輸送裝置及真空裝置的製作方法
2023-06-19 08:54:56
專利名稱：輸送裝置及真空裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及輸送例如基板等輸送物的輸送裝置，特別涉及適合於半導體製造裝置等具備多個處理腔的真空裝置的輸送裝置。
背景技術：
在半導體製造等的領域中，以往以來使用圖14及圖15所示那樣的基板輸送裝置 101。
該基板輸送裝置101具有驅動部102、連結在該驅動部102上、由多個臂構成的臂部103、和連結在該臂部103的前端上的末端執行器104，構成為，用末端執行器104的上表面支承基板W的背面、在多個處理腔(未圖示)間進行基板W的交接。
末端執行器104 —般由陶瓷或不鏽鋼等製造。因而，如果使臂103以高速伸縮動作或旋繞動作，則末端執行器104也以高速動作，所以因施加在基板W上的加速度的影響而基板W在末端執行器104上滑動，有不能將基板W輸送到正確的位置的問題。
而且，在以往技術中，有當基板W在末端執行器104上滑動時產生的灰塵將基板W 的表面汙染的問題。
所以，如圖15所示，還提出了在末端執行器104的上表面上設置多個保持部105、 由基板W背面的規定部位接觸的技術。
該保持部105 —般由橡膠或彈性體等樹脂類彈性材料形成，所以抑制基板W的背面的滑動，作為防滑墊片發揮功能。由此，基板W不滑動而以穩定的輸送姿勢被保持在末端執行器104的上表面上(例如參照專利文獻1)。
這裡，由彈性體等樹脂類彈性材料形成的保持部105在基板W或周圍的環境氣體溫度比較低(例如200°C以下)的情況下能夠效率良好地抑制基板W的滑動，但在該溫度較高(例如300 500°C)的情況下，有保持部105因受熱變質或變形而不能抑制基板W的滑動的問題。
另一方面，即使在該溫度比較低(例如200°C以下)的情況下，也有基板W因保持部 105的粘附力而粘貼、基板W不能從末端執行器104適當地分離的情況。例如，在將基板W 交接到處理腔內的臺上時，有基板W不從保持部105分離而破裂的問題、或不能將基板W輸送到正確的位置的問題。
進而，由於在原理上通過保持部105與基板W間的摩擦力抑制基板W的滑動，所以如果超過由兩者的物質決定的最大靜摩擦力那樣的加速度作用在基板W上，則基板W在末端執行器104上滑動。因而，有輸送裝置101的動作速度不能大到超過保持部105與基板 W間的最大靜摩擦力的問題。
專利文獻1 特開2002 — 353291號公報。
發明內容
本發明是為了解決這樣的以往的技術課題而做出的，其目的在於在輸送物或周圍的環境氣體溫度比較低的環境下、以及該溫度較高的環境下都可靠地保持輸送物而實現高速輸送。
此外，本發明的另一目的在於提供一種儘量減少輸送物的輸送時的灰塵的技術。
為了達到上述目的而做出的本發明是一種輸送裝置，具備伸縮自如的連杆機構， 具有被傳遞來自驅動源的動力的多個臂；和載置部，經由驅動連杆部連結在上述連杆機構的動作前端部上，用來載置輸送物；在上述載置部上，設有用來與該輸送物的側部抵接而卡止的卡止部；並且在上述連杆機構的驅動連杆部上設有由凸輪機構實現的施力單元；上述施力單元具備凸輪驅動面和從動機構部，所述凸輪驅動面設在上述連杆機構的驅動連杆部上，所述從動機構部具有抵接在該凸輪驅動面上而能夠從動的從動輥、具有對應於該從動輥的移動而沿著朝向上述載置部的卡止部的方向被導引移動的施力部。
在本發明中，上述施力單元在旋轉方向是相反方向的一對相鄰的連杆部件上分別形成有上述凸輪驅動面、並且上述從動機構部具有對應於該一對凸輪驅動面的一對從動輥和凸狀的上述施力部也是有效的。
在本發明中，也可以是，上述施力單元的從動機構部具有用來調節對上述凸輪驅動面的施力的施力調節部件。
在本發明中，也可以是，在上述施力單元的從動機構部的施力部中，具有用來使該施力部的施力減能的減能部件。
在本發明中，也可以是，上述載置部的卡止部具有受隨著上述連杆機構的驅動連杆部的動作而向朝向上述施力單元的方向移動的驅動機構驅動、對該輸送物施力而與上述施力單元一起把持該輸送物的把持機構。
在本發明中，在上述驅動機構中設有凸輪方式的驅動部、在上述把持機構中設有受上述凸輪方式的驅動部驅動的凸輪方式的把持部的情況下也是有效的。
在本發明中，在上述驅動機構中設有凸輪方式的驅動部、在上述把持機構中設有與上述凸輪方式的驅動部卡合而被驅動的連杆方式的把持部的情況下也是有效的。
在本發明中，在上述把持機構設有兩個、各把持機構的把持部配置為、使其相對於通過上述第1及第2驅動軸的旋轉中心軸線而沿基板輸送方向延伸的直線為線對稱的情況下也是有效的。
此外，本發明是一種真空裝置，具有真空槽；和上述任一種的輸送裝置；上述輸送裝置的載置部構成為，使其相對於上述真空槽內運入及運出。
在本發明中，由於在連杆機構的動作前端部上設有通過凸輪機構動作的施力單元、通過該從動機構部的施力部和載置部的卡止部機械地把持並保持輸送物，所以能夠抑制輸送物在載置部上表面上的滑動(在原理上沒有滑動)、實現輸送物的高速輸送。
此外，通過包括施力單元、將全部的部件用金屬製造，不僅在輸送物或周圍的環境氣體溫度比較低的環境下、在輸送時的溫度較高的(例如300 500°C)情況下也能夠沒有熱變質及變形地抑制輸送物的滑動。
進而，由於施力單元構成為，通過凸輪和輥傳遞動力，所以能夠以簡潔的結構提供小型的輸送裝置。
進而，由於在把持輸送物的部分中沒有滑動的部分，所以能夠減少汙染輸送物的灰塵的產生。
另一方面，在本發明中，在施力單元的從動機構部具有用來調節對上述凸輪驅動面的施力的施力調節部件的情況下，能夠將從動機構部的從動輥以適當的力推壓緊貼在凸輪驅動面上，所以能夠使從動機構部沿著導引部件可靠地以高精度向基板輸送方向下遊側移動。
此外，在本發明中，在使施力單元的從動機構部的施力部具有用來使施力減能的減能部件的情況下，可以根據裝置結構及輸送物的大小等而以最適當的力可靠地保持輸送物。
另一方面，在本發明中，在載置部的卡止部具有受隨著上述連杆機構的驅動連杆部的動作而向朝向上述施力單元的方向移動的驅動機構驅動、對該輸送物施力而與上述施力單元一起把持該輸送物的把持機構的情況下，能夠將輸送物從基板輸送方向的兩側可靠地保持(把持)。
此外，在本發明中，在上述驅動機構中設有凸輪方式的驅動部、在上述把持機構中設有受上述凸輪方式的驅動部驅動的凸輪方式的把持部的情況下，能夠將凸輪機構的滑動部配置在輸送物(晶片等基板)的下側，能夠防止例如在滑動部產生的灰塵帶來的輸送物表面的汙染。
此外，在本發明中，在上述驅動機構中設有凸輪方式的驅動部、在上述把持機構中設有與上述凸輪方式的驅動部卡合而被驅動的連杆方式的把持部的情況下，由於能夠將該連杆機構的滑動部配置在輸送物(晶片等基板)側的遠處，所以能夠防止例如在滑動部產生的灰塵帶來的輸送物表面的汙染。
進而，在本發明中，在設有兩個上述把持機構、各把持機構的把持部配置為使其相對於通過上述第1及第2驅動軸的旋轉中心軸線而沿基板輸送方向延伸的直線為線對稱的情況下，能夠通過兩個把持機構平衡良好地對基板施力而保持(把持)。
圖1是表示有關本發明的輸送裝置的實施方式的結構的平面圖。
圖2 (a)是表示該實施方式的施力單元的從動機構部的結構圖，圖2 (b)是表示該實施方式的施力單元的整體的結構圖。
圖3 (a)、圖3 (b)是詳細地表示本發明的動作原理及結構的說明圖。
圖4 (a) 圖4 (c)是表示本發明的實施方式的輸送裝置的動作的說明圖。
圖5是表示本發明的另一實施方式的主要部的結構圖。
圖6是表示本發明的再另一實施方式的主要部的部分剖視側視圖。
圖7是表示本發明的再另一實施方式的主要部的結構圖。
圖8是表示本發明的再另一實施方式的施力部及夾緊卡止機構的平面圖。
圖9 (a)是表示施力部及夾緊卡止機構的主要部的平面圖，圖9 (b)是表示夾緊卡止機構的主要部的部分剖視圖。
圖10 (a)是表示施力部及夾緊卡止機構的主要部的平面圖，圖10 (b)是表示夾緊卡止機構的主要部的部分剖視圖。
圖11是表示本發明的再另一實施方式的施力部及夾緊卡止機構的平面圖。
圖12 (a)、圖12 (b)是表示夾緊卡止機構的主要部的平面圖。
圖13是表示本發明的再另一實施方式的主要部的結構圖。
圖14是有關以往技術的輸送裝置的概略結構圖。
圖15是有關以往技術的輸送裝置的主要部概略結構圖。
附圖標記說明
IL第1左臂，IR第1右臂，2L第2左臂，2R第2右臂，3L第3左臂(驅動連杆部)，3R 第3右臂(驅動連杆部)，4動力傳遞機構，5載置部，5ajb卡止部，6從動機構部，7輸送室，8處理室，9施力單元，10基板(輸送物)，20連杆機構，31L、31R凸輪驅動面，50輸送裝置。
具體實施例方式以下，參照附圖詳細地說明本發明的優選的實施方式。
圖1是表示有關本發明的輸送裝置的實施方式的結構的平面圖。
如圖1所示，本實施方式的輸送裝置50是例如在真空處理槽內進行作為輸送物的基板10的輸送的所謂蛙腿(frog leg)方式的輸送裝置，具有用來驅動以下說明的連杆機構20的在鉛直方向上以同心狀配設的第1及第2驅動軸11、12。
這些各驅動軸11、12構成為，被從獨立的第1及第2驅動源Ml、M2分別傳遞順時針方向或逆時針方向的旋轉動力。
在第1驅動軸11上固定著第1左臂IL的一端部(基端部)，在第2驅動軸12的一端部(基端部)上固定著第1右臂1R。
在第1左臂IL的另一端部(前端部)上，以支軸21L為中心在水平方向上旋轉自如地安裝著第2左臂2L的一端部(基端部)。
在第1右臂IR的另一端部(前端部)上，以支軸21R為中心在水平方向上旋轉自如地安裝著第2右臂2R的一端部(基端部)。
在本實施方式中，這些第1左臂IL及第1右臂IR形成為直線狀，構成為，使其具有相同的支點間距離。
第2左臂2L形成為直線狀，在其另一端部(前端部)上，用固定螺紋件22L固定著第3左臂3L的一端部(基端部)。
第2右臂2R形成為直線狀，在其另一端部(前端部)上，用固定螺紋件22R固定著第3右臂3R的一端部(基端部)。
這裡，第3左臂3L、第3右臂3R是構成驅動連杆部的部件，大致形成為「 < 」字狀， 將各自的彎曲部分的凸部朝向連杆外方側配置。
此外，第3左臂3L的另一端部(前端部)以設在後述的動力傳遞機構4的表面上的支軸23L為中心在水平方向上旋轉自如地安裝。
另一方面，第3右臂3R的另一端部(前端部)以設在後述的動力傳遞機構4的例如表面側的支軸23R為中心在水平方向上旋轉自如地安裝。
在本實施方式中，構成為，使從第2左臂2L的支軸21L到第3左臂3L的支軸23L 的支點間距離、與從第2右臂2R的支軸21R到第3右臂3R的支軸23R的支點間距離具有相同的距離。
此外，動力傳遞機構4在例如矩形薄型箱形狀的殼體內具有相互嚙合的一對齒輪(未圖示)。
這些齒輪具有相同的齒數，各自的旋轉軸固定在上述支軸23L、23R上，由此構成為，為了作為姿勢控制機構作用而向相反方向以相同速度旋轉。
這些支軸23L、23R在相對於基板的輸送方向正交的方向上接近而配置。
在本發明的情況下，並沒有特別限定，但從平衡良好地保持輸送物的觀點看，優選的是構成為，將支軸23L、23R配置在通過第1及第2驅動軸11、12的旋轉中心軸線、相對於基板輸送方向(箭頭P方向)正交的位置上。
在動力傳遞機構4的基板輸送方向下遊側，設有作為所謂末端執行器的載置部5。
該載置部5設有隔開規定的間隔設置的支承部件5L、5R。
這裡，在支承部件5L、5R的基板輸送方向下遊側的端部上，分別設有能夠與基板 10的側部抵接的凸部形狀的卡止部fe、5b。
這裡，卡止部如、釙形成為，使其相對於通過第1及第2驅動軸11、12的旋轉中心軸線而沿基板輸送方向延伸的直線為線對稱。
另一方面，在本實施方式中，設有以下說明的基於凸輪機構的施力單元9。
圖2 (a)是表示本實施方式的施力單元的從動機構部的結構圖，圖2 (b)是表示本實施方式的施力單元的整體的結構圖。
如圖2 (b)所示，在本實施方式中，第3左臂3L和第3右臂3R的前端部分別形成為半圓形狀，在各前端部的基板輸送方向下遊側的部分，設有圓弧狀的凸輪驅動面31L、 31R。並且，具有這些第3左臂3L及第3右臂3R的凸輪驅動面31L、31R、和圖2 (a)所示的從動機構部6而構成施力單元9。
這裡，第3左臂3L和第3右臂3R的凸輪驅動面31L、31R通過將第3左臂3L和第 3右臂3R的例如上表面側分別以臺階狀切口而形成為關於基板輸送方向下遊側方向為凸的圓弧狀。
並且，在本實施方式中，第3左臂3L和第3右臂3R的各凸輪驅動面31L、31R構成為，使各前端部側的變位量(支軸23L與內側抵接面3IL1間的距離、支軸23R與內側抵接面 31 間的距離)比各基端部側的變位量(支軸23L與外側抵接面31k間的距離、支軸23R 與外側抵接面31R0間的距離)rQ /JN(^r0)o 另外，在本例中，第3左臂3L和第3右臂3R的各凸輪驅動面31L、31R形成為，使其相對於通過第1及第2驅動軸11、12的旋轉中心軸線而沿基板輸送方向延伸的直線為線對稱。
另一方面，本實施方式的從動機構部6優選的是由不鏽鋼等金屬部件構成，具有直線棒狀的主體部60。
在從動機構部6的主體部60的一端部上，安裝有例如梯形形狀的支承部件61，在該支承部件61的梯形底邊的兩端部上，分別設有例如具有相同的直徑的正圓形的從動輥 62L、62R。
這裡，從動輥62L、62R例如配置為，使其相對於主體部60延伸的方向的直線為線對稱，構成為，使其以相對於包括該主體部60的平面正交的方向的支軸63L、63R為中心旋轉。
在從動機構部6的主體部60的另一端部上，安裝有例如凸狀(這裡是銷形狀)的施力部6a。該施力部6a的前端部也可以實施用來防止灰塵的產生的由例如PTFE (聚四氟乙烯樹脂)等耐熱性的樹脂材料構成的塗層。
此外，在從動機構部6的主體部60的中腹部與上述支承部件61之間，在該主體部 60的周圍安裝有壓縮螺旋彈簧64。該壓縮螺旋彈簧64的前端部分固定在支承部件61上。
並且，在本實施方式中，如圖2 (b)所示，構成為，通過在使從動機構部6的從動輥 62L、62R分別抵接在第3左臂3L和第3右臂3R的凸輪驅動面31L、31R上的狀態下、用例如設在載置部5的表面上的導引部件65導引，使從動機構部6的主體部60通過第1及第 2驅動軸11、12的旋轉中心軸線而沿基板輸送方向直線移動。
在此情況下，安裝在從動機構部6的主體部60上的壓縮螺旋彈簧64將其施力部6a側的前端部分抵接而卡止在導引部件65上，通過其彈性力將從動機構部6的從動輥 62L、62R相對於第3左臂3L和第3右臂3R的凸輪驅動面31L、31R推壓。
接著，使用圖3 (a)、圖3 (b)詳細地說明本發明的動作原理及結構。
在本發明的實施方式中，在連杆機構20伸展的狀態下，如圖3 (a)所示，設定為， 使第3左臂3L的安裝面30L與第3右臂3R的安裝面30R所成的角度例如比180度大。
另一方面，在連杆機構20收縮的狀態下，如圖3 (b)所示，設定為，使第3左臂3L 的安裝面30L與第3右臂3R的安裝面30R所成的角度例如比180度小。
在這樣的結構中，在連杆機構20伸展的狀態下，如圖3 (a)所示，設定從動機構部 6的長度(這裡是從施力部6a的前端部到從動輥62L、62R的凸輪驅動面31L、31R的內側抵接面311^31 的距離)，以使從動機構部6的基板輸送方向下遊側的施力部6a不與應輸送的基板10的側部接觸，並且設定第3左臂3L及第3右臂3R的安裝面30L、30R的角度、上述凸輪驅動面31L、31R的變位量T1，決定從動輥62L、62R的各內側抵接面SlL1JlR1與基板 10的側部的距離，將其設為距離D。
另一方面，在連杆機構20收縮的狀態下，如圖3 (b)所示，第3左臂3L的安裝面 30L與第3右臂3R的安裝面30R所成的角度變得比180度小，從動機構部6的從動輥62L、 62R沿著第3左臂3L及第3右臂3R的凸輪驅動面31L、31R分別向外側抵接面31LQ、31RQ側移動，由此，第3左臂3L和第3右臂3R的支軸23L、23R與各凸輪驅動面31L、31R間的距離變大(仇)。
在此情況下，在本實施方式中，關於將從動機構部6的從動輥62L、62R與各凸輪驅動面31L、31R的接觸部分和各支軸23L、23R連結的直線的相對於基板輸送方向的角度，連杆機構20收縮的狀態比連杆機構20伸展的狀態小(θ。< θ i )，所以隨著第3左臂3L及第 3右臂3R的向收縮方向的旋轉，從動機構部6向基板輸送方向下遊側移動，從動輥62L、62R 的接觸端部與應輸送的基板10的側部的距離變小(rQ· cos θ ^r1-Cos θ 即d<D)。
結果，從動機構部6的基板輸送方向下遊側的部分(施力部6a)與應輸送的基板10 的側部接觸，對於基板10的側部作用有朝向載置部5的卡止部fe、5b的方向的力F，由此， 對於該基板10，關於基板輸送方向從上遊及下遊側作用推壓力，在載置部5上保持(把持) 基板10。
在本實施方式中，由於上述動作時壓縮螺旋彈簧64的輸送方向下遊側的部分抵接在導引部件65上而被壓縮，所以通過壓縮螺旋彈簧64的彈性力，將從動機構部6的從動輥62L、62R推壓而緊貼在第3左臂3L和第3右臂3R的各凸輪驅動面31L、31R上，由此，從動機構部6沿著導引部件65可靠地以高精度向基板輸送方向下遊側移動。
在這樣的連杆機構20的收縮狀態下，通過使第1左臂IL及第1右臂IR向相同的方向旋轉，能夠在保持著基板10的狀態下進行旋繞動作。
圖4 (a) 圖4 (c)是表示本實施方式的輸送裝置的動作的說明圖。
這裡，以從輸送室7向處理室8內運入基板10的情況為例進行說明。另外，輸送室7及處理室8連接在未圖示的真空排氣系統上。此外，在輸送室7與處理室8間連接著未圖示的閘閥，在該閘閥打開後進行運入、運出動作。
首先，如圖4 (a)所示，如上述那樣使連杆機構20收縮，在保持著基板10的狀態下使載置部5的卡止部5a、釙朝向處理室8側。
通過從該狀態使第1左臂IL向順時針方向旋轉、並且使第1右臂IR向逆時針方向旋轉，開始連杆機構20的伸展動作，如圖4 (b)所示，基板10朝向處理室8直線前進。
進而，通過繼續連杆機構20的伸展動作，如圖4 (c)所示，將基板10運入到處理室8內。
在此狀態下，如使用圖3 (a)說明那樣，為從動機構部6的施力部6a與基板10的側部不接觸的狀態，所以通過由設置在處理室8中的未圖示的升降機構支承基板10而使其上升，能夠使基板10從輸送裝置50的載置部5脫離。
另外，將從動機構部6的施力部6a與基板10的側部的接觸解除的時刻既可以是與連杆機構20完全伸展的狀態同時，也可以是連杆機構20完全伸展前(即將完全伸展之前)，也可以根據應用本發明的輸送裝置及真空裝置的大小及配置結構而適當變更。
然後，通過使第1左臂IL向逆時針方向旋轉、並使第1右臂IR向順時針方向旋轉、 進行連杆機構20的收縮動作，能夠使載置部5回到輸送室7內。
如以上所述那樣，在本實施方式中，由於在連杆機構20的動作前端部設有通過凸輪機構動作的施力單元6、通過向基板輸送方向下遊側移動的從動機構部6的施力部6a和卡止部5ajb機械地把持並保持基板10，所以能夠抑制基板10在載置部5上表面的滑動 (在原理上沒有滑動)，能夠實現基板10的高速輸送。
此外，通過包括從動機構部6而將全部的部件用金屬製造，不論是輸送物或周圍的環境氣體溫度比較低的環境下、還是輸送時的溫度較高(例如300 500°C)的情況，都能夠沒有熱變質及變形而抑制基板10的滑動。
進而，由於從動機構部6的施力部6a是凸狀的部件，在把持基板10的部分中沒有滑動部，所以能夠減少汙染基板10的灰塵的產生。
圖5 圖7是表示本發明的其他實施方式的圖，以下，對與上述實施方式對應的部分賦予共通的附圖標記而省略其詳細的說明。
圖5是表示在施力單元的從動機構部中具有用來使該施力部的施力減能的減能部件的例子的圖。
如圖5所示，在本實施方式中，構成為，使施力部6a的支承部66沿著主體部60延伸的方向移動，在這些主體部60的前端部與施力部6a之間的支承部66的周圍安裝有壓縮螺旋彈簧(減能部件)67。並且，構成為，在施力部6a的前端部上作用有向主體部60方向的力的情況下，施力部6a抵抗壓縮螺旋彈簧67的彈性力而向主體部60方向移動。
根據具有這樣的結構的本實施方式，由於能夠調節在保持(把持)基板10時對基板10的施力，所以根據各種輸送物及裝置結構而設計的自由度變大，具有通用性變高的優點。
圖6是表示本發明的再另一實施方式的主要部的部分剖視側視圖，構成為，使第3 左臂3L和第3右臂3R位於動力傳遞機構4的下方。
如圖6所示，在本實施方式中，在第3左臂3L和第3右臂3R的前端部配設上述結構的從動機構部6，構成為，使其主體部60沿著基板輸送方向直線前進移動。
在從動機構部6的主體部60的前端部上安裝有減能部件6b。該減能部件6b由由例如不鏽鋼等金屬形成的板狀的彈性材料構成，從主體部60的前端部朝向上方配設。
並且，在減能部件6b的前端部設有例如凹部形狀的施力部6c，構成為，該施力部 6c經由設在載置部6上的孔部fe突出到載置部5上、隨著從動機構部6的移動、施力部6c 的凹面部分相對於基板10的側部抵接或離開間隔。
根據具有這樣的結構的本實施方式，與上述實施方式同樣，能夠在保持(把持)基板10時調節對基板10的施力。
而且，根據本實施方式，可以作為例如在美國專利6，364，599B1的圖22及圖23中表示的使上側的末端執行器與下側的末端執行器的上下間隔變小的臂機構的下側臂的晶片把持機構使用。另外，作為該臂機構的上側臂的晶片把持機構可以使用上述圖2 (a)、圖 2 (b)及圖3 (a)、圖3 (b)的結構。
圖7是表示本發明的再另一實施方式的主要部的結構圖，表示具有用來使該施力部的施力減能的減能部件的例子。
如圖7所示，本實施方式是圖5所示的實施方式的變形例，在從動機構部6的主體部60的前端部上固定有例如沿與主體部60延伸的方向正交的方向延伸的直線棒狀的安裝部件67，在該安裝部件67的兩端部上，安裝有由例如不鏽鋼等金屬構成的帶狀環狀的兩個減能施力部6d、6e，以使其從安裝部件68向基板輸送方向下遊側突出。
這裡，兩個減能施力部6d、6e形成為相同的大小及形狀，配置為，使其相對於通過第1及第2驅動軸11、12的旋轉中心軸線而沿基板輸送方向延伸的直線為線對稱。
根據具有這樣的結構的本實施方式，除了與圖5所示的實施方式同樣在保持(把持)基板10時能夠調節對基板10的施力以外，由於通過相對於基板輸送方向線對稱地配置的兩個減能施力部6d、6e將基板10施力，所以具有能夠平衡良好地保持(把持)基板10的優點。
另外，在本實施方式中，也可以如圖6所示的實施方式那樣構成為，使第3左臂3L 和第3右臂3R以及從動機構部6位於動力傳遞機構4的下方。
在此情況下，可以與圖6所示的實施方式同樣，在載置部5上設置孔部(未圖示)， 經由該孔部使安裝部件68及減能施力部6d、6e位於載置部5的上方，構成為，使減能施力部6d、6e相對於基板10的側部抵接或離開間隔。
根據這樣的本實施方式，具有能夠作為例如在美國專利6，364，599B1的圖22及圖 23中表示的使上側的末端執行器與下側的末端執行器的上下間隔變小的臂機構的下側臂的晶片把持機構使用的優點。另外，作為該臂機構的上側臂的晶片把持機構可以使用上述圖7的結構本身。
圖8及圖9 (a)、圖9 (b)是表示本發明的再另一實施方式的圖，圖8是表示施力部及夾緊卡止機構的平面圖，圖9 (a)是表示夾緊卡止機構的主要部的平面圖，圖9 (b)是
10表示夾緊卡止機構的主要部的部分剖視圖。以下，對於與上述實施方式對應的部分賦予相同的附圖標記而省略其詳細的說明。
如圖8所示，本實施方式如後所述，是在載置部5的左右的支承部件5L、5R的前端部分上設有左夾緊卡止機構(把持機構)70L、右夾緊卡止機構(把持機構)70R的結構。
這裡，在從動機構部6的主體部60上，安裝固定有沿與基板輸送方向(箭頭P方向) 正交的方向延伸的直線棒狀的基部71。
該基部71具有與載置部5的支承部件5L、5R的間隔大致相等的長度，在左支承部件5L上，安裝固定有沿基板輸送方向延伸的直線棒狀的左驅動部件71L，在右支承部件5R 上，安裝固定有沿基板輸送方向延伸的直線棒狀的左驅動部件71R。
在本實施方式的情況下，這些左驅動部件71L及右驅動部件71R分別沿著支承部件5L、5R配置在各自的下側。
此外，左驅動部件7IL及右驅動部件7IR配置為，使其相對於通過上述第1及第2 驅動軸11、12的旋轉中心軸線而沿基板輸送方向延伸的直線為線對稱。
在支承部件5L的前端部分上，設有左夾緊卡止機構70L，在支承部件5R的前端部分上，設有右夾緊卡止機構70R。
這些左夾緊卡止機構70L和右夾緊卡止機構70R構成為，使其在相同的機構作用下動作，配置為，使其相對於通過第1及第2驅動軸11、12的旋轉中心軸線而沿基板輸送方向延伸的直線為線對稱。
在本實施方式中，由上述基部71、左驅動部件71L及右驅動部件71R構成驅動機構。
以下，使用圖8、圖9 (a)、圖9 (b)及圖10 (a)、圖10 (b)，適當地以右夾緊卡止機構70R為例說明本發明的凸輪方式的把持機構的結構及動作。
如圖9 (a)、圖9 (b)所示，本實施方式的右夾緊卡止機構70R具有安裝在支承部件5R的下部的例如箱狀的保持部50。
在該保持部50的底部50a上，朝向水平方向支承著上述右驅動部件71R。
並且，在設在保持部50的兩側的側壁部50b上，可旋轉地支承著相對於基板輸送方向沿直角方向延伸並且朝向水平方向的支軸72R。
在該支軸72R上，安裝固定著構成右夾緊卡止機構70L的右夾緊卡止部件73R。
該右夾緊卡止部件73R形成為大致「L」字狀，由向鉛直上方延伸的把持部730、和相對於支軸72R向基板輸送方向下遊側延伸的凸輪從動部731構成。
這裡，右夾緊卡止部件73R的把持部730構成為，使其前端部分從設在支承部件5R 上的開口部74R向上方突出。
並且，形成為，使長度即支點間距離比凸輪從動部731長，構成為，使前端部分從設在支承部件5R上的開口部74R向上方突出。
在本實施方式中，如圖9 (b)所示，在右夾緊卡止部件73R的把持部730的基板輸送方向下遊側的部分上，安裝有作為彈性部件的例如拉伸螺旋彈簧75的一端部，進而，該拉伸螺旋彈簧75的另一端部安裝在設於支承部件5R上的基板輸送方向下遊側的位置上的安裝部件76上。
並且，如圖9 (b)所示，拉伸螺旋彈簧75構成為，使其將右夾緊卡止部件73R的把持部730向基板輸送方向下遊側拉伸。
此外，在右夾緊卡止部件73R的把持部730上，設有相對於基板輸送方向傾斜規定的角度(例如向應輸送的基板10的內方側45°左右)的例如平面形狀的把持面732。
另外，在右夾緊卡止部件73R的把持面732上，也可以實施用來防止灰塵的產生的由例如PTFE (聚四氟乙烯樹脂)等耐熱性的樹脂材料構成的塗層。
另一方面，右夾緊卡止部件73R的凸輪從動部731相對於支軸72R稍朝向下方形成，構成為，使支軸72R的正下方的部分和凸輪從動部731的下表面734對驅動部件71R的上表面710 (以及以下說明的凸輪驅動面711)接觸。
並且，凸輪從動部731的前端部的形狀形成為R形狀。
在本實施方式的情況下，該凸輪驅動面711形成為凹部狀，形成為相對於右夾緊卡止部件73R的凸輪從動部731的下表面734嵌合的凹曲面形狀。
另外，在右夾緊卡止部件73R的凸輪從動部731與驅動部件71R的上表面710接觸的部分上，也可以實施用來防止灰塵的產生的由例如PTFE (聚四氟乙烯樹脂)等耐熱性的樹脂材料構成的塗層。
另一方面，左夾緊卡止機構70L是與上述的右夾緊卡止機構70R相同的結構，具有配置為使其相對於沿基板輸送方向延伸的直線為線對稱的支軸72L、左夾緊卡止部件73、 開口部74L，在左夾緊卡止部件73上，設有把持部730、凸輪從動部731及把持面732。
此外，驅動部件71L具有與上述的驅動部件71R相同的結構，雖然沒有圖示，但在其上表面上形成有相對於左夾緊卡止部件73L的凸輪從動部731的下表面嵌合的凹曲面形狀的凸輪驅動面711。
接著，使用圖8、圖9 (a)、圖9 (b)及圖10 (a)、圖10 (b)詳細地說明本實施方式的動作原理及結構。
在本實施方式的情況下，在連杆機構20伸展的狀態下，設定從動機構部6的長度， 以使從動機構部6的基板輸送方向下遊側的施力部6a不與應輸送的基板10的側部接觸。
在此狀態下，固定在從動機構部6的主體部60上的基部71位於基板輸送方向上遊側的規定位置上，由此，左驅動部件71L及右驅動部件71R也位於基板輸送方向上遊側的規定位置上。
所以，在這樣的位置關係中，例如如圖9 (a)、圖9 (b)所示，設定右驅動部件71R 的長度、右夾緊卡止部件73R的凸輪從動部731的長度、右驅動部件71R的凸輪驅動面711 的長度、位置及形狀，以使設在右驅動部件71R上的凸輪驅動面711的底部和右夾緊卡止部件73R的凸輪從動部731關於基板輸送方向為重疊的位置。
在此狀態下，由於右夾緊卡止部件73R的把持部730被拉伸螺旋彈簧向基板輸送方向拉伸，所以右夾緊卡止部件73R的把持部730以支軸72R為中心朝向基板輸送方向傾倒的方向旋轉，由此，將右夾緊卡止部件73R的凸輪從動部731推壓在右驅動部件71R的凸輪驅動面711的底部上，右夾緊卡止部件73R的凸輪從動部731抵接在右驅動部件71R的凸輪驅動面711的底部分上而成為靜止狀態。
並且，如圖9 (a)所示，在此狀態下，設定支軸72R的位置、右夾緊卡止部件73R的把持部730的長度及形狀、以及把持面732的位置及形狀，以使右夾緊卡止部件73R的把持面732相對於基板10的邊緣部離開間隔。
12 另一方面，如果從該狀態使第3左臂3L及第3右臂3R向使連杆機構20收縮的方向旋轉，則基部71和左驅動部件71L及右驅動部件71R與從動機構部6的主體部60 —起向基板輸送方向移動。
由此，如圖10 (a)、圖10 (b)所示，通過右夾緊卡止部件73R的凸輪從動部731從右驅動部件71R的凸輪驅動面711脫離、凸輪從動部731的下表面734抵接在驅動部件71R 的上表面710上，右夾緊卡止部件73R的把持部730以支軸72R為中心向與基板輸送方向相反方向、即豎起的方向旋轉。
並且，在本實施方式中，如圖8所示，在連杆機構20收縮的狀態下，如圖10 (a)所示，設定上述支軸72R的位置、右夾緊卡止部件73R的把持部730的長度及形狀、以及把持面732的位置及形狀，以使右夾緊卡止部件73R的把持面732抵接在被從動機構部6的施力部6a向基板輸送方向施力而移動的基板10的邊緣部上。
在此情況下，關於左夾緊卡止機構70L，也與右夾緊卡止機構70R同樣，相對於驅動部件71的凸輪驅動面711設定支軸72L的位置、左夾緊卡止部件73L的把持部730的長度及形狀、以及把持面732的位置及形狀，以使左夾緊卡止部件73L的把持面732與基板10 的邊緣部抵接。
在本發明的情況下，沒有特別限定，但優選的是進行設定、以使左夾緊卡止部件 73L的把持部730及右夾緊卡止部件73R的把持部730的移動距離(行程)相對於左驅動部件71L及右驅動部件71R的移動距離、即從動機構部6的移動距離較小。
根據具有這樣的結構的本實施方式，在連杆機構20收縮的狀態下，如圖8所示，從從動機構部6的施力部6a作用基板輸送方向的力F，並且從左夾緊卡止機構70L的左夾緊卡止部件73L及右夾緊卡止機構70R的右夾緊卡止部件73R作用朝向基板10內方的力f 1、 f2,由此，對於該基板10，關於基板輸送方向從上遊及下遊側作用推壓力，將基板10可靠地保持(把持)在載置部5上。
在該連杆機構20的收縮狀態下，通過使第1左臂IL及第1右臂IR向相同的方向旋轉，能夠在保持著基板10的狀態下進行旋繞動作。
另外，從動機構部6的施力部6a和左夾緊卡止部件73L的把持面732及右夾緊卡止部件73R的把持面732接觸在基板10的邊緣部上的時刻既可以是與連杆機構20完全收縮的狀態同時，也可以是連杆機構20完全收縮之前(即將完全收縮之前)，可以根據應用本發明的輸送裝置及真空裝置的大小及配置結構而適當變更。
但是，從精度良好地把持基板10的觀點看，優選的是構成為，在從動機構部6的施力部6a接觸在基板10的邊緣部上之後、左夾緊卡止部件73L的把持面732及右夾緊卡止部件73R的把持面732接觸在基板10的邊緣部上。
特別是，在本實施方式中，由於左夾緊卡止機構70L (左夾緊卡止部件73L的把持面732)及右夾緊卡止機構70R (右夾緊卡止部件73R的把持面732)配置為、使其相對於通過第1及第2驅動軸11、12的旋轉中心軸線而沿基板輸送方向延伸的直線為線對稱，所以能夠平衡良好地施力並保持(把持)基板10。
進而，在本實施方式中，通過設定為、使左夾緊卡止部件73L的把持部730及右夾緊卡止部件73R的把持部730的移動距離相對於從動機構部6的向基板輸送方向的移動距離小，可以相對於從動機構部6的施力部6a進行的向基板10的施力的時亥lj、以規定的範圍設定左夾緊卡止部件73L的把持面732及右夾緊卡止部件73R的把持面732的時刻及時間， 由此能夠精度良好地把持基板10。
進而，根據本實施方式，由於能夠將左夾緊卡止機構70L及右夾緊卡止機構70R的凸輪機構的滑動部分配置在基板10的下側，所以能夠防止例如在該滑動部分產生的灰塵帶來的基板10表面的汙染。
圖11及圖12 (a)、圖12 (b)是表示本發明的再另一實施方式的圖，圖11是表示施力部及夾緊卡止機構的平面圖、圖12 (a)、圖12 (b)是表示夾緊卡止機構的主要部的平面圖。以下，對於與上述實施方式對應的部分賦予相同的附圖標記而省略其詳細的說明。
如圖11所示，在本實施方式中，在載置部5的支承部件5L、5R的前端部分上，分別設有作為連杆方式的把持機構的、後述的夾緊卡止機構81L、81R。此外，具有用來驅動這些夾緊卡止機構81L、81R的驅動部件80。
該驅動部件80由大致「 二 」字狀的部件構成，由直線棒狀的基部80a、和在基部80a 的兩端部沿與基部80a正交的方向分別延伸的直線棒狀的左驅動部80L、右驅動部80R構成。
在本實施方式的情況下，驅動部件80配置為，使基部80a與基板輸送方向正交，構成為，使從動機構部6的主體部60貫通該基部80a。並且，由此將從動機構部6的主體部 60和驅動部件80配置構成為，使其能夠相對地向基板輸送方向及其相反方向移動。
此外，驅動部件80的基部80a的長度設定為，使其比載置部5的支承部件5L、5R 的間距長，由此，在將驅動部件80安裝到輸送裝置50上的情況下，左驅動部80L、右驅動部 80R分別被配置在支承部件5L、5R的外側。
這裡，驅動部件80的左驅動部80L、右驅動部80R配置為，使其相對於通過第1及第2驅動軸11、12的旋轉中心軸線而沿基板輸送方向延伸的直線為線對稱。
驅動部件80構成為，使其經由以下說明的動力傳遞機構82從連杆機構20的第3 右臂3R受到力。
該動力傳遞機構82具有直線棒狀的主體部82a，該主體部82a的一端部被朝向與上述的驅動部件80的基部80a正交的方向安裝固定。
在該動力傳遞機構82的主體部8 的另一端部上，在水平面內旋轉自如地支承著正圓形的從動輥82b。
另一方面，在第3右臂3R上，與圖8所示的實施方式的情況相比，凸輪驅動面31R 從第3右臂3R的前端部朝向後端部長度較長地形成。
並且，在從動機構部6的右側相鄰配置有動力傳遞機構82，構成為，通過在使其從動輥82b抵接在凸輪驅動面31R上的狀態下通過例如設在載置部5的表面上的導引部件 82c導引，動力傳遞機構82的主體部82a向基板輸送方向或其相反方向直線移動。
進而，在本實施方式中，採用了在動力傳遞機構82的主體部82a的基板輸送方向側的端部附近固定安裝部件82d、在該安裝部件82d上安裝棒狀的固定銷82e、進而通過將該固定銷82e的一端部安裝固定在驅動部件80的基部80a上、並且將固定銷82e的另一端部分固定在例如導引部件82c上、使得動力傳遞機構82的主體部8 與驅動部件80的基部80a不會旋轉那樣的結構。
另一方面，在驅動部件80的左驅動部80L的前端部上，可以支軸83L為中心在水
14平面內旋轉地支承著後述的左連杆部件84L的一端部，此外，在驅動部件80的右驅動部80R 的前端部上，可以支軸83R為中心在水平面內旋轉地支承著後述的右連杆部件84R的一端部。
此外，在主體部8 上安裝有例如螺旋彈簧82f，螺旋彈簧82f的一端部固定在主體部8 上，並且另一端部抵接在導引部件82c的端部上。由於為通過該螺旋彈簧82f的力對主體部82a向基板輸送方向上遊側施加力的狀態，所以當連杆機構20處於伸展狀態時， 把持部86L、86R對基板10的把持被解除。
這些左連杆部件84L及右連杆部件84R都由大致「L」字狀的相同形狀的部件構成， 在沒有受驅動部件80的左驅動部80L或右驅動部80R支承的一側的前端部上，設有例如R 形狀的把持部86L、86R，以使其沿與主體部分正交的方向延伸。
進而，左連杆部件84L及右連杆部件84R的各自的中腹部可以設在載置部5的各支承部件5L、5R的前端部上的支軸85L、85R為中心在水平面內旋轉地被支承。這裡，左連杆部件84L及右連杆部件84R的各自的把持部86L、86R被朝向與基板輸送方向相反方向配置。
並且，通過這樣的結構，將左夾緊卡止機構81L及右夾緊卡止機構81R的把持部 86L、86R配置為，使其相對於通過上述第1及第2驅動軸11、12的旋轉中心軸線而沿基板輸送方向延伸的直線為線對稱。
另外，在把持部86L、86R的與基板10的邊緣部接觸的部分上，可以實施用來防止灰塵的產生的由例如PTFE (聚四氟乙烯樹脂)等耐熱性的樹脂材料構成的塗層。
接著，使用圖11及圖12 (a)、圖12 (b)詳細地說明本實施方式的動作原理及結構。
另外，在本實施方式的情況下，左夾緊卡止機構81L和右夾緊卡止機構81R構成為，使其在相同的機構作用下動作，以下，適當地以右夾緊卡止機構81R為例說明本發明的連杆方式的把持機構的結構及動作。
在本實施方式中，與圖3 (a)、圖3 (b)所示的實施方式同樣，在連杆機構20伸展的狀態下，設定從動機構部6的長度，以使從動機構部6的基板輸送方向下遊側的施力部6a 不與應輸送的基板10的側部接觸。
並且，在連杆機構20收縮的狀態下，構成為，從動機構部6向基板輸送方向下遊側移動，從動機構部6的施力部6a與應輸送的基板10的側部接觸。
本實施方式的動力傳遞機構82構成為，使其與上述從動機構部6 —起向相同方向移動。
S卩，在連杆機構20伸展的狀態下，例如，關於右連杆部件84R，如圖12 (a)所示，分別設定第3右臂的第3凸輪驅動面31R的形狀、動力傳遞機構82的從動輥82b、主體部8 的長度、驅動部件80的基部80a以及右驅動部80R的長度、右連杆部件84R (把持部86R) 的長度、支軸83R、85R的位置，以使把持部86R不與基部10的邊緣部接觸。
關於左連杆部件84L，也分別設定驅動部件80的基部80a及左驅動部80L的長度、 左連杆部件84L (把持部86L)的長度、支軸83L、85L的位置，以使把持部86L不與基部10 的邊緣部接觸。
另外，本發明中，雖然沒有特別限定，但例如關於右連杆部件84R，優選的是，如圖12 (a)所示那樣構成為，使把持部86R的與基板10的接觸部分與支承部件5R的支軸85R 的間距P1比支承部件5R的支軸85R與右驅動部80R的支軸83R的間距P2小。
另一方面，關於左連杆部件84L也雖然沒有圖示，但同樣優選的是構成為，使把持部86L的與基板10的接觸部分與支承部件5L的支軸85L的間距比支承部件5L的支軸85L 與右驅動部80L的支軸83L的間距小。
通過這樣的結構，可以設定為，使左連杆部件84L的把持部86L及右連杆部件84R 的把持部86R的移動距離相對於從動機構部6的向基板輸送方向的移動距離較小。
在本實施方式中，如果從連杆機構20伸展的狀態使第3左臂3L及第3右臂3R向使連杆機構20收縮的方向旋轉，則從動機構部6的主體部60向基板輸送方向移動，並且來自第3右臂3R的凸輪驅動面31R的力被經由動力傳遞機構82傳遞給驅動部件80的基部 80a,由此驅動部件80向基板輸送方向移動。
結果，左連杆部件84L、右連杆部件84R以支軸85L、85R為中心旋轉，以使把持部 86L、86R向與基板輸送方向相反方向移動(參照圖12 (b))。
所以，在本實施方式中，在連杆機構20收縮的狀態下，分別設定上述第3右臂的第 3凸輪驅動面31R的形狀、動力傳遞機構82的從動輥82b、主體部82a的長度、驅動部件80 的基部80a以及左驅動部80L及右驅動部80R的長度、左連杆部件84L及右連杆部件84(把持部86L、86R)的長度、支軸83L、85L、83R、85R的位置，以使左連杆部件84L的把持部86L 及右連杆部件84R的把持部86R對被從動機構部6的施力部6a向基板輸送方向施力而移動的基板10的邊緣部抵接。
根據具有這樣的結構的本實施方式，在連杆機構20收縮的狀態下，如圖11所示， 從從動機構部6的施力部6a作用基板輸送方向的力F，並且從左夾緊卡止機構81L的左連杆部件84L及右夾緊卡止機構81R的右連杆部件84R作用朝向基板10內方的力f3、f4，由此，對於該基板10，關於基板輸送方向從上遊及下遊側作用推壓力，將基板10可靠地保持 (把持)在載置部5上。
並且，在該連杆機構20的收縮狀態下，通過使第1左臂IL及第1右臂IR向相同的方向旋轉，能夠在保持著基板10的狀態下進行旋繞動作。
另外，從動機構部6的施力部6a、和左夾緊卡止部件84L的把持部86L及右夾緊卡止部件84R的把持部86R接觸在基板10上的時刻既可以是與連杆機構20完全收縮的狀態同時，也可以是連杆機構20完全收縮之前(即將完全收縮之前)，可以根據應用本發明的輸送裝置及真空裝置的大小及配置結構而適當變更。
但是，從精度良好地把持基板10的觀點看，優選的是構成為，在從動機構部6的施力部6a接觸在基板10的邊緣部上之後、左夾緊卡止部件84L的把持部86L及右夾緊卡止部件84R的把持部86R接觸在基板10的邊緣部上。
進而，在本實施方式中，由於左夾緊卡止機構81L的把持部86L及右夾緊卡止機構 81R的把持部86R配置為，使其相對於通過第1及第2驅動軸11、12的旋轉中心軸線而沿基板輸送方向延伸的直線為線對稱，所以能夠通過左夾緊卡止部件84L的把持部86L及右夾緊卡止部件84R的把持部86R平衡良好地施力並保持(把持)基板10。
進而，在本實施方式中，通過設定為，使左夾緊卡止部件84L的把持部86L及右夾緊卡止部件84R的把持部86R的移動距離相對於從動機構部6的向基板輸送方向的移動距離較小，能夠相對於從動機構部6的施力部6a進行的向基板10的施力的時刻、以規定的範圍設定左夾緊卡止部件84L的把持部86L及右夾緊卡止部件84R的把持部86R的時刻及時間，由此能夠精度良好地把持基板10。
此外，在本實施方式中，由於能夠將左夾緊卡止機構8IL及右夾緊卡止機構8IR的連杆機構的滑動部分配置在基板10的側方遠處，所以能夠防止例如在該滑動部分產生的灰塵帶來的基板10表面的汙染。
另外，本發明並不限定於上述實施方式，能夠進行各種變更。
例如，在上述實施方式中，第3左臂3L和第3右臂3R的各凸輪驅動面31L、31R構成為，使各前端部側的變位量巧比各基端部側的變位量rQ小(r^r。)。
但是，在具有多個例如圖4 (a) 圖4 (c)所示那樣的處理室8的輸送裝置中，根據處理室8的內部結構，基板10的交接位置並不一定相同，從驅動軸11、12的中心軸到各處理室8的交接位置的距離不同。
這裡，到交接位置的距離、即交接距離較短的情況下，也可以想到，交接基板10時的基板10的邊緣與施力部6a的間隔變小，有可能施力部6a碰在基板10的邊緣上而發生產生灰塵或基板偏移的問題。
作為避免該問題的方法，例如如圖13所示，也可以將第3左臂3L和第3右臂3R 的各凸輪驅動面31L、31R的前端部側的形狀如圖中用斜線部分表示那樣形成為變位量遍及規定的角度為一定的形狀、即例如與各凸輪驅動面31L、31R的前端部側的變位量^相同的半徑的圓弧形狀。
如果做成這樣的結構，則當從動輥62L、62R以圖中用斜線表示的半徑^的範圍接觸在各凸輪驅動面31L、31R上時，從動機構部6的主體部60不向基板輸送方向進行直線運動，所以不論是交接距離較短的情況還是較長的情況，都能夠將交接基板10時的基板10的邊緣和施力部6a保持為不會相互接觸的間隔，能夠避免灰塵產生及基板偏移的問題。
此外，在上述實施方式中，將相鄰的兩個凸輪驅動面31L、31R與對應於它們的兩個從動輥62L、62R組合而構成施力單元6的凸輪機構，但本發明並不限定於此，也可以將一個凸輪驅動面與對應於它的一個從動輥組合而構成施力單元的凸輪機構，此外也可以將三個以上的凸輪驅動面與對應於它們的三個以上的從動輥組合而構成施力單元的凸輪機構。
但是，從平衡良好地保持(把持)基板10的觀點看，優選的是如上述實施方式那樣將相鄰的兩個凸輪驅動面31L、31R與對應於它們的兩個從動輥62L、62R組合而構成施力單元6的凸輪機構。
另外，關於施力單元的凸輪機構，對於凸輪驅動面的形狀、從動輥的大小等可以根據應用本發明的輸送裝置而適當變更。
進而，本發明能夠應用到具有各種連杆機構的輸送裝置中。
例如，在上述實施方式中，使形成有凸輪驅動面31L、31R的第3左臂3L和第3右臂3R旋轉，通過凸輪機構使從動機構部6動作，但本發明並不限定於此，也可以在第2左臂 2L和第2右臂2R上形成凸輪驅動面而進行上述的動作。
進而，也可以構成為，在平行連杆臂機構那樣的分別相對地平行移動的多個相鄰連杆部上形成凸輪驅動面，使從動機構部沿著該凸輪驅動面移動，通過上述的動作保持輸送物。
另一方面，在圖8、圖9 (a)、圖9 (b)及圖10 (a)、圖10 (b)所示的實施方式中， 對於左夾緊卡止機構70L、右夾緊卡止機構70R，將左驅動部件71L及右驅動部件71R(特別是各把持面732)配置為，使其相對於通過第1及第2驅動軸11、12的旋轉中心軸線而沿基板輸送方向延伸的直線為線對稱，但本發明並不限定於此，也可以配置為，使其相對於該直線為非對稱。
此外，在圖8、圖9 (a)、圖9 (b)及圖10 (a)、圖10 (b)所示的實施方式中，設置兩個凸輪方式的把持機構(左夾緊卡止機構70L、右夾緊卡止機構)，但根據基板10的形狀及大小、還有裝置結構等，也可以設置一個或三個以上的凸輪式把持機構。
另一方面，在圖11及圖12 (a)、圖12 (b)所示的實施方式中，將左夾緊卡止機構 81L的把持部86L、右夾緊卡止機構81R的把持部86R配置為，使其相對於通過第1及第2 驅動軸11、12的旋轉中心軸線而沿基板輸送方向延伸的直線為線對稱，但本發明並不限定於此，也可以配置為，使其相對於該直線為非對稱。
此外，在圖11及圖12 (a)、圖12 (b)所示的實施方式中，設置了兩個連杆方式的把持機構(左夾緊卡止機構81L、右夾緊卡止機構81R)，但根據基板10的形狀及大小、還有裝置結構等，也可以設置一個或三個以上的連杆式把持機構。
進而，也可以將上述圖5 圖7所示的實施方式、與上述圖8、圖9 (a)、圖9 (b) 及圖10 (a)、圖10 (b)或圖11及圖12 (a)、圖12 (b)所示的實施方式任意地組合。
除此以外，本發明不僅在例如Si晶片等圓板形狀的基板、在例如玻璃基板等矩形形狀的基板、橢圓形狀、多角形的形狀等各種基板的輸送中都能夠使用。
18
權利要求
1.一種輸送裝置，其特徵在於， 具備伸縮自如的連杆機構，具有被傳遞來自驅動源的動力的多個臂；和載置部，經由驅動連杆部連結在上述連杆機構的動作前端部上，用來載置輸送物； 在上述載置部上，設有用來與該輸送物的側部抵接而卡止的卡止部；並且在上述連杆機構的驅動連杆部上設有由凸輪機構實現的施力單元； 上述施力單元具備凸輪驅動面和從動機構部，所述凸輪驅動面設在上述連杆機構的驅動連杆部上，所述從動機構部具有抵接在該凸輪驅動面上而能夠從動的從動輥、具有對應於該從動輥的移動而沿著朝向上述載置部的卡止部的方向被導引移動的施力部。
2.如權利要求1所述的輸送裝置，其特徵在於，上述施力單元在旋轉方向是相反方向的一對相鄰的連杆部件上分別形成有上述凸輪驅動面，並且上述從動機構部具有對應於該一對凸輪驅動面的一對從動輥和凸狀的上述施力部。
3.如權利要求1或2所述的輸送裝置，其特徵在於，上述施力單元的從動機構部具有用來調節對上述凸輪驅動面的施力的施力調節部件。
4.如權利要求1 3中任一項所述的輸送裝置，其特徵在於，在上述施力單元的從動機構部的施力部中，具有用來使該施力部的施力減能的減能部件。
5.如權利要求1 4中任一項所述的輸送裝置，其特徵在於，上述載置部的卡止部具有受隨著上述連杆機構的驅動連杆部的動作而向朝向上述施力單元的方向移動的驅動機構驅動、對該輸送物施力而與上述施力單元一起把持該輸送物的把持機構。
6.如權利要求5所述的輸送裝置，其特徵在於，在上述驅動機構中，設有凸輪方式的驅動部，在上述把持機構中，設有受上述凸輪方式的驅動部驅動的凸輪方式的把持部。
7.如權利要求5所述的輸送裝置，其特徵在於，在上述驅動機構中，設有凸輪方式的驅動部，在上述把持機構中，設有與上述凸輪方式的驅動部卡合而被驅動的連杆方式的把持部。
8.如權利要求5 7中任一項所述的輸送裝置，其特徵在於，上述把持機構設有兩個，各把持機構的把持部配置為，使其相對於通過上述第1及第2 驅動軸的旋轉中心軸線而沿基板輸送方向延伸的直線為線對稱。
9.一種真空裝置，其特徵在於， 具有真空槽；和權利要求1 8中任一項所述的輸送裝置；上述輸送裝置的載置部構成為，使其相對於上述真空槽內運入及運出。
全文摘要
本發明提供一種不僅在低溫下、在高溫環境下也可靠地保持輸送物而實現高速輸送、並且使輸送物的輸送時的灰塵減少的技術。本發明的輸送裝置(50)具備具有被傳遞來自驅動源的動力的多個臂的伸縮自如的連杆機構(20)、和經由驅動連杆部連結在連杆機構(20)的動作前端部上、用來載置基板(10)的載置部(5)。在載置部(5)中，設有用來與基板(10)的側部抵接而卡止的卡止部(5a、5b)，並且在連杆機構(20)的驅動連杆部中設有由凸輪機構實現的施力單元(9)。施力單元(9)具備設在連杆機構(20)的驅動連杆部上的凸輪驅動面(31L、31R)、和具有抵接在凸輪驅動面(31L、31R)上而能夠從動的從動輥、具有對應於該從動輥的移動而被朝向載置部(5)的卡止部(5a、5b)導引移動的凸狀的施力部(6a)的從動機構部(6)。
文檔編號B25J15/08GK102186639SQ20098014103
公開日2011年9月14日 申請日期2009年10月15日 優先權日2008年10月17日
發明者南展史 申請人:株式會社愛發科