一種用於旋塗設備的液位報警系統的製作方法
2023-09-23 21:44:05
專利名稱：一種用於旋塗設備的液位報警系統的製作方法
技術領域：
本發明涉及半導體器件生產領域，尤其涉及一種用於旋塗設備的液位報警系統。
背景技術：
在半導體製造領域,SOG (Spin on Glass)是一種由溶劑與介電質混合而成的液態介電質。因為含有SiO2或接近SiO2結構的材料，再加上本身是以旋塗的方式來塗布在晶片的表面，因此稱這種液態介質為「旋塗玻璃」。SOG是一種相當簡易的平坦化技術，因為介電層材料是以溶劑的形態覆蓋在矽片表面，因此SOG對高低起伏外觀的「溝填能力」非常好，可以避免純粹以CVD法製作介質層時所面臨的孔洞問題。如圖1所示，為現有技術用於旋塗玻璃的旋塗裝置的結構圖，包括源瓶14、出液管道12、以及設置於出液管道12上的氣泡傳感器13，氣泡傳感器13設置在源瓶14外側的上端，安裝在八分之一英寸的出液管道12的上方，並且使得出液管道12穿過氣泡傳感器13，氣泡傳感器13便可以檢測到源瓶14中是否還有液體。當源瓶14中液位低於出液管道12的下端埠時，氣泡進入到出液管道12中，出液管道12中有氣泡產生，氣泡傳感器13在檢測到存在氣泡時出現報警，於是停止矽片工藝。現有技術的缺點是當出現報警時，出液管道中已經有氣泡，極易造成當前矽片塗花；另外，當瞬間出現氣泡時，氣泡傳感器不易感應到，以至不能及時報警；當報警後，後續的矽片將需要手動取出，更換液源後才可以繼續工藝，處理起來會非常繁瑣，並易造成矽片的人為劃傷。
發明內容
本發明的目的在於提供用於旋塗設備的液位報警系統，解決了因為旋塗裝置的源瓶液位低於出液管道的下端埠時，不能及時報警或報警時已經產生氣泡而導致矽片塗花的問題，且在需要換液時會減少人為因素導致的異常，同時也提高了生產效率。本發明還提供一種用於旋塗設備的液位報警系統，包括源瓶以及出液管道，還包括液位傳感器、開關電路和主機；所述液位傳感器，設置在所述源瓶外能有效檢測源瓶內液位的感應距離內；且所述液位傳感器的設置高度與所述源瓶內液面的報警高度相匹配；當所述液位傳感器檢測到所述源瓶內液面的高度低於所述報警高度時，輸出信號給所述開關電路；所述開關電路，連接所述液位傳感器和所述主機之間，將所述液位傳感器的輸出信號關傳送給所述主機；所述主機，用於接收所述開關電路傳送的信號，觸發報警。本發明相比現有技術的優點本發明提供的用於旋塗設備的液位報警系統，在發出報警後，出液管道中實際上還有旋塗玻璃SOG液體，不會對當前矽片有影響；並且在安裝時將液位傳感器的設置高度與液位的報警高度相匹配，當檢測到所述源瓶內液面的高度低於所述報警高度時，輸出信號給開關電路；再由開關電路將信號輸送給主機，進行報警，本發明在發出報警後，還可以工藝多片矽片，但出液管道中仍然不會有氣泡產生，這樣方便工程師處理故障，提高了設備利用率；本發明減少了手動取片可能導致的劃傷等問題，簡化了製備工藝，節約了設備和資材成本。
圖1為現有技術的SOG旋塗設備的結構示意圖；圖2為本發明系統實施例一的裝置結構示意圖；圖3為本發明系統實施例一的系統控制電路圖；圖4為本發明系統實施例二結構剖面圖。
具體實施例方式本發明的目的在於，提供一種用於旋塗設備的液位報警系統，解決了因為旋塗裝置的源瓶液位低於出液管道的下端埠時，不能及時報警或報警時已經產生氣泡而導致矽片塗花的問題，且在需要換液時會減少人為因素導致的異常，同時也提高了生產效率。本發明提供一種用於旋塗設備的液位報警系統，包括源瓶以及出液管道，還包括液位傳感器、開關電路和主機；所述液位傳感器設置在所述源瓶外能有效檢測源瓶內液位的感應距離內；且所述液位傳感器的設置高度與所述源瓶內液面的報警高度相匹配；當所述液位傳感器檢測到所述源瓶內的液面高度低於所述報警高度時，輸出信號給所述開關電路；所述開關電路連接所述液位傳感器和所述主機，將所述液位傳感器的輸出信號關傳送給所述主機；所述主機用於接收所述開關電路傳送的信號，觸發報警。優選的，所述液位傳感器設置於固定在所述源瓶外部的連接支架上，所述連接支架與所述源瓶之間的距離在所述感應距離內。較優的，所述源瓶上設有固定板，所述連接支架一端與所述固定板連接，另一端與所述液位傳感器相連接。更優的，所述固定板卡套於所述源瓶瓶壁外側。優選的，所述液位傳感器設置於固定在所述源瓶外的底座上。較優的，所述底座高度可調。優選的，所述液位傳感器的設置高度比所述出液管道的下端埠高5mm 8mm。較優的，所述液位傳感器為電容式接近開關傳感器或電感式接近開關傳感器。優選的，所述開關電路包括繼電器，所述繼電器的輸出端與所述主機連接，其輸入端與所述主機的公共端連接，兩個電源端的一端接24V直流電壓，一端接所述液位傳感器的輸出端。下面結合附圖及實施方式對本發明進一步進行描述，本發明提供一種用於旋塗設備的液位報警系統，包括電容式接近開關傳感器或電感式接近開關傳感器，並且通過將液位傳感器在其感應距離內設定合適的高度，用於監測源瓶內液面的高度。
如圖2所示，為本發明系統實施例一的結構示意圖，包括源瓶31及出液管道12，其中，出液管道12 —端伸入到源瓶31的底部位置，用於將源瓶31中的旋塗玻璃SOG液體排出，加工矽片使用。在源瓶31外側固定設置一個底座22，並且將其控制在液位傳感器感應距離範圍內，底座22的高度可調，即具有伸縮功能，在底座22的上面設有液位傳感器21，本實施例中的液位傳感器21為電容式接近開關傳感器，通過調節底座22的高度，使傳感器21的高度設定與達到液位報警的高度相匹配，具體將液位傳感器21的高度設置於高於出液管道12的下端埠 5_ 8mm,當源瓶內的液體低於液位傳感器21的設定高度時,液位傳感器21發出信號，並通過開關電路(參照圖3)觸發主機(參照圖3)報警。如圖3所示，為本發明系統實施例一的系統控制電路圖，液位傳感器I設置在源瓶31外能有效檢測源瓶31內液位的感應距離內；且液位傳感器I的設置高度與源瓶31內液面的報警高度相匹配；當液位傳感器I檢測到源瓶31內液面的高度低於所述報警高度時，輸出信號給所述開關電路；所述開關電路連接液位傳感器I和主機3，將液位傳感器I的輸出信號關傳送給主機3。其中，所述開關電路包括繼電器2，液位傳感器I有一電源端接地6，另一電源端接24V直流電壓5，繼電器2有四個引腳，分別為兩個電源埠及一個輸出端、一個輸入端，兩個電源端的一端接24V直流電壓5，另一端接液位傳感器I的輸出端；其輸出端與主機3連接，輸入端接主機公共端4。當液位傳感器I檢測到源瓶31內的液面高度低於液位傳感器I的設定高度時，電路的穩定性改變，由高電平轉為低電平，使繼電器2的電源端通電，繼電器2吸合，主機3與公共端4導通，公共端為低電平，觸發主機3報警信號。如圖4所示，為本發明系統的實施例二的結構剖面圖，包括源瓶31，將源瓶31設置於平臺36上，其中平臺36設置於底板32上，源瓶壁的外側設有固定板35，連接支架34的上部與固定板35連接，連接支架34的下端與液位傳感器33連接，在液位傳感器33與源瓶31之間設有隔墊物，防止液位傳感器33與源瓶31接觸，連接支架34起固定液位傳感器33的作用，使液位傳感器33的高度高於出液管道下端埠 5_ 8_，當源瓶31內的液體低於液位傳感器33的設定高度時，液位傳感器33發出信號，並通過開關電路觸發主機報警。綜上所述，本發明提供用於旋塗設備的液位報警系統，在發出報警時，出液管道中實際上還有旋塗玻璃SOG液體，也就是出液管道的下端埠並未離開液面，從而不會產生氣泡，也就不會使當前矽片被塗花；並且可以調節對應報警時液位高度的液位傳感器的高度，即使出現報警後，也可以繼續旋塗多片矽片後，而出液管道中仍然不會有氣泡；另外，本發明方便工程師處理故障，提高了設備利用率，減少了手動取片可能導致的矽片劃傷等問題，在提高製備精度的同時，簡化了製備工藝，節約了設備和資材成本。本發明是參照根據本發明實施例的方法、設備(系統)、和電腦程式產品的流程圖和/或方框圖來描述的。應理解可由電腦程式指令實現流程圖和/或方框圖中的每一流程和/或方框、以及流程圖和/或方框圖中的流程和/或方框的結合。可提供這些電腦程式指令到通用計算機、專用計算機、嵌入式處理機或其他可編程數據處理設備的處理器以產生一個機器，使得通過計算機或其他可編程數據處理設備的處理器執行的指令產生用於實現在流程圖一個流程或多個流程和/或方框圖一個方框或多個方框中指定的功能的裝置。這些電腦程式指令也可存儲在能引導計算機或其他可編程數據處理設備以特定方式工作的計算機可讀存儲器中，使得存儲在該計算機可讀存儲器中的指令產生包括指令裝置的製造品，該指令裝置實現在流程圖一個流程或多個流程和/或方框圖一個方框或多個方框中指定的功能。這些電腦程式指令也可裝載到計算機或其他可編程數據處理設備上，使得在計算機或其他可編程設備上執行一系列操作步驟以產生計算機實現的處理，從而在計算機或其他可編程設備上執行的指令提供用於實現在流程圖一個流程或多個流程和/或方框圖一個方框或多個方框中指定的功能的步驟。儘管已描述了本發明的優選實施例，但本領域內的技術人員一旦得知了基本創造性概念，則可對這些實施例作出另外的變更和修改。所以，所附權利要求意欲解釋為包括優選實施例以及落入本發明範圍的所有變更和修改。顯然，本領域的技術人員可以對本發明進行各種改動和變型而不脫離本發明的精神和範圍。這樣，倘若本發明的這些修改和變型屬於本發明權利要求及其等同技術的範圍之內，則本發明也意圖包含這些改動和變型在內。
權利要求
1.一種用於旋塗設備的液位報警系統，包括源瓶以及出液管道，其特徵在於，還包括液位傳感器、開關電路和主機； 所述液位傳感器，設置在所述源瓶外能有效檢測源瓶內液位的感應距離內；且所述液位傳感器的設置高度與所述源瓶內液面的報警高度相匹配；當所述液位傳感器檢測到所述源瓶內的液面高度低於所述報警高度時，輸出信號給所述開關電路； 所述開關電路，連接所述液位傳感器和所述主機，將所述液位傳感器的輸出信號傳送給所述主機； 所述主機用於接收所述開關電路傳送的信號，觸發報警。
2.如權利要求1所述的用於旋塗設備的液位報警系統，其特徵在於，所述液位傳感器設置於固定在所述源瓶外部的連接支架上，所述連接支架與所述源瓶之間的距離在所述感應距離內。
3.如權利要求2所述的用於旋塗設備的液位報警系統，其特徵在於，所述源瓶上設有固定板，所述連接支架一端與所述固定板連接，另一端與所述液位傳感器相連接。
4.如權利要求3所述的用於旋塗設備的液位報警系統，其特徵在於，所述固定板卡套於所述源瓶瓶壁外側。
5.如權利要求1所述的用於旋塗設備的液位報警系統，其特徵在於，所述液位傳感器設置於固定在所述源瓶外的底座上。
6.如權利要求5所述的用於旋塗設備的液位報警系統，其特徵在於，所述底座高度可調。
7.如權利要求2或5所述的用於旋塗設備的液位報警系統，其特徵在於，所述液位傳感器的設置高度比所述出液管道的下端埠高5mm 8mm。
8.如權利要求1所述的系統，其特徵在於，所述液位傳感器為電容式接近開關傳感器或電感式接近開關傳感器。
9.如權利要求1所述的用於旋塗設備的液位報警系統，其特徵在於，所述開關電路包括繼電器，所述繼電器的輸出端與所述主機連接，其輸入端與所述主機的公共端連接，兩個電源端的一端接24V直流電壓，一端接所述液位傳感器的輸出端。
全文摘要
本發明公開了一種用於旋塗設備的液位報警系統，包括源瓶以及出液管道，還包括液位傳感器、開關電路和主機；液位傳感器設置在所述源瓶外能有效檢測源瓶內液位的感應距離內；且液位傳感器的設置高度與源瓶內液面的報警高度相匹配；當液位傳感器檢測到源瓶內的液面高度低於報警高度時，輸出信號給開關電路；開關電路連接液位傳感器和主機，將液位傳感器的輸出信號傳送給所述主機；所述主機用於接收開關電路傳送的信號，觸發報警。本發明解決了因為旋塗裝置的源瓶液位低於出液管道的下端埠時，不能及時報警或報警時已經產生氣泡而導致矽片塗花的問題，且在需要換液時會減少人為因素導致的異常，同時也提高了生產效率。
文檔編號G01F23/22GK103041954SQ201110310338
公開日2013年4月17日 申請日期2011年10月13日 優先權日2011年10月13日
發明者彭亮, 周華強, 徐峰, 熊炳輝 申請人:北大方正集團有限公司, 深圳方正微電子有限公司