霧化蒸氣壓膜系統的製作方法
2023-10-11 04:10:44 2
專利名稱：霧化蒸氣壓膜系統的製作方法
技術領域：
本發明涉及化工機械類，特別涉及一種霧化蒸氣壓膜系統。
背景技術：
如附圖1至附圖3所示，一般壓膜製程A包括預熱基板A1及壓制幹膜A2，其電路板A3放置在傳送滾輪A5上，並通過傳送滾輪A5傳送至壓制幹膜A4處，當幹膜A4壓制在電路板A3後，幹膜A4本身的氣泡和基板的空洞A7便會形成氣泡A6或缺陷A8，使電路板A3易於蝕刻時所用的化學藥水從幹膜A4未完全覆蓋基板的空洞A7處側蝕並形成斷路或缺口，需要加以改進。
發明內容
本發明的目的在於提供一種霧化蒸氣壓膜系統，解決了常用壓膜系統易形成基板斷路或缺口等問題。
本發明的技術方案是壓膜製程包含蒸氣塗布，將以預熱的基板傳輸至蒸氣塗布裝置，以便使基板達到所需的蒸氣水份；壓制幹膜，將具有溫度及蒸氣的基板傳輸至壓膜入口，基板藉由上滾輪及下滾輪將上幹膜及下幹膜壓制在基板上；基板藉由蒸氣塗布所霧化的蒸氣水份，便可於壓制幹膜時將上幹膜及下幹膜填覆至基板本身的凹洞所用，使不因於蝕刻時所用的化學藥水從幹膜光阻劑未完全覆蓋基板的凹洞處側蝕，而造成斷路或缺口；其中，蒸氣塗布所霧化的水份可為含有化學成份的水溶液及化學物質等相關具有良好填充基板凹洞的物質；上幹膜及下幹膜壓制在基板時是利用幹膜本身的高分子的遇水分子特性，使其增加良好的大流動性及優良親水性並與蒸氣的水份進行混合，以填滿基板的凹洞；在蒸氣塗布之前設有預熱基板及前處理的動作，該前處理可設有酸洗、水洗、磨刷、水洗、微蝕、水洗、烘乾的動作；在壓制幹膜的後續動作可為曝光、顯影、蝕刻及去膜。
本發明的優點在於增加基板壓膜的覆蓋性，基板不因蝕刻時所用的化學物質所侵蝕而造成斷路或缺口；增加線路製造的良品率，實用性強。
圖1為常用壓膜製程的立體示意圖；圖2為常用壓膜製程的方塊圖；圖3為常用壓膜製程的實施例示意圖；圖4為本發明的方塊圖；圖5為本發明的立體示意圖；圖6至圖9為本發明的實施例示意圖。
具體實施例方式如附圖4及附圖5所示，本發明壓膜製程B包含有蒸氣塗布C及壓制幹膜D，該蒸氣塗布C先將基板G放置在傳輸滾輪H上，藉由傳輸滾輪H的帶動將基板G帶至蒸氣塗布裝置I，其中蒸氣塗布裝置I霧化出蒸氣水份並塗布在上基板G1及下基板G2，以完成蒸氣塗布C，最後進入壓制幹膜D，基板G進入於壓膜入口J內，使基板G藉由上滾輪J1及下滾輪J2將上幹膜J3及下幹膜J4壓制在基板G的上基板G1及下基板G2，並完成基板G的壓膜製程B。
如附圖5至附圖9所示，基板G由壓膜系統E上的傳輸滾輪H傳輸至蒸氣塗布裝置I時，蒸氣塗布裝置I由蒸氣口I1霧化出蒸氣水份I2並塗布於基板G的上基板G1及下基板G2上，並藉由蒸氣水份I2良好的流動性質將基板G上本身的凹洞G3先行填滿，再降基板G傳送至壓膜入口J，使基板G通過上滾輪J1及下滾輪J2的帶動，將上幹膜J3及下幹膜J4壓制在基板G上，其上幹膜J3及下幹膜J4利用本身的高分子遇水分子的特性，使其增加良好的大流動性及優良親水性並與蒸氣水份I2進行混合，以達到填覆基板G的凹洞G3所用，使基板G不因在蝕刻N時所用的化學藥水從上幹膜J3及下幹膜J4未完全覆蓋基板G的凹洞G3處側蝕，而造成線路成型的斷路或缺口；蒸氣塗布D之前設有預熱基板F及前處理K的動作，其中前處理K可設有酸洗P、水洗Q、磨刷R、水洗Q、微蝕S、水洗Q、烘乾T的動作，又其壓制幹膜D的後續動作可為曝光L、顯影M、蝕刻N及去膜O。
權利要求
1.一種霧化蒸氣壓膜系統，其特徵在於壓膜製程包含蒸氣塗布，將以預熱的基板傳輸至蒸氣塗布裝置，以便使基板達到所需的蒸氣水份；壓制幹膜，將具有溫度及蒸氣的基板傳輸至壓膜入口，基板藉由上滾輪及下滾輪將上幹膜及下幹膜壓制在基板上。
2.根據權利要求1所述的霧化蒸氣壓膜系統，其特徵在於所說的蒸氣塗布所霧化的水份可為含有化學成份的水溶液及化學物質等相關具有良好填充基板凹洞的物質。
3.根據權利要求1所述的霧化蒸氣壓膜系統，其特徵在於在蒸氣塗布之前設有預熱基板及前處理的工序，該前處理工序可設有酸洗、水洗、磨刷、水洗、微蝕、水洗、烘乾。
4.根據權利要求1所述的霧化蒸氣壓膜系統，其特徵在於在壓制幹膜的後續工序為曝光、顯影、蝕刻及去膜。
全文摘要
本發明涉及一種霧化蒸氣壓膜系統，屬於化工機械類。壓膜製程包含蒸氣塗布，將以預熱的基板傳輸至蒸氣塗布裝置，以便使基板達到所需的蒸氣水份；壓制幹膜，將具有溫度及蒸氣的基板傳輸至壓膜入口，基板藉由上滾輪及下滾輪將上幹膜及下幹膜壓制在基板上；基板藉由蒸氣塗布所霧化的蒸氣水份，便可於壓制幹膜時將上幹膜及下幹膜填覆至基板本身的凹洞所用，使不因於蝕刻時所用的化學藥水從幹膜光阻劑未完全覆蓋基板的凹洞處側蝕，而造成斷路或缺口。優點在於增加基板壓膜的覆蓋性，基板不因蝕刻時所用的化學物質所侵蝕而造成斷路或缺口；增加線路製造的良品率，實用性強。
文檔編號G03F7/20GK1964600SQ200610131618
公開日2007年5月16日 申請日期2006年11月10日 優先權日2006年11月10日
發明者李澄文 申請人:李澄文