保溫潔淨節能的氮氣櫃的製作方法
2023-10-09 12:55:04
專利名稱：保溫潔淨節能的氮氣櫃的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種半導體單晶矽製程設備，具體涉及到一種具有保溫潔淨和節 能效果的氮氣櫃。
背景技術：
在單晶矽的製程中，矽片在經過拋光清洗之後必須要經過乾燥處理，才能進入下 一個製程。現有技術對矽片的乾燥主要是通過充氮配合甩幹機來實現，但是此種方式主要存 在以下的缺點第一，普通的甩幹機一次只能放置兩盒矽片，因此以來甩幹機的方式極大程度上 限制了生產的數量，影響生產效率；第二，甩幹機的潔淨度較低，導致影響產品質量，無法滿足TDH反顆粒現象測試；第三，甩幹機在高速甩幹時，氣體與產品摩擦產生大量的靜電，存在一定的安全隱患。
實用新型內容針對上述缺陷，本實用新型的目的是提供一種保溫潔淨節能的氮氣櫃，以解決現 有技術的單晶矽乾燥設備生產效率低下，產品質量較差且有靜電產生影響安全的技術問 題。為實現上述目的，本實用新型採用了以下的技術方案一種保溫潔淨節能的氮氣櫃、包括一櫃體，該櫃體內設置有若干產品擺放臺，還包 括一氮氣加熱裝置、一潔淨節能裝置以及控制系統，該潔淨節能裝置分別與該氮氣加熱裝 置和該櫃體聯通，用以將該氮氣加熱裝置加熱的氮氣過濾並將其吹入櫃體內，將產品烘乾， 該控制系統控制所述氮氣加熱裝置的溫度和氮氣流量以及該潔淨節能裝置的風速。依照本實用新型較佳實施例所述的氮氣櫃，所述氮氣加熱裝置進一步包括一外 殼，該外殼上設置有進氣口和出氣口 ；一加熱腔，該加熱腔設置在所述外殼內部，內部設置 有若干加熱元件，各加熱元件之間連接有若干導流板；以及保溫棉，設置在該外殼與該加熱 腔之間。依照本實用新型較佳實施例所述的氮氣櫃，所述潔淨節能裝置進一步包括設置在 櫃體頂部的靜電消除器、高效過濾網以及風機。依照本實用新型較佳實施例所述的氮氣櫃，所述氮氣加熱裝置還包括若干測溫點。依照本實用新型較佳實施例所述的氮氣櫃，所述櫃體內設置有迴風口，用於對櫃 體內的氮氣反覆利用。依照本實用新型較佳實施例所述的氮氣櫃，所述櫃體底部設置有若干滾輪。由於採用了以上的技術特徵，使得本實用新型相比於現有技術具有如下的優點和積極效果第一，本實用新型在氮氣進氣口之前設置氮氣加熱裝置，並且經過濾消除靜電後 再用來乾燥氣體，可控制溫度和溼度，提高氮氣利用率，提高了產品的品質；第二，本實用新型無需使用甩幹機，而用氮氣在大型的氮氣櫃中直接乾燥，可以提高產量；第三，本實用新型可以對氮氣溫度進行控制，可以保證乾燥的效率，並且氮氣回收 重複利用，節能效果好。當然，實施本實用新型內容的任何一個具體實施例，並不一定同時具有以上全部 的技術效果。
圖1是本實用新型一種保溫潔淨節能的氮氣櫃的示意圖；圖2是氮氣加熱裝置的示意圖；圖3是圖1的主視圖。
具體實施方式
為便於理解，
以下結合附圖對本實用新型的較佳實施例做進一步詳細敘述。請參考圖1，一種保溫潔淨節能的氮氣櫃、包括一櫃體10，櫃體10底部設置多個滾 輪11，可在車間內移動。櫃體10內設置有若干產品擺放臺。還包括氮氣加熱裝置30和潔淨節能裝置20以及控制系統，潔淨節能裝置20分別 與氮氣加熱裝置30和櫃體10聯通，用以將氮氣加熱裝置30加熱的氮氣通過管道32運送 到潔淨節能裝置20過濾並將其吹入櫃體10內，將產品烘乾，控制系統控制氮氣加熱裝置30 的溫度和氮氣流量以及潔淨節能裝置20的風速。請參考圖2，是氮氣加熱裝置的結構剖面示意圖，可見，其包括外殼33，外殼33內 的加熱腔以及在加熱腔和外殼之間的填充的保溫棉34，外殼33通過支架31安裝在地面上。外殼33上設置有進氣口 36和出氣口 37，進氣口 36聯通至加熱腔35，將氮氣送入 加熱腔35內，而出氣口 37，則從加熱腔35聯通至管道32輸送到櫃體10，保溫棉34，設置在 外殼33與加熱腔35之間，優選為矽酸鋁棉材質，起到保溫的作用。加熱腔35設置在外殼33內部，內部設置有若干加熱元件38，為增大受熱面積，加 熱元件38為彎曲的管狀，加熱元件38之間連接有若干導流板39，導流板39和加熱元件38 以及加熱腔35的外壁都是不鏽鋼材質。為便於測量溫度，在氮氣加熱裝置30上設置了若干個測溫點351，從而保證可以 方便測得氮氣的溫度，整個裝置通過法蘭331固定。請參考圖3，潔淨節能裝置20包括靜電消除器21、高效過濾網22和風機23。風機 23將管道32通過來的氮氣首先通過高效過濾網對直徑> 0. 2um的粉塵顆粒進行過濾，之後 再通過靜電消除器21消除氣體中的靜電，之後再進入氮氣櫃的櫃體內對產品進行乾燥。 控制系統主要包括，風速控制器M和溫/溼度控制器25，分別對風機23的風速和 氮氣的溫度溼度進行控制，並適時調節。[0032]為實現節能的效果，在櫃體內設置了迴風口 13可以使得氮氣在櫃體10內循環重 複利用，直到溫度不能達到乾燥產品的要求。綜上所述，由於採用了以上的技術特徵，使得本實用新型相比於現有技術具有如 下的優點和積極效果第一，本實用新型在氮氣進氣口之前設置氮氣加熱裝置，並且經過濾消除靜電後 再用來乾燥氣體，可控制溫度和溼度，提高氮氣利用率，提高了產品的品質；第二，本實用新型無需使用甩幹機，而用氮氣在大型的氮氣櫃中直接乾燥，可以提高產量；第三，本實用新型可以對氮氣溫度進行控制，可以保證乾燥的效率，並且氮氣回收 重複利用，節能效果好。當然，實施本實用新型內容的任何一個具體實施例，並不一定同時具有以上全部 的技術效果。以上公開的僅僅是本實用新型的較佳實施例，但並非用來限制其本身，任何熟習 本領域的技術人員在不違背本實用新型精神內涵的情況下，所做的均等變化和更動，均應 落在本實用新型的保護範圍內。權利要求1.一種保溫潔淨節能的氮氣櫃、包括一櫃體，該櫃體內設置有若干產品擺放臺，其特徵 在於，還包括一氮氣加熱裝置、一潔淨節能裝置以及控制系統，該潔淨節能裝置分別與該氮氣加熱 裝置和該櫃體聯通，用以將該氮氣加熱裝置加熱的氮氣過濾並將其吹入櫃體內，將產品烘 幹，該控制系統控制所述氮氣加熱裝置的溫度和氮氣流量以及該潔淨節能裝置的風速。
2.如權利要求1所述的氮氣櫃，其特徵在於，所述氮氣加熱裝置進一步包括一外殼，該外殼上設置有進氣口和出氣口 ；一加熱腔，該加熱腔設置在所述外殼內部，該加熱腔內部設置有若干加熱元件，各加熱 元件之間連接有若干導流板；以及保溫棉，設置在該外殼與該加熱腔之間。
3.如權利要求1所述的氮氣櫃，其特徵在於，所述潔淨節能裝置進一步包括設置在櫃 體頂部的靜電消除器、高效過濾網以及風機。
4.如權利要求2所述的氮氣櫃，其特徵在於，所述氮氣加熱裝置還包括若干測溫點。
5.如權利要求1所述的氮氣櫃，其特徵在於，所述櫃體內設置有迴風口，用於對櫃體內 的氮氣反覆利用。
6.如權利要求1所述的氮氣櫃，其特徵在於，所述櫃體底部設置有若干滾輪。
專利摘要本實用新型提供一種保溫潔淨節能的氮氣櫃、包括一櫃體，該櫃體內設置有若干產品擺放臺，還包括一氮氣加熱裝置、一潔淨節能裝置以及控制系統，該潔淨節能裝置分別與該氮氣加熱裝置和該櫃體聯通，用以將該氮氣加熱裝置加熱的氮氣過濾並將其吹入櫃體內，將產品烘乾，該控制系統控制所述氮氣加熱裝置的溫度和氮氣流量以及該潔淨節能裝置的風速。本實用新型在氮氣進氣口之前設置氮氣加熱裝置，並且經過濾消除靜電後再用來乾燥氣體，可控制溫度和溼度，提高氮氣利用率，提高了產品的品質。
文檔編號F17B1/00GK201827637SQ20102052393
公開日2011年5月11日 申請日期2010年9月9日 優先權日2010年9月9日
發明者陳永勝 申請人:上海盛翼電子有限公司