一種用於將晶圓安全傳送至foup的傳送裝置及方法
2023-10-30 05:51:52 3
一種用於將晶圓安全傳送至foup的傳送裝置及方法
【專利摘要】本發明涉及一種用於將晶圓安全傳送至FOUP的傳送裝置，包括軌道箱和滑動臂；所述軌道箱內部兩側壁上由上至下依次設置有若干個對稱的軌道對，所述每個軌道對的豎直位置對應FOUP中的一個槽位；所述滑動臂包括底座和支架，所述底座為一矩形板狀結構，其兩側各設有一個卡槽，用於將滑動臂卡於軌道箱的軌道對上；所述支架包括一連接板和一圓形託盤，所述連接板的一端水平固定在所述底座的中部，另一端連接所述圓形託盤；所述連接板與底座連接處設有用於調節連接板豎直高度的調節按鈕；本發明結構簡單，操作方便，定位準確，為手動傳送晶圓至FOUP中提供定位和支撐，使晶圓傳送過程可控、平滑，避免摩擦而產生缺陷。
【專利說明】—種用於將晶圓安全傳送至FOUP的傳送裝置及方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及半導體領域，尤其涉及一種用於將晶圓安全傳送至FOUP的傳送裝置及方法。
【背景技術】
[0002]在全自動的半導體晶片生產中，晶圓在機臺和FOUP中的相互傳送基本上都是由機械手臂自動完成的。但因機臺故障等原因，有時工程師不得不手動將晶圓放置進F0UP。目前，在12英寸製程中，還沒有合適的工具能幫助工程師安全、方便的執行該動作。因為沒有合適的工具，手動將晶圓放置進FOUP存在著很聞的風險。因為難以定位，晶圓很容易在FOUP中斜跨在不同的槽位中，在後續傳送過程中有可能發生碰撞造成破片，或是被放置到錯誤的位置，影響後續製程。另外，因為缺少支撐，在放置過程中晶圓很容易和FOUP中其它晶圓或FOUP本身發生摩擦而造成刮傷、塵埃等缺陷。
【發明內容】
[0003]本發明所要解決的技術問題是針對現有技術的不足，提供一種用於將晶圓安全傳送至FOUP的傳送裝置及方法，可將晶圓安全傳送至FOUP中的準確位置。
[0004]本發明解決上述技術問題的技術方案如下:一種用於將晶圓安全傳送至FOUP的傳送裝置，包括軌道箱和滑動臂；
[0005]所述軌道箱包括前後兩端開口的箱體，所述軌道箱內部兩側壁上由上至下依次設置有若干個沿軌道箱水平長邊方向且對稱的軌道對，所述每個軌道對的豎直位置對應FOUP中的一個槽位；
[0006]所述滑動臂包括底座和支架，所述底座為一矩形板狀結構，其兩側各設有一個卡槽，用於將滑動臂卡於軌道箱的軌道對上；所述支架包括一連接板和一圓形託盤，所述連接板的一端水平固定在所述底座的中部，另一端連接所述圓形託盤；所述連接板與底座連接處設有用於調節連接板豎直高度的調節按鈕。
[0007]本發明的有益效果是:本發明所述傳送裝置結構簡單，操作方便，定位準確，為手動傳送晶圓至FOUP中提供定位和支撐，穩固的支撐使晶圓傳送過程更可控、更平滑，避免摩擦而產生缺陷，傳送過程安全、傳送晶圓位置精確；簡明的參照標記使晶圓定位更方便、更準確，避免斜跨和誤操作。
[0008]在上述技術方案的基礎上，本發明還可以做如下改進。
[0009]進一步，所述軌道箱前後兩個開口端分別為第一開口端和第二開口端，所述第一開口端上下邊沿上各設有兩個彈簧卡扣，用於與FOUP扣合在一起。
[0010]採用上述進一步方案的有益效果:所述彈簧卡扣將本發明所述傳送裝置與FOUP緊密扣合，便於順利將晶圓傳送至FOUP中。
[0011]進一步，在第二開口端的一側邊沿上設有軌道位置刻度標。
[0012]採用上述進一步方案的有益效果:簡明的參照標記使晶圓定位更方便、更準確，避免斜跨和誤操作。
[0013]進一步，所述連接板上表面設有兩個晶圓限位器，所述晶圓限位器為一段弧形擋板，用於限定待傳送的晶圓在所述圓形託盤上的位置。
[0014]採用上述進一步方案的有益效果:可以有效限定晶圓在所述圓形託盤上的位置，避免傳送過程中晶圓發生滑動而偏離預定位置。
[0015]進一步，所述連接板通過彈簧和支撐柱與所述底座銜接。
[0016]採用上述進一步方案的有益效果:所述連接板通過彈簧和支撐柱與所述底座銜接，並形成調節按鈕，便於調節連接板和圓形託盤的豎直高度。
[0017]進一步,所述調節按鈕按下前，圓形託盤高出所述FOUP內相應槽位3mm;調節按鈕按下後，圓形託盤低於FOUP內相應槽位3_。
[0018]採用上述進一步方案的有益效果:便於將晶圓精準的放置於FOUP中的相應槽位內。
[0019]進一步，所述滑動臂滑動至軌道對末端時，所述圓形託盤恰好處於FOUP中相應槽位的正上方。
[0020]本發明解決上述技術問題的另一技術方案如下:一種將晶圓安全傳送至FOUP的方法，包括如下步驟:
[0021 ] 步驟1:將軌道箱和FOUP放置在平穩的表面上；
[0022]步驟2:打開FOUP的蓋子，並通過軌道箱的彈簧卡扣將軌道箱固定在FOUP上；
[0023]步驟3:將晶圓放置在滑動臂的圓形託盤上，並通過限位器確定其位置；
[0024]步驟4:通過滑動臂兩側的卡槽將滑動臂卡於軌道箱內對應的軌道對上；
[0025]步驟5:將滑動臂沿軌道對推向F0UP，當滑動臂滑至軌道對末端時，圓形託盤恰好處於FOUP中相應槽位的正上方；
[0026]步驟6:按下調節按鈕，連接板及圓形託盤豎直高度降至所述FOUP中相應槽位的正下方，晶圓落在目標槽位中；
[0027]步驟7:保持按下調節按鈕的同時拖回滑動臂；
[0028]步驟8:按下軌道箱上彈簧卡扣，將軌道箱從所述FOUP上卸下，並蓋上FOUP的蓋子。
[0029]本發明的有益效果是:本發明所述傳送方法操作簡便，傳送過程安全、傳送晶圓位置精確，可將晶圓安全、準確地傳送至FOUP中的相應槽位上。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0030]圖1為本發明所述一種用於將晶圓安全傳送至FOUP的傳送裝置俯視圖；
[0031]圖2為本發明所述一種用於將晶圓安全傳送至FOUP的傳送裝置主視圖；
[0032]圖3為本發明所述滑動臂俯視圖；
[0033]圖4為本發明所述滑動臂主視圖；
[0034]圖5a-圖5d為本發明所述將晶圓傳送至FOUP的過程示意圖；
[0035]圖6為本發明所述一種將晶圓安全傳送至FOUP的傳送方法流程圖。
[0036]附圖中，各標號所代表的部件列表如下:
[0037]1-1、箱體，1-2、軌道對，1-3、彈簧卡扣，2-1、底座，2-2、連接板，2-3、圓形託盤， 2-4、調節按鈕，2-1 -1、卡槽，2-2-1、晶圓限位器，IO、FOUP，11、軌道箱，12、晶圓。
【具體實施方式】
[0038]以下結合附圖對本發明的原理和特徵進行描述，所舉實例只用於解釋本發明，並非用於限定本發明的範圍。
[0039]如圖1、2、3和4所示，一種用於將晶圓安全傳送至FOUP的傳送裝置，包括軌道箱和滑動臂；
[0040]所述軌道箱包括前後兩端開口的箱體1-1，所述箱體1-1內部兩側壁上由上至下依次設置有若干個沿箱體水平長邊方向且對稱的軌道對1-2，本實施例中軌道對為25對，所述每個軌道對1-2的豎直位置對應FOUP中的一個槽位；
[0041]所述滑動臂包括底座2-1和支架，所述底座2-1為一矩形板狀結構，其兩側各設有一個卡槽2-1-1，用於將滑動臂卡於軌道箱I的軌道對1-2上；所述支架包括一連接板2-2和一圓形託盤2-3，所述連接板2-2的一端水平固定在所述底座2-1的中部，另一端連接所述圓形託盤2-3 ;所述連接板2-2與底座2-1連接處設有用於調節連接板2-2豎直高度的調節按鈕2-4。
[0042]其中，所述軌道箱I前後兩個開口端分別為第一開口端和第二開口端，所述第一開口端上下邊沿上各設有兩個彈簧卡扣1-3，用於與FOUP扣合在一起。
[0043]其中，在第二開口端的一側邊沿上設有軌道位置刻度標。
[0044]其中，所述連接板2-2上表面設有兩個晶圓限位器2-2-1，所述晶圓限位器2_2_1為一段弧形擋板，用於限定待傳送的晶圓在所述圓形託盤2-3上的位置。
[0045]其中，所述連接板2-2通過彈簧和支撐柱與所述底座2-1銜接。
[0046]其中，所述調節按鈕按2-4下前，圓形託盤2-3高出所述FOUP內相應槽位3mm;調節按鈕按2-4下後，圓形託盤2-3低於FOUP內相應槽位3mm。
[0047]其中，所述滑動臂滑動至軌道對1-2末端時，所述圓形託盤2-3恰好處於FOUP中相應槽位的正上方。
[0048]如圖5a_5b及圖6所示，一種將晶圓安全傳送至FOUP的方法，包括如下步驟:
[0049]步驟1:將軌道箱11和F0UP10放置在平穩的表面上；
[0050]步驟2:打開F0UP10的蓋子，並通過軌道箱11的彈簧卡扣將軌道箱11固定在F0UP10 上；
[0051]步驟3:將晶圓12放置在滑動臂的圓形託盤上，並通過限位器確定其位置；
[0052]步驟4:通過滑動臂兩側的卡槽將滑動臂卡於軌道箱11內對應的軌道對上；
[0053]步驟5:將滑動臂沿軌道對推向F0UP10，當滑動臂滑至軌道對末端時，圓形託盤恰好處於F0UP10中相應槽位的正上方；
[0054]步驟6:按下調節按鈕，連接板及圓形託盤豎直高度降至所述F0UP10中相應槽位的正下方，晶圓落12在目標槽位中；
[0055]步驟7:保持按下調節按鈕的同時拖回滑動臂；
[0056]步驟8:按下軌道箱11上彈簧卡扣，將軌道箱11從所述FOUP上卸下，並蓋上F0UP10的蓋子。
[0057]本發明設計了一種將晶圓安全傳送至FOUP中傳送裝置及方法，為手動傳送晶圓至FOUP中提供定位和支撐，傳送過程安全、傳送位置精確、操作簡單，使用方便，可有效避免誤操作和產生晶圓缺陷。
[0058]以上所述僅為本發明的較佳實施例，並不用以限制本發明，凡在本發明的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發明的保護範圍之內。
【權利要求】
1.一種用於將晶圓安全傳送至FOUP的傳送裝置，其特徵在於，包括軌道箱和滑動臂； 所述軌道箱包括前後兩端開口的箱體，所述軌道箱內部兩側壁上由上至下依次設置有若干個沿軌道箱水平長邊方向且對稱的軌道對，所述每個軌道對的豎直位置對應FOUP中的一個槽位； 所述滑動臂包括底座和支架，所述底座為一矩形板狀結構，其兩側各設有一個卡槽，用於將滑動臂卡於軌道箱的軌道對上；所述支架包括一連接板和一圓形託盤，所述連接板的一端水平固定在所述底座的中部，另一端連接所述圓形託盤；所述連接板與底座連接處設有用於調節連接板豎直高度的調節按鈕。
2.根據權利要求1所述一種用於將晶圓安全傳送至FOUP的傳送裝置，其特徵在於，所述軌道箱前後兩個開口端分別為第一開口端和第二開口端，所述第一開口端上下邊沿上各設有兩個彈簧卡扣，用於與FOUP扣合在一起。
3.根據權利要求2所述一種用於將晶圓安全傳送至FOUP的傳送裝置，其特徵在於，在第二開口端的一側邊沿上設有軌道位置刻度標。
4.根據權利要求1所述一種用於將晶圓安全傳送至FOUP的傳送裝置，其特徵在於，所述連接板上表面設有兩個晶圓限位器，所述晶圓限位器為一段弧形擋板，用於限定待傳送的晶圓在所述圓形託盤上的位置。
5.根據權利要求1所述一種用於將晶圓安全傳送至FOUP的傳送裝置，其特徵在於，所述連接板通過彈簧和支撐柱與所述底座銜接。
6.根據權利要求1所述一種用於將晶圓安全傳送至FOUP的傳送裝置，其特徵在於，所述調節按鈕按下前，圓形託盤高出所述FOUP內相應槽位3mm;調節按鈕按下後，圓形託盤低於FOUP內相應槽位3mm。
7.根據權利要求1所述一種用於將晶圓安全傳送至FOUP的傳送裝置，其特徵在於，所述滑動臂滑動至軌道對末端時，所述圓形託盤恰好處於FOUP中相應槽位的正上方。
8.一種利用權利要求1-7中任一項所述將晶圓安全傳送至FOUP的傳送裝置將晶圓傳送至FOUP的方法，其特徵在於，包括如下步驟: 步驟1:將軌道箱和FOUP放置在平穩的表面上； 步驟2:打開FOUP的蓋子，並通過軌道箱的彈簧卡扣將軌道箱固定在FOUP上； 步驟3:將晶圓放置在滑動臂的圓形託盤上，並通過限位器確定其位置； 步驟4:通過滑動臂兩側的卡槽將滑動臂卡於軌道箱內對應的軌道對上； 步驟5:將滑動臂沿軌道對推向F0UP，當滑動臂滑至軌道對末端時，圓形託盤恰好處於FOUP中相應槽位的正上方； 步驟6:按下調節按鈕，連接板及圓形託盤豎直高度降至所述FOUP中相應槽位的正下方，晶圓落在目標槽位中； 步驟7:保持按下調節按鈕的同時拖回滑動臂； 步驟8:按下軌道箱上彈簧卡扣，將軌道箱從所述FOUP上卸下，並蓋上FOUP的蓋子。
【文檔編號】H01L21/677GK103560103SQ201310525318
【公開日】2014年2月5日 申請日期:2013年10月30日 優先權日:2013年10月30日
【發明者】詹雲 申請人:武漢新芯集成電路製造有限公司