真空容器內光學平臺支撐裝置的製作方法

2023-10-26 10:38:57 3

專利名稱：真空容器內光學平臺支撐裝置的製作方法
技術領域：
本發明屬於光學精密儀器技術領域，具體涉及一種真空內高穩定光學平臺的支撐裝置， 尤其是能隔離真空變形和機組振動對光學平臺的影響。
背景技術：
現有的用於真空環境下光學平臺，由於直接支撐於真空殼體上，受到抽真空時殼體的抽 真空變形的影響，以及真空機組運行時機組振動的影響，使光學平臺出現漂移和晃動；如果 此類光學平臺對結構穩定性有較高的要求， 一般採取的措施是1)將真空殼體(特別是支撐 光學平臺的部位)加厚，並設置防變形槽；2)在真空殼體與光學平臺支撐聯接部位設置阻尼 結構，降低振動的傳遞。以上方法的不足之處在於， 一是使真空殼體的厚度、重量增大，導 致加工成本增加，其二是無法從根本上隔斷真空殼體變形，以及真空機組運行振動對高穩定 光學平臺的影響。

發明內容
本發明要解決的技術問題是提供一種真空容器內光學平臺支撐裝置。
本發明的真空容器內光學平臺支撐裝置的真空殼體通過真空殼體支座直接固定於支撐平 臺上，光學平臺支座與光學平臺連接後穿過真空殼體固定於支撐平臺上；光學平臺支座與真 空殼體採用無剛性接觸；波紋管的上端法蘭與真空殼體密封連接，波紋管的下端法蘭與光學 平臺支座密封連接。
所述的波紋管採用不鏽鋼焯接波紋管。
本發明中的真空環境下的光學平臺與真空殼體的支撐分別採用獨立的剛性支撐結構，獨 立的剛性支撐裝置不直接接觸，使真空殼體變形和真空機組振動不能直接傳遞到光學平臺； 光學平臺支座穿過真空殼體，並且沒有剛性接觸；真空殼體與光學平臺間由柔性金屬波紋管 聯接，既保證真空要求，又實現了剛性隔離，阻止了振動的傳遞。
本發明的真空容器內光學平臺支撐裝置使真空環境下的光學平臺不受真空變形和真空機 組振動的影響，具有較高的穩定性。


圖1是本發明的真空容器內光學平臺支撐裝置實施例的剖面結構示意圖。 圖中， l.真空殼體 2.真空殼體支座 3.光學平臺 4.光學平臺支座 5.波 紋管 6.支撐平臺
具體實施例方式
下面結合附圖和實施例對本發明進一步說明。
如圖1所示，本發明的真空容器內光學平臺支撐裝置含有真空殼體1、真空殼體支座2、
光學平臺3、光學平臺支座4、波紋管5、支撐平臺6。真空殼體1通過真空殼體支座2直接 支撐於支撐平臺6上，光學平臺3與光學平臺支座4相聯後，穿過真空殼體l，支撐於支撐 平臺6上，圓柱狀的金屬波紋管5的上端法蘭與真空殼體1密封法蘭聯接，波紋管5的下端 法蘭與光學平臺支座4密封聯接；為保證隔振效果，光學平臺3、光學平臺支座4與真空殼 體1間沒有直接接觸，利用波紋管的柔性隔離真空殼體1變形和真空機組振動對光學平臺3 的影響；波紋管5採用不鏽鋼焊接波紋管。
權利要求
1.一種真空容器內光學平臺支撐裝置，其特徵在於所述的支撐裝置的真空殼體(1)通過真空殼體支座直接固定於支撐平臺(6)上，光學平臺支座(4)與光學平臺(3)連接後穿過真空殼體(1)固定於支撐平臺(6)上；光學平臺支座(4)與真空殼體(1)採用無剛性接觸；波紋管(5)的上端法蘭與真空殼體(1)密封連接，波紋管(5)的下端法蘭與光學平臺支座(4)密封連接。
2. 根據權利要求1所述真空容器內光學平臺支撐裝置，其特徵是所述的波紋管(5)採用 不鏽鋼焊接波紋管。
全文摘要
本發明提供了一種真空容器內光學平臺支撐裝置。本發明的真空容器內光學平臺支撐裝置的真空殼體通過真空殼體支座直接固定於支撐平臺上，光學平臺支座與光學平臺連接後穿過真空殼體固定於支撐平臺上；光學平臺支座與真空殼體採用無剛性接觸；波紋管的上端法蘭與真空殼體密封連接，波紋管的下端法蘭與光學平臺支座密封連接。本發明的真空容器內光學平臺支撐裝置使真空環境下的光學平臺不受真空變形和真空機組振動的影響，具有較高的穩定性。
文檔編號G12B9/00GK101604553SQ20091005929
公開日2009年12月16日 申請日期2009年5月15日 優先權日2009年5月15日
發明者海 周, 峰 景, 朱啟華, 林東暉, 陳良明 申請人:中國工程物理研究院雷射聚變研究中心