Pecvd設備新型開關爐門的製作方法
2023-10-07 17:29:49 1
專利名稱：Pecvd設備新型開關爐門的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及PECVD設備新型開關爐門。
背景技術：
對於PECVD (等離子增強型化學氣相沉積)設備開關爐門，應該具有便於結構緊湊， 位置調整和密封可靠的特點。目前PECVD設備的開關爐門主要有兩種方式第一種是普通 旋轉式，如圖1所示，旋轉氣缸1通過旋臂杆5與爐門3中心的關節軸承4連接，旋轉氣缸1 將爐門3旋轉至爐體2的爐口處，然後將爐門3與爐口壓緊，中心的關節軸承4起到自動找 正的作用，它的缺點是氣缸負載較大，且不便於位置的調節；第二種方式是間接旋轉方式， 如圖2所示，與爐門3上的關節軸承4連接的旋臂杆5固定在支座7上，通過氣缸6的伸縮 來帶動爐門3的旋轉，旋轉到爐口處再將爐門夾緊，它的缺陷在於佔用空間大，不方便調節 位置。
發明內容為了克服上述缺點，本實用新型提供了一種氣缸負載小、運動平穩、結構緊湊、佔 地面積小、方便位置調整、密封性效果好的PECVD設備新型開關爐門。本實用新型所述的PECVD設備新型開關爐門包括導軌、無杆氣缸、無杆氣缸滑塊、 支撐板、導軌滑塊、爐體、爐門、運動臂、至少兩個關節軸承；其中，導軌、無杆氣缸及爐體均 被固定在機架上，導軌滑塊與導軌可滑動的配合，無杆氣缸滑塊與無杆氣缸外殼可滑動的 配合，無杆氣缸滑塊與導軌滑塊都固定在支撐板上，支撐板與運動臂固定連接，運動臂通過 兩個關節軸承與爐門連接，關節軸承的連線與導軌垂直。本實用新型所述的PECVD設備新型開關爐門為直線運動機構，採用無杆氣缸驅 動，無杆氣缸滑塊設置在無杆氣缸上，通過無杆氣缸推動無杆氣缸滑塊沿著無杆氣缸的表 面自由滑動；當無杆氣缸工作時，驅動爐門沿著導軌向爐口處移動，使爐門穩定地到達與爐 口同心的位置，然後將爐門推向爐口並夾緊。當爐門沿著導軌運動至爐口，只要保證在關節 軸承的兩點處，爐門能夠大體對準爐口，由於兩關節軸承的連線與爐門運動方向垂直，此時 爐門可以在豎直方向小角度內轉動，便於它與爐體6的爐口自動找正，實現爐門與爐口的 緊密貼合。而調整關節軸承兩點處的位置，只需上下調節爐頭爐尾的位置便可以輕易實現。本實用新型所述的PECVD設備新型開關爐門，導軌、滑塊等組成為直線運動機構， 兩個關節軸承之間連線與導軌垂直。因此，可以最大程度的實現爐門與爐口的自動找正功 能，同時該爐門節省空間，使氣缸負載小、運動平穩，爐門機構緊湊，密封性能也得到了保 障，並且方便設備的安裝和維護。而間接旋轉方式爐門，由於關節軸承連線是傾斜的，爐體 將很難調整位置。為了獲得更好的效果，本實用新型所述的PECVD設備新型開關爐門可以採用以下 措施1、本實用新型所述的PECVD設備新型開關爐門，所述的導軌為兩根，與其分別配合的導軌滑塊也為兩個。其優點在於，在無杆氣缸進行驅動時，爐門可以較平穩的向爐口運動。2、本實用新型所述的PECVD設備新型開關爐門，所述的兩根導軌分為位於無杆氣 缸的上方和下方。其優點在於，可以使爐門更加平穩的在無杆氣缸的驅動下向爐口運動。3、本實用新型所述的PECVD設備新型開關爐門，所述的無杆氣缸為機械耦合型或 磁性耦合型。
圖1為普通旋轉式PECVD設備開關爐門的示意圖。圖2為間接旋轉方式PECVD設備開關爐門的示意圖。圖3為本實用新型所述PECVD設備新型開關爐門的示意圖。1-旋轉氣缸；2-爐體；3-爐門；4-關節軸承；5-旋臂杆；6_活塞式氣缸；7_支座； 8-運動臂；9-導軌；10-無杆氣缸；11-無杆氣缸滑塊；12-支撐板；13-導軌滑塊。
具體實施方式
圖3為本實用新型所述PECVD設備新型開關爐門的實施例。本實用新型所述的PECVD設備新型開關爐門包括爐體2、爐門3、兩個關節軸承4、 運動臂8、兩根導軌9、無杆氣缸10、無杆氣缸滑塊11、支撐板12、兩個導軌滑塊13。兩根導軌9、無杆氣缸10及爐體2均被固定在機架上，其中兩根導軌9分別固定在 無杆氣缸10的上方和下方；導軌滑塊13設置在導軌9上，並可沿著導軌9上左右自由滑動；無杆氣缸滑塊11設置在無杆氣缸10上，並可以沿著無杆氣缸10的表面自由滑 動，無杆氣缸滑塊11滑動的動力來源於無杆氣缸10內部，其動力是通過機械耦合或磁性耦 合實現的；無杆氣缸滑塊11與兩個導軌滑塊13都固定在支撐板12上，兩個導軌滑塊13分 別固定在無杆氣缸滑塊11的上方和下方；支撐板12與運動臂8固定連接；運動臂8通過兩個關節軸承4與爐門3連接，兩個關節軸承4的連線與導軌9垂直。
權利要求1.一種PECVD設備新型開關爐門，其特徵在於它包括導軌、無杆氣缸、無杆氣缸滑塊、 支撐板、導軌滑塊、爐體、爐門、運動臂、至少兩個關節軸承；其中，導軌、無杆氣缸及爐體均 被固定在機架上，導軌滑塊與導軌可滑動的配合，無杆氣缸滑塊與無杆氣缸外殼可滑動的 配合，無杆氣缸滑塊與導軌滑塊都固定在支撐板上，支撐板與運動臂固定連接，運動臂通過 兩個關節軸承與爐門連接，關節軸承的連線與導軌垂直。
2.根據權利要求1所述的PECVD設備新型開關爐門，其特徵在於所述的導軌為兩根，與 其分別配合的導軌滑塊也為兩個。
3.根據權利要求2所述的PECVD設備新型開關爐門，其特徵在於所述的兩根導軌分為 位於無杆氣缸的上方和下方。
4.根據權利要求1至4任一項所述的PECVD設備新型開關爐門，其特徵在於所述的無 杆氣缸為機械耦合型或磁性耦合型。
專利摘要本實用新型所述PECVD設備新型開關爐門包括導軌、無杆氣缸、無杆氣缸滑塊、支撐板、導軌滑塊、爐體、爐門、運動臂、至少兩個關節軸承；其中，導軌、無杆氣缸及爐體均被固定在機架上，導軌滑塊與導軌可滑動的配合，無杆氣缸滑塊與無杆氣缸可滑動的配合，無杆氣缸滑塊與導軌滑塊都固定在支撐板上，支撐板與運動臂固定連接，運動臂通過兩個關節軸承與爐門連接，關節軸承的連線與導軌垂直；其優點在於氣缸負載小、運動平穩、結構緊湊、佔地面積小、方便位置調整、密封性效果好。
文檔編號C23C16/44GK201873750SQ20102062982
公開日2011年6月22日 申請日期2010年11月29日 優先權日2010年11月29日
發明者崔慧敏, 王鵬 申請人:青島賽瑞達電子科技有限公司