匣盤定位裝置的製作方法
2023-06-06 18:58:36 1
專利名稱：匣盤定位裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種匣盤定位裝置，尤其是指一種以匣盤的上側邊為定位基準的匣盤定位裝置。由於匣盤上側邊具有較下側邊更為平整的表面、不易受外界的影響而變形且不會有下側邊常見的斷模面，故以匣盤的上側邊為定位基準的匣盤定位裝置，可提供高準確度的匣盤定位。
一片晶片(wafer)在經過數百製程步驟到具有功能(function)的集成電路，該晶片尚必須經過切割而成多個晶粒(die)，之後再進行晶粒的測試和包裝(package)，其中為了方便晶粒的輸送和管理，晶粒是利用一種專門用於容納晶粒的匣盤加以承載。
請參閱
圖1所示，它用於承載晶粒2的匣盤1示意圖，該匣盤1為一方形平板，該匣盤1的四個側邊成階梯狀，該側邊包括一下側邊12和一上側邊14，其中上側邊14是位於下側邊12的上方內側，該匣盤1的中間設有多個容置槽16，其中每一個容置槽16可以容納一個晶粒2，而將晶粒2送入匣盤1的容置槽16的步驟稱為上料。
由於晶粒2的面積相當微小且尚未經過測試，為了提高上料速度以及避免晶粒2受到汙染，目前大部分半導體廣均利用機器手臂(圖中未示)進行上料，雖然使用機器手臂可以使上料的速度加快，但是若是匣盤1沒有事先做好精確的定位，將會造成機器手臂執行上的錯誤，即機器手臂無法準確的將晶粒放置於匣盤1的容置槽16，進而造成生產上的損失。
為了說明匣盤1定位的重要性，以下我們將以晶粒撿選機的上料過程作為說明。請參閱圖2所示，它為常規技術的晶粒撿選機3的示意圖，包括一置晶座32、一輸送帶34、一推爪36以及一機器手臂38。該置晶座32是用以承載切割後的晶片，晶片在切割後會形成多個晶粒2，因此將切割後的晶片放置於置晶座32上以便進行上料。該輸送帶34具有一輸入端341、一輸出端342以及一撿選定位343，上料之前將空的匣盤1置手輸送帶34的輸入端341，並利用輸送帶34將匣盤1輸送至撿選定位343進行上料，之後再將匣盤由輸出端342輸出，其中該輸送帶34一次可以輸送一個匣盤1或數個匣盤1，視上料的操作規劃而定，圖2所揭示的常規技術晶粒撿選機3為一次輸送一第一匣盤1與一第二匣盤1a的設計。
該推爪36呈L形狀，包括一樞軸361和一推桿362，該樞軸361設於輸送帶34的側邊，該推桿362位於輸送帶34的上方並與水平呈一適當的夾角，由於輸送帶34隻能大概地將第一匣盤1與第二匣盤1a輸送至撿選定位343，因此當第一匣盤1與第二匣盤1a到達撿選定位343附近時，推爪36的樞軸361會將推桿362轉動至水平位置，並驅動推爪36的推桿362推動第二匣盤1a的下側邊12，由於第一匣盤1是位於第二匣盤1a的前方，故該推桿362可同時推動第一匣盤1與第二匣盤1a至撿選定位343。
該機器手臂38具有上料的功能，它可以將晶粒2由置晶座32之中取出，再放置於匣盤1的容置槽16中，直到輸送帶34上的第一匣盤1與第二匣盤1a均裝滿晶粒2。
但是，匣盤1本身為塑膠材質，其下側邊12通常為斷模面，會有製造過程所殘留的粗糙毛邊，且下側邊12是位於匣盤1的最外側，易受外界的影響而變形，例如，溫度變化、外力碰撞而造成下側邊12的表面不平整。但是常規技術的晶粒撿選機3在進行匣盤1的精確定位時，是以匣盤1的下側邊12為基準，而由於下側邊12表面本身就並非平整，以致無法使匣盤1精確地定位於撿選定位343，造成機器手臂38無法精確地執行上料的動作，造成生產上的損失。
本實用新型的目的在於提出一種由固定座、定位單元和驅動單元所組成的匣盤定位裝置。它具有定位精度高的特點，從而解決了現有技術所存在的問題。
本實用所採用的技術方案在於它包括有一固定座；至少一定位單元，它固定於該固定座，該至少一定位單元包含有與一匣盤的數個上側邊相對應的數個側邊；以及至少一驅動單元，它固定於該固定座，該至少一驅動單元是與該定位單元相連接；其中，該至少一定位單元是由該至少一驅動單元驅動，使該匣盤的數個上側邊與該至少一定位單元的數個側邊緊密接合。
本實用新型又可採用的技術方案在於它包括有一固定座；至少一定位單元，它固定於該固定座，該至少一定位單元包含有與一匣盤的數個上側邊相對應的數個側邊；以及至少一驅動單元，它固定於該固定座，該至少一驅動單元是與該定位單元相連接；其中，該匣盤是借該至少一驅動單元驅動，使該匣盤的數個上側邊與該至少一定位單元的數個側邊緊密接合。
本實用新型又可採用的技術方案在於它包括有一固定座；至少一定位單元，它固定於該固定座，該至少一定位單元是包含有數個側邊，該數個側邊的內緣分別設有一導角，該導角分別與一匣盤的數個上側邊相對應；以及至少一驅動單元，它固定於該固定座，該至少一驅動單元是與該定位單元相連接；其中，該至少一定位單元是由該至少一驅動單元驅動，使該匣盤的數個上側邊受到導角的調整，與該至少一定位單元的數個側邊緊密接合。
本實用新型還可採用的技術方案在於它包括有一固定座；至少一驅動單元，它固定於該固定座；以及至少一定位單元，它包含有一第一彈性元件，它與該驅動單元相連接；一第二彈性元件，它固定於該固定座的一側；以及一定位元件，它固定於該固定座，且它設有一第一側邊與一第二側邊，該第一側邊及該第二側邊是與一匣盤的一第一上側邊及一第二上側邊相對應；其中，該至少一驅動單元借第一彈性元件驅動該匣盤，可使該匣盤的第一上側邊與該定位元件的第一側邊緊密接合，且該第二彈性元件可使該匣盤的第二上側邊與該定位元件的第二側邊緊密接合。
本實用新型的特點在於，它可以提高匣盤的定位精度，增加機器手臂上料的成功率，從而降低了生產成本。
圖1為匣盤1的示意圖。
圖2為常規技術的晶粒撿選機3的示意圖。
圖3A、圖3B為本實用新型的匣盤定位裝置4第一較佳實施例的示意圖。
圖4A、圖4B與圖4C為本實用新型的匣盤定位裝置5第二較佳實施例的示意圖。
圖5為本實用新型的匣盤定位裝置6第三較佳實施例的立體分解圖。
圖6為本實用新型的一匣盤定位裝置6第三較佳實施例的定位過程示意圖。
圖7為本實用新型的一匣盤定位裝置6第三較佳實施例的定位示意圖。
為了解決上述常規技術中的問題，實用新型結合上述各附圖來進一步說明本實用新型較佳具體實施例。
請參閱圖3A與圖3B所示，它為本實用新型的一匣盤定位裝置4的第一較佳實施例示意圖，該匣盤定位裝置4包括一定位單元42和一驅動單元44，該定位單元42由四個側邊421組合而成，其中上述四個側邊421的內緣分別設有一導角423，上述導角423與匣盤1的上側邊14呈精確配合，又該定位單元42的一側邊421上設有一樞軸425，該驅動單元44與該樞軸425相連接。
匣盤定位裝置4的定位單元42在未進行匣盤1定位時，是與水平呈一適當仰角，而匣盤1則約略地置於定位單元42的下方，此時驅動單元44將驅動定位單元42轉動，當定位單元42轉動至水平位置時，匣盤1的上側邊14將會受到導角423的調整，使匣盤1被拘束於定位單元42的四個側邊421之中，進而達到匣盤1如圖3B所示的精確定位。
請參閱圖4A、圖4B、圖4C所示，它為本實用新型的一匣盤定位裝置5第二較佳實施例的示意圖，該匣盤定位裝置5是應用於晶粒撿選機3的一第一匣盤1與一第二匣盤1a同時定位，它包括一第一定位單元52、一第二定位單元54和一驅動單元56，該第一定位單元52是由四個第一側邊521組合而成，上述四個第一側邊521的內緣分別設有一第一導角523，該第一導角523是與第一匣盤1的上側邊14呈精確配合；該第二定位單元54是由四個第二側邊541組合而成，並且以其中的一第二側邊541和第一定位單元52的一第一側邊521相結合，又上述四個側邊541的內緣分別設有一第二導角543，該第二導角543是與第二匣盤1a上側邊14a呈精確配合，又上述第一定位單元52與第二定位單元54在同一邊的第一側邊521上與第二側邊541上設有一貫穿的樞軸527，該第一定位單元52與第二定位單元54是以該樞軸527為圓心，作旋轉掀合動作。
第二較佳實施例的匣盤定位裝置5是設置於輸送帶34的撿選定位343處，該匣盤定位裝置5的第一定位單元52、第二定位單元54在未進行匣盤定位時，是與水平呈一適當仰角，該晶粒撿選機3是利用輸送帶34一次輸出一第一匣盤1與一第二匣盤1a，上述第一匣盤1與第二匣盤1a經過推爪36的調整後，其位置大約分別設於第一定位單元52與第二定位單元54的下方，此時驅動單元56將驅動第一定位單元52與第二定位單元54轉動，當第一定位單元52與第二定位單元54、轉動至水平位置時，第一匣盤1的上側邊12與第二匣盤1a的上側邊12a將分別受到第一導角523與第二導角543的調整，使第一匣盤1與第二匣盤1a如圖4C所示，分別被拘束於第一定位單元52的四個第一側邊521與第二定位單元54的四個第二側邊541之中，進而達到第一匣盤1與第二匣盤1a的精確定位。
請參閱圖5、圖6與圖7所示，它分別為本實用新型的一匣盤定位裝置6第三較佳實施例的立體分解圖、定位過程立體圖與定位立體圖，該匣盤定位裝置6包括一第一驅動單元62與一定位單元64。該第一驅動單元62包含有一氣缸621與一匣盤推拉杆623，該匣盤推拉杆623是固定於該氣缸621；該定位單元64包含有一定位基座641、一定位塊642、一第一定位彈片643與一第二定位彈片644，其中該定位塊642還具有一突出的凸邊擋塊645，且與該第二定位彈片644是分別設於該定位基座641適當位置，該第一定位彈片643是固定於該匣盤推拉杆623，該第二定位彈片644的右側進口彎曲處還設有一第三側邊646，且該第二定位彈片644右側第三側邊646由彎轉直後的位置還設有一第四側邊647，該定位塊642面對匣盤71方向設有一第一側邊648，該凸邊擋塊645內側設有一第二側邊649，且該第一側邊648與該第二側邊649是互相垂直。
請參閱圖6與圖7所示，它為本實用新型的一匣盤定位裝置6第三較佳實施例的定位過程示意圖與定位示意圖，一匣盤71具有一第一上側邊711、一第二上側邊712，一第三上側邊713與一第一下側邊714，其中第一上側邊711及第二上側邊712分別與第三上側邊713及第一下側邊714相互平行，且第一上側邊711與第二上側邊712相互垂直。匣盤71自一輸出入位置72，由一第二驅動單元73將匣盤71推動至定位基座641上，如圖7所示的匣盤約略位置，此時，該第一定位彈片643已位於匣盤71後方，故該匣盤71是位於定位塊642與第一定位彈片643之間，且匣盤71的第一下側邊711是介於第二定位彈片644的第三側邊646與凸邊擋塊645的第二側邊649之間，系統控制軟體於此時發出一定位指令，啟動氣缸621，藉匣盤推拉捍623拉動第一定位彈片642，該第一定位彈片643的勾狀部分即拉動匣盤71的第三上側邊713，使匣盤71向定位塊642方向移動，此時匣盤71的第一上側邊711向定位塊642的第一側邊648接近，且匣盤71的第一上側邊711已剛通過第二定位彈片644的第三側邊646與凸邊擋塊645的第二側邊649之間較寬的入口處，正進入第二定位彈片644的第四側邊647與凸邊擋塊645的第二側邊649所設置恰可容納匣盤71寬度的位置，當匣盤71進一步向定位塊642接近時，第一定位彈片643拉力使匣盤71的第一上側邊711與定位塊642的第一側邊648緊密接合，同時，第二定位彈片644的彈力令匣盤71的第二上側邊712與凸邊擋塊645的第二側邊649緊密接合，故相互垂直的第一側邊648與第二側邊649以匣盤71的第一上側邊711與第二上側邊712為基準，完成匣盤71的準確定位。
由於晶粒撿選機3藉由匣盤定位裝置4，匣盤定位裝置5或匣盤定位裝置6的定位後，確實可以使匣盤的定位精確度提高，增加機器手臂38上料的成功率，從而降低生產成本。
以上所述的為本實用新型的較佳實施例，不應用於局限本實用新型的可實施範圍，凡根據本實用新型的內容所作的部份修改，而未違背本實用新型的精神時，皆仍應屬本實用新型權利要求書保護的範圍。
權利要求1.一種匣盤定位裝置，其特徵在於它包含中一固定座至少一定位單元，它固定於該固定座，該至少一定位單元包含有與一匣盤的數個上側邊相對應的數個側邊；以及至少一驅動單元，它固定於該固定座，該至少一驅動單元是與該定位單元相連接，該至少一定位單元是由該至少一驅動單元驅動。
2.如權利要求1所述的匣盤定位裝置，其特徵在於所述的定位單元；其數個側邊是可為四側邊，且該匣盤的數個上側邊為四上側邊。
3.一種匣盤定位裝置，其特徵在於它包含有一固定座；至少一定位單元，它固它於該固定座，該至少一定位單元包含有與一匣盤的數個上側邊相對應的數個側邊；以及至少一驅動單元，它固定於該固定座，該至少一驅動單元是與該定位單元相連接，該匣盤是該至少一驅動單元驅動。
4.如權利要求3所述的匣盤定位裝置，其特徵在於所述的至少一定位單元，其數個側邊為四側邊，且該匣盤的數個上側邊為四上側邊。
5.一種匣盤定位裝置，其特徵在於它包含有一固定座，至少一定位單元，它固定於該固定座，該至少一定位單元是包含有數個側邊，該數個側邊的內緣分別設有一導角，該導角分別與一匣盤的數個上側邊相對應；以及至少一驅動單元，它固定於該固定座，該至少一驅動單元是與該定位單元相連接，該至少一定位單元是由該至少一驅動單元驅動。
6.如權利要求5所述的匣盤定位裝置，其特徵在於所述的至少一定位單元，其數個側邊為四側邊，且該匣盤數上側邊為四上側邊。
7.如權利要求5所述的匣盤定位裝置，其特徵在於所述的至少一定位單元，它包含數個定位單元，該數個定位單元的一側邊設於同一直線上。
8.一種匣盤定位裝置，其特徵在於它包含有一固定座；至少一驅動單元，它固定於該固定座；以及至少一定位單元，它包含有一第一彈性元件，它與該驅動單元相連接；一第二彈性元件，它固一於該固定座的一側；以及一定位元件，它固定於固定座，且它設有一第一側邊與一第二側邊，該第一側邊及該第二這是與一匣盤的一第一上側邊及一第二上邊相對應；其中，該至少一驅動單元由第一彈性元件驅動該匣盤，該匣盤的第一上側邊與該定位元件的第一側邊緊密接合，且該第二彈性中使該匣盤的第二上側邊與該定位元件的第二側邊緊密接合。
9.如權利要求8所述的匣盤定位裝置，其特徵在於所述的定位元件，其第一側邊與一第二側邊相互垂直，且該匣盤的第一上側邊與第二上側邊相互垂直。
10.如權利要求8所述的匣盤定位裝置，其特徵在於所述的第一彈性元件，它與該第二彈性元件為一彈性元件，該彈性元件是指向該定位元件的第一側邊與第二側邊相交的一定位角，且該彈性元件是由匣盤距離該定位角最遠的一對角驅動該匣盤。
專利摘要本實用新型涉及一種匣盤定位裝置，它包含有一驅動單元與一定位單元，其中該定位單元設有與一匣盤的數個上側邊相對應的數個側邊。本實用新型匣盤定位裝置是借驅動單元推動，使匣盤的數個上側邊與定位單元的數個側邊緊密接合，從而達到以匣盤上側邊為基準，準確定位的匣盤定位裝置。
文檔編號H01L21/67GK2476101SQ0121914
公開日2002年2月6日 申請日期2001年4月9日 優先權日2001年4月9日
發明者呂文鎔, 劉錦源, 鄭賢豪, 賴俊魁, 黃朝顯, 林知明 申請人:財團法人工業技術研究院