一種薄膜濺射設備靶極冷卻銅背板冷卻裝置的製作方法

2023-10-22 23:40:32 2

專利名稱：一種薄膜濺射設備靶極冷卻銅背板冷卻裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型關於屬於濺射設備靶極冷卻裝置，具體涉及一種薄膜濺射設備靶極冷卻銅背板冷卻裝置。
背景技術：
本實用新型係為一種薄膜濺射設備靶極冷卻銅背板冷卻裝置，薄膜設備靶極冷卻水循環系統是極為重要的一部分，負責將濺射等離子體靶材產生的高溫藉由冷卻銅背板內的循環冷卻水系統將熱源帶到冷卻系統後冷卻，使靶材能在等離子體轟擊下保持一定的溫度，否則靶材會因高溫融化或破裂而無法在進行等離子體轟擊，導致無法沉積薄膜，如此一來就需要更換新的靶材或拆卸下進行修復，不僅耗費成本也增加設備停機維修的時間。現有技術使用介質設置於銅背板與靶極中間，使用間接冷卻的方式，藉由靶極內部通入冷卻水循環方式產生冷源，而中間的介質最為溫度的傳遞以冷卻銅背板上接合的靶材，然而現有技術的冷卻方式對於高功率的濺射模式下會有冷卻能力不足的現象，造成靶材落裂或是焊接脫落。

實用新型內容本實用新型主要目的系提供一種薄膜濺射設備靶極冷卻銅背板冷卻裝置，本實用新型採用的方案是；靶材置於銅背板下方並進行焊接，使靶材背面緊密貼和在銅背板上，確保冷卻能順利進行，不會因空隙產生多餘的熱阻，影響冷卻效果，銅背板正面設置水路系統，包括一進水口極一出水口，銅背板內部設置5個水道且水道頭尾相通，使冷卻水能順利流通，各水道頭尾設置有長方形凹槽，能使水流加速，水道隔間條上設置有橡膠密封圈，使水道能照設置的流向前進，不會產生水壓及流速的損失，當冷卻水由進水口流入後，就順著水道前進，一直到出水口流出，其中接觸銅背板的時間及長度增加了冷卻能力，使靶極能充分冷卻，達到正常的工作溫度，同時也冷卻了靶材，使濺射設備保持持續的工作狀態，減少維修的時間。

圖I係為本實用新型之結構示意圖。圖2係為本實用新型剖面示意圖。主要組件符號說明。11...銅背板主體。12...進水口。13...水道。14...長方形凹槽。15...出水口。21...水道隔板。
具體實施方式
為使方簡捷了解本實用新型之其他特徵內容與優點及其所達成之功效能夠為顯現，茲將本實用新型配合附圖詳細明如下請閱圖I本實用新型之主要目的系提供一種薄膜濺射設備靶極冷卻銅背板冷卻裝置，是由銅背板主體11、進水口 12、水道13、長方形凹槽14及出水口 15所組成，請參閱圖2所示，銅背板主體11設置有4個水道隔板21，當冷卻水由進水口 12流入後，沿著被水道隔板21間隔出的水道13前進，途中經過各水道頭尾相連的長方形凹槽14加速以保持冷卻水的流速，最後再由冷卻水由出水口 15流出至外部冷卻水循環系統。所述的銅背板主體11厚度為25mm。所述的水道13寬度為59mm。所述的長方形凹槽14長為63mm,寬為43mm與現有技術相比，如此反覆循環以確保靶極在工作中仍能維持一定溫度，濺鍍設備不會因高溫發生故障，減少設備停機造成的損失。綜上所述，本實用新型在突破先前之技術結構下，確實已達到所欲增進之功效，且也非熟悉該項技藝者所於思及，其所具之進步性、實用性，顯已符合實用新型專之申請要件，惟上詳細明系針對本實用新型之一可實施之具體明，該實施並非用以限制本實用新型之專範圍，而凡未脫本實用新型技藝所為之等效實施或變，均應包含於本案之專範圍中。
權利要求1.一種薄膜濺射設備靶極冷卻銅背板冷卻裝置，包括銅背板主體11、進水口 12、水道13、長方形凹槽14及出水口 15所組成。
2.根據權利要求I所述之一種薄膜濺射設備靶極冷卻銅背板冷卻裝置，其特徵在於，所述銅背板主體厚度為25mm。
3.根據權利要求I所敘述之一種薄膜濺射設備靶極冷卻銅背板冷卻裝置，其特徵在於，所述各水道寬度為59mm。
4.根據權利要求I所敘述之一種薄膜濺射設備靶極冷卻銅背板冷卻裝置，其特徵在於，所述長方形凹槽長為63mm，寬為43mm。
專利摘要本實用新型主要目的系提供一種薄膜濺射設備靶極冷卻銅背板冷卻裝置，本實用新型採用的方案是；靶材置於銅背板下方並進行焊接，使靶材背面緊密貼和在銅背板上，確保冷卻能順利進行，不會因空隙產生多餘的熱阻，影響冷卻效果，銅背板正面設置水路系統，包括一進水口極一出水口，銅背板內部設置5個水道且水道頭尾相通，使冷卻水能順利流通，各水道頭尾設置有長方形凹槽，能使水流加速，水道隔間條上設置有橡膠密封圈，使水道能照設置的流向前進，不會產生水壓及流速的損失，當冷卻水由進水口流入後，就順著水道前進，一直到出水口流出，其中接觸銅背板的時間及長度增加了冷卻能力，使靶極能充分冷卻，達到正常的工作溫度，同時也冷卻了靶材，使濺射設備保持持續的工作狀態，減少維修的時間。
文檔編號C23C14/34GK202730222SQ20122034257
公開日2013年2月13日 申請日期2012年7月16日 優先權日2012年7月16日
發明者周文彬, 劉幼海, 劉吉人 申請人:吉富新能源科技(上海)有限公司