放電加工用電源裝置和小孔放電加工裝置的製作方法
2023-06-07 10:48:41 3
專利名稱：放電加工用電源裝置和小孔放電加工裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及一种放電加工用電源裝置，涉及一種能夠提高加工面粗糙度和加工速度、以及降低電極消耗量的放電加工用電源裝置。
背景技術：
例如在特開平3-55117號公報中，公開了一种放電加工用電源裝置，其使用向被加工物和加工用電極的間隙施加正負兩個極性的電壓的交流脈衝方式。
專利文獻1特開平3-55117號公報發明內容在這裡，對上述專利文獻中公開的放電加工用電源裝置施加正極性的電壓時，例如在圖12的A、B、C這3個位置發生放電的情況進行說明。
如果在A部分發生放電，向加工間隙供給在下述的放電電流的基礎上加上與來自正極性側電源的充電電流而成的放電電流值，上述放電電流是通過釋放向電容器的靜電電容或者饋電配線等的雜散靜電電容充電的電荷而成的。
如果觀察該放電電流脈衝波形則可以看出，在前面說明的由電容器的放電和來自電源的充電電流而形成的大的放電電流降低以後，由於配線的電感和電路中的靜電電容的影響，振蕩電流將持續一段時間。
此外，在這裡，由於放電電流的脈衝寬度越小，加工面的放電痕跡越小，加工面越光潔，因此對於來自正極性側電源的充電電流，將脈衝列中的導通時間設定得充分短，設定為不會影響放電電流的脈衝寬度。
但是，在B部分發生放電，並立即在C部分連續發生放電的情況下，由於產生上述振蕩電流，所以放電電流脈衝會相連。這种放電是在加工間隙的1個位置上集中流過脈衝寬度寬的大放電電流的狀態，會在被加工物的加工面形成較大的放電痕跡，存在使加工面粗糙的問題。
此外，在放電電流脈衝是3個脈衝或者4個脈衝被連續相連的情況下，其影響將進一步增大。
此外，如圖13所示，作為上述問題的對策，可以延長脈衝截止時間，以使得即使在連續放電的情況下，放電電流脈衝也不會相連，但是在這種情況下，由於在脈衝導通時間中上升的電壓大部分會在脈衝截止時間中下降，因此即使脈衝列中的脈衝連續，也不會上升至電源的電壓V1附近，並且如果脈衝截止時間長，則單位時間內產生的脈衝數減少，存在加工效率顯著降低，加工速度變慢的問題。
此外，在使用交流脈衝方式的小孔加工中，伴隨負極性側的放電電流脈衝產生的電極消耗顯著，特別是對於直徑小於或者等於φ0.2mm的細電極，由負極性側的放電電流引起的電極消耗巨大。
即，由於小孔加工用的電極直徑越細價格越高，因此電極消耗增加，對加工成本的增加產生較大影響，同時由於電極更換頻率的增加，會引起準備時間的增加。
此外，在加工液是水的情況下，為了抑制電解腐蝕，向加工間隙中施加交流脈衝方式的交流電壓，但同樣地，由於產生負極性側的放電電流，因此成為電極消耗量增大的原因。
本發明就是為了解決上述問題而提出的，目的在於獲得一种放電加工用電源裝置，其可以使向加工間隙的放電電流脈衝均勻並高效率地流過，並且可以實現交流脈衝式加工中的電極消耗量的降低。
本發明所涉及的放電加工用電源裝置，其特徵在於，在從放電加工脈衝發生部至加工間隙的配線線路中，串聯插入將整流元件和電阻元件並聯連接的電路，同時上述整流元件的連接方式為，使放電發生時的加工脈衝電流與所希望的流動方向一致。
發明的效果根據本發明，通過在從放電加工脈衝發生部至加工間隙的配線線路中，串聯插入將由二極體等構成的整流元件和電阻並聯連接的電路，由於能夠抑制正極性側放電的放電電流脈衝下降以後的電流振蕩，因此即使在以小間隔連續進行放電的情況下，放電電流脈衝也不會相連，能夠獲得脈衝寬度小的均勻的放電脈衝電流，在加工面上實現表面粗糙度高且均勻的加工。此外，由於能夠將脈衝截止時間設定得較短，因此能夠提高加工效率，加快加工速度。
此外，根據本發明，通過以與加工間隙串聯的方式，插入將由二極體等構成的整流元件與電阻並聯連接的電路，由於即使在交流脈衝式加工中，負極性側發生放電時的放電電流也基本無法流過，因此能夠顯著降低電極消耗量。
圖1是表示實施方式1的放電加工裝置的結構圖。
圖2是表示實施方式1的放電加工裝置的波形圖。
圖3是表示正極性側放電時的放電加工電流值的圖。
圖4是表示正極性側連續放電時的放電加工電流值的圖。
圖5是表示負極性側放電時的放電加工電流值的圖。
圖6是表示實施方式2的放電加工裝置的結構圖。
圖7是表示實施方式3的放電加工裝置的結構圖。
圖8是表示實施方式4的放電加工裝置的結構圖。
圖9是表示實施方式4的放電加工裝置的波形圖。
圖10是實施方式4中的放電加工裝置的替換結構圖。
圖11是實施方式4中的放電加工裝置的替換結構圖。
圖12是表示現有技術中的放電發生時的極間波形的圖。
圖13是表示現有技術中的放電發生時的極間波形的圖。
具體實施例方式
實施方式1
圖1表示本發明的放電加工裝置的結構。
在圖中，放電加工裝置的機械主體1是具有加工頭3的放電加工裝置，該加工頭3保持加工用電極8，該加工用電極8與設置在儲存加工液的加工槽4中的被加工物9相對。此外，機械主體1經由饋電配線10，與加工用電源裝置2相連接。加工用電源裝置2具有眾所周知的放電加工脈衝發生部6，同時具有作為本實施方式中的特徵部分的、將二極體24和電阻23並聯連接而成的逆電流阻止電路22。
放電加工脈衝發生部6具有輸出驅動脈衝信號7a、7b的脈衝控制部，該驅動脈衝信號7a、7b用於對開關元件16、17進行接通/斷開控制，該開關元件16、17由MOS-FET等構成，分別連接在電壓V1、V2可變的直流電源14、15上，利用該驅動脈衝信號7a、7b，使直流電源14、15中的某一個的電壓，經由限流用電阻18、19和二極體20、21，向加工用電極8和被加工物9之間的間隙施加。
此外，12是與加工用電極8和被加工物9並聯連接的電容器，13是用於使電容器12以較大的時間常數進行放電的電阻器。
逆電流阻止電路22串聯插入從脈衝發生部6向加工間隙供給脈衝電力的配線線路中，二極體24的連接極性為，使加工脈衝電流與希望流過的方向一致。
即，在放電加工裝置中，根據所使用的電極及被加工物的材料、加工面積、加工間隙中填充的加工液的種類等，考慮加工速度和電極消耗特性等，改變在電極和被加工物之間施加的極性。
由於如果放電電流僅向不希望的方向流動，則會成為電極急劇消耗但加工基本沒有進展的狀態，因此要根據使用目的變更二極體24的連接極性。
例如，在用於形成小孔的小孔放電加工機或者線切割放電加工機中，如圖1所示，以使電流從被加工物9向加工用電極8方向流動的方式連接二極體。
此外，在形雕放電加工機中，通常以使電流從電極8向被加工物9方向流動的極性連接二極體，但在提高表面粗糙度的精加工的情況下，以及使用石墨作為電極進行加工的情況下，也存在以相反極性進行連接的情況。
此外，二極體24用於在被加工物是正極性時使放電電流流過，而在負極性時不使電流流過，由於需要其能夠迅速地阻止相反極性的電流，因此選用快速恢復二極體或者肖特基勢壘二極體等恢復時間短的元件，在額定電壓低的情況下多個串聯使用，在額定電流小的情況下多個並聯使用。
下面，對連接電阻23的必要性進行說明。
電阻23用於在利用來自脈衝控制部7的驅動脈衝信號7b使開關元件17閉合的情況下，使直流電源15的電壓V2經由開關元件17、二極體21、限流電阻19以及電阻23施加於加工間隙中，以使被加工物9相對於電極8成為負極性。
在這裡，作為電阻23的電阻值的選擇條件，以下為其必要條件在施加電壓以使被加工物9相對於電極8成為負極性的情況下，能夠使加工間隙中微量存在的雜散靜電電容在短時間內充電；與被加工物為正極性時流過的放電電流相比，在被加工物側為負極性時，使由電容器12的靜電電容、饋電配線10及其它的雜散靜電電容中充電的電荷的放電電流，和由直流電源15供給的電流共同形成的向電極間隙的放電電流充分小；以及，同未圖示的與脈衝發生部6並聯的各種檢測電路的輸入電阻相比，其電阻值充分小，以能夠正確地進行電極間狀態的檢測。
作為實際的電阻值，在100Ω～數kΩ程度之間選擇具有實用性。
首先，使用圖1、圖2對放電加工的基本動作進行說明。
直流電源14、15以相對於加工用電極8和被加工物9之間的加工間隙彼此相反的極性連接。
此外，如果從脈衝控制部7以規定的開閉時間產生規定脈衝數的開關元件16的驅動脈衝信號7a，則經過規定的間歇時間，產生與7a相同脈衝數的開關元件17的驅動脈衝信號7b。
因此，驅動脈衝信號7a和驅動脈衝信號7b經過規定的間歇時間交替地重複，在驅動脈衝信號7a為H時，開關元件16閉合，利用直流電源14的電壓V1，經由開關元件16、二極體20以及限流電阻18，對電容器12充電，同時經由逆電流阻止電路22的二極體24，向電極8和被加工物之間施加電壓，使被加工物9為正極性。
在該情況下，以由限流電阻18的電阻值和電容器12的靜電電容大致確定的時間常數對電容器12進行充電，以使被加工物9相對於電極8為正極性。
並且，由於在驅動脈衝信號7a為L時，開關元件16斷開，因此不施加直流電源14的電壓V1，以大致由放電用電阻13的電阻值和電容器12的靜電電容確定的時間常數，經由放電用電阻13逐漸釋放電容器12中的電荷。
在這裡，由於與充電用限流電阻18的電阻值相比，放電用電阻13的電阻值被設定為充分大，即使開關元件16斷開，電容器12的電荷也不會立刻消失，因此加工用電極8和被加工物9之間的加工間隙的電壓隨著脈衝列中的第1脈衝、第2脈衝，逐漸上升至直流電源14的電壓V1附近。
如果脈衝列結束而成為脈衝間歇時間，則極間電壓逐漸下降至0V附近。
隨後，經過規定的脈衝間歇時間，產生負極性側的脈衝列。
負極性側的動作與上述說明的正極性側的動作相同，在開關元件驅動脈衝7b為H時，開關元件17閉合，利用直流電源15的電壓V2，經由開關元件17、二極體21以及限流電阻19，使電容器12充電，同時經由逆電流阻止電路22的電阻23，向電極8和被加工物之間施加電壓。
在該情況下，以大致由限流電阻19的電阻值和電容器12的靜電電容確定的時間常數，對電容器12進行充電，以使被加工物9相對於電極8變為負極性。
加工間隙中，除了在電極8和被加工物9之間微量存在的雜散靜電電容之外，在供電饋線10中也存在靜電電容，通過經由電阻23向它們供給電荷，可以向加工間隙中施加電壓。
此時，由於逆電流阻止電路22的二極體24向反方向偏壓，因此電流不流過，不用於向加工間隙間施加電壓。
此外，由於在驅動脈衝信號7b為L時，開關元件17斷開，因此不施加直流電源15的電壓V2，以大致由放電用電阻13的電阻值和電容器12的靜電電容確定的時間常數，經由放電用電阻13逐漸釋放電容器12中的電荷。
在這裡，由於與充電用限流電阻19的電阻值相比，放電用電阻13的電阻值被設定為充分大，即使開關元件17斷開，電容器12的電荷也不會立刻消失，因此加工用電極8和被加工物9之間的間隙的電壓隨著脈衝列的第1脈衝、第2脈衝，逐漸上升至直流電源15的電壓V2附近。
下面，使用圖1中的結構圖和圖3、圖4、圖5中的電流波形，對放電發生時的動作進行說明。
在利用來自脈衝控制部7的驅動脈衝信號7a，以使被加工物9相對於電極8成為正極性的方式向加工間隙中施加電壓，結果發生放電的情況下，由於二極體24向正方向偏壓，因此電容器12的電荷的釋放電流和由直流電源14供給的充電電流，作為放電電流脈衝，在從供電饋線10至被加工物9、電極8、供電饋線10、二極體24的線路中流過。
在峰值高的放電電流之後要以負極性流過放電電流，但在本實施方式的電路中，如果電流要以負極性流動，則由於二極體24成為反向偏壓，因此電流無法在二極體24中流過。
在實際的結構中，由於二極體24存在反向恢復時間，因此在該期間會流過微弱的電流，但不會持續流過作為現有技術進行說明的如圖12所示的振蕩電流，而是在極短時間內切斷電流。
圖3是表示該關係的圖。
並且，由于越選擇反向恢復時間短的二極體，電流以負極性流動的時間越短，因此抑制振蕩電流的效果越好。
此外，由於與二極體24並聯連接的電阻23以電阻值較大的方式構成，因此電阻23中僅流過微弱的電流。
這樣，根據本結構，如圖3所示，由於在峰值高的電流之後，基本不會產生振蕩電流，因此能夠使加工間隙中流過窄脈衝的放電電流。
此外，如作為現有技術進行說明的圖12所示，在連續發生放電的情況下，存在由於在峰值高的電流之後流過振蕩電流，使脈衝電流相連的問題，但根據本發明的結構，由於如上所述在極短的時間內切斷振蕩電流，因此如圖4的電流波形所示，即使在連續發生放電的情況下，電流也不會相連，能夠可靠地流過窄脈衝電流脈衝。
並且，在以正極性施加電壓時，由於向正方向偏壓的二極體24與電阻23並聯連接，所以電阻23上基本不施加電壓，因此電流也基本不流過。
下面，對在負極性側發生放電的情況下的動作進行說明。
如圖5所示，在現有技術的電流波形中，通過使開關元件17閉合，電容器12中積蓄的電荷及來自直流電源V2的電流，在峰值高的放電脈衝之後，將伴隨振蕩持續一段時間。
但是，根據本發明實施方式的結構，因開關元件17閉合電容器12中積蓄的電荷不會流過二極體24，而僅經由電阻23流過極少量。
另一方面，在相對於逆電流阻止電路22更靠近加工間隙側的供電饋線10和加工間隙的雜散靜電電容中積蓄的電荷，因發生放電而作為放電電流在加工間隙中流過，但由於與儲存在電容器12中的電荷相比，儲存在它們中的電荷較少，因此成為圖5所示的本實施方式的放電電流波形，其結果，將放電電流抑制為極小。
根據本實施方式，由於能夠可靠地獲得在正極性側放電時，放電電流脈衝下降時的振蕩較少的窄脈衝的放電電流脈衝，所以即使在連續發生放電的情況下，放電電流脈衝也不會相連，因此能夠獲得加工面粗糙度高且均勻的放電加工面，同時由於能夠將開關元件的斷開時間設定得較短，因此能夠提高加工速度。
此外，由於負極性側的放電電流基本不流過，因此在交流脈衝方式的電源裝置中，能夠大幅降低由放電加工消耗的電極消耗量。
此外，通過將本實施方式中說明的放電加工用電源裝置，用於利用管狀電極或者棒狀電極進行打孔的小孔放電加工裝置中，能夠抑制電極消耗，使每根電極能夠加工的孔數增加，因此在降低電極費用之外，還可以起到減少電極更換動作的工時的作用。對於小於或等於0.2mm的小孔放電加工裝置特別有效。
此外，通過在線切割放電加工機中使用，由於能夠減少對線狀電極造成的損害，因此能夠將線進給速度設定得較慢，能夠起到減少線狀電極使用量的效果。
實施方式2下面，使用圖6中的結構圖對實施方式2進行說明。
本實施方式相對於實施方式1中說明的圖1中的結構，在機械主體側安裝二極體24和電阻23的並聯電路即逆電流阻止電路22，即安裝位置不同，其他結構與實施方式1相同。
並且，在本實施方式中，逆電流阻止電路22安裝在例如供電饋線10的末端，使其與放電加工機主體1的電極8安裝部之間的配線儘量短。
根據本結構，在被加工物9相對於電極8為負極性施加電壓的情況下，在相對電路22更靠近加工間隙側存在的電荷，僅是在加工間隙中微量存在的雜散靜電電容中積蓄的電荷，發生放電的情況下的放電電流，由於僅是該微量電荷的放電電流和經由電路22的電阻23流過的微弱電流，因此與實施方式1中說明的圖5中的放電電流相比，能夠進一步減小放電電流。
此外，由於放電加工裝置機械主體1是大型裝置等原因，如果電極8和被加工物9之間的加工間隙與加工用電源裝置2之間的距離較遠，則饋電配線10會變長，因而在饋電配線的靜電電容中充電的電荷也會變多，但仍然能夠可靠地抑制該電荷向加工間隙的釋放電流。
實施方式3下面，使用圖7對實施方式3進行說明。
本實施方式是將在實施方式2中說明的二極體24和電阻23的並聯電路即逆電流阻止電路22的安裝位置，從電極8安裝部變更至被加工物安裝部。
並且，由於使二極體24的安裝方向成為希望電流流過的極性，因此二極體24的安裝極性與實施例2的圖6中的安裝方向相反。
並且，動作以及作用都與在實施方式2中說明的完全相同。
實施方式4下面，對上述二極體24和電阻23的並聯電路即逆電流阻止電路22的替換例進行說明。
圖8是將圖1中的逆電流阻止電路22替換為內置了寄生二極體26的MOS-FET 27的例子。
MOS-FET 27串聯插入從脈衝發生部6向加工間隙供給脈衝電力的配線線路中，連接方式為，使MOS-FET 27的內置寄生二極體26中電流的流動方向，與希望的加工脈衝電流的流動方向一致，從而使在MOS-FET 27為接通時，反方向的電流也能夠流過。
例如，在用於形成小孔的小孔放電加工機或者線切割放電加工機中，如圖8所示，由於連接方式為，使MOS-FET 27的內置寄生二極體26的方向，與電流從被加工物9向加工用電極8方向流動的極性一致，所以在使用例如P通道MOS-FET的情況下，按照圖示的方向連接。
並且，MOS-FET 27的內置寄生二極體26，用於在被加工物為正極性時使放電電流流過，在負極性時不使電流流過，以能夠進行與實施方式1～3中說明的二極體24完全相同的動作。
MOS-FET 27在被加工物為負極性時，通過以使源極和漏極間成為接通與斷開之間的中間狀態的方式產生驅動信號7c的電壓，從而能夠進行與實施方式1～3中說明的電阻23相同的動作。
圖9表示FET的驅動信號7c的產生時機。
在圖8的結構圖中的放電發生時的動作中，也與實施方式1相同地，在利用來自脈衝控制部7的驅動脈衝信號7a，以被加工物9相對於電極8為正極性的方式向加工間隙間施加電壓，結果發生放電的情況下，電容器12的電荷的釋放電流和由直流電源14供給的充電電流，作為放電電流脈衝，在從供電饋線10至被加工物9、電極8、供電饋線10、MOS-FET 27的內置寄生二極體26的線路中流動。
在峰值高的放電電流後要流過負極性方向的放電電流，但在本實施方式的電路中，由於如果要向負極性方向流過電流，則MOS-FET27的內置寄生二極體26成為反向偏壓，因此在二極體26中不會流過電流。
在實際結構中，由於MOS-FET 27的內置寄生二極體26存在反向恢復時間，因此該期間會流過微弱的電流，但不會持續流過作為現有技術進行說明的圖6所示的振蕩電流，而是在極短時間內切斷電流，即使在連續發生放電的情況下，電流也不會相連，能夠可靠地使窄脈衝電流脈衝流過。
負極性側的動作與上述說明的正極性側的動作相同地，在利用開關元件驅動脈衝7b，以使被加工物9相對於電極8成為負極性的方式施加電壓，結果發生放電的情況下，電容器12中積蓄的電荷不會在MOS-FET 27的內置寄生二極體26中流過，而是只有極少量經由處於接通與斷開之間的中間狀態的MOS-FET 27主體而流過。
另一方面，由於在相對於MOS-FET 27存在於加工間隙側的供電饋線10和加工間隙的雜散靜電電容中積蓄的電荷，因發生放電而作為放電電流在加工間隙中流動，但由於積蓄在它們中的電荷比儲存在電容器12中的電荷少，因此會形成如圖5b所示的與實施方式1相同的放電電流波形，其結果能夠將放電電流限制為極小。
根據本實施方式，通過利用來自脈衝控制部7的控制信號7c，使MOS-FET 27在接通與斷開之間的中間狀態動作，能夠獲得與實施方式1相同的效果。
此外，如圖10、11所示，還可以將實施方式2、3中的逆電流阻止電路22，替換為本實施方式中說明的MOS-FET 27。
此外，作為其他實施例，由於只要利用來自脈衝控制部7的控制信號7c，使MOS-FET 27總是處於接通狀態，就可以使負極性方向的放電電流也流過，因此例如在對於雕形放電加工機等中以電流從電極8向被加工物9方向流過的方式進行的加工，無需改變連接方式就可以進行。
實施方式5下面，對上述二極體24和電阻23的並聯電路即逆電流阻止電路22的其他替換例進行說明。
MOSFET在不施加選通信號的斷開狀態時，可以利用內置的寄生二極體，只起到作為整流元件的作用。
因此，在本實施例中，將上述二極體24替換為斷開狀態的MOSFET。
MOSFET的連接方向為，使得內置的二極體的極性與二極體24的極性相同。並且，如果MOSFET選擇使內置二極體的恢復時間儘可能小的，則可以提高逆電流阻止的效果，所以優選，這與實施方式1中說明的相同。
工業實用性本發明適用於使用小孔電極進行規定的孔加工的小孔放電加工裝置。
權利要求
1.一种放電加工用電源裝置，其作為放電加工機的電源裝置，向加工用電極和被加工物之間的加工間隙中施加放電加工用脈衝電壓，其特徵在於，在從放電加工脈衝發生部至加工間隙的配線線路中，串聯插入將整流元件和電阻元件並聯連接的電路，同時上述整流元件的連接方式為，使放電發生時的加工脈衝電流與所希望的流動方向一致。
2.根據權利要求1所述的放電加工用電源裝置，其特徵在於，在從放電加工脈衝發生部至加工間隙的配線線路中的加工間隙附近，串聯插入將整流元件和電阻元件並聯連接的電路。
3.根據權利要求1或2所述的放電加工用電源裝置，其特徵在於，整流元件是恢復時間短的二極體元件或者MOSFET的內置二極體。
4.根據權利要求1至3中任意一項所述的放電加工用電源裝置，其特徵在於，電阻元件選擇以下的電阻值在以使被加工物相對於電極成為負極性的方式施加電壓的情況下，能夠使在加工間隙中微量存在的雜散靜電電容在短時間內充電。
5.根據權利要求1至3中任意一項所述的放電加工用電源裝置，其特徵在於，電阻元件選擇以下的電阻值與被加工物為正極性時流過的放電電流相比，在被加工物側為負極性時，使由在電容器的靜電電容、饋電配線、檢測用配線等雜散靜電電容中充電的電荷的放電電流、和由直流電源供給的電流共同形成的向電極間隙的放電電流充分小。
6.根據權利要求1至3中任意一項所述的放電加工用電源裝置，其特徵在於，電阻元件選擇以下的電阻值與各種檢測電路的輸入電阻相比電阻值充分小，以能夠正確地進行電極間狀態的檢測。
7.一種小孔放電加工裝置，其使用水溶性的加工液，向小孔電極和被加工物之間施加正負兩種極性的電壓，由此對上述被加工物進行加工，其特徵在於，上述小孔放電加工裝置的配置方式為，在從放電加工脈衝發生部至加工間隙的配線線路中，串聯插入將整流元件和電阻元件並聯連接的電路，同時在以使被加工物相對於上述小孔電極成為正極性的方式施加電壓而發生放電時，在上述整流元件中流過放電電流。
8.根據權利要求7所述的小孔放電加工裝置，其特徵在於，在從放電加工脈衝發生部至加工間隙的配線線路中的加工間隙附近，串聯插入將整流元件和電阻元件並聯連接的電路。
9.根據權利要求7所述的小孔放電加工裝置，其特徵在於，整流元件是恢復時間短的二極體元件。
10.根據權利要求7至9中任意一項所述的小孔放電加工裝置，其特徵在於，電阻元件選擇以下的電阻值在以使被加工物相對於電極成為負極性的方式施加電壓的情況下，能夠使在加工間隙中微量存在的雜散靜電電容在短時間內充電。
11.根據權利要求7至9中任意一項所述的小孔放電加工裝置，其特徵在於，電阻元件選擇以下的電阻值與被加工物為正極性時流過的放電電流相比，在被加工物側為負極性時，使由在電容器的靜電電容和饋電配線、檢測用配線等的雜散靜電電容中充電的電荷的放電電流、和由直流電源供給的電流共同形成的向電極間隙的放電電流充分小。
12.根據權利要求7至9中任意一項所述的小孔放電加工裝置，其特徵在於，電阻元件選擇以下的電阻值與各種檢測電路的輸入電阻相比電阻值充分小，以能夠正確地進行電極間狀態的檢測。
13.一种放電加工用電源裝置，其作為放電加工機的電源裝置，向加工用電極和被加工物之間的加工間隙中施加放電加工用脈衝電壓，其特徵在於，在從放電加工脈衝發生部至加工間隙的配線線路中，串聯插入由內置了二極體的MOSFET構成的開關元件，同時上述MOSFET的內置二極體的連接方式為，使放電發生時的加工脈衝電流與所希望的流動方向一致。
14.根據權利要求13所述的放電加工用電源裝置，其特徵在於，在從放電加工脈衝發生部至加工間隙的配線線路中的加工間隙附近，串聯插入MOSFET。
15.根據權利要求13或者14所述的放電加工用電源裝置，其特徵在於，MOSFET的內置二極體是恢復時間短的二極體元件。
16.根據權利要求13至15中任意一項所述的放電加工用電源裝置，其特徵在於，MOSFET的柵電壓的設定方式為，使MOSFET的源極和漏極之間的電阻值成為，在以使被加工物相對於電極成為負極性的方式施加電壓的情況下，能夠使在加工間隙中微量存在的雜散靜電電容在短時間內充電。
17.據權利要求13至15中任意一項所述的放電加工用電源裝置，其特徵在於，MOSFET的柵電壓的設定方式為，使MOSFET的源極和漏極之間的電阻值成為，與被加工物為正極性時流過的放電電流相比，在被加工物側為負極性時，使由在電容器的靜電電容和饋電配線、檢測用配線等的雜散靜電電容中充電的電荷的放電電流、和由直流電源供給的電流共同形成的向電極間隙的放電電流充分小。
18.據權利要求13至15中任意一項所述的放電加工用電源裝置，其特徵在於，MOSFET的柵電壓的設定方式為，使得與各種檢測電路的輸入電阻相比，MOSFET的源極和漏極之間的電阻值充分小，以能夠正確地進行電極間狀態的檢測。
全文摘要
獲得一种放電加工用電源裝置，其能夠使放電電流脈衝均勻並高效地流過加工間隙，並且能夠減少交流脈衝式加工中的電極消耗量，為此，在向加工用電極(8)和被加工物(9)之間的加工間隙施加放電加工用脈衝電壓的放電加工機的電源裝置(2)中，在從放電加工脈衝發生部(6)至加工間隙的配線線路中，串聯插入將整流元件(24)和電阻元件(23)並聯連接的電路(22)，同時上述整流元件(23)的連接方式為，使放電發生時的加工脈衝電流與所希望的流動方向一致。
文檔編號B23H1/02GK101048253SQ200580036749
公開日2007年10月3日 申請日期2005年10月26日 優先權日2004年10月27日
發明者小田清仁, 鈴木智, 中村和司, 後藤昭弘 申請人:三菱電機株式會社