一種蝕刻機的製作方法

2023-10-10 00:29:09 1

專利名稱：一種蝕刻機的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及印刷電路板生產設備技術領域，特指一種蝕刻機。
背景技術：
隨著電子技術的飛速發展，印刷電路板集成度越來越高，印刷電路板的導電線路製作得越來越精細，這要求生產製作印刷電路板時要保證控制嚴格，減少公差，均勻性要好。現有的溼式印刷電路板生產設備的成本較低、操作簡單，在印刷電路板的生產中得以廣泛使用。印刷電路板生產的基本工序一般包括顯影過程、蝕刻過程和退膜過程，顯影過程是指採用顯影液將膜上未經紫外線輻射的部分溶解，已經紫外線輻射而發生聚合反 應的部分保留；蝕刻過程是指採用蝕刻液將印刷電路板上未被保護膜保護而露出的銅蝕刻掉；退膜過程是指將印刷電路板上的保護膜去掉，露出已加工好的線路。然而，在製作印刷電路板的過程中，往往會發現現有的印刷電路板生產設備存在以下的不足。I、顯影、蝕刻和退膜等工藝不能同時集中在同一臺設備上，不能達到一次完成的生產要求，同時自動化程度低，生產設備上缺乏控制系統，導致設備上的諸多調整需要人工操作，使工作效率降低。2、印刷電路板傳送的過程中，容易發生打滑、偏移等問題，導致傳輸的效果降低，影響顯影、蝕刻和退膜效果。3、在蝕刻的過程中由於設備的結構設計不合理，使蝕刻液自電路板的邊緣區流出板外，而電路板的中央區域積留，形成水池，產生水池效應。4、隨著印刷電路板生產規模不斷擴大，從中自然會產生諸多廢棄物，由於現有的印刷電路板生產設備的過濾回收效果差和設計不合理，該廢棄物對室內和室外環境的汙染已經嚴重影響工作和生活環境，同時廢棄物中具有諸多可循環利用的原料，造成了浪費和生產成本的升高。因此，有必要設計一種集顯影、蝕刻和退膜等工藝為一體、設計合理、制板和過濾回收效果良好的自動化蝕刻機。
發明內容本實用新型的目的在於針對現有技術的不足提供一種蝕刻機，它結構設計合理，集顯影、蝕刻和退膜等工藝為一體，制板和過濾回收效果良好，自動化程度高。為實現上述目的，本實用新型是通過以下技術方案實現的。一種蝕刻機，其包括控制系統以及與控制系統電連接的並且依次設置的進板機構、顯影機構、蝕刻機構、退膜機構、脫水烘乾機構和出板機構，所述進板機構、所述顯影機構、所述蝕刻機構、所述退膜機構、所述脫水烘乾機構和所述出板機構通過獨立設置的傳動裝置連接，所述顯影機構、所述蝕刻機構和所述退膜機構分別連接有分段式排氣裝置、過濾裝置以及泵裝置。進一步的，所述顯影機構包括依次設置的顯影室和第一清洗室，所述顯影室內設置有儲存顯影液體的顯影槽和搖擺架噴淋裝置；所述第一清洗室內設置有第一清洗槽和複數個位於傳動裝置上下方的清洗噴嘴。進一步的，所述蝕刻機構包括依次設置的蝕刻室、補償室和第二清洗室，所述蝕刻室與所述補償室通過液體管道連接，所述蝕刻室設置有儲存蝕刻液體的蝕刻槽和搖擺架噴淋裝置；所述補償室設置有補償裝置，補償裝置由複數根上噴管和複數根下噴管構成，上噴管和下噴管分別通過氣閥與進水管連接，上噴管和下噴管分別設置有複數個補償噴嘴，相鄰的上噴管之間的噴嘴交錯排布，複數根所述上噴管的噴嘴形成三角型排布，氣閥與進水管之間連接有壓力表；所述第二清洗室設置有第二清洗槽和複數個位於傳動裝置上下方的清洗噴嘴。 進一步的，所述搖擺架噴淋裝置由搖擺架和壓力控制裝置構成，搖擺架通過上接軟管和下接軟管與壓力控制裝置相連接，所述搖擺架包括上噴架和下噴架，所述上噴架和所述下噴架通過搖臂連接，上噴架的板面和下噴架的板面上分別設置有複數個出水口，所述出水口是均勻分布的，出水口上設置有噴嘴，上噴架固定連接有拉臂，拉臂設置有偏心塊，偏心塊與馬達連接軸連接，搖臂中部設置有固定銷；所述壓力控制裝置包括壓力表和球閥。進一步的，所述退膜機構包括依次設置的退膜室和第三清洗室，所述退膜室設置有儲存退膜液體的退膜槽和噴灑裝置，所述噴灑裝置設置有噴管和噴嘴，噴嘴由噴嘴座、噴頭和噴嘴蓋組成，噴頭設置於噴嘴座內，噴嘴蓋連接於噴嘴座，噴嘴座通過前夾扣和後夾扣固定在噴管沿長度方向設置的出水孔上，前夾扣和後夾扣通過螺栓連接；所述第三清洗室內設置有第三清洗槽和複數個位於傳動裝置上下方的清洗噴嘴。進一步的，所述脫水烘乾機構包括依次設置的冷風吹乾裝置和熱風烘乾裝置，所述熱風烘乾裝置設置有鼓風機、熱風分支器和熱風管，鼓風機和熱風分支器位於傳送裝置的下方，所述傳送裝置的上下兩側分別設置有風刀裝置。進一步的，所述傳動裝置包括安裝架，在安裝架上設置有複數條上傳送軸和複數條下傳送軸，上傳送軸位於下傳送軸正上方，上傳送軸上設置有複數個上傳送輪，下傳送軸上設置有複數個與上傳送輪相對應的下傳送輪，上傳送軸和下傳送軸通過上傳送齒輪和下傳送齒輪嚙合，安裝架一側的第一傳送主軸上設置有主傳送齒輪，下傳送齒輪與主傳送齒輪嚙合連接，第一傳送主軸與電機相連結，所述安裝架另一側還設置有第二傳送主軸，第二傳送主軸設置有主傳送齒輪，主傳送齒輪與下傳送軸另一側的下傳送齒輪嚙合。進一步的，所述排氣裝置包括排氣管、排氣管調節裝置、支撐架和至少一個冷凝回收裝置，所述排氣管調節裝置設置有連接管，連接管上設置有調節旋鈕，調節旋鈕穿過連接管中部的通孔並且與設置於連接管內部的調節擋板連接，所述調節擋板的另一端與導向柱連接；所述冷凝回收裝置包括箱體，箱體的底板設置有進氣管和進水口，箱體的頂板設置有排氣管和排水口，設置於箱體內的中間筒體與進氣管連接，箱體設置有分流腔和冷凝腔，分流腔和冷凝腔通過進氣管上的分流口相連通，排氣管與中間筒體連接並伸入中間筒體內，排氣管與進氣管不相通，排氣管上設置有排氣孔，冷凝腔內設置有冷凝管，冷凝管的進水管設置於進水口，冷凝管的出水管設置於排水口，箱體的底板上還設置有回流管。[0020]進一步的，所述過濾裝置包括棉芯過濾器、藍色過濾器和位於退膜機構的滾筒式過濾膜渣裝置，所述滾筒式過濾膜渣裝置設置有液體缸、匯流入口、滾筒過濾裝置、噴管、接渣盒、排渣道、二次過濾槽和收集框，噴管位於滾筒過濾裝置和接渣盒的上方，接渣盒和匯流入口分別接於滾筒過濾裝置內，接渣盒設置於匯流入口的上方，並且接渣盒是傾斜設置的，接渣盒的出口通過排渣道與二次過濾槽的入口相連通,收集框安放於二次過濾槽的出口下方。進一步的，所述泵裝置包括立式泵和高壓泵，所述立式泵分別與棉芯過濾器、藍色過濾器連接；所述高壓泵與滾筒式過濾膜渣裝置連接。本實用新型由於採用上述技術方案而具有的有益效果。I、本實用新型在控制系統的控制下，將顯影、蝕刻、退膜等工序有機地結合為一體，在一臺設備中自動完成整個生產製造過程，自動化程度高。2、本實用新型採用雙傳送主軸設計的傳動裝置，減少蝕刻機的故障率增加等缺 點，能夠平穩可靠地輸送電路板，防止電路板在輸送過程中的偏移、打滑。3、本實用新型採用了搖擺架噴淋裝置、壓力控制裝置、補償裝置等結構，設計不合理，防止了水池效應產生，顯影、蝕刻、退膜等工藝的制板效果大大提高。4、本實用新型採用了設計合理的過濾裝置和排氣裝置，有效避免了對環境的汙染，同時能夠徹底的對可循環利用的物質進行過慮回收，節省了生產成本，符合節能生產的目的。

圖I為本實用新型的布局框圖。圖2為本實用新型出紙機構和顯影機構的立體結構示意圖。圖3為本實用新型出紙機構和顯影機構的結構簡圖。圖4為本實用新型蝕刻機構的立體結構示意圖。圖5為本實用新型蝕刻機構的結構簡圖。圖6為本實用新型退膜機構和出板機構的立體結構示意圖。圖7為本實用新型退膜機構和出板機構的結構簡圖。圖8為本實用新型傳動裝置的部分結構示意圖。圖9為本實用新型補償裝置的結構示意圖。圖10為本實用新型搖擺架噴淋裝置的結構示意圖。圖11為本實用新型搖擺架的結構示意圖。圖12為本實用新型噴灑裝置的結構示意圖。圖13為本實用新型脫水烘乾裝置的結構示意圖。圖14為本實用新型風刀裝置的結構示意圖。圖15為本實用新型排氣管調節裝置的局部剖視圖。圖16為本實用新型冷凝回收裝置隱去冷凝管的剖視圖。圖17為本實用新型冷凝回收裝置的半剖視圖。圖18為本實用新型滾筒式過濾膜渣裝置的局部剖視圖。
具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型進行詳細說明。如圖I至圖18所示，一種蝕刻機，其包括控制系統以及與控制系統電連接並依次設置的進板機構I、顯影機構2、蝕刻機構3、退膜機構4、脫水烘乾機構5和出板機構6，進板機構I、顯影機構2、蝕刻機構3、退膜機構4、脫水烘乾機構5和出板機構6通過獨立設置的傳動裝置7連接，顯影機構2、蝕刻機構3和退膜機構4分別連接有分段式排氣裝置8、過濾裝置以及泵裝置，蝕刻機的機體外還設置有控制系統的操作面板，工作時，在操作面板上打開各種裝置的開關並輸入各種參數，譬如速度參數、時間參數等。本實施例中，顯影機構2採用顯影液將印刷電路板膜上未經紫外線輻射的部分溶
解，已經紫外線輻射而發生聚合反應的部分保留。具體而言，顯影機構2包括依次設置的顯影室20和第一清洗室21，顯影室20內設置有儲存顯影液的顯影槽200和搖擺架噴淋裝置201 ;第一清洗室21內設置有第一清洗槽210和複數個位於傳動裝置7上下方的清洗噴嘴。本實施例中，蝕刻機構3採用蝕刻液將印刷電路板上未被保護膜保護而露出的銅蝕刻掉。具體而言，蝕刻機構3包括依次設置的蝕刻室30、補償室31和第二清洗室32，蝕刻室30與補償室31通過液體管道連接，蝕刻室30設置有儲存蝕刻液的蝕刻槽300和搖擺架噴淋裝置201 ;第二清洗室32設置有第二清洗槽320和複數個位於傳動裝置7上下方的清洗噴嘴。補償室31設置有補償裝置310，能起到輔助蝕刻的作用。補償裝置310由複數根上噴管3100和複數根下噴管3101構成，上噴管3100和下噴管3101分別通過氣閥3102與進水管3103連接，上噴管3100和下噴管3101均等間距設置有複數個補償噴嘴，相鄰的上噴管3100之間的噴嘴交錯排布，複數根上噴管3100的噴嘴共同形成三角型排布，氣閥3102與進水管3103之間連接有壓力表3104，工作時，傳動裝置7將印刷電路板送到上噴管3100和下噴管3101的中間，依次經過第一根上噴管的噴嘴至第五根上噴管的噴嘴，同時使用者根據印刷電路板的板面情況適當調節壓力表3104和氣閥3102控制噴淋，有效解決印刷電路板板面因為銅厚不均和水池效應導致蝕刻不乾淨導致產品報廢的問題，對印刷電路板的蝕刻效果好，提高了產品的質量及降低生產成本。在顯影機構2和蝕刻機構3中的搖擺架噴淋裝置201由搖擺架202和壓力控制裝置203構成，搖擺架202通過上接軟管204和下接軟管205與壓力控制裝置203相連接，搖擺架202包括上噴架2020和下噴架2021，上噴架2020和下噴架2021通過搖臂2022連接，上噴架2020的板面和下噴架2021的板面上均勻分布有複數個出水口 2023，出水口 2023上設置有噴嘴，上噴架2020的板面和下噴架2021的板面分別為傾斜設置,上噴架2020的板面和下噴架2021的板面互相平行，上噴架2020固定連接有拉臂2024，拉臂2024設置有偏心塊2025，偏心塊2025與馬達連接軸2026連接，搖臂2022中間位置設置有固定銷2027，工作時，上噴架2020和下噴架2021能平行擺動，噴淋水形覆蓋面更廣更均勻，避免產生「水池效應」。壓力控制裝置203包括壓力表2030和球閥2031，通過調節壓力控制裝置203，控制噴嘴出水量，使壓力平均，可根據生產速度和工藝要求來控制蝕刻速度，提高產品質量。本實施例中，退膜機構4採用退膜液將印刷電路板上的保護膜去掉，露出已加工好的線路。具體而言，退膜機構4包括依次設置的退膜室40和第三清洗室41，退膜室40設置有儲存退膜液的退膜槽400和噴灑裝置401，噴灑裝置401設置有噴管4010和噴嘴4011，噴嘴4011由噴嘴座4012、噴頭4013和噴嘴蓋4014組成，噴頭4013設置於噴嘴座4012內，噴嘴蓋4014連接於噴嘴座4012，噴嘴座4012通過前夾扣4015和後夾扣4016固定在噴管4010沿長度方向設置的出水孔4017上，前夾扣4015和後夾扣4016通過螺栓相連接，噴嘴4011拆卸安裝方便，可在一定範圍內調節角度，使噴嘴4011始終處在最佳工作狀態。第三清洗室42內設置有第三清洗槽420和複數個位於傳動裝置7上下方的清洗噴嘴。本實施例中，脫水烘乾機構5用於印刷電路板出板前對其進行脫水烘乾，防止氧化。具體而言，脫水烘乾機構5包括依次設置的冷風吹乾裝置50和熱風烘乾裝置51，熱風烘乾裝置51設置有鼓風機510、熱風分支器511和熱風管512,鼓風機510和熱風分支器511位於傳送裝置7的下方，傳送裝置7的上下兩側分別設置有風刀裝置513，風刀裝置513的數量為三個。風刀裝置513包括對稱相同的上風刀5130和下風刀5131,上風刀5130和下風刀5131內部趨近為一密閉空間，上風刀5130 —端和下風刀5131 —端分別設置有進風口5132，進風口 5132通過熱風管512與鼓風機510以及熱風分支器511連接，上風刀5130另 一端和下風刀5131另一端分別設有出風導流板5133,出風導流板5133的表面排列分布有出風微孔，出風微孔設置有傾斜角度並傾向於同一方向，這樣的設計使風刀的出風微孔與傳送裝置7的電路板形成夾角，夾角以45度為最佳，同時通過出風導流板5133配合風刀的內部空間和出風微孔，可使出風微孔壓縮吹出氣體，同時使吹出來的氣體均勻吹向電路板，避免因為氣體不均勻和熱力不均勻而導致電路板不平整的影響。本實施例中，傳動裝置7用於將印刷電路板進行輸送。具體而言，傳動裝置7包括安裝架70，在安裝架70上設置有複數條上傳送軸71和複數條下傳送軸72，上傳送軸71位於下傳送軸72正上方，上傳送軸71上設置有複數個上傳送輪73，下傳送軸72上設置有複數個與上傳送輪73相對應的下傳送輪74，上傳送軸71和下傳送軸72通過上傳送齒輪75和下傳送齒輪76嚙合連接，安裝架70 —側的第一傳送主軸77上設置有主傳送齒輪78，下傳送齒輪76與主傳送齒輪78嚙合連接，第一傳送主軸77與電機相連結，安裝架70另一側還設置有第二傳送主軸79，第二傳送主軸79設置有主傳送齒輪78，主傳送齒輪78與下傳送軸72另一側的下傳送齒輪76嚙合連接。採用雙傳送主軸設計，同步帶動下傳送軸72轉動，減少因單傳送主軸傳動而造成下傳送軸72的軸頭受力過大導致蝕刻機的故障率增加等缺點，上、下傳送軸受力均勻，能夠平穩可靠地輸送電路板，防止電路板在輸送過程中的偏移，上傳送輪73和下傳送輪74可局部拆卸更換，方便維修。本實施例中，排氣裝置8用於排放顯影機構2、蝕刻機構3、退膜機構4和脫水烘乾機構5工作時產生的揮發物或蒸汽。具體而言，排氣裝置8包括排氣管80、排氣管調節裝置81、支撐架82和至少一個冷凝回收裝置83。排氣管調節裝置81設置有連接管810，連接管810上設置有調節旋鈕811，調節旋鈕811穿過連接管810中部的通孔並且與設置在連接管810內部的調節擋板812連接，調節擋板812的另一端與導向柱813連接，排氣管調節裝置81 —般根據需要進行調整，以達到調節排氣量的效果，方便實用，防止當風速較大時，會使藥水的蒸發加快，同時也防止藥水的熱量過快流失。冷凝回收裝置83與排氣管80連接，藥水的揮發物或蒸汽經過排氣管80後再流入冷凝回收裝置83。冷凝回收裝置83包括箱體830，箱體830的底板設置有進氣管831和進水口 832，箱體830的頂板設置有排氣管833和排水口 834，設置於箱體830內的中間筒體835與進氣管831連接，箱體830設置有分流腔836和冷凝腔837，分流腔836和冷凝腔837通過進氣管831上的分流口 838相連通，排氣管833與中間筒體835連接並伸入中間筒體835內，排氣管833與進氣管831不相通，排氣管833上設置有排氣孔839，冷凝腔837內設置有冷凝管840，冷凝管840包括三條盤旋設置的冷凝管840，冷凝管840互呈同心圓狀分布，冷凝管840之間互有間隔，揮發物或者蒸汽從三條冷凝管840之間的間隔通過，增大了接觸面積，同時起到阻礙作用，使蒸汽的運動減慢，冷凝效果好，冷凝管840的進水管841設置於進水口 832，冷凝管840的出水管842設置於排水口 834，箱體830的底板上還設置有 回流管843，冷凝後的液體從回流管843回流到藥水槽中，繼續循環利用，降低化學藥水的使用成本，節約資源，也防止環境汙染。本實施例中，過濾裝置用於對顯影機構2、蝕刻機構3和退膜機構4內的藥水和廢棄液進行過濾，保持藥水的酸鹼濃度、去除廢棄液內的有害物質和對可循環利用的物質進行回收，保護環境，節約成本。具體而言，過濾裝置包括棉芯過濾器91、藍色過濾器92和滾筒式過濾膜渣裝置93。滾筒式過濾膜渣裝置93與退膜機構4連接。滾筒式過濾膜渣裝置93設置有液體缸930、匯流入口 931、滾筒過濾裝置932、噴管933、接渣盒934、排渣道935、二次過濾槽936和收集框937，噴管933位於滾筒過濾裝置932和接渣盒934的上方，接渣盒934和匯流入口 931分別接於滾筒過濾裝置932內，接渣盒934設置於匯流入口 931的上方，並且接渣盒934是傾斜設置的，接渣盒934的出口通過排渣道935與二次過濾槽936的入口相連通，收集框937安放於二次過濾槽936的出口下方。採用滾筒過濾裝置932和二次過濾槽936 二者結合的雙重過濾設計，過濾膜渣徹底，回收膜渣極其方便，足以滿足印刷電路板退膜工序過濾膜渣的工藝要求。本實施例中，泵裝置用於將顯影機構2、蝕刻機構3和退膜機構4內的液體送進過濾裝置。具體而言，泵裝置包括立式泵100和高壓泵101，立式泵100分別與棉芯過濾器91、藍色過濾器92連接；高壓泵101與滾筒式過濾膜渣裝置93連接。蝕刻機的流程工作時，將印刷電路板放置在進板機構1，蝕刻機的控制系統內的監測系統進行進板計數，傳動裝置7將印刷電路板輸送到顯影機構2，依次經過顯影室20和第一清洗室21，由搖擺架噴淋裝置201和清洗噴嘴進行噴淋，吹乾後輸送到蝕刻機構3，依次經過蝕刻室30、補償室31和第二清洗室32，接著輸送到退膜機構4，依次經過退膜室40和第三清洗室41，最後經過脫水烘乾機構5和出板機構6，出板時控制系統內的監測系統再進行出板計數。綜上所述，本實用新型的進板機構I、顯影機構2、蝕刻機構3、退膜機構4、脫水烘乾機構5和出板機構6在控制系統的控制下，將顯影、蝕刻、退膜等工序有機地結合為一體，在一臺設備中自動完成整個生產製造過程，自動化程度高，同時設計合理，制板和過濾回收效果好，給相關行業帶來比巨大的益處。以上所述實施例僅表達了本實用新型的一種實施方式而已，其描述較為具體和詳細，但並不能因此而理解為本實用新型範圍的限制。應當指出的是，對於本領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型構思的前提下，還可以做出若干變形或改進，這些均屬於本實用新型的保護範圍。因此，本實用新型的保護範圍應以所附權利要求為準。
權利要求1.一種蝕刻機，其特徵在於其包括控制系統以及與控制系統電連接的並且依次設置的進板機構(I)、顯影機構(2 )、蝕刻機構(3 )、退膜機構(4)、脫水烘乾機構(5 )和出板機構(6)，所述進板機構(I)、所述顯影機構(2)、所述蝕刻機構(3)、所述退膜機構(4)、所述脫水烘乾機構(5)和所述出板機構(6)分別通過獨立設置的傳動裝置(7)連接，所述顯影機構(2 )、所述蝕刻機構(3 )和所述退膜機構(4 )分別連接有分段式排氣裝置(8 )、過濾裝置以及泵裝置。
2.根據權利要求I所述的一種蝕刻機，其特徵在於所述顯影機構(2)包括依次設置的顯影室(20 )和第一清洗室(21)，所述顯影室(20 )內設置有儲存顯影液體的顯影槽(200 )和搖擺架噴淋裝置(201);所述第一清洗室(21)內設置有第一清洗槽(210)和複數個位於傳動裝置(7)上下方的清洗噴嘴。
3.根據權利要求I所述的一種蝕刻機，其特徵在於所述蝕刻機構(3)包括依次設置的蝕刻室(30)、補償室(31)和第二清洗室(32)，所述蝕刻室(30)與所述補償室(31)通過液體管道連接，所述蝕刻室(30)設置有儲存蝕刻液體的蝕刻槽(300)和搖擺架噴淋裝置(201);所述補償室(31)設置有補償裝置(310)，補償裝置(310)由複數根上噴管(3100)和複數根下噴管(3101)構成，上噴管(3100)和下噴管(3101)分別通過氣閥(3102)與進水管(3103)連接，上噴管(3100)和下噴管(3101)分別設置有複數個補償噴嘴，相鄰的上噴管(3100)之間的噴嘴交錯排布，複數根所述上噴管(3100)的噴嘴形成三角型排布，氣閥(3102)與進水管(3103)之間連接有壓力表(3104);所述第二清洗室(32)設置有第二清洗槽(320)和複數個位於傳動裝置(7)上下方的清洗噴嘴。
4.根據權利要求2或3所述的一種蝕刻機，其特徵在於所述搖擺架噴淋裝置(201)由搖擺架(202)和壓力控制裝置(203)構成，搖擺架(202)通過上接軟管(204)和下接軟管(205)與壓力控制裝置(203)相連接，所述搖擺架(202)包括上噴架(2020)和下噴架(2021),所述上噴架(2020)和所述下噴架(2021)通過搖臂(2022)連接，上噴架(2020)的板面和下噴架(2021)的板面上分別設置有複數個出水口(2023)，所述出水口(2023)是均勻分布的，出水口(2023)上設置有噴嘴，上噴架(2020)固定連接有拉臂(2024)，拉臂(2024)設置有偏心塊(2025)，偏心塊(2025)與馬達連接軸(2026)連接，搖臂(2022)中間設置有固定銷(2027 );所述壓力控制裝置(203 )包括壓力表(2030 )和球閥(2031)。
5.根據權利要求I所述的一種蝕刻機，其特徵在於所述退膜機構(4)包括依次設置的退膜室(40)和第三清洗室(41)，所述退膜室(40)設置有儲存退膜液體的退膜槽(400)和噴灑裝置(401)，所述噴灑裝置(401)設置有噴管(4010)和噴嘴(4011)，噴嘴(4011)由噴嘴座(4012)、噴頭(4013)和噴嘴蓋(4014)組成，噴頭(4013)設置於噴嘴座(4012)內，噴嘴蓋(4014)連接於噴嘴座(4012)，噴嘴座(4012)通過前夾扣(4015)和後夾扣(4016)固定在噴管(4010)沿長度方向設置的出水孔(4017)上，前夾扣(4015)和後夾扣(4016)通過螺栓連接；所述第三清洗室(41)內設置有第三清洗槽(410)和複數個位於傳動裝置(7)上下方的清洗噴嘴。
6.根據權利要求I所述的一種蝕刻機，其特徵在於所述脫水烘乾機構(5)包括依次設置的冷風吹乾裝置(50)和熱風烘乾裝置(51)，所述熱風烘乾裝置(51)設置有鼓風機(510)、熱風分支器(511)和熱風管(512),鼓風機(510)和熱風分支器(511)位於傳送裝置(7)的下方，所述傳送裝置(7)的上下兩側分別設置有風刀裝置(513)。
7.根據權利要求I所述的一種蝕刻機，其特徵在於所述傳動裝置(7)包括安裝架(70)，在安裝架(70)上設置有複數條上傳送軸(71)和複數條下傳送軸(72)，上傳送軸(71)位於下傳送軸(72 )正上方，上傳送軸(71)上設置有複數個上傳送輪(73 )，下傳送軸(72 )上設置有複數個與上傳送輪(73)相對應的下傳送輪(74)，上傳送軸(71)和下傳送軸(72)通過上傳送齒輪(75 )和下傳送齒輪(76 )嚙合連接，安裝架(70 ) 一側的第一傳送主軸(77 )上設置有主傳送齒輪(78),下傳送齒輪(76)與主傳送齒輪(78)哨合,第一傳送主軸(77)與電機相連結，所述安裝架(70 )另一側還設置有第二傳送主軸(79 )，第二傳送主軸(79 )設置有主傳送齒輪(78)，主傳送齒輪(78)與下傳送軸(72)另一側的下傳送齒輪(76)嚙合。
8.根據權利要求I所述的一種蝕刻機，其特徵在於所述排氣裝置(8)包括排氣管(80)、排氣管調節裝置(81)、支撐架(82)和至少一個冷凝回收裝置(83)，所述排氣管調節裝置(81)設置有連接管(810)，連接管(810)上設置有調節旋鈕(811)，調節旋鈕(811)穿過連接管(810)中部的通孔並且與設置在連接管(810)內部的調節擋板(812)連接，所述調節擋板(812)的另一端與設導向柱(813)連接；所述冷凝回收裝置(83)包括箱體(830)，箱體(830 )的底板設置有進氣管(831)和進水口( 832 )，箱體(830 )的頂板設置有排氣管(833 ) 和排水口(834)，設置於箱體(830)內的中間筒體(835)與進氣管(831)連接，箱體(830)設置有分流腔(836)和冷凝腔(837)，分流腔(836)和冷凝腔(837)通過進氣管(831)上的分流口(838)相連通，排氣管(833)與中間筒體(835)連接並伸入中間筒體(835)內，排氣管(833)與進氣管(831)不相通，排氣管(833)上設置有排氣孔(839)，冷凝腔(837)內設置有冷凝管(840 )，冷凝管(840 )的進水管(841)設置於進水口( 832 )，冷凝管(840 )的出水管(842 )設置於排水口( 834 )，箱體(830 )的底板上還設置有回流管(843 )。
9.根據權利要求I所述的一種蝕刻機，其特徵在於所述過濾裝置包括棉芯過濾器(91)、藍色過濾器(92)和位於退膜機構(4)的滾筒式過濾膜渣裝置(93)，所述滾筒式過濾膜渣裝置(93)設置有液體缸(930)、匯流入口(931)、滾筒過濾裝置(932)、噴管(933)、接渣盒(934)、排渣道(935)、二次過濾槽(936)和收集框(937)，噴管(933)位於滾筒過濾裝置(932)和接渣盒(934)的上方，接渣盒(934)和匯流入口(931)分別接於滾筒過濾裝置(932)內，接渣盒(934)設置於匯流入口(931)的上方，並且接渣盒(934)是傾斜設置的，接渣盒(934)的出口通過排渣道(935)與二次過濾槽(936)的入口相連通，收集框(937)安放於二次過濾槽(936)的出口下方。
10.根據權利要求9所述的一種蝕刻機，其特徵在於所述泵裝置包括立式泵(100)和高壓泵(101)，所述立式泵(100)分別與棉芯過濾器(91)、藍色過濾器(92)連接；所述高壓泵(101)與滾筒式過濾膜渣裝置(93 )連接。
專利摘要本實用新型公開了一種蝕刻機，其包括控制系統以及與控制系統電連接的並且依次設置的進板機構、顯影機構、蝕刻機構、退膜機構、脫水烘乾機構和出板機構，所述進板機構、所述顯影機構、所述蝕刻機構、所述退膜機構、所述脫水烘乾機構和所述出板機構通過獨立設置的傳動裝置連接，所述顯影機構、所述蝕刻機構和所述退膜機構分別連接有分段式排氣裝置、過濾裝置以及泵裝置。本實用新型能將顯影、蝕刻、退膜等工序有機地結合為一體，在一臺設備中自動完成整個生產製造過程，自動化程度高，同時設計合理，制板和過濾回收效果好，給相關行業帶來比巨大的益處。
文檔編號C23F1/08GK202430289SQ20112056397
公開日2012年9月12日 申請日期2011年12月30日 優先權日2011年12月30日
發明者梁啟光, 歐陽建英 申請人:特新電路材料(東莞)有限公司