始定向結構、高反射膜系、電極、基片和增透I旲系，液晶材料的上下兩表面依次覆蓋液晶初始定向結構、聞反射月旲系、電極、基片和增透膜系。
[0041]對上述16個電調成像波譜液晶結構獨立執行加電操作，可基於這16個電調成像波譜液晶結構通過成像光學系統所映射的成像視場中的一個特定成像面，進行可尋址的快速譜檢錄、動態譜搜索、譜凝視、譜跟蹤或譜鎖定。全視場譜圖像與每單元電調成像波譜液晶結構的子譜圖像具有相同的空間解析度。
[0042]本領域的技術人員容易理解，以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，並不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型的保護範圍之內。
【權利要求】
1.一種可尋址電調成像波譜紅外探測晶片，其特徵在於，包括電調成像波譜液晶模塊、面陣非製冷紅外探測器和驅控預處理模塊；其中， 所述面陣非製冷紅外探測器被劃分成多個陣列分布的子面陣非製冷紅外探測器，每個子面陣非製冷紅外探測器包括數量和排布方式相同的多個陣列分布的光敏元； 所述電調成像波譜液晶模塊與所述面陣非製冷紅外探測器匹配耦合，包括多個陣列分布的電調成像波譜液晶結構單元，電調成像波譜液晶結構單元與子面陣非製冷紅外探測器--對應; 所述電調成像波譜液晶模塊用於使目標波束髮生多級次高反射幹涉相干，通過獨立調節加載在各電調成像波譜液晶結構單元上的電壓信號，調變透過各電調成像波譜液晶結構單元的譜紅外光波的波長； 所述面陣非製冷紅外探測器用於將透過所述電調成像波譜液晶模塊的譜紅外光波轉換成電信號； 所述驅控預處理模塊用於將光電信號進行量化、配準和非均勻性校正，得到目標紅外圖像數據。
2.如權利要求1所述的可尋址電調成像波譜紅外探測晶片，其特徵在於，所述電調成像波譜液晶模塊和所述面陣非製冷紅外探測器均為mXn元，其中，m、n均為大於I的整數。
3.如權利要求1所述的可尋址電調成像波譜紅外探測晶片，其特徵在於，所述子面陣非製冷紅外探測器為P X q元，其中，P、q均為大於I的整數。
4.如權利要求1至3中任一項所述的可尋址電調成像波譜紅外探測晶片，其特徵在於，所述驅控預處理模塊採用SoC和FPGA結合的結構。
5.如權利要求1所述的可尋址電調成像波譜紅外探測晶片，其特徵在於，所述驅控預處理模塊還用於為所述電調成像波譜液晶模塊和所述面陣非製冷紅外探測器提供驅動和調控信號，驅動所述電調成像波譜液晶模塊和所述面陣非製冷紅外探測器工作，並對施加在各電調成像波譜液晶結構單元上的電壓信號進行調控。
6.如權利要求1所述的可尋址電調成像波譜紅外探測晶片，其特徵在於，還包括陶瓷外殼和金屬支撐散熱板；其中， 所述陶瓷外殼位於所述金屬支撐散熱板的上方，所述金屬支撐散熱板與所述陶瓷外殼固聯，用於支撐和散熱，所述驅控預處理模塊、所述面陣非製冷紅外探測器和所述電調成像波譜液晶模塊同軸順序置於所述陶瓷外殼內，其中，所述面陣非製冷紅外探測器位於所述驅控預處理模塊的上方，所述電調成像波譜液晶模塊位於所述面陣非製冷紅外探測器的上方且其光入射面通過所述陶瓷外殼的面部開孔裸露出來。
7.如權利要求6所述的可尋址電調成像波譜紅外探測晶片，其特徵在於，所述驅控預處理模塊上設有第二埠和第二指示燈，所述面陣非製冷紅外探測器上設有第三埠和第三指示燈，所述電調成像波譜液晶模塊上設有第四埠和第四指示燈； 所述第二埠用於從所述驅控預處理模塊向所述面陣非製冷紅外探測器和所述電調成像波譜液晶模塊輸出驅動和調控信號，還用於接收來自所述面陣非製冷紅外探測器的紅外光電響應信號，還用於接收外部設備向探測器輸入的工作指令，所述第二指示燈用於指示所述驅控預處理模塊是否處在正常的工作狀態； 所述第三埠用於輸入所述驅控預處理模塊提供給所述面陣非製冷紅外探測器的驅動和調控信號，還用於從所述面陣非製冷紅外探測器向所述驅控預處理模塊輸出紅外光電響應信號，所述第三指示燈用於指示所述面陣非製冷紅外探測器是否處在正常工作狀態； 所述第四埠用於輸入所述驅控預處理模塊提供給所述電調成像波譜液晶模塊的驅動和調控信號，所述第四指示燈用於指示所述電調成像波譜液晶模塊是否處在正常工作狀態。
8.如權利要求7所述的可尋址電調成像波譜紅外探測晶片，其特徵在於，所述驅控預處理模塊上設有第一埠和第一指示燈，所述第一埠用於接入電源線以連接外部電源，所述第一指示燈用於指示電源是否接通。
9.如權利要求8所述的可尋址電調成像波譜紅外探測晶片，其特徵在於，所述驅控預處理模塊上設有第五埠和第五指示燈，所述第五埠用於將所述目標紅外圖像數據從所述驅控預處理模塊輸出，所述第五指示燈用於指示所述驅控預處理模塊是否處在正常的數據輸出狀態。`
【文檔編號】G01J5/00GK203479401SQ201320607413
【公開日】2014年3月12日 申請日期:2013年9月29日 優先權日:2013年9月29日
【發明者】張新宇, 羅俊, 康勝武, 佟慶, 張靜, 李利榮, 趙慧, 桑紅石, 謝長生 申請人:華中科技大學