基板轉送裝置的製作方法

2023-06-05 17:55:11 1

專利名稱：基板轉送裝置的製作方法
技術領域：
本發明是有關於一種基板轉送裝置，由此來縮短基板被轉送的時間，從而當基板 從一上部工作位置被轉送至一下部工作位置時或以反方向轉送時，基板的製程處理時間亦 會縮短。本發明特別是有關於一種具有簡單的旋轉託架以轉送基板的基板轉送裝置
背景技術：
通常用於平面顯示器(flat panel display，FPD)、半導體晶圓、液晶顯示器 (liquid crystal display, IXD)玻璃等的基板，是在經過一系列的製程，例如沉積、蝕刻、
剝離、清潔與清洗後產生。在處理該基板的一系列的這些過程中，基板轉送裝置會對基板進行轉送，且基板 的供給、處理以及將基板自一轉送軌道移出將構成一種周期循環。圖1至圖3是已知基板轉送裝置的結構示意圖。請參考圖1至圖3，第一基板1與 第二基板2自一上部工作檯10傳送至一下部工作檯20，接著再自下部工作檯20傳送至上 部工作檯10，最後自上部工作檯10移出。請參考圖1，換句話說，第一基板1是經由上部工作檯10的一供給及推送部15所 提供，並在上部工作檯10的特定區段以紫外線來對第一基板1進行清潔。當第一基板完成 紫外線清潔後被傳送至一供給側搬運臺(lift) 11時，第一基板1會如圖2及圖3所顯示的 降下，並移至下部工作檯20，並進行例如以清潔水來清洗等清洗製程。在完成上述製程後，第一基板1會被移送至一移出側搬運臺21，並在上升後經由 上部工作檯1的供給及推送部15而由上部工作檯10推送出來。然而，在已知的基板轉送裝置中，當第一基板1被固定在供給側搬運臺11且從上 部工作檯10轉送至下部工作檯20時，正在上部工作檯10進行紫外線清潔過程的第二基板 2保持於閒置(idle)狀態，且就此裝置而言，通過該供給及推送部15來供應另一基板時亦 會被延遲，使此裝置的生產性亦可能會降低。

發明內容
技術課題本發明提供一種基板轉送裝置，由此以減少基板的閒置時間，並縮減轉送基板所 需的空間。本發明提供一種基板轉送裝置，此裝置包括一簡單的旋轉拖架以將基板傳送至搬 運臺。技術方案本發明的一實施例提供一種基板轉送裝置，由此將提供至一第一上部位置的一基 板轉送至一第二下部位置，再將該基板移入一轉送軌道並自該轉送軌道移出。此基板轉送 裝置包括一第一與一第二升降(elevator)單元、多個第一固定板、一第一與一第二轉軸、 一第一與一第二旋轉馬達、一第一旋轉託架(support)、多個第一皮帶構件、多個第二皮帶 構件、多個第二固定板、一第三與一第四轉軸、一第三與一第四旋轉馬達、一第二旋轉託架、多個第三皮帶構件、多個第四皮帶構件以及一第一與一第二叉式搬運臺。第一與第二升降 單元各自第一上部位置配置至第二下部位置且分別位於轉送軌道的相對應的兩側。第一固 定板固設至一固定結構，這些第一固定板相鄰於第一升降單元並沿著一水平方向而等距排 列在第一上部位置。第一轉軸與第二轉軸平行地穿過各第一固定板的一端且可旋轉地被 各第一固定板所支撐。第一旋轉馬達與第二旋轉馬達各別地轉動第一轉軸與第二轉軸。第 一旋轉託架包括多個第一上部支撐件與多個第一下部支撐件。各第一上部支撐件的一端可 旋轉地被各第一固定板所支撐，這些第一上部支撐件配置在同一平面以使其在每個水平位 置支撐該基板。第一下部支撐件配置於第一上部支撐件之下。各第一下部支撐件的一端可 旋轉地被各第一固定板所支撐。這些第一下部支撐件配置在向一平面以使其在每個水平位 置支撐該基板，其中各第一下部支撐件的轉軸較各第一上部支撐件的轉軸更接近第一升降 單元。第一皮帶構件連接第一轉軸與各第一上部支撐件的轉軸。第二皮帶構件連接第二轉 軸與各第一下部支撐件的轉軸。第二固定板固設至固定結構。這些第二固定板相鄰於第二 升降單元並沿著水平方向等距排列在第一上部位置。第三轉軸與第四轉軸平行地穿過各 第二固定板的一端且可旋轉地被各第二固定板所支撐。第三旋轉馬達與第四旋轉馬達各別 地轉動第三轉軸與第四轉軸。第二旋轉託架包括多個第二上部支撐件與多個第二下部支撐 件。各第二上部支撐件的一端可旋轉地被各第二固定板所支撐，這些第二上部支撐件配置 在同一平面以使其在每一水平位置支撐該基板。第二下部支撐件配置在第二上部支撐件之 下。各第二下部支撐件的一端可旋轉地被各第二固定板所支撐。這些第二下部支撐件配置 在同一平面以使其在每一水平位置支撐該基板，其中各第二下部支撐件的轉軸較各第二上 部支撐件的轉軸接近第二升降單元。第三皮帶構件連接第三轉軸與各第二上部支撐件的轉 軸。第四皮帶構件連接第四轉軸與各第二下部支撐件的轉軸。第一叉式搬運臺與第二叉式 搬運臺分別被第一升降單元與第二升降單元所支撐。第一叉式搬運臺與第二叉式搬運臺沿 一垂直方向移動，並分別以第一升降單元與第二升降單元為中心而旋轉。第一叉式搬運臺 與第二叉式搬運臺在基板被固定於第一旋轉託架與第二旋轉託架處與在基板被配置於轉 送軌道處伸長，其中該轉送軌道包括多個旋轉杆，其以固定間距配置，以使第一叉式搬運 臺與第二叉式搬運臺穿越這些旋轉杆。在本發明的一實施例中，上述的第一升降單元與第二升降單元各包括多個螺杆 (screw rods)，其被第一旋轉馬達與第二旋轉馬達所轉動。在本發明一實施例中，上述的第一叉式搬運臺與第二叉式搬運臺包括一第一滑塊 與一第二滑塊、一第一升降本體與一第二升降本體、多個第一旋轉杆與多個第二旋轉杆以 及多個第一延長杆與多個第二延長杆。第一滑塊與第二滑塊螺接至第一螺杆與第二螺杆並 由此而上升與下降。第一升降本體與第二升降本體固設至第一滑塊與第二滑塊。各第一旋 轉杆與各第二旋轉杆的一端可旋轉地被第一升降本體與第二升降本體所支撐。各第一延長 杆與各第二延長杆的一端通過一旋轉單元而旋轉地連接於各第一旋轉杆的另一端與各第 二旋轉杆的另一端。


在本發明的一實施例中，上述的旋轉單元包括一第一滑輪(pulley)與一第二滑 輪、一皮帶以及一氣缸。第一滑輪與第二滑輪被第一旋轉杆與第二旋轉杆以預設間距而分 隔且可旋轉地支撐著。皮帶被第一滑輪與第二滑輪所帶動而轉動。氣缸固設於各第一旋轉杆與各第二旋轉杆，氣缸具有一與皮帶連接的杆體，其中第二滑輪的轉軸同軸地連接於各 第一延長杆的轉軸與各第二延長杆轉軸。有益效果本發明的基板轉送裝置，通過第一搬運臺與第二搬運臺在第一位置與第二位置之 間上升與下降，多個基板能在此裝置中進行轉送，而使基板在第一和第二旋轉託架上的閒 置時間以及基板轉送與製程處理時間都能被縮短。再者，第一與第二上部支撐件以及第一與第二下部支撐件通過第一至第四轉軸與 第一至第四皮帶構件所帶動而旋轉，因此基板轉送裝置的旋轉結構能予以簡化。另外，第一與第二搬運臺能夠旋轉並延伸，以使基板轉送裝置能被設置在較狹窄 的空間中。此外，一轉送軌道能被驅動至一水平方向或一傾斜角度，以使基板能在水平位置 時穩固地配置在該轉送軌道上，而在該基板傾斜地配置在該轉送軌道上時能使水平順地流
出ο圖1至圖3顯示已知的基板轉送裝置的示意圖。圖4是依照本發明一實施例的一種基板轉送裝置的結構示意圖。圖5是圖4的基板轉送裝置的必要構件的結構示意圖。圖6是圖5的基板轉送裝置的俯視圖。
具體實施例方式圖7是圖5的基板轉送裝置的左側視圖。圖8是圖4的基板轉送裝置的旋轉託架的透視圖。圖9顯示圖4的基板轉送裝置的作動示意圖。圖IOA至圖ION顯示本發明一實施例的一種基板轉送裝置的操作方法的示意圖。圖11是搬運臺的透視圖。圖12A及圖12B在結構上顯示處於延伸狀態的搬運臺。依據本發明的一種基板轉送裝置是用在一製程的緩衝段，其中基板例如是液晶顯 示器的玻璃基板，其在一系列的製程例如沉積、蝕刻、剝離、清潔與清洗中被自動地傳送。 換句話說，如同圖1所顯示的，依據本發明的基板轉送裝置是用在製程中的某些區段，在這 些區段中基板被從一上位工作部分轉送至一下位工作部分或是以相反方向進行轉送。這一連串處理基板的製程是由基板轉送系統以及基板的提供、處理與將基板從 上位工作部分或下位工作部分移出等步驟而構成一種在最短時間內完成的循環周期。已知的基板轉送裝置所存在的問題即在於一連串製程所需的時間短於操作一已 知的搬運臺所需的時間。然而，根據本發明，搬運臺的動作速度得以加快以致搬運臺的動作 時間短於製程所需時間，且下一製程所需預備的基板亦能及時地完成準備。再者，根據本發明的基板轉送裝置，操作上部支撐件與下部支撐件以允許基板 可暫時保持在閒置狀態的結構可被簡化，且基板轉送裝置的操作特性也被改進。特別是 此基板轉送裝置的設計與結構能被簡化，且此基板轉送裝置的操作特性與韓國專利第 10-2007-0141641號先前所揭示的上部/下部支撐件的連結結構比較之下已有改善。以下將針對本發明的基板轉送裝置予以描述。圖4是依據本發明一實施例的一種基板轉送裝置的結構示意圖。圖IOA至圖ION所顯示的是依據本發明一實施例的基板轉送裝置的操作方法。請參考圖4以及圖IOA至圖 10N, 一提供至一第一位置(上部位置)的基板400通過第一搬運臺100與第二搬運臺200 而被傳送至第二位置(下部位置)的高度，且基板400再被傳送至一轉送軌道300並從該 轉送軌道300被移出。首先，第一與第二升降導軌(guides)配置在轉送軌道300的相對兩側，且其自第 一位置分布至第二位置。第一搬運臺100與第二搬運臺200被第一與第二升降導軌所支撐 以進行上升與下降。在本實施例中，此升降結構例如是煉條、慢跑、時限(timing)皮帶、滾 珠螺杆或液壓缸。在本實施例中，第一與第二升降導軌分別包括第一螺杆101與第二螺杆201，其分 別被第一馬達110與第二馬達210所轉動。一第一旋轉託架130與一第二旋轉託架230配置在第一螺杆101與第二螺杆201 之間，且兩個基板400通過機械手臂(未顯示)而被放置在第一旋轉託架130與第二旋轉 託架230上，且第一旋轉託架130與第二旋轉託架230在水平位置與垂直位置進行往復運 動。請參考圖4至圖8，基板轉送裝置包括多個第一固定板51，其在一垂直方向上以固 定間隔固定至一固定結構510，並相鄰於第一位置上的第一升降單元(以下均指第一螺杆 101)。第一轉軸41與第二轉軸42皆平行地穿過第一固定板51的一端，並可旋轉地被固定 結構510所支撐著。第一旋轉馬達31與第二旋轉馬達32各別地轉動第一轉軸41與第二 轉軸42。 第旋轉託架130包括多個第一上部支撐件131與多個第一下部支撐件132，各第一 上部支撐件131的一端可旋轉地被第一固定板51所支撐，這些第一上部支撐件131配置在 同一平面以使其在每個水平位置支撐基板400。第一下部支撐件132配置在第一上部支撐 件131之下。各第一下部支撐件132的一端可旋轉地被第一固定板51所支撐。這些第一 部下支撐件132配置在同一平面以使其在每個水平位置能支撐基板400。如圖IOA所顯示，第一下部支撐件132的轉軸較第一上部支撐件131的轉軸接近 第一升降單元。如圖IOJ所顯示，當第一上部支撐件131與第一下部支撐件132向下旋轉時，彼此 互相平行而避免了幹涉的情形的發生。第一轉軸41的一端與第一上部支撐件131的一端通過多個第一皮帶構件61而相 互連接。第二轉軸42的一端與第一下部支撐件132的一端則通過多個第二皮帶構件71而 相互連接。一滑輪(未顯示)耦接於第一與第二轉軸41、42以及第一上部/下部支撐件131、 132，第一與第二皮帶構件61、71因而得以旋轉。同時，根據本發明的基板轉送裝置更包括多個第二固定板52，其在一垂直方向以 固定間距固定至固定結構510，並相鄰於第一位置的第二升降單元(以下均指第二螺杆 201)。第三轉軸43與第四轉軸44平行地穿過第二固定板52的一端，並可旋轉地被固定結 構510所支撐。第三旋轉馬達33與第四旋轉馬達34各別地轉動第三轉軸43與第四轉軸 44。第二旋轉託架230包括多個第二上部支撐件231與多個第二下部支撐件232。各第二上部支撐件231的一端可旋轉地被各第二固定板52所支撐。這些第二上支撐件231 配置在同一平面以使其在每個水平位置支撐該基板400。第二下部支撐件232配置在第二 上部支撐件231之下，各第二下部支撐件232的一端可旋轉地被各第二固定板52所支撐。 這些第二下部支撐件232配置在同一平面以使其在每個水平位置支撐該基板400。如圖IOA所顯示，第二下部支撐件232的轉軸較第二上部支撐件231的轉軸接近 第二升降單元。如圖IOJ所顯示，當第二上部支撐件231與第二下部支撐件232均向下旋轉時，彼 此平行以避免幹涉的情形發生。第三轉軸43與各第二上部支撐件231通過多個第三皮帶構件62而相互連接。第 四轉軸44與各第二下部支撐件232通過多個第四皮帶構件72而相互連接。一滑輪(未顯示)耦接於第三與第四轉軸43、44與第二上部/下部支撐件231、 232，以使第三皮帶構件62與第四皮帶構件72得以轉動。第一搬運臺100與第二搬運臺200具有相同的結構，因此，此結構將於下文中參考 圖4、圖9、圖IOA及圖11而予以說明。第一搬運臺100與第二搬運臺200分別被第一螺杆101與第二螺杆201所支撐， 其沿著一垂直方向移動，並分別相對於第一螺杆101與第二螺杆201而旋轉。第一搬運臺 100與第二搬運臺200具有叉式結構，並能在基板400固定於第一旋轉託架130與第二旋轉 託架230處以及基板400配置在轉送軌道300處伸長。第一搬運臺100與第二搬運臺200包括一第一滑塊102與一第二滑塊202、第一升 降本體103與第二升降本體203、多個第一旋轉杆104與多個第二旋轉杆204以及多個第一 延長杆105與多個第二延長杆205。第一滑塊102與第二滑塊202各螺接至第一螺杆101 與第二螺杆201並由此上升及下降。第一升降本體103與第二升降本體203各固接至第一 滑塊102與第二滑塊202。第一旋轉杆104與第二旋轉杆204的一端可旋轉地被第一升降 本體103與第二升降本體203所支撐，且第一延長杆105與第二延長杆205的一端通過一 旋轉單元而可旋轉地連接在第一旋轉杆104與第二旋轉杆204的另一端。請參考圖7，轉軸107可旋轉地被第一升降本體103的一對託架108所支撐，且通 過第一旋轉馬達106所產生的動力帶動而旋轉。各第一旋轉杆104的前端耦接於轉軸107 的兩端，以使第一旋轉杆104與轉軸107能同時轉動。請參考圖11、圖12，該旋轉單元包括第一滑輪141與第二滑輪142，其可旋轉地被 各第一旋轉杆104與各第二旋轉杆204所支撐並以預定間距而分隔開來。皮帶143被第一 滑輪141與第二滑輪142導引且轉動。氣缸140固設在各第一旋轉杆104上與各第二旋轉 杆204上且具有一與皮帶143連接的杆體140a。第二滑輪142的轉軸分別與各第一延長 杆105與各第二延長杆205同軸地連接在一起，以使第一延長杆105與第二滑輪142以及 第二延長杆205與第二滑輪142能一起轉動。轉送軌道300包括多個旋轉杆301與多個滾輪(rollers) 302。旋轉杆301以固 定間距配置著，以使具有叉式結構的第一搬運臺100與第二搬運臺200能穿越這些旋轉杆 301。滾輪302耦接在各個旋轉杆301上，且基板400配置在這些滾輪302上。請參考圖4與圖9，該轉送軌道300配置在支架(frame) 310上，且支架310被傾 斜滑塊311、312所支撐，其中傾斜滑塊311、312固設在支架310的底端，且具有兩種不同的傾斜角度以使支架310在其上進行滑移。傾斜滑塊311、312通過一傾斜氣缸320來帶動， 以使支架310能在水平方向中傾斜或傾斜一特定角度。上述基板轉送裝置的操作步驟將於下述進行說明。請參考圖4及圖10A，在操作a)中，第一、第二上部/下部支撐件131、231、132與 232配置在第一位置的水平方向上，基板400通過機械手臂而供給至各個第一與第二上部 支撐件131與231以及各個第一與第二下部支撐件132與232並位於各支撐件上。在本實施例中，該轉送軌道300維持在水平位置，且第一與第二搬運臺100、200被 第一螺杆101與第二螺杆201所水平地支撐著。請參考圖10B、圖10C、圖11與圖12B，在操作b)中，第一搬運臺100通過第一旋轉 馬達106帶動而旋轉至一水平狀態，而在第一與第二下部支撐件132、232下方的氣缸140 進行作動以旋轉延長杆105，且使第一搬運臺100能夠伸長並維持於水平狀態。請參考圖10D，在操作c)中，第一螺杆101旋轉並將第一搬運臺100升起，以使第 一搬運臺100直接位於第一下部支撐件132與第二下部支撐件232之下。請參考圖10E，第 一下部支撐件132與第二下部支撐件232向下旋轉，以使基板400轉送至第一搬運臺100 並配置在各支撐件上。在本實施例中，第一下部支撐件132與第二下部支撐件232通過第二轉軸42與第 四轉軸44、第二皮帶構件71與第四皮帶構件72而向下旋轉。再者，第一下部支撐件132與第二下部支撐件232直接配置在第一上部支撐件131 與第二上部支撐件231之下。並同時參考圖10A，第一下部支撐件132與第二下部支撐件 232的中心轉軸配置在第一上部支撐件131與第二上部支撐件231的中心轉軸的旋轉區域 外。因此，請參考圖10J，第上部支撐件131與第二上部支撐件231以及第一下部支撐 件132與第二下部支撐件232於向下旋轉時，彼此之間是平行的。請參考圖IOF與圖10G，在操作d)中，驅動第一螺杆101，且第一搬運臺100降下， 基板400便被配置在轉送軌道300上。請參考圖IOH與圖101，第一延長杆105折迭起來以 使第一搬運臺100的長度減短，接著，第一旋轉杆104向下旋轉。其後，請參考圖101，傾斜汽缸320開始作動，以使支架310沿著第一傾斜滑塊311 與第二傾斜滑塊312而傾斜地移動，因而使轉送軌道300處於傾斜狀態。在此種情況中，包 括留在基板400上的清洗液的液體便會流下至轉送軌道400。接著，該轉送軌道300繼續旋轉且基板400便被轉送出該轉送軌道300。請參考圖10F，在操作e)中，當第一搬運臺100進行操作d)時，第二螺杆201旋轉 並使第二搬運臺200上升，且請參考圖IOG與圖10H，在第一上部支撐件131與第二上部支 撐件231之下的第二搬運臺200的長度增加，以使第二搬運臺200維持在一水平位置。第 二搬運臺200的延伸長度的操作步驟如同第一搬運臺100 —般，在此便予以省略。請參考圖101至圖10L，在操作f)中，第一上部支撐件131與第二上部支撐件231 向下旋轉，使在第一上部支撐件131與第二上部支撐件231上的基板400被轉送並配置在 第二搬運臺200上。在本實施例中，第一上部支撐件131與第二上部支撐件231的旋轉動作與第一下 部支撐件132與第二下部支撐件232的操作步驟相同，在此便予以省略。
請參考圖10L，在第二搬運臺200降下以使基板400配置在轉送軌道300之後，第 二延長杆205通過第二旋轉馬達206的驅動而旋轉並折迭。同時請參考圖10M，第二旋轉 杆204向下旋轉。同時請參考圖10N，第二螺杆201旋轉以使第二搬運臺200上升至第二位置。請參考圖10M，基板400配置在轉送軌道300上，且由於傾斜氣缸320作動並通過 一馬達(未顯示)帶動而使轉送軌道300傾斜，因此基板400便被轉送出轉送軌道300。在操作g)中，當第二搬運臺200在操作f)之後降低至第二位置，在操作d)中向 下旋轉的第一搬運臺100上升，且在操作c)與操作f)中向下旋轉的第一與第二上部支撐 件131、231以及第一與第二下部支撐件132、232在水平位置旋轉，如同圖IOK與圖IOL中 所顯示。並請參考圖10M，新的基板400將會被機械手臂(未顯示)供給至第一與第二上部 支撐件131、231以及第一與第二下部支撐件132、232。接著，在第一與第二下部支撐件132、232上的基板400會被轉送至第一搬運臺 100。如此，圖ION便與圖IOF屬於相同的操作區段，而上述操作a)至操作g)將會再重複 進行一次。基於上述，在本發明的基板轉送裝置中，基板400通過第一與第二搬運臺100、 200，其包括能伸長的第一與第二上部/下部支撐件，而在第一位置與第二位置之間移動而 進行轉送。因此多個基板能在此狹窄的空間中同時進行水平方向與垂直方向的轉送。特別是，第一與第二下部支撐件132、232直接配置在第一與第二上部支撐件131、 231之下。如圖IOA所顯示，第一與第二下部支撐件132、232的中心轉軸配置在第一與第 二上部支撐件131、231的中心轉軸的旋轉區域外。請參考圖10J，第一與第二上部支撐件 131、231以及第一與第二下部支撐件132、232如圖IOJ所顯示的彼此平行地向下旋轉，因而 此基板轉送裝置能設置在較為狹窄的空間，而不同於本案的前申請案中所揭示的基板轉送 裝置，其第一與第二上部支撐件131、231以及第一與第二下部支撐件132、232彼此交錯且 需要較大的空間。再者，第一與第二上部支撐件131、231以及第一與第二下部支撐件132、232通過 第一至第四轉軸41 44以及第一至第四皮帶構件61、62、71與72所帶動而旋轉，因此本 發明的基板轉送裝置的旋轉結構能予以簡化。
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權利要求
1. 一種基板轉送裝置，由此將提供至一第一上部位置的一基板轉送至一第二下部位 置，再將該基板移入至一轉送軌道且自該轉送軌道移出，該基板轉送裝置包括一第一升降單元與一第二升降單元，其各自該第一上部位置配置至該第二下部位置且 位於該轉送軌道(300)的相面對的兩側；多個第一固定板(51)，固設至一固定結構，所述第一固定板相鄰於該第一升降單元並 沿著水平方向而等距排列在該第一上部位置；一第一轉軸Gl)與一第二轉軸(42)，平行地穿過各該第一固定板(51)的一端且可旋 轉地被各該第一固定板(51)所支撐著；一第一旋轉馬達(31)與一第二旋轉馬達(32)，其各別地轉動該第一轉軸與該第 二轉軸(42)；一第一旋轉託架，包括多個第一上部支撐件(131)，各該第一上部支撐件(131)的一端可旋轉地被各該第一 固定板(51)所支撐，所述第一上部支撐件(131)配置在同一平面以使其在每個水平位置支 撐該基板；以及多個第一下部支撐件(132)，配置於所述第一上部支撐件(131)之下，各該第一下部支 撐件(132)的一端可旋轉地被各該第一固定板(51)所支撐，所述第一下部支撐件(132)配 置在同一平面以使其在每個水平位置支撐該基板，其中各該第一下部支撐件(13 的轉軸 較各該第一上部支撐件(131)的轉軸更接近該第一升降單元；多個第一皮帶構件(61)，連接該第一轉軸Gl)與各該第一上部支撐件(131)的轉軸； 多個第二皮帶構件(71)，連接該第二轉軸0 與各該第一下部支撐件(13 的轉軸； 多個第二固定板(52)，固設至該固定結構，所述第二固定板(52)相鄰於該第二升降單 元並沿著一水平方向而等距排列在該第一上部位置；一第三轉軸與一第四轉軸(44)，平行地穿過各該第二固定板(5 的一端且可旋 轉地被各該第二固定板(5 所支撐著；一第三旋轉馬達(3 與一第四旋轉馬達(34)，各別地轉動該第三轉軸與該第四 轉軸(44)；一第二旋轉託架030)，包括多個第二上部支撐件031)，各該第二上部支撐件031)的一端可旋轉地被各該第二 固定板(5 所支撐，所述第二上部支撐件(231)配置在同一平面以使其在每一水平位置支 撐該基板；多個第二下部支撐件032)，配置在所述第二上部支撐件(231)之下，各該第二下部支 撐件(23 的一端可旋轉地被各該第二固定板(5 所支撐，所述第二下部支撐件(232)配 置在同一平面以使其在每一水平位置支撐該基板，其中各該第二下部支撐件032)的轉軸 較各該第二上部支撐件031)的轉軸更接近該第二升降單元；多個第三皮帶構件(62)，連接該第三轉軸與各該第二上部支撐件031)的轉軸； 多個第四皮帶構件(72)，連接該第四轉軸04)與各該第二下部支撐件032)的轉軸；以及一第一叉式搬運臺(100)與一第二叉式搬運臺000)，分別被該第一升降單元與該第 二升降單元所支撐，該第一叉式搬運臺(100)與該第二叉式搬運臺(200)沿一垂直方向移動，並分別以該第一升降單元與該第二升降單元為中心而旋轉，該第一叉式搬運臺(100) 與該第二叉式搬運O00)臺在該基板被固定於該第一旋轉託架(130)與該第二旋轉託架 (230)處與在該基板被配置於該轉送軌道(300)處伸長，其中該轉送軌道(300)包括多個旋 轉杆(301)，其以固定間距配置，以使該第一叉式搬運臺(100)與該第二叉式搬運臺(200) 穿越所述旋轉杆。
2.根據權利要求1所述的基板轉送裝置，其中該第一升降單元與該第二升降單元各包 括多個螺杆(101，201)，所述螺杆(101，201)分別被該第一旋轉馬達(110)與該第二旋轉馬 達(210)所轉動。
3.根據權利要求2所述的基板轉送裝置，其中該第一叉式搬運臺(100)與該第二叉式 搬運臺(200)包括一第一滑塊(10 與一第二滑塊002)，螺接至該第一螺杆與該第二螺杆並由此上升 與下降；一第一升降本體(10 與一第二升降本體003)，分別固設至該第一滑塊與該第二滑塊；多個第一旋轉杆(104)與多個第二旋轉杆004)，各該第一旋轉杆(104)與各該第二旋 轉杆Q04)的一端可旋轉地被該第一升降本體與該第二升降本體所支撐；以及多個第一延長杆(10 與多個第二延長杆O05)，各該第一延長杆(10 與各該第二延 長杆(20 的一端通過一旋轉單元而可旋轉地連接於各該第一旋轉杆(104)的另一端與各 該第二旋轉杆O04)的另一端。
4.根據權利要求3所述的基板轉送裝置，其中該旋轉單元包括一第一滑輪(141)與一第二滑輪(142)，被該第一旋轉杆(104)與第二旋轉杆(204)以 預設間距分隔並可旋轉地支撐著；一皮帶(143)，被該第一滑輪(141)與該第二滑輪(14 所帶動而轉動；以及一氣缸(140)，固設於各該第一旋轉杆(104)與各該第二旋轉杆004)，該氣缸(140) 具有一與該皮帶(14 連接的杆體(140a)，其中該第二滑輪(14 的轉軸同軸地連接於各 該第一延長杆(10 的轉軸與各該第二延長杆O05)的轉軸。
全文摘要
與常規基板轉送裝置有關的問題是，當第一基板(1)安裝在供給側搬運臺(11)且由上部工作檯(10)轉送至下部工作檯(20)時，已進行了紫外線清潔過程的第二基板(2)以閒置狀態保留在上部工作檯(10)上，如圖2所示，使通過該供給及推送部(15)來供應另一基板時被延遲，生產性下降。本發明包括基板轉送裝置，其中供給至第一(上部)位置之基板轉送至第二(下部)位置，然後移動至轉送軌道且自該轉送軌道移出；該基板轉送裝置構成為使第一與第二上部旋轉支撐件以及第一與第二下部旋轉支撐件在其互相垂直地隔開的狀態下旋轉。
文檔編號H01L21/68GK102113108SQ200980126390
公開日2011年6月29日 申請日期2009年7月9日 優先權日2008年7月11日
發明者申東赫 申請人:茵鈉泰克股份有限公司