檢查裝置的製作方法
2023-06-18 22:54:11
專利名稱：檢查裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種用於對例如平板顯示器用的玻璃基板、半導體基板、印刷電路板等進行檢查、處理的檢查裝置及基板的定位方法。
背景技術：
近年來，在玻璃基板、半導體基板、印刷電路板(以下稱作基板)等的製造中，具有用於對基板進行檢查等處理的檢查裝置。檢查裝置具有用於對基板進行檢查處理的處理部、以及用於自外部向處理部輸送基板或者自處理部向外部輸送基板的輸送部。輸送部包括用於支承基板並能夠沿輸送方向旋轉的輥、以及吸附基板而能夠沿輸送方向移動的吸盤。輸送部通過使吸附保持有基板的吸盤移動而進行基板的輸送，該基板保持於輥。 但是，當自外部輸入了基板時，輸送部進行位置調整以使基板配置於輸送部中的基板載置位置。在該位置調整中，例如以自四面夾著基板而使基板移動到基板載置位置的方式進行調整並進行基板的定位。作為上述定位方法，公開有如下方法利用繞與輸送方向正交的軸線旋轉並且能夠沿與輸送方向正交的水平面方向往復移動的輥，使輥往復移動來改變輥的用於保持基板的保持位置從而調整基板的載置位置(例如參照專利文獻1、2)。在該定位方法中，能夠利用輥的旋轉一邊使基板沿輸送方向移動一邊使基板的載置位置改變。專利文獻I :日本實開平1-102129號公報專利文獻2 :日本特開2009-13061號公報但是，關於專利文獻1、2所公開的定位方法，由於使輥沿與輸送方向垂直的方向移動，因此在輥與基板之間產生摩擦力，有可能導致基板的與輥之間的接觸面損傷。此外，在專利文獻1、2所公開的定位方法中，存在必須對輥設置驅動部而導致裝置結構變複雜這樣的問題。
實用新型內容本實用新型是鑑於上述情況而做成的，其目的在於提供一種能夠以簡易的結構防止基板的損傷而進行輸送的檢查裝置及基板的定位方法。為了解決上述問題並達到目的，本實用新型提供一種檢查裝置，其特徵在於，包括輸送臺，其具有用於支承基板並沿輸送該基板的輸送方向旋轉的輥；驅動機構，其用於使上述基板沿上述輸送方向移動；定位構件驅動部，其設置於上述輸送臺的靠上述基板的輸入側的端部側，用於保持與上述基板抵接的定位構件並使該定位構件向上述輸送方向移動；端面檢測部，其用於檢測上述基板的與上述輸送方向平行的方向的端面；檢查部，其用於根據上述端面檢測部所檢測出的端面的信息來進行上述基板的檢查；以及基準構件驅動部，其設置於上述檢查部和上述定位構件驅動部之間，用於保持與上述基板抵接的基準構件並驅動該基準構件而使該基準構件升降。另外，優選上述基準構件設置有多個，上述定位構件相對於多個上述基準構件中的位於上述輸送臺的寬度方向的最外緣側的基準構件位於上述寬度方向的內部側。為了解決上述問題並達到目的，本實用新型提供一種基板的定位方法，其是檢查裝置的基板的定位方法，該檢查裝置具有用來進行基板的檢查的檢查部、以及用於載置上述基板而輸送該基板的輸送部，該基板的定位方法的特徵在於，上述基板的定位方法包括輸入步驟，向輸送臺輸入上述基板，該輸送臺具有用於沿輸送上述基板的輸送方向旋轉的輥；定位構件驅動步驟，驅動定位構件，該定位構件設置於上述輸送臺的靠上述基板的輸入側的端部側並用於與上述基板抵接；基板固定步驟，利用基準構件以及上述定位構件來夾持固定上述基板，該基準構件設置於上述檢查部和上述定位構件驅動部之間並用於與上述基板抵接；以及端面檢測步驟，對利用上述基板固定步驟固定的上述基板的與上述輸送方向平行的方向的端面進行檢測。關於本實用新型的檢查裝置，由於使基板沿自由輥的旋轉方向移動而固定載置位置，並通過利用傳感器檢測端面來確認基板在與自由輥的旋轉方向正交的方向上的位置， 因此具有能夠以簡易的結構防止基板的損傷而進行輸送這樣的效果。
圖I是示意性地表示本實用新型的實施方式的平板顯示器(FPD)檢查裝置的結構的俯視圖。圖2是示意性地表示本實用新型的實施方式的FPD檢查裝置的結構的側視圖。圖3是示意性地表示本實用新型的實施方式的定位銷驅動部的立體圖。圖4是示意性地表示本實用新型的實施方式的定位銷驅動部的立體圖。圖5是示意性地表示本實用新型的實施方式的基準銷驅動部的立體圖。圖6是表示本實用新型的實施方式的基板檢查處理的一系列的流程的流程圖。圖7是示意性地表示本實用新型的實施方式的基板檢查處理中的基板輸入的俯視圖。圖8是示意性地表示本實用新型的實施方式的基板檢查處理中的基板輸入的側視圖。圖9是示意性地表示本實用新型的實施方式的基板檢查處理中的基板輸入的側視圖。圖10是示意性地表示本實用新型的實施方式的基板檢查處理中的定位處理的側視圖。圖11是示意性地表示本實用新型的實施方式的基板檢查處理中的定位處理的側視圖。
具體實施方式
以下，結合附圖詳細地說明用於實施本實用新型的實施方式。另外，本實用新型不限於以下的實施方式。此外，在以下的說明中，所參照的各圖只是以能夠理解本實用新型的內容的程度概略地表示出形狀、大小以及位置關係。即，本實用新型不限於在各圖中例示的形狀、大小以及位置關係。首先，參照附圖詳細地說明本實用新型的實施方式的檢查裝置。另外，在以下的說明中，以基板的檢查裝置為例進行說明。另外，本實施方式的檢查裝置為離線型的檢查裝置而進行了說明，但也可以是在線型的檢查裝置。圖I是示意性地表示本實施方式的平板顯示器(FPD)檢查裝置I的概略結構的俯視圖。圖2是示意性地表示本實施方式的FPD檢查裝置I的結構的側視圖。如圖I所示，FPD檢查裝置I包括基板處理部2和控制部3，該基板處理部2用於檢測被輸送來的、呈矩形的基板W的缺陷，該控制部3用於進行基板處理部2整體的控制。此外，基板處理部2包括輸送臺12、20、21和龍門載物臺(gantry stage) 10,該輸送臺12、20、21用於輸送基板W，該龍門載物臺10設置在輸送臺12上，並用於保持檢查單元100 (檢查部)，該檢查單元100(檢查部)用於對移動的基板W的缺陷進行檢測。龍門載物臺10及輸送臺12、20、21固定於例如圖2所示的這種架臺11上。架臺11由將例如塊狀的大理石、鋼材組合而成的框架等耐震性較高的構件構成。除此之外，在架臺11和設置面(例如地板)之間設置由例如彈簧、液壓減震器等構成的振動吸收機構13。由此進一步地防止輸送臺12、20、21及龍門載物臺10的振動。輸送臺12、20、21具有例如作為輸送輔助機構的多個板狀構件沿與基板W的輸送方向D垂直的方向以帘子狀組合而成的構造。通過沿輸送方向D排列該輸送臺12、20、21而形成基板W的輸送路徑。在各輸送臺12、20、21的板狀構件上分別設置用上表面保持基板W並能夠沿輸送方向D旋轉的自由輥(free roller) 121、201、211。此外，在輸送臺20的寬度方向的中央設置用於向輸送方向D驅動並吸附輸送基板W的驅動機構30。另外,優選自由輥121、201、211如拉格朗日點那樣以不會產生基板W的彎曲振動這樣的間隔配置。輸送臺20包括定位銷驅動部202，其用於使定位銷202a沿著輸送方向D移動，該定位銷202a用於使載置於輸送臺20的基板W定位；基準銷驅動部203，其用於沿基板處理部2的上下方向驅動成為定位位置的基準的基準銷203a ；以及端面檢測部204，其具有端面檢測傳感器204a，該端面檢測傳感器204a用於對基板W的與輸送方向D平行的一側的端面進行檢測。圖3、4是示意性地表示定位銷驅動部202的立體圖。如圖3、4所示,定位銷驅動部202包括用於與基板W的端面抵接的定位銷202a、以及能夠沿與輸送方向D平行的方向進退並用於使定位銷202a與輸送方向D平行地移動的進退部202b。另外，進退部202b在控制部3的控制下而被驅動。在該驅動中使用有氣壓缸、電動馬達等。定位銷202a使用PE EK (聚醚 醚 酮)材料等樹脂而形成大致圓柱狀,能夠繞圖3所示那樣的圓柱的長度方向的中心軸線X(與輸送方向D正交)旋轉。由此，即使在基板W的與定位銷202a抵接的端面相對於定位銷202a的移動方向傾斜的情況下，也能夠減少向基板W和定位銷202a之間施加的摩擦力，從而能夠抑制基板W的損傷。圖5是示意性地表示基準銷驅動部203的立體圖。如圖5所示,基準銷驅動部203包括用於與基板W抵接並成為基板W的定位位置的基準的基準銷203a、以及能夠沿與輸送方向D垂直的方向升降並且用於驅動基準銷203a而使基準銷203a沿與輸送方向D垂直的方向升降的升降部203b。另外，升降部203b在控制部3的控制下而被驅動。在該驅動中使用有氣壓缸、電動馬達等。基準銷203a由PEEK (聚醚 醚 酮)材料等樹脂構成。基準銷203a呈至少與基板W抵接的區域朝向輸送方向D的前方傾斜的錐形。由此，當基板W輸送到輸送臺20時，特別是當自輸送臺20的上方接收基板W時，即使在基板W的位置偏離的情況下，也能夠更可靠地避免基板接收時的基板W與基準銷203a之間的接觸。而且，能夠減小與基板W抵接時的接觸面積。另外，也可以在基準銷203a的比基準銷203a與基板W抵接的區域靠上方的部位形成錐形，若能規定其與基板的抵接位置，則也可以使用向檢查單元100側傾斜的棒狀構件作為基準銷。此外，也可以將基準銷203a設置成能夠繞圖3所示那樣的長度方向的中心軸線X (與輸送方向D正交)旋轉。如圖1、2所示，定位銷202a的配置只要是處於能夠夾持基準銷203a而固定基板W的位置即可。更優選定位銷202a在輸送臺20的寬度方向上比位於最外緣側的基準銷203a靠內側地配置。此外，說明了定位銷及基準銷分別為2個的情況，但只要是上述的配置也可以分別配置I個或多個。驅動機構30包括驅動部32，其用於在與輸送方向D的水平方向平行的輸送軸31 上移動；支承構件33，其支承於驅動部32 ;以及吸盤34，其支承於支承構件33，利用未圖示的泵的吸氣來吸附基板W。驅動機構30通過使用線性電動機引導件作為輸送軸31、並且使用線性電動機作為驅動部32來實現。另外，通過將驅動機構30設置於輸送臺的寬度方向的中央，能夠保持包含被輸入到輸送臺20上的基板W的重心位置在內的區域，從而能夠進行穩定的基板輸送。此外，只要能夠不損傷基板W地進行輸送，則驅動機構30的配設位置可以是任意的位置。而且，也可以是不是吸附保持基板W而是把持基板W的端部來進行輸送的結構。檢查單元100具有未圖示的攝像部，該攝像部設定在輸送臺12所形成的輸送路徑上，用於藉助顯微鏡101來拍攝在與輸送臺12的寬度方向平行的檢查線LI上通過的基板W。通過解析由該檢查單元100獲得的圖像，能夠檢測基板W是否存在缺陷。另外，檢查單元100能夠沿檢查線LI移動。在本說明中，檢查單元100所被設置的區域稱為檢查空間PRl。此外，檢查空間PRl以外的區域稱為輸送空間TR1、TR2。另外，檢查單元100可替換成如下單元例如用於對基板W的缺陷部分進行雷射照射修復、塗布修正等的修復單元、用於觀察、保存圖像的攝像單元、用於在預定的位置實施進行配線等的尺寸測量、膜厚測量、顏色測量等的測量單元等的處理的其他處理單元。即，處理單元包含檢查單元、修復單元、攝像單元、曝光單元、測量單元等。此外，本實用新型的檢查裝置也包含上述處理單元在用於載置基板W的臺上對基板W進行各處理的結構。此外，由於若FPD檢查裝置I包括用於包圍檢查空間PRl及輸送空間TR1、TR2的外殼則能夠形成內部空間(無塵室)，故為優選。該無塵室是除了基板W的輸入口、輸出口及下部的管道以外被密閉的空間。外殼在檢查單元100的上方具有用於向內部空間送入潔淨的空氣(以下稱作潔淨空氣)的FFU。FFU用於送出被去除了例如微粒等粉塵的潔淨空氣。其結果，使特別是檢查單元100附近及檢查線L I周邊(檢查空間PRl)成為粉塵較少的潔淨的狀態。此外，向檢查單元100附近及檢查線LI周邊集中送出的潔淨的空氣在無塵室內形成下降流(down flow)之後，自排氣口排出。圖6是表示本實施方式的基板檢查處理的一系列的流程的流程圖。圖7是示意性地表示本實施方式的基板檢查處理中的基板輸入的俯視圖。圖8、9是示意性地表示本實施方式的基板檢查處理中的基板輸入的側視圖。圖10、11是示意性地表示本實施方式的基板檢查處理中的定位處理的側視圖。首先，自外部向FPD檢查裝置I輸入基板W(步驟S102)。如圖7、8所不,基板W的輸入是向輸送臺20輸入被保持在輸送機器人40的臂40a上的基板W。輸送機器人40在使保持有基板W的臂40a前進至輸送臺20上之後下降。此時，臂40a進入輸送臺20的板狀構件之間。之後使臂40a下降，從而如圖9所示那樣，使基板W保持於自由輥201。在使基板W支承於自由輥201之後，輸送機器人40自輸送臺20 (FPD檢查裝置I)脫離。在將基板W接收於輸送臺20之後，進 行基板W的定位處理。首先，如圖8所示，驅動基準銷驅動部203而使基準銷203a上升(步驟S104)。之後，驅動定位銷驅動部202而使定位銷202a移動(步驟S 106)。如圖10所示，定位銷202a向圖1、2所示的輸送方向D移動而與基板W抵接，使基板W向輸送方向D移動。若利用定位銷202a的移動而使基板W移動，則基板W與基準銷203a抵接(圖11)。基板W在一個方向上被定位銷202a及基準銷203a夾持，成為被固定的狀態。在該狀態下確定基板W的載置位置。若確定基板W的載置位置，則端面檢測部204利用端面檢測傳感器204a來對基板W的與定位銷202a及基準銷203a的夾持方向正交的方向的一個邊的端面進行檢測(步驟S108)。端面檢測部204根據端面檢測傳感器204a所檢測出的信息生成與輸送臺20上的基板W的與輸送方向D平行的端面的位置信息。端面檢測部204在生成位置信息之後，向控制部3輸出位置信息(步驟S110)。另外，位置信息為例如來自端面檢測傳感器204a的距離信息，控制部3根據所獲得的距離信息來進行基板W的位置校正。此外，位置信息為座標信息，控制部3也可以根據所獲得的座標信息來進行基板W的座標校正。在端面檢測部204的位置信息的輸出之後，驅動機構30使基板W吸附保持於吸盤34 (步驟S112)。之後，定位銷驅動部202使定位銷202a向與輸送方向D相反的方向移動，從而自基板W解除定位銷202a(步驟S114)。此外，基準銷驅動部203使基準銷203a下降，直到下降至至少基準銷203a的上端部低於自由輥201的上端部的位置(步驟S116)。另夕卜，定位銷202a的解除動作及基準銷203a的下降動作既可以逆序進行，也可以同時進行。在進行定位銷202a的解除及基準銷203a的下降之後，驅動機構30驅動驅動部32而使吸盤34移動，使基板W向輸送臺12側移動(步驟S118)。檢查單元100藉助顯微鏡101拍攝在檢查線L I上通過的基板W，並對所獲得的圖像進行解析(檢查處理)(步驟S120)。當所輸送的基板W的檢查處理結束之後，控制部3在具有下一個檢查對象的基板W的情況下(步驟S122 Yes)轉移至步驟S102而對下一個基板W進行基板檢查處理。此外，控制部3在沒有下一個檢查對象的基板W的情況下(步驟S122 No)結束基板檢查處理。如上述實施方式那樣，由於使基板沿自由輥的旋轉方向移動而固定載置位置，並通過利用傳感器檢測端面來確認基板在與旋轉方向正交的方向上的位置，因此能夠以簡易的結構防止基板的損傷而進行輸送。特別是，伴隨著近年來基板的大型化，基板對輥施加的自重變大而容易產生損傷，因此利用僅一個方向上的移動及位置確認，能夠產生有效地防止輸送過程中的基板的損傷的效果。另外，在本實施方式中說明了作為離線型的Fro檢查裝置的情況，但也可以適用於在線型的FPD檢查裝置。為在線型的情況下，由於是自與輸送臺20的與檢查單元100側不同的一側連結的輸送臺輸送基板，因此優選添加使定位銷202a下降或者自輸送臺20的上表面退避的結構。此外，在利用吸盤輸送基板時，也可以將各吸盤替換成定位銷及基準銷驅動部，利用定位銷及基準銷夾持基板而固定載置位置，並且利用驅動部32的驅動一邊維持夾持的狀態一邊輸送基板。另外，也可以將定位銷驅動部及基準銷配設在輸送機器人的臂上，以保持於臂的狀態固定基板的載置位置。此時，優選在臂的上表面設置有用於支承基板並能夠沿定位銷的移動方向旋轉的自由輥。如上述那樣，本實用新型的檢查裝置適用於以簡易的結構穩定地輸送檢查對象的基板。附圖標記說明
·[0055]I、FPD檢查裝置；2、基板處理部；3、控制部；10、龍門載物臺；11、架臺;12、20、21、輸送臺；13、振動吸收機構；30、驅動機構；34、吸盤；40、輸送機器人；40a、臂；100、檢查單元；101、顯微鏡；121、201、211、自由輥；202、定位銷驅動部；202a、定位銷；203、基準銷驅動部；203a、基準銷；204、端面檢測部；204a、端面檢測傳感器；L1、檢查線；PR1、檢查空間；TR1、TR2、輸送空間；W、基板。
權利要求1.一種檢查裝置，其特徵在於，包括 輸送臺，其具有用於支承基板並以沿輸送方向輸送該基板的方式進行旋轉的輥； 驅動機構，其用於使上述基板沿上述輸送方向移動； 定位構件驅動部，其設置於上述輸送臺的靠上述基板的輸入側的端部側，用於保持與上述基板抵接的定位構件並使該定位構件向上述輸送方向移動； 端面檢測部，其用於檢測上述基板的與上述輸送方向平行的方向的端面； 檢查部，其用於根據上述端面檢測部所檢測出的端面的信息來進行上述基板的檢查；以及 基準構件驅動部，其設置於上述檢查部和上述定位構件驅動部之間，用於保持與上述基板抵接的基準構件並驅動該基準構件而使該基準構件升降。
2.根據權利要求I所述的檢查裝置，其特徵在於， 上述定位構件呈圓柱狀，並能夠繞該圓柱的中心軸線旋轉。
3.根據權利要求I所述的檢查裝置，其特徵在於， 上述基準構件的比至少與上述基板抵接的區域靠上方的部位朝向上述輸送方向的前方傾斜。
4.根據權利要求I所述的檢查裝置，其特徵在於， 上述驅動機構具有用於吸附保持上述基板的吸盤。
5.根據權利要求I至4中任一項所述的檢查裝置，其特徵在於， 上述基準構件設置有多個， 上述定位構件相對於多個上述基準構件中的位於上述輸送臺的寬度方向的最外緣側的基準構件位於上述寬度方向的內部側。
6.根據權利要求I所述的檢查裝置，其特徵在於， 上述定位構件驅動部用於驅動上述定位構件而使上述定位構件升降。
專利摘要本實用新型提供能以簡易的結構防止基板的損傷而進行輸送的檢查裝置，檢查裝置包括輸送臺(20)，具有用於支承基板並以沿輸送方向輸送基板的方式進行旋轉的自由輥(201)；驅動機構(30)，用於使基板沿輸送方向移動；定位銷驅動部(202)，設置於輸送臺的端部側，用於保持與基板抵接的定位銷(202a)並使定位銷向輸送方向移動；基準銷驅動部(203)，設置於檢查單元和定位銷驅動部之間，用於保持與基板抵接的基準銷(203a)並驅動基準銷而使基準銷升降；端面檢測部(204)，用於檢測基板的與輸送方向平行的方向的端面；檢查單元(100)，用於根據端面檢測部所檢測出的端面的信息來進行基板的檢查。
文檔編號H01L21/68GK202523695SQ20112041776
公開日2012年11月7日 申請日期2011年10月27日 優先權日2010年10月28日
發明者木內智一, 辻治之 申請人:奧林巴斯株式會社