一種有蠟拋光的拋光墊專用刷子的製作方法

2023-09-24 04:47:30 2

一種有蠟拋光的拋光墊專用刷子的製作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種有蠟拋光的拋光墊專用刷子，包括圓盤狀的刷體，所述刷體的頂面帶有若干凸起或凹陷，所述刷體的底面分布有刷毛，所述刷毛呈環形分布，所述刷體的材質為聚氯乙烯，所述刷毛的材質為尼龍。本實用新型的有益效果是：由於採用上述技術方案，保持了拋光墊的潔淨，保持了拋光速率和拋光質量，也提高了拋光墊的使用壽命。由此可見，本方案的使用提高了產品的合格率和生產效率，同時減低了能耗，節約了成本，提高了效益。
【專利說明】一種有蠟拋光的拋光墊專用刷子
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種刷子，尤其是涉及一種有蠟拋光的拋光墊專用刷子。
【背景技術】
[0002]矽片進行有蠟拋光後，需用用刷子對拋光墊進行刷洗，以防止拋光液在拋光墊上長時間滯留而形成結晶，而結晶會對矽片產生損傷，降低拋光質量。另外，對拋光墊進行刷洗有助於其表面結構的回覆，延長了拋光墊的使用壽命，也保證了矽片拋光效果的一致性。現有的刷子是設備自帶的一小型刷子，每次拋光完成後會自動對拋光墊進行刷洗，但其不能徹底清除拋光墊表面空隙中殘餘的拋光液和細微的結晶，不利於拋光墊表面結構的回覆。另外，由於自帶刷子尺寸較小，刷洗過程中使得拋光墊受力不均，這會對拋光墊的表面狀態產生一定影響。
實用新型內容
[0003]本實用新型的目的是提供一種結構簡單、提高拋光質量的有蠟拋光的拋光墊專用刷子。
[0004]本實用新型的技術方案是:一種有蠟拋光的拋光墊專用刷子，包括圓盤狀的刷體，所述刷體的頂面帶有若干凸起或凹陷，所述刷體的底面分布有刷毛，所述刷毛呈環形分布。
[0005]優選地，所述刷體的材質為聚氯乙烯，所述刷毛的材質為尼龍。
[0006]優選地，所述刷體的直徑為48cm,厚度為3cm,所述刷毛的長度為1.5cm。
[0007]本實用新型具有的優點和積極效果是:
[0008]由於採用上述技術方案，保持了拋光墊的潔淨，保持了拋光速率和拋光質量，也提高了拋光墊的使用壽命。由此可見，本方案的使用提高了產品的合格率和生產效率，同時減低了能耗，節約了成本，提高了效益。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1是本實用新型的結構示意圖；
[0010]圖2是本實用新型的仰視圖；
[0011]圖3是本實用新型的俯視圖。
【具體實施方式】
[0012]下面結合附圖及【具體實施方式】對本實用新型作進一步說明。
[0013]如圖1至圖3所示，本實用新型包括圓盤狀的刷體1，所述刷體I的頂面帶有若干凹陷，所述刷體I的底面分布有刷毛2，所述刷毛2呈環形分布。
[0014]所述刷體I的材質為聚氯乙烯，所述刷毛2的材質為尼龍。
[0015]所述刷體I的直徑為48cm,厚度為3cm,所述刷毛2的長度為1.5cm。
[0016]使用時，將本實用新型放置在待清潔的拋光墊上，將機械臂與本實用新型的頂面相連接(可以通過吸附的方式連接)，帶動本實用新型以一定的運動軌跡運動，對旋轉的拋光墊進行清洗。本實用新型對拋光墊上的拋光液和結晶清潔得更為徹底，而且有助於拋光墊表面絨孔結構的回覆，有助於延長拋光墊的使用壽命和拋光質量的提高。
[0017]實驗一:選擇200片相同的6寸娃片進行試驗，晶向〈111〉，拉晶方式:FZ,摻雜兀素:P，厚度:630632 μ m。下表為使用本實用新型前後檢測項的數值。
【權利要求】
1.一種有蠟拋光的拋光墊專用刷子，其特徵在於:包括圓盤狀的刷體(1)，所述刷體(I)的頂面帶有若干凸起或凹陷，所述刷體(I)的底面分布有刷毛(2)，所述刷毛(2)呈環形分布。
2.根據權利要求1所述的有蠟拋光的拋光墊專用刷子，其特徵在於:所述刷體(I)的材質為聚氯乙烯，所述刷毛(2)的材質為尼龍。
3.根據權利要求1或2所述的有蠟拋光的拋光墊專用刷子，其特徵在於:所述刷體(I)的直徑為48cm，厚度為3cm，所述刷毛(2)的長度為1.5cm。
【文檔編號】B24D13/14GK203765483SQ201320803485
【公開日】2014年8月13日 申請日期:2013年12月5日 優先權日:2013年12月5日
【發明者】張宇, 王力, 石明, 曲濤, 李翔 申請人:天津中環領先材料技術有限公司