一種晶圓保護膜及其塗刷裝置製造方法
2023-09-23 08:10:25
一種晶圓保護膜及其塗刷裝置製造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種晶圓保護膜及其塗刷裝置，晶圓保護膜形成於所述晶圓邊緣；所述保護膜的成膜寬度範圍為2～3mm；所述保護膜的厚度小於2.7微米，本實用新型在晶圓周邊塗上一層具有一定抗拉強度,抗剪強度,及耐磨性的保護膜,從而對晶圓邊緣起到保護作用，有效避免了運輸途中顛簸可能導致的晶圓邊緣產生裂紋或缺角,及邊緣裂紋應力延伸致使的破片現象。本實用新型保護膜鋪設於晶圓邊緣,寬度小於3mm,不影響晶圓有效區域，並且保護膜成型於晶圓邊緣上表面,不影響後續測試工序。
【專利說明】—種晶圓保護膜及其塗刷裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型屬於半導體製造【技術領域】，涉及一種晶圓保護膜，特別是涉及一種晶圓運輸過程中防邊緣破裂的保護膜。
【背景技術】
[0002]十多年來，我國集成電路技術突飛猛進，集成度越來越高，處理速度越來越快，晶片製造生產線的技術水平也從8英寸、0.25微米提高到12英寸、45納米的新水平，並在向12英寸32納米和22納米以下的技術階段邁進。具有各種不同功能的集成電路晶片已廣泛應用於人們生活的各個領域。
[0003]集成電路的孩子做過程需要經過過重工藝，如清洗、氧化、化學氣相沉積、金屬化、光刻、刻蝕、摻雜以及平坦化等等，這些工藝需要在工廠的不同區域進行。而在半導體集成電路制過程中，由於所有電路均集成於晶圓上，所以晶圓需要在不同製程之間和同一製程的不同區域流轉，其運輸和保管過程中都需要用到晶圓放置裝置(Cassette)，現有的晶圓放置裝置100如圖1所示，該裝置內設置有多個卡槽102，將晶圓103分隔開來。如圖2所示，晶圓103放置在裝置中之後其側面和底部與晶圓放置裝置101接觸，卡槽102長時間使用會發生老化，老化的卡槽102將導致晶圓103卡不緊，由於運輸過程中顛簸方向的不確定性，不論晶圓103橫放或者豎放，都不可避免晶圓103邊緣與裝置的接觸面發生撞擊，致使晶圓103邊緣產生裂紋或者缺角，邊緣裂紋應力延伸，最終導致破片。所以如何保護好晶片邊緣一直是個難題。
實用新型內容
[0004]鑑於以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在於提供一種晶圓保護膜，用於解決現有技術中晶圓運輸時發生邊緣破裂的問題。
[0005]為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種晶圓保護膜，所述晶圓保護膜形成於所述晶圓的邊緣。
[0006]作為本實用新型晶圓保護膜的一種優化的結構，所述保護膜的成膜寬度小於3mm。
[0007]作為本實用新型晶圓保護膜的一種優化的結構，所述保護膜的成膜寬度範圍為2 ?3mm0
[0008]作為本實用新型晶圓保護膜的一種優化的結構，所述保護膜的成膜厚度小於2.7微米。
[0009]作為本實用新型晶圓保護膜的一種優化的結構，所述保護膜的材料為中性透明矽酮結構膠。
[0010]作為本實用新型晶圓保護膜的一種優化的結構，所述保護膜形成於晶圓上具有器件結構的一側表面的邊緣。
[0011]本實用新型還提供一種塗刷晶圓保護膜的裝置，所述裝置至少包括:支撐所述晶圓並使所述晶圓旋轉的支撐平臺、安裝在晶圓邊緣上方且用於提供保護膜材料的噴嘴、以及使所述保護膜固化的加速固化裝置。
[0012]作為本實用新型塗刷晶圓保護膜的裝置一種優化的結構，所述噴嘴中保護膜材料的注入流量範圍根據實際成膜質量進行調整，注入時間範圍為5s?10s，晶圓轉速範圍為5r/s ?10r/so。
[0013]作為本實用新型塗刷晶圓保護膜的裝置一種優化的結構，所述加速固化裝置為分別置於所述晶圓上下邊緣的兩個電吹風，通過控制風的壓力來控制所述保護膜的固化速率。
[0014]作為本實用新型塗刷晶圓保護膜的裝置一種優化的結構，所述上面的電吹風的風嘴對準保護膜的內邊緣，下面電吹風的風嘴對準晶圓的外邊緣。
[0015]如上所述，本實用新型的晶圓保護膜，形成於所述晶圓邊緣。具有以下有益效果:本新型在晶圓周邊塗上一層具有一定抗拉強度，抗剪強度，及耐磨性的保護膜，從而對晶圓邊緣起到保護作用，有效避免了運輸途中顛簸可能導致的晶圓邊緣產生裂紋或缺角，及邊緣裂紋應力延伸致使的破片現象。本實用新型保護膜鋪設於晶圓邊緣，寬度小於3_，不影響晶圓有效區域，並且保護膜成型於晶圓邊緣上表面，不影響後續測試工序。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0016]圖1為本實用新型中的晶圓放置裝置示意圖。
[0017]圖2為本實用新型的晶圓放置在裝置中的示意圖。
[0018]圖3為本實用新型的晶圓邊緣形成有保護膜的示意圖。
[0019]圖4為本實用新型用來塗刷晶圓保護膜的裝置示意圖。
[0020]元件標號說明
[0021]101晶圓放置裝置
[0022]102卡槽
[0023]103晶圓
[0024]104保護膜
[0025]201支撐平臺
[0026]202噴嘴
[0027]203加速固化裝置
【具體實施方式】
[0028]以下由特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式，熟悉此技術的人士可由本說明書所揭露的內容輕易地了解本實用新型的其他優點及功效。
[0029]請參閱附圖。須知，本說明書所附圖式所繪示的結構、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內容，以供熟悉此技術的人士了解與閱讀，並非用以限定本實用新型可實施的限定條件，故不具技術上的實質意義，任何結構的修飾、比例關係的改變或大小的調整，在不影響本實用新型所能產生的功效及所能達成的目的下，均應仍落在本實用新型所揭示的技術內容得能涵蓋的範圍內。同時，本說明書中所引用的如「上」、「下」、「左」、「右」、「中間」及「一」等的用語，亦僅為便於敘述的明了，而非用以限定本實用新型可實施的範圍，其相對關係的改變或調整，在無實質變更技術內容下，當亦視為本實用新型可實施的範疇。
[0030]如圖3所示，本實用新型提供一種晶圓保護膜104，所述晶圓保護膜104形成在所述晶圓103的邊緣，用於防止晶圓103在運輸過程中邊緣破裂導致報廢。
[0031]在晶圓103包裝出貨前，在其周邊塗上保護膜104，所述保護膜104具有膠的特性，例如，具有一定的抗拉強度、抗剪強度及耐磨性，從而對晶圓103邊緣起到保護作用。
[0032]作為示例，所述保護膜104的成膜寬度應小於3mm，不影響晶圓103的有效區域。優選地，所述保護膜104的成膜寬度控制在2?3mm範圍內。本實施例中，所述保護膜104的成膜寬度暫選為2.5mm,當然，在其他實施例中，所述保護膜104的成膜寬度也可以是2.2_、2.7mm等等。
[0033]另外，所述保護膜104的厚度應儘量薄。作為示例，所述保護膜104的厚度小於
2.7微米。本實施例中，所述保護膜104的厚度暫選為2微米，當然，在其他實施中，所述保護膜104的厚度也可以是2.5微米、1.5微米等等。
[0034]再者，所述保護膜104的成膜時間可控，成膜時間應儘量短，縮短晶圓出產的時間。作為示例，所述保護膜104的成膜時間應控制在5?10秒範圍內。
[0035]作為示例，所述保護膜104可以選擇為中性透明矽酮結構膠。當然，也可以選擇其他合適的成膜材料，在此不限。
[0036]對於保護膜104成膜的具體位置，可以形成於晶圓103上具有器件結構的一側表面的邊緣，這樣可以不影響後續測試工作。
[0037]本實用新型還提供一種塗刷保護膜的裝置，如圖4所示，該裝置至少包括:支撐平臺201、噴嘴202、加速固化裝置203。
[0038]所述支撐平臺201用於支撐並旋轉晶圓103，具體地，通過真空吸附作用將所述晶圓103緊緊吸附在支撐平臺201上。所述噴嘴202安裝在所述晶圓103邊緣的上方，用於提供保護膜104材料，保護膜104材料為流體狀，其從噴嘴202流出注入到晶圓103邊緣的流量範圍根據實際成膜質量進行調整，注入時間為5s?1s (秒)。
[0039]通過支撐平臺201來控制晶圓103的旋轉速度，從而更高效地在晶圓103的邊緣塗刷保護膜104，所述晶圓103的旋轉速度控制在5r/s?lOr/s (轉/秒)範圍內。
[0040]所述加速固化裝置203為分別置於所述晶圓103上下邊緣的兩個電吹風，通過控制風的壓力來控制所述保護膜104的固化速率，使流體態的保護膜104材料更快的固化成膜。
[0041]所述上面的電吹風的風嘴對準保護膜的內邊緣，可以防止保護膜漿料濺到晶圓的內器件部分，下面電吹風的風嘴對準晶圓的外邊緣向上吹，可以防止保護膜材料從晶圓邊緣滴落。
[0042]綜上所述，本實用新型晶圓保護膜，形成於所述晶圓邊緣。具有以下有益效果:本新型在晶圓周邊塗上一層具有一定抗拉強度，抗剪強度，及耐磨性的保護膜，從而對晶圓邊緣起到保護作用，有效避免了運輸途中顛簸可能導致的晶圓邊緣產生裂紋或缺角，及邊緣裂紋應力延伸致使的破片現象。本實用新型保護膜鋪設於晶圓邊緣，寬度小於3_，不影響晶圓有效區域，並且保護膜成型於晶圓邊緣上表面，不影響後續測試工序。
[0043]所以，本實用新型有效克服了現有技術中的種種缺點而具高度產業利用價值。
[0044]上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用於限制本實用新型。任何熟悉此技術的人士皆可在不違背本實用新型的精神及範疇下，對上述實施例進行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術領域】中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精神與技術思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應由本實用新型的權利要求所涵蓋。
【權利要求】
1.一種晶圓保護膜，其特徵在於，所述晶圓保護膜形成於所述晶圓的邊緣。
2.根據權利要求1所述的晶圓保護膜，其特徵在於:所述保護膜的成膜寬度小於
3.根據權利要求2所述的晶圓保護膜，其特徵在於:所述保護膜的成膜寬度範圍為2?3臟。
4.根據權利要求1所述的晶圓保護膜，其特徵在於:所述保護膜的成膜厚度小於2.7微米。
5.根據權利要求1所述的晶圓保護膜，其特徵在於:所述保護膜的材料為中性透明矽酮結構膠。
6.根據權利要求1所述的晶圓保護膜，其特徵在於:所述保護膜形成於晶圓上具有器件結構的一側表面的邊緣。
7.一種塗刷如權利要求1所述的晶圓保護膜的裝置，其特徵在於，所述裝置至少包括:支撐所述晶圓並使所述晶圓旋轉的支撐平臺、安裝在晶圓邊緣上方且用於提供保護膜材料的噴嘴、以及使所述保護膜固化的加速固化裝置。
8.根據權利要求7所述的裝置，其特徵在於:所述噴嘴中保護膜材料的注入流量範圍根據實成膜質量進行調整，注入時間範圍為58?108，晶圓轉速範圍為5^/8?101^8。
9.根據權利要求7所述的裝置，其特徵在於:所述加速固化裝置為分別置於所述晶圓上下邊緣的兩個電吹風，通過控制風的壓力來控制所述保護膜的固化速率。
10.根據權利要求9所述的裝置，其特徵在於:所述上面的電吹風的風嘴對準保護膜的內邊緣，下面電吹風的風嘴對準晶圓的外邊緣。
【文檔編號】H01L21/67GK204118056SQ201420600605
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2014年10月16日 優先權日:2014年10月16日
【發明者】周振林 申請人:中芯國際集成電路製造(北京)有限公司