空心陰極型濺射靶的包裝裝置及包裝方法
2023-10-21 10:33:17
專利名稱：空心陰極型濺射靶的包裝裝置及包裝方法
技術領域：
本發明涉及能夠防止塵埃和汙物的附著並且能夠防止溼氣和氧化的空心陰極型濺射靶的包裝裝置和包裝方法。
背景技術：
近年來，在電子技術領域、耐蝕性材料和裝飾領域、催化劑領域、以及切割/研磨材料和耐磨耗材料的製作等眾多領域，使用由金屬或者陶瓷等的材料形成膜的濺射方法。
儘管濺射方法本身在上述領域是公知的方法，但是，近來，特別是在電子技術領域，要求適合形成複雜形狀膜和形成迴路的濺射靶。
在上述的情況下，最近提出了空心陰極型濺射靶。該靶呈杯狀，其名稱「空心陰極型濺射靶」起自該形狀(例如，參見專利文獻1、2、3)。
該空心陰極型濺射靶能夠在靶區域內產生高密度的等離子體，並且通過在濺射方向上進一步賦予指向性，即使不使用以往的準直儀，也可以取得能夠以高縱橫比填充導通孔的性能。
這種空心陰極型濺射靶具有比以往的平板型靶更有效、更多控制地形成膜的沉積法的功能。
一般而言，為了裝運和儲存平板型靶，將這樣的靶置於樹脂袋中，並對內部進行真空抽吸或者導入惰性氣體，以防止汙物附著和氧化(例如，參見專利文獻4、5)。
專利文獻1日本特開2000-256843號公報專利文獻2日本特開2001-98367號公報專利文獻3日本特表2002-531690號公報專利文獻4日本特開平4-231461號公報專利文獻5日本特開2001-240959號公報使用這種袋進行真空抽吸的方法在防止汙物附著和防止氧化方面是有效的。但是，當其應用於空心陰極型濺射靶時，在結構上產生了困難的問題。
如圖2所示，袋3緊貼(系留)在空心陰極型濺射靶1的外周緣2上，空間部4不能被充分抽吸，產生的問題在於這不是防止氧化等的充分預防措施。
另外，由於空間部4將被減壓，因此存在的另一個問題是樹脂袋將被向內側牽引，其張力將引起袋破損。圖2中的符號7表示真空抽吸部。
發明的公開因此，本發明的目的是提供即使是以樹脂袋覆蓋的中空部的內部也能夠進行真空抽吸的空心陰極型濺射靶的包裝裝置和包裝方法。
本發明人發現上述問題可以通過提供用於覆蓋空心陰極型濺射靶的空間部的蓋子並且以特定方式設計這樣的蓋子而得以解決。
基於上述發現，本發明提供1)空心陰極型濺射靶的包裝裝置，包括空心陰極型濺射靶；能夠覆蓋該靶的空間部的尺寸的蓋子，設置在該蓋子上的一個或多個通孔，能夠覆蓋它們全部的尺寸的樹脂袋，和用於真空抽吸袋的內部的裝置；2)根據上述1)的空心陰極型濺射靶的包裝裝置，其中蓋子是透明的樹脂；3)根據上述1)或2)的空心陰極型濺射靶，其中樹脂袋是氧和水分不能透過的袋；和4)根據上述1)～3)中任一項的空心陰極型濺射靶，其中蓋子具有剛性，並且由在真空抽吸後能夠維持其形狀的平板形成。
另外，本發明還提供5)空心陰極型濺射靶的包裝方法，包括設置能夠覆蓋靶的空間部的尺寸的蓋子的步驟；在該蓋子上設置一個或多個通孔的步驟；將樹脂袋放置在它們之上，和對袋內部進行真空抽吸的步驟；6)根據上述5)的空心陰極型濺射靶的包裝方法，其中蓋子是透明的樹脂；7)根據上述5)或6)的空心陰極型濺射靶的包裝方法，其中樹脂袋是氧和水分不能透過的袋；和8)根據上述5)～7)任一項的空心陰極型濺射靶的包裝方法，其中蓋子具有剛性，並且由在真空抽吸後能夠維持其形狀的平板形成。
發明效果本發明取得了以下優良效果在對由樹脂袋覆蓋的空心陰極型濺射靶進行真空抽吸時，通過蓋子上設置的通孔可以將該靶的空間部抽真空，並且，在成為靶的腐蝕部的空間部中，即使完全不接觸包裝用的樹脂，也可以維持清潔化的靶表面。因此，與以往相比，取得了可以進一步防止塵埃和汙物的附著、防止溼氣和氧化的顯著效果。
圖1是用於說明本發明的空心陰極型濺射靶的包裝的示意斷面圖；圖2是用於說明以往的空心陰極型濺射靶包裝時產生的問題的示意斷面圖。
實施發明的最佳方式以下參照圖1說明本發明的空心陰極型濺射靶。圖1是顯示空心陰極型濺射靶1的代表形狀的示意圖。
這裡，儘管斷面呈U字形，但是對於該形狀沒有特別的限制，本發明適用於所有靶，只要該靶內部具有空間部即可；例如，具有W型斷面的靶。本發明包括全部這些形狀。
另外，對於靶的材料也沒有特別的限制，可以使用各種金屬、合金、和矽化合物和氧化物等的陶瓷。為製造中空體(杯形狀)，使用鍛造、軋制、滾絲和深拉等加工方法。對於這些製造方法也沒有限制。
一般而言，空心陰極型濺射靶1的內面成為腐蝕面，並且該內面被嚴格地整平。因此，必須避免由於塵埃附著、損傷、氧化等引起的該靶內面劣化。
本發明設置了用於保護空間部4的蓋子5。在該蓋子5上設置了通孔6。蓋子5應該由在真空抽吸時不會極度變形或者彎曲的具有剛性的材料形成。儘管通常平板就足夠了，但是，可以設置加強用的杆件或把手，或者其可以是其它三維形狀。
為使得可以觀察蓋子內部，優選蓋子是透明的，還優選樹脂袋是實質上不透過氧和水分(溼氣)的袋。
順便說一句，儘管優選樹脂袋能夠完全阻斷氧和水分(溼氣)，但是，並非僅僅是這種情況。換句話說，本發明的「不透過氧和水分(溼氣)的袋」的意思是指至少在裝運或儲存該濺射靶時，該袋能夠將氧和水分(溼氣)阻斷到實質上不受氧和水分(溼氣)影響的程度。本發明應該包括以上所有情況。
在蓋子5上設置了一個或多個通孔6，這些通孔在真空抽吸時起著重要作用。這是因為中空部4可以通過這些通孔6被抽真空。
蓋子5置於靶1上，由聚氯乙烯等形成的袋3覆蓋在其上，並且通過真空抽吸部7進行真空抽吸。儘管未示出真空抽吸裝置，但是，可以使用一般使用的抽吸裝置。
當通過設置在蓋子5上的通孔6將中空部4抽真空時，袋不會緊貼在靶的外周緣2上，不會發生不完全抽真空。
抽真空後，可以導入惰性氣體，或者也可以在抽成真空的狀態下裝運和儲存。因此，可以有效地防止塵埃和汙物附著在靶內面上並且防止溼氣和氧化。
另外，在成為靶的腐蝕部的空間部中，沒有從包裝用的樹脂之上的接觸，並且靶內面損傷的危險顯著減少。另外，甚至包裝用的樹脂都不會被接觸。因此，取得了可以原樣維持清潔化的靶表面的優良效果。
產業上利用的可能性本發明由於可以在具有空間部的靶內面上防止塵埃和汙物附著，並且可以有效地防止溼氣和氧化，因此，最適合空心陰極型濺射靶的包裝。
權利要求
1.空心陰極型濺射靶的包裝裝置，包括空心陰極型濺射靶、能夠覆蓋所述靶的空間部的尺寸的蓋子、設置在所述蓋子上的一個或多個通孔、能夠覆蓋所述通孔的尺寸的樹脂袋、和用於真空抽吸所述袋的內部的裝置。
2.根據權利要求1的空心陰極型濺射靶的包裝裝置，其中所述蓋子是透明的樹脂。
3.根據權利要求1或2的空心陰極型濺射靶，其中所述樹脂袋是氧和水分不能透過的袋。
4.根據權利要求1-3中任一項的空心陰極型濺射靶，其中所述蓋子具有剛性，並且由在真空抽吸後能夠維持其形狀的平板形成。
5.空心陰極型濺射靶的包裝方法，包括設置能夠覆蓋所述靶的空間部的尺寸的蓋子的步驟；在所述蓋子上設置一個或多個通孔的步驟；將樹脂袋放置在所述通孔之上，和對所述袋的內部進行真空抽吸的步驟。
6.根據權利要求5的空心陰極型濺射靶的包裝方法，其中所述蓋子是透明的樹脂。
7.根據權利要求5或6的空心陰極型濺射靶的包裝方法，其中所述樹脂袋是氧和水分不能透過的袋。
8.根據權利要求5-7中任一項的空心陰極型濺射靶的包裝方法，其中所述蓋子具有剛性，並且由在真空抽吸後能夠維持其形狀的平板形成。
全文摘要
本發明提供空心陰極型濺射靶的包裝裝置和包裝方法，其中，在空心陰極型濺射靶中，設置能夠覆蓋該靶的空間部的尺寸的蓋子；在該蓋子上設置一個或多個通孔；將樹脂袋置於其上，並對袋的內部進行真空抽吸。該空心陰極型濺射靶的包裝裝置和包裝方法即使是對於由樹脂袋覆蓋的中空部的內部也能夠進行真空抽吸。
文檔編號C23C14/34GK1867489SQ200480030080
公開日2006年11月22日 申請日期2004年9月14日 優先權日2003年10月15日
發明者岡部嶽夫, 永澤俊 申請人:日礦金屬株式會社