一種濾光流量計的製作方法
2023-10-30 18:42:52
專利名稱：一種濾光流量計的製作方法
技術領域：
本發明涉及管道流量計，特別涉及一種濾光流量計。
背景技術：
在半導體製造過程中，很多工藝過程都需要用到水。為了控制水流的流量，通常 需要在水流管道上設置流量計來監測水流流量。現有技術的流量計如圖1所示，包括外殼 101、測量腔102、測量浮子103、浮子固定軸104和電磁傳感器105，所述測量腔102設置於 所述外殼101內，用於通過被測液體，所述測量腔102的一端設置有液體入口，另一端設置 有液體出口，所述外殼101的兩端也相應設置有與所述測量腔102上的液體入口和出口相 連通的液體出入口。所述浮子固定軸104安裝於所述測量腔102內，所述測量浮子103安 裝於所述浮子固定軸104上並可沿所述浮子固定軸104自由滑動。所述電磁傳感器105安 裝於所述測量腔102外的外殼101內壁上，所述外殼101上沿所述測量腔102的長度方向 具有一中空開口 106，所述電磁傳感器105通過旋轉螺絲107固定於所述開口 106上，鬆動 所述旋轉螺絲107後，所述電磁傳感器105可沿所述開口 106移動。所述測量腔壁上標有 表明液體流量的刻度，所述電磁傳感器105上也標有對準刻度，用於對準所述測量腔壁上 的刻度。使用時，水流進入所述測量腔102內，水流衝擊所述測量浮子103沿所述浮子固定 軸104移動，所述測量浮子103的頂端所對齊的所述測量腔壁上的刻度表明了水流的實時 流量。所述電磁傳感器105用於設定水流流量的最低值，將所述電磁傳感器105移動固定 至所述測量腔壁刻度上表明該最低流量的刻度位置，並使所述電磁傳感器105上的對準刻 度與該刻度對齊。當水流的流量減少，所述測量浮子103到達所述電磁傳感器105的位置 時，所述電磁傳感器105感測到所述測量浮子103，進而發生報警。為保證從外部可清晰的 看見所述測量腔壁和所述電磁傳感器105上的刻度，現有技術中，所述測量腔102、電磁傳 感器105和所述外殼101上用於觀察所述測量腔102和所述電磁傳感器105的面均採用透 明的亞克力材質製作。在半導體的某些工藝過程中需要離子水、超純水等非常純淨的水對晶片進行清 洗，但在有些工藝過程中只需要普通的水源就可以了。但普通水源中有時會含有綠藻等浮 遊物，當普通水源通過上述流量計的測量腔102時，光照會通過流量計上透明亞克力部分 照射到所述測量腔102內的水流上，引起水流中的綠藻等浮遊物發生光合反應生成有機 物。當流量計使用時間較長時，測量腔102內的有機物會累積地越來越多，最終會影響到測 量浮子103的自由移動，嚴重的會堵塞測量腔102的液體入口和出口，使流量計的測量結果 失真，造成需通入水流的機臺停機。
發明內容
本發明要解決的技術問題是提供一種濾光流量計，以解決現有技術的流量計測量 腔內受到光照後會引起通過測量腔的水流中的浮遊物發生光合反應生成有機物，生成的有 機物使流量計的流量測量結果失真的問題。
為解決上述技術問題，本發明提供一種濾光流量計，包括外殼、測量腔、測量浮 子、浮子固定軸和電磁傳感器；所述測量腔設置於所述外殼內，用於通過被測液體，所述測 量腔的一端設置有液體入口，另一端設置有液體出口，所述外殼的兩端也相應設置有與所 述測量腔上的液體入口和出口相連通的液體入口和出口 ；所述浮子固定軸安裝於所述測量 腔內、所述測量腔液體入口和出口之間，所述測量浮子安裝於所述浮子固定軸上並可沿所 述浮子固定軸自由滑動；所述電磁傳感器安裝於所述測量腔外的外殼內壁上，可沿所述測 量腔的長度方向移動並固定於一個特定位置；所述測量腔壁上標有表明液體流量的刻度， 所述電磁傳感器上也標有對準刻度，用於對準所述測量腔壁上的刻度，所述測量腔、電磁傳 感器和所述外殼上用於觀察所述測量腔和所述電磁傳感器的面均採用透明的亞克力材料， 在所述外殼上具有透明亞克力材料的部分上還固定有與透明亞克力材料等面積的黃色濾 光片。可選的，所述外殼上，沿所述測量腔的長度方向具有一中空開口，所述電磁傳感器 通過旋轉螺絲固定於所述開口上，鬆動所述旋轉螺絲後，所述電磁傳感器可沿所述開口移 動。可選的，所述黃色濾光片使可見光中波長為470-600納米的黃光完全透過。可選的，所述測量腔的液體入口和出口上還固定有一浮子擋墊，所述浮子擋墊上 具有可使液體通過的孔洞，所述孔洞的直徑小於所述測量浮子的直徑。可選的，還在所述浮子擋墊上再設置一墊圈，以使所述測量腔更穩固的固定於所 述外殼內。可選的，在所述外殼液體入口或出口設置流量控制閥，通過所述流量控制閥調節 通入或流出所述測量腔的液體流量。採用本發明提供的濾光流量計可從根本上解決普通水源通過測量腔時會發生光 合反應生成有機物的問題，避免了流量計因測量腔內生成的有機物的堆積而產生測量結果 失真。同時由於所述黃色濾光片也是透明的，其固定於所述外殼上不會影響從流量計外部 觀察所述測量腔壁和所述電磁傳感器上的刻度。
圖1為現有技術的流量計的結構示意圖；圖2為本發明的流量計的結構示意圖；圖3為本發明的流量計測量腔內部結構分解圖。
具體實施例方式為使本發明的上述目的、特徵和優點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖對本發明 的具體實施方式
做詳細的說明。本發明所述的濾光流量計可利用多種替換方式實現，下面是通過較佳的實施例來 加以說明，當然本發明並不局限於該具體實施例，本領域內的普通技術人員所熟知的一般 的替換無疑涵蓋在本發明的保護範圍內。其次，本發明利用示意圖進行了詳細描述，在詳述本發明實施例時，為了便於說 明，示意圖不依一般比例局部放大，不應以此作為對本發明的限定。
請參看圖2，圖2為本發明的流量計的結構示意圖。如圖2所示，本發明的流量計 包括外殼201、測量腔202、測量浮子203、浮子固定軸204和電磁傳感器205。所述測量腔 202設置於所述外殼201內，用於通過被測液體，所述測量腔202的一端設置有液體入口，另 一端設置有液體出口，所述外殼201的兩端也相應設置有與所述測量腔202上的液體入口 和出口相連通的液體入口和出口。所述浮子固定軸204安裝於所述測量腔202內、所述測量 腔液體入口和出口之間，所述測量浮子203安裝於所述浮子固定軸204上並可沿所述浮子 固定軸204自由滑動。所述電磁傳感器205安裝於所述測量腔202外的外殼201內壁上， 所述外殼201上沿所述測量腔202的長度方向具有一中空開口 206，所述電磁傳感器205通 過旋轉螺絲207固定於所述開口 206上，鬆動所述旋轉螺絲207後，所述電磁傳感器205可 沿所述開口 206移動。所述測量腔壁上標有表明液體流量的刻度，所述電磁傳感器205上 也標有對準刻度，用於對準所述測量腔壁上的刻度。請參看圖3，圖3為本發明的流量計測量腔內部結構分解圖。如圖3所示，為保證 所述測量浮子203沿所述浮子固定軸204移動時不會從所述測量腔202的液體出入口中滑 出，所述測量腔202的液體出入口上還固定有一浮子擋墊208，所述浮子擋墊208上具有可 使液體通過的孔洞209，但所述孔洞209的直徑小於所述測量浮子203的直徑，從而使得所 述測量浮子203不會從所述測量腔202的液體出入口中滑出。更加優選的，還可在所述浮 子擋墊208上再設置一墊圈210，以使所述測量腔202更穩固的固定於所述外殼201內。使用時，水流進入所述測量腔202內，水流衝擊所述測量浮子203沿所述浮子固定 軸204移動，所述測量浮子203的頂端所對齊的所述測量腔壁上的刻度表明了水流的實時 流量。所述電磁傳感器205用於設定水流流量的最低值，將所述電磁傳感器205移動固定 至所述測量腔壁刻度上表明該最低流量的刻度位置，並使所述電磁傳感器205上的對準刻 度與該刻度對齊。當水流的流量減少，所述測量浮子203到達所述電磁傳感器205的位置 時，所述電磁傳感器205感測到所述測量浮子203，進而發生報警。請參看圖2，還可進一步在所述外殼201液體入口或出口設置流量控制閥211，通 過所述流量控制閥211調節通入所述測量腔202的水流流量。為保證從外部可清晰的看見所述測量腔壁和所述電磁傳感器205上的刻度，所述 測量腔202、電磁傳感器205和所述外殼201上用於觀察所述測量腔202和所述電磁傳感器 205的面均採用透明的亞克力材料製作。為解決背景技術中提到的普通水源通過所述測量腔202時，光照會通過流量計上 透明亞克力部分照射到所述測量腔202內的水流上，引起普通水源中存在的綠藻等浮遊物 發生光合反應生成有機物的問題，本發明的流量計還在所述外殼201上具有透明亞克力材 料的部分上還固定有與透明亞克力材料等面積的黃色濾光片(圖中未示)。所述黃色濾光 片可固定於所述外殼201內壁或外壁均可。可見光由紅、橙、黃、綠、青、藍、紫七色光組成， 其波長依次減小，頻率依次增加。通常促使植物中的葉綠體發生光合反應的光是可見光中 的紅橙光(波長為600-760納米)和藍紫光(波長為390-470納米)。可見光照射所述黃色 濾光片時，波長為470-600納米的黃光會完全透過，與黃光波長相鄰的橙光和綠光會少量 透過，而紅光和藍紫光就幾乎不能透過了。這樣，當可見光照射本發明流量計的測量腔202 時，由於可引起光合作用的光被過濾掉了，因此，可從根本上解決普通水源通過測量腔202 時會發生光合反應生成有機物的問題。同時由於所述黃色濾光片也是透明的，其固定於所述外殼201上不會影響從流量計外部觀察所述測量腔壁和所述電磁傳感器205上的刻度。
顯然，本領域的技術人員可以對本發明進行各種改動和變型而不脫離本發明的精 神和範圍。這樣，倘若本發明的這些修改和變型屬於本發明權利要求及其等同技術的範圍 之內，則本發明也意圖包含這些改動和變型在內。
權利要求
1.一種濾光流量計，包括外殼、測量腔、測量浮子、浮子固定軸和電磁傳感器；所述測 量腔設置於所述外殼內，用於通過被測液體，所述測量腔的一端設置有液體入口，另一端設 置有液體出口，所述外殼的兩端也相應設置有與所述測量腔上的液體入口和出口相連通的 液體入口和出口 ；所述浮子固定軸安裝於所述測量腔內、所述測量腔液體入口和出口之間， 所述測量浮子安裝於所述浮子固定軸上並可沿所述浮子固定軸自由滑動；所述電磁傳感器 安裝於所述測量腔外的外殼內壁上，可沿所述測量腔的長度方向移動並固定於一個特定位 置；所述測量腔壁上標有表明液體流量的刻度，所述電磁傳感器上也標有對準刻度，用於對 準所述測量腔壁上的刻度，所述測量腔、電磁傳感器和所述外殼上用於觀察所述測量腔和 所述電磁傳感器的面均採用透明的亞克力材料，其特徵在於，在所述外殼上具有透明亞克 力材料的部分上還固定有與透明亞克力材料等面積的黃色濾光片。
2.如權利要求1所述的濾光流量計，其特徵在於，所述外殼上，沿所述測量腔的長度方 向具有一中空開口，所述電磁傳感器通過旋轉螺絲固定於所述開口上，鬆動所述旋轉螺絲 後，所述電磁傳感器可沿所述開口移動。
3.如權利要求1所述的濾光流量計，其特徵在於，所述測量腔的液體入口和出口上還 固定有一浮子擋墊，所述浮子擋墊上具有可使液體通過的孔洞，所述孔洞的直徑小於所述 測量浮子的直徑。
4.如權利要求3所述的濾光流量計，其特徵在於，還在所述浮子擋墊上再設置一墊圈， 以使所述測量腔更穩固的固定於所述外殼內。
5.如權利要求1所述的濾光流量計，其特徵在於，在所述外殼液體入口或出口設置流 量控制閥，通過所述流量控制閥調節通入或流出所述測量腔的液體流量。
6.如權利要求1至5任一權利要求所述的濾光流量計，其特徵在於，所述黃色濾光片使 可見光中波長為470-600納米的黃光完全透過。
全文摘要
本發明提供一種濾光流量計，包括外殼、測量腔、測量浮子、浮子固定軸和電磁傳感器，在所述外殼上具有透明亞克力材料的部分上還固定有與透明亞克力材料等面積的黃色濾光片。本發明提供的濾光流量計可從根本上解決普通水源通過測量腔時會發生光合反應生成有機物的問題，避免了流量計因測量腔內生成的有機物的堆積而產生測量結果失真。同時由於所述黃色濾光片也是透明的，其固定於所述外殼上不會影響從流量計外部觀察所述測量腔壁和所述電磁傳感器上的刻度。
文檔編號G01F1/52GK102141419SQ201010102410
公開日2011年8月3日 申請日期2010年1月28日 優先權日2010年1月28日
發明者俞小豐, 徐皓, 沈建飛, 陳騰宏 申請人:中芯國際集成電路製造(上海)有限公司