一種矽片的加工夾具的製作方法

2023-06-05 02:37:41

專利名稱：一種矽片的加工夾具的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種夾具，特別涉及一種矽片的加工夾具，屬於矽片加工的技術領域。
背景技術：
在矽片加工過程中，將矽棒加工成矽片後，矽片上會產生不規則的形狀，為了不影響後續加工的質量，要將該不規則邊去除。傳統的去除不規則邊的工序是:將矽片用膠粘合在一起，再將不規則邊研磨掉。但是將娃片粘合在一起存在以下缺點:1、尺寸研磨工序結束後，進行表面研磨工序時，要先將粘合在一起的矽片通過溶解或清洗的方法分開，從而，增加了矽片的損壞率。2、由於矽片是通常膠粘合在一起的，雖然，通過清洗會將膠液去除，但仍會有殘餘的化合物留存，從而，影響矽片表面的平整度，給下道工序增加難度。為了解決上述技術問題，近來，出現了一種夾具，該夾具包括定位夾，定位夾內設有夾緊板及鎖緊螺杆，鎖緊螺杆一端插入定位夾內，並頂在夾緊板上，使用時，將矽片排列整齊的放在空位夾內，調節鎖緊螺杆，使夾緊板將矽片夾緊，該夾具解決了上述技術問題，但該夾具是通過鎖緊螺杆推動夾緊板，實現矽片夾緊的，使用時，矽片與夾緊板之間沒有任何緩衝，研磨過程中，容易使矽片產生損壞。

實用新型內容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種結構簡單的矽片的加工夾具，該夾具可避免研磨過程中，矽片的損壞。為了解決上述技術問題，本實用新型一種矽片的加工夾具，包括定位夾、鎖緊螺杆，定位夾內設有夾緊板，所述鎖緊螺杆一端插入定位夾內，並頂在夾緊板上，其中，所述夾緊板上設有彈性墊片。上述一種矽片的加工夾具，其中，所述彈性墊片與矽片接觸的面上設有滾花紋。本實用新型可實現以下有益效果:1、由於所述夾緊板上設有彈性墊片，夾緊板夾緊矽片後，研磨過程中矽片因震動鬆動時，夾緊板與矽片之間通過彈性墊片緩衝，避免矽片由於硬接觸而損壞，提高了矽片的成品率且本實用新型結構簡單。2、由於所述彈性墊片與矽片接觸的面上設有滾花紋，提高了夾緊板與矽片接觸面的摩擦力，避免矽片由于震動鬆開。

[0013]圖1是本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型作進一步說明。為了解決上述技術問題，本實用新型一種矽片的加工夾具，包括定位夾1，夾緊板2，鎖緊螺杆3，定位夾I內設有夾緊板2，所述鎖緊螺杆3 —端插入定位夾I內，並頂在夾緊板2上，使用時，將矽片4排列整齊的放在定位夾I內，調節鎖緊螺杆3，使夾緊板2將矽片4夾緊，所述夾緊板2上設有彈性墊片6，彈性墊片6通過膠粘合在夾緊板2上，也可通過其他方式安裝在夾緊板2上，彈性墊片6可以是橡膠墊片，也可以是矽膠墊片，所述彈性墊片6與矽片4接觸的面上設有滾花紋。定位夾I為整體構件，該整體構件設空腔5。這裡本實用新型的描述和應用是說明性的，並非想將本實用新型的範圍限制在上述實施例中，因此，本實用新型不受本實施例的限制，任何採用等效替換取得的技術方案均在本實用新型保護的範圍內。
權利要求1.一種矽片的加工夾具，包括定位夾、鎖緊螺杆，定位夾內設有夾緊板，所述鎖緊螺杆一端插入定位夾內，並頂在夾緊板上，其特徵在於，所述夾緊板上設有彈性墊片。
2.如權利要求1所述一種矽片的加工夾具，其特徵在於，所述彈性墊片與矽片接觸的面上設有滾花紋。
專利摘要本實用新型提供了一種矽片的加工夾具，包括定位夾、鎖緊螺杆，定位夾內設有夾緊板，所述鎖緊螺杆一端插入定位夾內，並頂在夾緊板上，所述夾緊板上設有彈性墊片，由於所述夾緊板上設有彈性墊片，夾緊板夾緊矽片後，研磨過程中矽片因震動鬆動時，夾緊板與矽片之間通過彈性墊片緩衝，避免矽片由於硬接觸而損壞，提高了矽片的成品率且本實用新型結構簡單。
文檔編號B24B37/27GK203062494SQ20122074211
公開日2013年7月17日 申請日期2012年12月29日 優先權日2012年12月29日
發明者聶金根 申請人:鎮江市港南電子有限公司