高頻熱處理裝置、高頻熱處理方法及高頻熱處理產品的製作方法
2023-10-04 07:46:54 1
專利名稱：高頻熱處理裝置、高頻熱處理方法及高頻熱處理產品的製作方法
技術領域：
本發明涉及高頻熱處理裝置、高頻熱處理方法及高頻熱處理產品，更特別涉及利用高頻加熱來對被處理物體進行加熱從而淬火硬化的高頻熱處理裝置、高頻熱處理方法和利用高頻加熱來進行加熱從而淬火硬化的高頻熱處理產品。
背景技術：
高頻熱處理裝置與一般使用的氣氛加熱爐相比，其優點是作業環境清潔，能夠在短時間內高效處理小批量的產品。一般，在鋼的高頻淬火中，採用控制輸入感應線圈的功率及通過時間等構成的參數，來控制被處理物體的熱處理條件的功率控制。然後，以各種熱處理條件實施淬火，確認淬火後的被處理物體的質量，從而通過實驗決定適當的熱處理條件。在這種情況下，存在的問題是，若被處理物體改變，則每次必須重新決定熱處理條件，決定熱處理條件很費事。引起該問題的原因是，在高頻淬火中，很難進行根據溫度及時間構成的參數來控制被處理物體的熱處理條件的溫度控制。
從控制淬火後的被處理物體的質量、特別是控制被處理物體的金屬組織的觀點來看，在淬火處理中最好採用溫度控制。但是，在高頻淬火中，測溫及溫度的高速控制在技術上是比較困難的，現狀是沒有採用通過溫度控制來進行淬火。在高頻熱處理中難以測溫的理由在於，它與利用氣氛來加熱被處理物體的情況不同，由於被處理物體是直接加熱，因此必須對被處理物體直接進行測溫。另外，在高頻熱處理設備中，為了實現均勻加熱，多數情況下設置了驅動被處理物體的驅動機構，在布置上難以設置接觸式溫度計，這也使測溫困難。
對此，例如若使用輻射溫度計等非接觸式溫度計，則也可以認為容易測溫。但是，以往的輻射溫度計存在的問題是，響應速度慢，不適合於金屬測溫，不適於高頻淬火的溫度控制。最近，通過輻射溫度計的信號輸出速度的高速化、以及進行輻射率設定來提高溫度計的測溫精度，發現高頻淬火中有可能使用輻射溫度計進行高速溫度控制。
另外，即使假設能夠利用溫度控制進行高頻淬火時，在基本上是對被處理物體的一部分進行加熱的部分加熱的高頻加熱中，在被處理物體內也產生溫度不均勻。因此，有可能淬火後的質量因被處理物體的部位而異，在將高頻淬火用於完全淬火時存在問題。特別是在厚度大的被處理物體中，由於溫度不均勻增大，因此容易發生該問題。在不能均勻加熱被處理物體時，發生的問題是，在加熱充分的部分，雖達到所希望的質量，但在加熱不充分的部分，沒有達到所希望的質量。
為了解決這樣的問題，考慮了一種方法，該方法採用足夠的加熱時間，利用熱傳導，使被處理物體內的溫度均勻。另外，還考慮了一種方法，該方法使用較低頻率的高頻電源，使磁通進入到被處理物體的內部，進行均勻加熱。但是，這些方法中存在的共同問題是，如何決定充分的加熱時間。
發明內容
如上所述，在高頻淬火中難以利用溫度控制進行淬火。特別是在利用溫度控制的高頻淬火實施完全淬火時，必須考慮為了得到所希望的熱處理質量用的熱處理方法。因此，本發明的課題在於提出能夠進行溫度控制、能夠得到所希望的熱處理質量的高頻熱處理裝置及高頻熱處理方法。另外，本發明的課題在於提供具有所希望的質量的高頻熱處理產品。
本發明的高頻熱處理裝置，是利用高頻加熱來對被處理物體進行加熱從而淬火硬化的高頻熱處理裝置。而且，本發明的高頻熱處理裝置，具有調節被處理物體的溫度用的溫度控制單元；以及決定對被加熱的被處理物體進行冷卻的時刻用的淬火單元。
在上述高頻熱處理裝置中，最好溫度控制單元包含加熱單元；溫度控制用測溫單元；以及溫度調節單元。加熱單元具有利用高頻加熱來對被處理物體進行加熱的功能。溫度控制用測溫單元，具有測定被處理物體中利用加熱單元進行加熱的部位的溫度的功能。溫度調節單元與溫度控制用測溫單元連接，具有根據來自溫度控制用測溫單元的溫度信息向加熱單元輸出溫度控制信號的功能。再有，淬火單元包含淬火用測溫單元；以及熱處理調節單元。淬火用測溫單元具有測定被處理物體中從利用加熱單元進行加熱的部位離開的部位的溫度的功能。熱處理調節單元與淬火用測溫單元連接，具有根據來自淬火用測溫單元的溫度信息來調節加熱時間、並輸出冷卻開始信號的功能。
本發明的高頻熱處理方法，是利用高頻加熱來對被處理物體進行加熱從而淬火硬化的高頻熱處理方法。而且，本發明的高頻熱處理方法，具有以下工序調節被處理物體的溫度的溫度控制工序；以及決定對被加熱的被處理物體進行冷卻的時刻的淬火控制工序。溫度控制工序包含加熱工序；溫度控制用測溫工序；以及溫度調節工序。加熱工序利用高頻加熱來對被處理物體進行加熱。溫度控制用測溫工序測定被處理物體中被加熱的部位的溫度。溫度調節工序根據測定的溫度信息輸出溫度控制信號，控制對被處理物體的加熱。再有，淬火控制工序具有淬火用測溫工序；以及熱處理調節工序。淬火用測溫工序測定被處理物體中從被加熱的部位離開的部位的溫度。熱處理調節工序根據測定的溫度信息來調節加熱時間，並輸出冷卻開始信號。
本發明的高頻熱處理產品利用上述的高頻熱處理方法進行熱處理。
若使用本發明的高頻熱處理裝置，則能夠對任意形狀的被處理物體賦予所希望的質量。另外，根據本發明的高頻熱處理方法，則能夠對任意形狀的被處理物體賦予所希望的質量。即，根據本發明的高頻熱處理裝置及高頻熱處理方法，可以提供能夠進行溫度控制、能夠得到所希望的熱處理質量的高頻熱處理裝置及高頻熱處理方法。另外，根據本發明的高頻熱處理產品，能夠提供具有所希望的質量的高頻熱處理產品。
圖1所示為實施形態1的高頻熱處理裝置的構成簡圖。
圖2所示為為了滿足標準所必需的淬火溫度與保持時間的關係的SUJ2材料的TTA(Time Temperature Austinitization，時間、溫度、奧氏體化)轉變圖。
圖3為說明根據加熱曲線(heat pattern)累計Dep值的方法用的說明圖。
圖4所示為含有1質量％的碳的鋼的升溫速度與加熱相變點的關係圖。
圖5所示為決定考慮升溫速度時的碳擴散長度的計算開始時間的方法的示意圖。
圖6所示為d*ep的值和硬度及處理時間的關係圖。
圖7所示為d*ep的值和硬度及處理時間的關係圖。
圖8所示為被處理物體的加熱曲線圖。
圖9所示為圖8所示的時間t＝0.4秒的兩個邊界點間的各位置的碳分布(固溶碳濃度的分布)圖。
圖10所示為圖8所示的時間t＝0.8秒的兩個邊界點間的各位置的碳分布(固溶碳濃度的分布)圖。
圖11所示為圖8所示的時間t＝1.2秒的兩個邊界點間的各位置的碳分布(固溶碳濃度的分布)圖。
圖12所示為在用實施形態4的方法進行淬火時的、冷卻開始時刻的溫度控制側(圖1的溫度控制用測溫單元3的測溫部位1a)及淬火時刻側(圖1的淬火用測溫單元5的測溫部位1b)的固溶碳濃度分布圖。
圖13所示為實施例1的高頻熱處理方法的簡圖。
標號說明1被處理物體，2加熱單元，3溫度控制用測溫單元，4溫度調節單元，5淬火用測溫單元，6熱處理調節單元，7淬火液噴射單元，10高頻熱處理方法，20溫度控制工序，22加熱工序，23溫度控制用測溫工序，24溫度調節工序，30淬火控制工序，35淬火用測溫工序，36熱處理調節工序，37冷卻工序。
具體實施例方式
(實施形態1)以下，根據
本發明的實施形態1。參照圖1，本實施形態1的高頻熱處理裝置，具有調節被處理物體1的溫度用的溫度控制單元；以及決定冷卻被加熱的被處理物體1的時刻用的淬火單元。根據本實施形態1，能夠將任意形狀的被處理物體1進行熱處理，製造具有所希望的質量的高頻熱處理產品。另外，在本實施形態1的高頻熱處理裝置中，能夠任意選擇加熱單元即感應線圈等的形狀及電源的頻率，能夠對任意形狀的被處理物體使用。
溫度控制單元典型的形態最好如圖1所示，包含利用高頻加熱來對被處理物體1進行加熱的線圈等加熱單元2；測定被處理物體1中利用加熱單元2進行加熱的部位1a的溫度的溫度計等溫度控制用測溫單元3；以及與溫度控制用測溫單元3連接、並根據來自溫度控制用測溫單元3的溫度信息向加熱單元2輸出溫度控制信號的溫度調節單元4。
另外，淬火單元的形態最好是，包含測定被處理物體1中從利用加熱單元2進行加熱的部位1a離開的部位1b的溫度的淬火用測溫單元5；以及與淬火用測溫單元5連接、並根據來自淬火用測溫單元5的溫度信息來調節加熱時間並對淬火液噴射單元7等輸出冷卻開始信號的熱處理調節單元6。
本裝置的特徵之一在於，具有測定利用加熱單元2進行加熱的部位1a的溫度的溫度控制用測溫單元3；以及測定從利用加熱單元2進行加熱的部位1a離開的部位1b的溫度的淬火用測溫單元5。為了使高頻熱處理的溫度控制更正確，最好溫度控制用測溫單元3對磁通進入量最多、溫度上升最大的位置進行測溫。
另外，由於高頻加熱是對被處理物體1的表層進行加熱的部分加熱，因此在被處理物體1內產生溫度分布。因而，有可能熱處理後的質量隨部位而變化，在用於完全淬火時存在問題。特別是厚度大的被處理物體1中，由於溫度不均勻增大，因此容易發生該問題。因而，為了在低溫部分也充分實施加熱，賦予所希望的質量，最好淬火用測溫單元5對磁通進入量更少、溫度上升小的部位進行測溫，即對從溫度控制用測溫單元3的測溫部位離開的部位進行測溫。
在本實施形態的高頻熱處理方法中，若溫度控制用測溫單元3及淬火用測溫單元5的位置滿足前述的條件，則感應線圈的形狀及電源的頻率沒有限定。另外，從減小被處理物體1內的溫度不均勻的影響、在多個部位中確保質量的觀點來看，最好是設置多個決定冷卻時刻用的淬火用測溫單元5的形態。作為測溫單元的溫度計的種類，可以是輻射溫度計等非接觸式溫度計，除此以外，如果裝置的布置上可能的話，例如也可以是熱電偶等接觸式溫度計。
下面，以SUJ2制6206型(JISJapanese Industrial Standard，日本工業標準)軸承的外圈作為被處理物體1的例子來表示，具體說明使用上述高頻熱處理裝置的本實施形態1的高頻熱處理方法。
這裡，SUJ2制的上述外圈的標準設定為，從強度的觀點是以180℃進行回火時的回火硬度為HRC58以上(HV653以上)，從尺寸穩定性的觀點是剩餘奧氏體量為12體積％以下。
首先，參照圖2，對於決定能夠滿足上述標準的淬火溫度及保持時間的條件、即溫度控制單元在控制被處理物體的加熱溫度時應該遵照的加熱條件進行說明。圖2的區域A是不滿足上述硬度標準的範圍，區域B是不滿足剩餘奧氏體量的標準的範圍。另外，區域C是任何標準都滿足的範圍。隨著淬火溫度及保持時間增大，硬度容易滿足標準，與此相反，隨著淬火溫度及保持時間增大，剩餘奧氏體量不容易滿足標準。
由圖2的TTA轉變圖可知，採用較低溫、而且長時間的加熱條件，容易控制熱處理質量(硬度及剩餘奧氏體量)，容易滿足熱處理質量標準(硬度標準及剩餘奧氏體量標準)。例如，在以較高溫的1050℃的處理中，為了滿足熱處理質量標準的保持時間雖需要15秒以上，但若保持17秒以上，則不能滿足該標準。與上不同的是，在以950℃的處理中，為了滿足熱處理質量標準的保持時間為20秒以上，但一直到60秒，都能夠滿足標準。為了充分利用高頻熱處理的所謂短時間處理的優點，最好儘可能以高溫、短時間進行處理。
溫度控制用測溫單元3的測溫位置的加熱曲線，能夠根據兼顧到縮短熱處理時間與容易進行熱處理控制的兩方面來決定。若能夠根據構成被處理物體的材料的種類，生成為了滿足熱處理質量的淬火溫度與保持時間的關係圖(TTA轉變圖)，則只要根據該轉變圖來決定條件即可，因此本實施形態1的高頻熱處理裝置不管構成被處理物體的材料的種類如何都可以使用。
若溫度控制單元在控制被處理物體的加熱溫度時應該遵照的加熱條件決定了，則如圖1所示，將該加熱條件輸入微型計算機等溫度調節單元4。溫度調節單元4與溫度控制用測溫單元3及加熱單元2連接，能夠根據來自溫度控制用測溫單元3的溫度信息，利用PID(Proportional Integral Differential，比例積分微分)控制，向加熱單元2輸出溫度控制信號，控制溫度控制用測溫單元3的測溫部位1a的溫度。這時，同時將淬火用測溫單元5的測溫數據取入微型計算機等熱處理調節單元6，根據該加熱曲線，判斷加熱是否充分，通過決定冷卻的時刻，來調節熱處理時間。冷卻時期的判斷，是根據淬火用測溫單元5的測溫部位1b的加熱曲線是否在TTA轉變圖上處於標準內來進行。另外，也可以用同一微型計算機兼作為溫度調節單元4及熱處理調節單元6。
是否在TTA轉變圖上處於標準內，能夠根據利用下式計算的Dep值進行判斷。
Dep＝(2Dt)1/2…式(1)D＝D0exp(-Q/RT)…式(2)(式中，D表示擴散常數，t表示保持時間，T表示溫度，D0表示擴散常數的熵項，Q表示激活能。)本發明的高頻熱處理裝置中的熱處理調節單元6，能夠根據利用有關式子計算的Dep值，輸出冷卻開始信號。鋼在淬火前的組織成為在若干碳固溶的鐵中分布了碳化物的組織。在淬火中，必須使碳化物中的碳熔入鐵中。為了使碳均勻地固溶在鐵中所必需的時間與碳的擴散距離Dep相對應。因而，在該Dep的值達到某個值D*ep時來進行淬火中的冷卻。
淬火用測溫單元5的測溫部位不一定必須是一個地方。由於通過設置多個測溫部位，能夠控制多個位置的熱處理質量，因此從質量管理的觀點來看，最好設置多個淬火用測溫單元5的測溫部位。
下面，參照圖3，說明根據加熱曲線累計Dep的值的方法。在決定冷卻時刻的測溫部位1b(淬火時刻側)的溫度時時刻刻變化時，Dep的值最好如圖3所示，按下式累計。
Dep1=2D1tDep2=2D2[(Dep12D2)2+t]Depn=2Dn[(Depn-12Dn)2+t]]]>若開始被處理物體1的升溫，則由於在淬火用測溫單元5的測溫部位1b中，磁通的進入要少於溫度控制用測溫單元3的測溫部位1a(溫度控制側)，因此，溫度上升比溫度控制用測溫單元3的測溫部位1a要慢。通常，若溫度超過727℃，則鐵開始奧氏體化。但是，在升溫速度快時，由於鋼的加熱相變溫度變化，因此為了計算擴散距離所必需的加熱相變溫度必須隨升溫速度而變化。
由於升溫速度隨電源的能力、感應線圈及被處理物體的形狀等而異，因此最好根據裝置及被處理物體的種類適當改變。由於淬火用測溫單元5的測溫部位1b的溫度超過加熱相變溫度，因此如上述那樣累計擴散距離。若任意時間的Dep超過D*ep，則立即開始冷卻。D*ep的值從縮短熱處理時間的觀點來看，最好在能夠維持所希望的熱處理質量的範圍內，是儘可能小的值。但是，從質量穩定的觀點來看，最好為達到一定程度安全的設定值。
本實施形態1的高頻熱處理方法，具有以下工序調節被處理物體的溫度的溫度控制工序；以及決定對被加熱的被處理物體進行冷卻的時刻的淬火控制工序。溫度控制工序包含利用高頻加熱來對被處理物體進行加熱的加熱工序；測定被處理物體中進行加熱的部位的溫度的溫度控制用測溫工序；以及根據測定的溫度信息輸出溫度控制信號來控制對被測定物體的加熱的溫度調節工序。淬火控制工序包含測定被處理物體中從進行加熱的部位離開的部位的溫度的淬火用測溫工序；以及根據測定的溫度信息來調節加熱時間並輸出冷卻開始信號的熱處理調節工序。
根據本實施形態1的高頻熱處理方法及高頻熱處理裝置，通過測定被處理物體的溫度，一邊將該測定結果向被處理物體的加熱條件及淬火的冷卻時刻進行反饋，一邊實施利用溫度控制的高頻淬火，能夠適用於任意形狀的被處理物體，而且能夠製造具有所希望的熱處理質量的高頻熱處理產品。另外，若能夠根據構成被處理物體的材料的種類，生成滿足熱處理質量用淬火溫度與保持時間的關係圖(TTA轉變圖)，則只要根據該轉變圖來決定條件即可，因此本實施形態的高頻熱處理方法不管材料的種類如何都可以使用。再有，本方法是不管線圈的形狀、電源的頻率、試驗片的形狀如何都可以使用的極通用的處理方法。
(實施形態2)以下，根據
本發明的實施形態2。本實施形態2的高頻熱處理裝置、高頻熱處理方法及高頻熱處理產品基本上具有與上述實施形態1的高頻熱處理裝置、高頻熱處理方法及高頻熱處理產品相同的構成。但是，在實施形態2中，在利用熱處理調節單元實施的熱處理調節工序中，開始計算碳的擴散長度Dep的溫度即加熱相變溫度Tc是如以下那樣決定的。
即，參照圖4，若升溫速度變化，則可知加熱相變點Tc從727℃變為950℃。這樣，預先調查構成被處理物體1的鋼的組成中的升溫速度與加熱相變點Tc的關係，根據被處理物體1在加熱時的升溫速度，求得加熱相變點Tc，再根據該加熱相變點Tc，決定碳的擴散長度Dep的計算開始溫度。
下面，參照圖5，說明決定考慮了升溫速度時的碳的擴散長度的計算開始溫度的方法。在圖5中，表示溫度控制側(圖1的溫度控制用測溫單元3的測溫部位1a)的加熱曲線和淬火時刻側(圖1的淬火用測溫單元5的測溫部位1b)的加熱曲線和加熱相變點Tc。在加熱的初期，由於在溫度控制側快速進行加熱，因此淬火時刻側的升溫速度也快，加熱相變點升高。若溫度控制側的溫度接近所希望的溫度，則利用溫度調節單元4來控制加熱，使得升溫速度變慢，因此淬火時刻側的升溫速度也變慢，加熱相變點Tc逐漸降低下去。為此，若經過一定時間，加熱相變點Tc與淬火時刻側的加熱曲線相交。由於該交點表示奧氏體化的開始溫度，因此從該交點的溫度(即奧氏體化的開始溫度)起開始計算碳的擴散長度Dep。
然後，若任意時間的Depn超過D*ep，即立即開始冷卻。D*ep的值從縮短熱處理時間的觀點來看，最好在能夠維持所希望的熱處理質量的範圍內，是儘可能小的值。但是，從質量穩定的觀點來看，最好為達到一定程度安全的設定值。
下面，參照圖6，說明D*ep的值與硬度及處理時間的關係。另外，圖6表示以最高到達溫度為900℃、降溫速度為0℃/秒、淬火後的回火條件為180℃120分鐘的條件時進行的關係。由圖6可知，將D*ep設定得越大，則由於必需的擴散距離越長，因此處理時間越增加。另外可知，將D*ep的值設定得越大，則由於處理時間越增加，因此硬度越高。但是，若加熱過長，則硬度飽和，在D*ep為約0.02mm時，達到最高硬度。因而，可以說D*ep的值最好為0.02mm以下。
另外，由於升溫速度隨電源的能力、感應線圈及被處理物體的形狀等而能夠取的值不同，因此最好根據裝置及被處理物體的種類適當改變升溫速度。
在本實施形態2中，根據預先求得的升溫速度與加熱相變點的關係，從升溫速度求出加熱相變點，再根據該加熱相變點，決定碳的擴散長度的計算開始溫度。因此，能夠適應快速加熱時的奧氏體化溫度的變化。其結果，根據本實施形態2的高頻熱處理方法及高頻熱處理設備，能夠更正確地求出碳的擴散長度，由此能夠使高頻熱處理產品的質量穩定。
(實施形態3)以下，根據
本發明的實施形態3。本實施形態3的高頻熱處理裝置、高頻熱處理方法及高頻熱處理產品，基本上具有與上述實施形態1的高頻熱處理裝置、高頻熱處理方法及高頻熱處理產品相同的構成。但是，在實施形態3中，在利用熱處理調節單元實施的熱處理調節工序中，在冷卻時期的判斷時進行的、淬火用測溫單元5的測溫部位1b的加熱曲線是否在TTA轉變圖上處於標準內的判斷中，採用下述的式(3)及式(2)的計算式。
Dep＝A×2(Dt)1/2…式(3)D為擴散常數，t為保持時間(秒)，A為校正係數D＝D0exp(-Q/RT)…式(2)D0為擴散常數的熵項，Q為激活能，R為氣體常數，T為絕對溫度(K)這裡，校正係數A的值是以以下的式(4)得到的值。
erf(A)＝1-0.1573C1/C2…式(4)C1為727℃的碳的固溶度(SUJ2的情況為0.52)C2為任意溫度的碳的固溶度式(3)是計算式(4)的C1的值成為C2時的碳的擴散長度Dep的計算式。C2的值為任意溫度的碳的固溶度。這些值可以預先通過實驗、或熱力學平衡計算求得。設淬火的冷卻是在式中的Dep的值達到某值(D*ep)時進行的。
下面，參照圖3，說明根據加熱曲線累計Dep的值的方法。由於決定冷卻時刻的測溫部位1b(淬火時刻側)的溫度時時刻刻變化，因此Dep的值最好累計為Dep1→Dep2→…→Depn。若開始被處理物體1的升溫，則由於在淬火用測溫單元5的測溫部位1b中，磁通的進入要少於溫度控制用測溫單元3的測溫部位1a(溫度控制側)，因此，溫度上升比溫度控制用測溫單元3的測溫部位1a要慢。通常，若溫度超過727℃，則鐵開始奧氏體化。但是，在升溫速度快時，由於鐵的加熱相變溫度變化，因此為了計算擴散距離所必需的加熱相變溫度必須隨升溫速度而變化。
由於淬火時刻側的溫度超過加熱相變溫度，因此如上述那樣累計擴散距離Dep。若任意時間的Depn超過D*ep，則立即開始冷卻。D*ep的值從縮短熱處理時間的觀點來看，最好在能夠維持所希望的熱處理質量的範圍內，是儘可能小的值。但是，從質量穩定的觀點來看，最好為達到一定程度安全的設定值。
下面，參照圖7，說明D*ep的值與硬度及處理時間的關係。另外，圖7表示以最高到達溫度為900℃、降溫速度為0℃/秒、淬火後的回火條件為180℃120分鐘的條件進行時的關係。參照圖7可知，將D*ep設定得越大，則由於必需的擴散距離越長，因此處理時間越增加。另外可知，將D*ep的值設定得越大，則由於處理時間越增加，因此硬度越高。但是，若加熱過長，則硬度飽和，在D*ep為約0.015mm時，達到最高硬度。因而，可以說D*ep的值最好為0.015mm以下。
在本實施形態3中，在求出碳的擴散長度Dep的式子中，通過使用校正係數，從而考慮到任意溫度的碳的固溶度C2，與隨著溫度變化的碳濃度的變化相對應。因此，即使在淬火時刻側的溫度時時刻刻變化時，也能夠更正確地求得碳的擴散長度Dep。其結果，根據本實施形態3的高頻熱處理方法及高頻熱處理裝置，能夠在更適當的時刻開始淬火冷卻，從而能夠使高頻熱處理產品的質量穩定。
(實施形態4)以下，根據
本發明的實施形態4。本實施形態4的高頻熱處理裝置、高頻熱處理方法及高頻熱處理產品基本上具有與上述實施形態1的高頻熱處理裝置、高頻熱處理方法及高頻熱處理產品相同的構成。但是，在實施形態4中，在利用熱處理調節單元實施的熱處理調節工序中，在冷卻時期的判斷時進行的、淬火用測溫單元5的測溫部位1b的加熱曲線是否在TTA轉變圖上處於標準內的判斷中，採用下述的式(5)(Fick的第2定律)及式(2)的計算式。
C/(t)＝D2C//(x2)…式(5)D為擴散常數，C為碳濃度(質量％)，t為時間(秒)，x為距離
D＝D0exp(-Q/RT)…式(2)D0為擴散常數的熵項，Q為激活能，R為氣體常數，T為絕對溫度(K)若用差分方程式表示式(5)，則成為下式。
Cm，n+1＝rCm+1，n+(1-2r)Cm，n+rCm-1，n…式(6)r＝D×Δt/(Δx)2…式(7)利用某邊界條件來解式(6)，根據材料中的碳的固溶狀態是否滿足規定的條件，來決定冷卻的時刻。通過將一維的兩點(以後，稱為「邊界點」)的碳濃度作為碳的固溶度，來給出邊界條件。這是從鋼中的兩個碳化物近似求出碳的擴散用的模型。
下面，參照圖8～圖11，說明構成被處理物體的材料中的碳的固溶狀態的計算例。在該碳的固溶狀態的計算中，設兩個邊界點間的距離(碳化物間的距離)為0.012mm，將邊界點的C的值(碳濃度(質量％)的值)設為SUJ2的固溶度曲線的值(利用熱力學平衡計算軟體進行計算)。該固溶度曲線的式子(固溶度的式子)能夠通過實驗或熱力學平衡計算，預先按材料分別求出。
從圖8～圖11可知，固溶碳濃度的分布隨時間經過而逐漸變化下去。在本實施形態4的方法中，根據固溶碳濃度的分布的中間位置(設兩個邊界點間的距離(碳化物間的距離)為0.012mm時為0.006mm的位置)的碳濃度是否成為規定的碳濃度，來判斷冷卻開始。另外，根據兼顧硬度與剩餘奧氏體量，決定冷卻開始時刻用的該中間位置的碳濃度的設定值最好設定為0.6～0.8質量％。另外，兩個邊界點間的距離(碳化物間距離)最好根據被處理物體在淬火前的組織或材料的不同，適當加以改變。
即，本實施形態4中決定冷卻開始例如是如以下那樣決定的。首先，利用淬火用測溫單元5測定淬火時刻側的溫度(步驟A)，根據該測定的溫度，計算邊界部分的碳量(步驟B)。將邊界部分的碳量的值給予式(6)的邊界條件，計算式(6)(步驟C)。通過以上的工序，能夠計算圖9～圖11所示的固溶碳濃度的分布(步驟D)。根據得到的固溶碳濃度的分布，進行確認，看固溶碳濃度的分布的中間位置的碳濃度是否成為規定的碳濃度(例如0.6～0.8質量％)(步驟E)。如果中間位置的碳濃度達到規定的碳濃度，則開始冷卻(步驟F)，如果沒有達到，則不開始冷卻，繼續加熱，再次返回步驟A。
另外，上述步驟C中的式(6)的具體求解方法如下所述。首先，圖9～圖11的碳分布的兩端的碳濃度是碳化物與基體的界面的碳濃度。因而，從該位置碳以某濃度(碳的固溶限度)向基體供給。為了將該條件給予式(6)，必須將某濃度(碳的固溶限度)代入C0，n及Cm，n(圖9～圖11中的0mm及0.012mm的位置)的值。
稱為差分法的該計算方法例如圖9～圖11那樣，若將空間的分割取5點(若包括邊界點，則為7點)，則能得到5個聯立方程式。但未知數為C0，n、C1，n、C2，n、C3，n、C4，n、C5，n、C6，n等7個。其中，C0，n及C6，n由於處於碳化物與基體的界面的位置，因此能夠根據固溶度的式子給出碳濃度的值。通過這樣，由於聯立方程式為5個，未知數為5個，所以能夠求出C1，n、C2，n、C3，n、C4，n、C5，n的值。
即，為了求解式(6)，若不給出兩點的碳濃度的條件，就不夠求解，但能根據固溶度的式子給出該兩點的碳濃度的條件，從而能夠求解式(6)。
上述固溶碳濃度的計算不僅在淬火時刻側進行，也在溫度控制側進行。這是由於，根據溫度控制側的碳的固溶狀態，來推測溫度控制側的剩餘奧氏體量。如圖12所示可知，整個溫度控制側的固溶碳濃度的值高於淬火時刻側的固溶碳濃度的值。這是由於，靠近加熱單元2的溫度控制側的被處理物體1的溫度高於淬火時刻側。另外，圖12的數據是將淬火溫度設為950℃一定、將到達淬火溫度的升溫速度設為300℃/秒、將碳化物間距離設為0.012mm、對於冷卻條件將碳濃度在中間位置的值設為0.6質量％時的數據。
上述的固溶碳濃度的計算開始溫度在淬火時刻側及溫度控制側都必須考慮到升溫速度來決定。該決定能夠與實施形態2中根據圖4及圖5說明的決定同樣實施。
然後，在為了淬火而開始對被處理物體加熱之後，若用圖8～圖11說明的固溶碳濃度的分布的中間位置的碳濃度超過規定的碳濃度(例如0.6～0.8質量％)，則立即開始冷卻。
根據本實施形態4的高頻熱處理方法及高頻熱處理設備，能夠根據被處理物體中的碳化物求出碳的擴散，能夠正確推測碳的固溶量。因此，能夠在滿足該碳的固溶量的條件之後進行淬火冷卻。另外，不僅在淬火時刻側，而且在溫度控制側也進行上述碳的固溶量的推測，通過這樣也能夠根據碳的固溶量來推測溫度控制側的剩餘奧氏體量。其結果，實施形態4的高頻熱處理產品成為質量穩定的高頻熱處理產品。
(實施例1)以下，說明本發明的實施例1。使用圖1所示的熱處理裝置，進行利用高頻淬火的完全淬火處理。本裝置具有溫度控制單元；以及淬火單元，溫度控制單元具有利用高頻加熱來對被處理物體1進行加熱的加熱單元2即感應線圈；測定被處理物體1中利用加熱單元2進行加熱的部位1a的溫度的溫度控制用測溫單元3即輻射溫度計；以及與該輻射溫度計連接、並根據來自輻射溫度計的溫度信息向加熱單元2輸出溫度控制信號的溫度調節單元4。
淬火單元具有測定被處理物體1中從利用加熱單元2進行加熱的部位1a離開的部位1b的溫度的淬火用測溫單元5即輻射溫度計；以及與該輻射溫度計連接、並根據來自輻射溫度計的溫度信息來調節加熱時間並輸出冷卻開始信號的熱處理調節單元6。
另外，溫度控制用測溫單元3的測溫部位1a，設在磁通進入量最多、溫度上升最大的位置。另外，淬火用測溫單元5的測溫部位1b由於設在離部位1a最遠的部位，因此磁通進入量最少，溫度上升小於溫度控制用測溫單元3的測溫部位1a。
下面，參照圖13，說明實施例1的高頻熱處理方法的簡要情況。如圖13所示，實施例1的高頻熱處理方法10是利用高頻加熱來對被處理物體1進行加熱而淬火硬化的高頻熱處理方法10，具有調節被處理物體1的溫度的溫度控制工序20；以及決定對被加熱的被處理物體1進行冷卻的時刻的淬火控制工序30。溫度控制工序20包含利用高頻加熱來對被處理物體1進行加熱的加熱工序22；測定被處理物體1中被加熱的部位的溫度、並輸出溫度信息的溫度控制用測溫工序23；以及接受根據測定的溫度的信息而輸出的溫度信息、並輸出溫度控制信號來控制對被處理物體1的加熱的溫度調節工序24。淬火控制工序30包含測定被處理物體1中從被加熱的部位離開的部位的溫度的淬火用測溫工序35、接受根據測定的溫度的信息而輸出的溫度信息來調節加熱時間、並輸出冷卻開始信號的熱處理調節工序36；以及接受熱處理調節工序36中輸出的冷卻開始信號、將被處理物體1冷卻到Ms點以下的溫度的冷卻工序37。
在本實施例1中，將JIS標準SUJ2制6206型的軸承外圈作為被處理物體。SUJ2制的被處理物體即該外圈的標準值設定為，以180℃回火時的硬度為HRC58以上，剩餘奧氏體量為12％以下。為了滿足該標準所必需的淬火溫度與保持時間的關係示於圖2。
為了充分利用所謂能夠以短時間進行處理的高頻熱處理的優點，設淬火溫度為950℃。因而，根據圖2，為了確保熱處理質量的保持時間為20秒以上、60秒以下。將決定的熱處理條件輸入微型計算機，利用PID控制，來控制溫度控制用測溫單元3的測溫部位1a的溫度。這時，同時將淬火用測溫單元5的測溫數據取入微型計算機，決定冷卻被處理物體的時刻，輸出冷卻開始信號，通過這樣進行了淬火。
淬火後，測定了被處理物體的剩餘奧氏體量及硬度。表1所示為熱處理條件及測定結果。表1的熱處理條件中，所謂最高溫度，表示利用淬火用測溫單元5測定的測溫部位1b的最高溫度。另外，所謂處理時間，表示到達最高溫度後、繼續熱處理的時間，同時表示該時間中的降溫速度。本實施例1中進行了熱處理的全部高頻熱處理產品滿足了上述的熱處理標準。另外，表1中的硬度差異表示測溫部位1a與測溫部位1b的硬度差。
(實施例2)以下，說明本發明的實施例2。使用圖1所示的高頻熱處理裝置，將SUJ2制6206型外圈作為被處理物體，進行了利用高頻淬火的完全淬火處理。設淬火溫度為900℃，設達到淬火溫度的升溫速度為10℃/秒、100℃/秒及500℃/秒。將決定的熱處理條件輸入微型計算機，利用PID控制，來控制溫度控制用測溫單元3的測溫部位1a的溫度。這時，同時將淬火用測溫單元5的測溫數據取入微型計算機，決定冷卻被處理物體的時刻，輸出冷卻開始信號，通過這樣進行了淬火。淬火後，以180℃保持120分鐘，通過這樣進行了回火。
在利用該高頻淬火的完全淬火處理的控制中，使用了式(1)及式(2)的計算式。另外，在決定式(1)的碳的擴散長度Dep的計算開始溫度時，如根據圖4及圖5說明的那樣，研究了考慮到升溫速度的變化的本實施例的方法、以及將碳的擴散長度Dep的計算開始溫度作為727℃而不考慮升溫速度的變化的比較例的方法的淬火後的淬火時刻側的硬度(維氏硬度)。表2所示為其結果。這時的D*ep的值為0.02mm，是能夠得到最高硬度(HV760左右)的條件。
另外，表2的熱處理條件中，所謂最高到達溫度，表示利用淬火用測溫單元5測定的測溫部位1b的最高溫度。另外，所謂降溫速度，表示到達最高溫度之後的熱處理繼續中的降溫速度。在本實施例的方法中，在進行了熱處理的全部高頻熱處理產品中，都滿足了熱處理標準。
由表2所示的結果可知，考慮到升溫速度的本實施例的淬火時刻側的硬度高於沒有考慮到升溫速度的比較例。這是由於，在考慮到升溫速度時，若沒有達到高於727℃的溫度，則不開始碳的擴散長度的計算，因此與沒有考慮到升溫速度的情況相比，均熱時間延長。
另外，在考慮到升溫速度的本實施例中，即使升溫速度變化，淬火時刻側的硬度也幾乎不變。與此相反，在沒有考慮到升溫速度的比較例中，淬火時刻側的硬度有一定的差異。這是由於，在沒有考慮到升溫速度時，不能計算正確的碳的擴散長度。
在這次的實驗中，在考慮到升溫速度的本實施例與沒有考慮到升溫速度的比較例的雙方之中，作為淬火時刻側的硬度，雖都能得到足夠的值(HRC58以上)，但從碳的擴散長度的正確計算的觀點來看，可以說最好考慮升溫速度。
(實施例3)以下，說明本發明的實施例3。使用圖1所示的高頻熱處理裝置，將SUJ2制6206型的軸承外圈作為被處理物體，進行了利用高頻淬火的完全淬火處理。設淬火溫度為900℃、930℃、950℃、980℃、1000℃。將決定的熱處理條件輸入微型計算機，利用PID控制，來控制溫度控制用測溫單元3的測溫部位1a的溫度。這時，同時將淬火用測溫單元5的測溫數據取入微型計算機，決定冷卻被處理物體的時刻，輸出冷卻開始信號，通過這樣進行了淬火。淬火後，以180℃保持120分鐘，通過這樣進行了回火。
在利用該高頻淬火的完全淬火處理中，在判斷淬火的冷卻時期時，對於使用了式(3)及式(2)的計算式的情況和使用了式(1)及式(2)的計算式的情況，研究了淬火後的硬度(維氏硬度)及剩餘奧氏體量。表3所示為其結果。這時的D*ep的值為0.015mm，是能夠得到最高硬度(HV760左右)的條件。
另外，表3的熱處理條件中，所謂最高到達溫度，表示利用淬火用測溫單元5測定的測溫部位1b的最高溫度。另外，所謂降溫速度，表示到達最高溫度之後的熱處理繼續中的降溫速度。另外，所謂硬度差異，表示使最高到達溫度從900℃變為1000℃時的測溫部位1b的硬度的最大值與最小值之差。再有所謂剩餘奧氏體量差異，表示使最高到達溫度從900℃變為1000℃時的測溫部位1b的剩餘奧氏體量的最大值與最小值之差。在無論採用什麼方法進行了熱處理的高頻熱處理產品中，全部高頻熱處理產品都滿足了熱處理標準。
但是，由表3的結果可知，在使用式(1)及式(2)的計算式的情況下，若熱處理條件變化，則淬火時刻側的質量略有較大變化，但在使用式(3)及式(2)的計算式的情況下，淬火時刻側的質量的變化量小。由此可知，通過使用式(3)及式(2)的計算式，即使淬火時刻側的溫度時時刻刻變化時，也能夠更正確求出碳的擴散長度。
(實施例4)以下，說明本發明的實施例4。使用圖1所示的高頻熱處理裝置，將SUJ2制6206型的軸承外圈作為被處理物體，進行了利用高頻淬火的完全淬火處理。設淬火溫度為900℃、930℃、950℃、980℃、1000℃。將決定的熱處理條件輸入微型計算機，利用PID控制，來控制溫度控制用測溫單元3的測溫部位1a的溫度。這時，同時將淬火用測溫單元5的測溫數據取入微型計算機，根據它的加熱曲線，判斷加熱是否充分，決定冷卻的時刻，輸出冷卻開始信號，通過這樣進行了淬火。淬火後，以180℃保持120分鐘，通過這樣進行了回火。
在該淬火處理中，在決定冷卻的時刻時，使用了式(5)及式(2)的計算式。另外，在決定式(5)的碳的固溶狀態的計算開始溫度時，如實施形態2中根據圖4及圖5說明的那樣，考慮到升溫速度的變化。
對溫度控制側及淬火時刻側分別研究了利用該方法得到的高頻淬火產品的淬火後的硬度(維氏硬度)及剩餘奧氏體量。表4所示為其結果。另外，表4的熱處理條件中，所謂最高到達溫度，表示利用淬火用測溫單元5測定的測溫部位1b的最高溫度。另外，所謂降溫速度，表示到達最高溫度之後的熱處理繼續中的降溫速度。
根據表4所示的結果，利用這次進行的本實施例的方法的全部熱處理條件(溫度控制用測溫單元3的測溫部位1a的條件)中，都滿足熱處理標準。另外，淬火時刻側的材料的差異少，質量穩定。
另外，表4中雖未表示，但還進行了低於SUJ2的最佳淬火溫度的最高到達溫度800℃的實驗。在這種情況下，在到達最高到達溫度後，即使繼續加熱5分鐘，也不開始淬火。這是由於，兩個邊界點間的碳濃度沒有達到規定的碳濃度。由以上可以確認，根據本實施例的方法，由於若碳的固溶量不達到足夠的值，則不開始淬火，因此能夠對淬火開始溫度進行正確的判斷。
應該認為，這次揭示的實施形態及實施例，在所有方面只是舉例表示，不是限制性的。本發明的範圍不是根據上述的說明表示的範圍，而是根據權利要求的範圍表示的範圍，意味著包含與權利要求範圍相等的意義及範圍內的全部變更。
工業上的實用性本發明的高頻熱處理裝置及高頻熱處理方法，能夠特別有效地適用於利用高頻加熱來對被處理物體進行加熱從而淬火硬化的高頻熱處理裝置及高頻熱處理方法。另外，本發明的高頻熱處理產品，能夠特別有效地適用於利用高頻加熱來進行加熱從而淬火硬化的高頻熱處理產品。
權利要求
1.一種高頻熱處理裝置，利用高頻加熱來對被處理物體(1)進行加熱從而淬火硬化，其特徵在於，具有調節所述被處理物體(1)的溫度用的溫度控制單元；以及決定對被加熱的所述被處理物體進行冷卻的時刻用的淬火單元。
2.如權利要求1所述的高頻熱處理裝置，其特徵在於，所述溫度控制單元包含利用高頻加熱來對所述被處理物體(1)進行加熱的加熱單元(2)；測定所述被處理物體(1)中利用所述加熱單元(2)進行加熱的部位(1a)的溫度的溫度控制用測溫單元(3)；以及與所述溫度控制用測溫單元(3)連接、並根據來自所述溫度控制用測溫單元(3)的溫度信息，向加熱單元(2)輸出溫度控制信號的溫度調節單元(4)，所述淬火單元包含測定所述被處理物體(1)中從利用所述加熱單元(2)進行加熱的部位離開的部位(1b)的溫度的淬火用測溫單元(5)；以及與所述淬火用測溫單元(5)連接、並根據來自所述淬火用測溫單元(5)的溫度信息來調節加熱時間並輸出冷卻開始信號的熱處理調節單元(6)。
3.一種高頻熱處理方法，利用高頻加熱來對被處理物體(1)進行加熱從而淬火硬化的高頻熱處理(10)，其特徵在於，具有以下工序調節所述被處理物體(1)的溫度的溫度控制工序(20)；以及決定對被加熱的所述被處理物體(1)進行冷卻的時刻的淬火控制工序(30)，所述溫度控制工序(20)包含利用高頻加熱來對所述被處理物體(1)進行加熱的加熱工序(22)；測定所述被處理物體(1)中進行加熱的部位(1a)的溫度的溫度控制用測溫工序(23)；以及根據測定的溫度信息，輸出溫度控制信號來控制對所述被測定物體(1)的加熱的溫度調節工序(24)，所述淬火控制工序(30)包含測定所述被處理物體(1)中從進行加熱的部位離開的部位(1b)的溫度的淬火用測溫工序(35)；以及根據測定的溫度信息來調節加熱時間並輸出冷卻開始信號的熱處理調節工序(36)。
4.一種高頻熱處理產品(1)，其特徵在於，利用權利要求3所述的高頻熱處理方法(10)進行熱處理。
5.如權利要求3所述的高頻熱處理方法(10)，其特徵在於，在所述熱處理調節工序(36)中，預先調查所述被處理物體(1)的組成中的、所述被處理物體(1)的升溫速度與加熱相變點的關係，根據所述關係並根據所述被處理物體(1)在加熱時的升溫速度，求得加熱相變點，再根據求得的加熱相變點，決定碳的擴散長度的計算開始溫度，根據所述計算開始溫度，計算所述碳的擴散長度，根據計算的擴散長度，決定對所述被處理物體(1)進行冷卻的時刻，輸出所述冷卻開始信號。
6.一種高頻熱處理裝置，用於利用權利要求5的高頻熱處理方法(10)來進行淬火，其特徵在於，具有調節所述被處理物體(1)的溫度用的溫度控制單元；以及決定對被加熱的所述被處理物體(1)進行冷卻的時刻用的淬火單元，所述溫度控制單元包含利用高頻加熱來對所述被處理物體(1)進行加熱的加熱單元(2)；測定所述被處理物體(1)中利用所述加熱單元(2)進行加熱的部位(1a)的溫度的溫度控制用測溫單元(3)；以及與所述溫度控制用測溫單元(3)連接、並根據來自所述溫度控制用測溫單元(3)的溫度信息，向加熱單元(2)輸出溫度控制信號的溫度調節單元(4)，所述淬火單元包含測定所述被處理物體(1)中從利用所述加熱單元(2)進行加熱的部位(1a)離開的部位(1b)的溫度的淬火用測溫單元(5)；以及與所述淬火用測溫單元(5)連接、並根據來自所述淬火用測溫單元(5)的溫度信息來調節加熱時間並輸出冷卻開始信號的熱處理調節單元(6)。
7.一種高頻熱處理產品(1)，其特徵在於，是利用權利要求5所述的高頻熱處理方法(10)進行熱處理的高頻熱處理產品(1)。
8.如權利要求3所述的高頻熱處理方法(10)，其特徵在於，在所述熱處理調節工序(36)中，利用以下的計算式計算碳的擴散長度Dep，Dep＝A×2(Dt)1/2D為擴散常數，t為保持時間(秒)，A為校正係數，D＝D0exp(-Q/RT)D0為擴散常數的熵項，Q為激活能，R為氣體常數，T為絕對溫度(K)，erf(A)＝1-0.1573C1/C2C1為727℃的碳的固溶度，C2為任意溫度的碳的固溶度，根據計算的擴散長度，決定對所述被處理物體(1)進行冷卻的時刻，輸出所述冷卻開始信號。
9.一種高頻熱處理裝置，用於利用權利要求8的高頻熱處理方法(10)來進行淬火，其特徵在於，具有調節所述被處理物體(1)的溫度用的溫度控制單元；以及決定對被加熱的所述被處理物體(1)進行冷卻的時刻用的淬火單元，所述溫度控制單元包含利用高頻加熱來對所述被處理物體(1)進行加熱的加熱單元(2)；測定所述被處理物體(2)中利用所述加熱單元(2)進行加熱的部位(1a)的溫度的溫度控制用測溫單元(3)；以及與所述溫度控制用測溫單元(3)連接、並根據來自所述溫度控制用測溫單元(3)的溫度信息，向加熱單元(2)輸出溫度控制信號的溫度調節單元(4)，所述淬火單元包含測定所述被處理物體(1)中從利用所述加熱單元(2)進行加熱的部位(1a)離開的部位(1b)的溫度的淬火用測溫單元(5)；以及與所述淬火用測溫單元(5)連接、並根據來自所述淬火用測溫單元(5)的溫度信息來調節加熱時間並輸出冷卻開始信號的熱處理調節單元(6)。
10.一種高頻熱處理產品(1)，其特徵在於，是利用權利要求8所述的高頻熱處理方法(10)進行熱處理的高頻熱處理產品(1)。
11.如權利要求3所述的高頻熱處理方法(10)，其特徵在於，在所述熱處理調節工序(36)中，利用以下的計算式計算碳的固溶狀態，C/(t)＝D2C/(x2)D為擴散常數，C為碳濃度(質量％)，t為時間(秒)，x為距離，D＝D0exp(-Q/RT)D0為擴散常數的熵項，Q為激活能，R為氣體常數，T為絕對溫度(K)根據計算的固溶狀態，決定對所述被處理物體(1)進行冷卻的時刻，輸出所述冷卻開始信號。
12.一種高頻熱處理裝置，用於利用權利要求11的高頻熱處理方法(10)來進行淬火用，其特徵在於，具有調節所述被處理物體(1)的溫度用的溫度控制單元；以及決定對被加熱的所述被處理物體(1)進行冷卻的時刻用的淬火單元，所述溫度控制單元包含利用高頻加熱來對所述被處理物體(1)進行加熱的加熱單元(2)；測定所述被處理物體(1)中利用所述加熱單元(2)進行加熱的部位的溫度的溫度控制用測溫單元(3)；以及與所述溫度控制用測溫單元(3)連接、並根據來自所述溫度控制用測溫單元(3)的溫度信息，向加熱單元輸出溫度控制信號的溫度調節單元(4)，所述淬火單元包含測定所述被處理物體(1)中從利用所述加熱單元(2)進行加熱的部位(1a)離開的部位(1b)的溫度的淬火用測溫單元(5)；以及與所述淬火用測溫單元(5)連接、並根據來自所述淬火用測溫單元(5)的溫度信息來調節加熱時間並輸出冷卻開始信號的熱處理調節單元(6)。
13.一種高頻熱處理產品(1)，其特徵在於，是利用權利要求11所述的高頻熱處理方法(10)進行熱處理的高頻熱處理產品(1)。
全文摘要
為了得到所希望的熱處理質量，能夠進行利用溫度控制的熱處理的高頻熱處理裝置，具有調節被處理物體(1)的溫度用的溫度控制單元；以及決定對被加熱的被處理物體(1)進行冷卻的時刻用的淬火單元。溫度控制單元包含加熱單元(2)；溫度控制用測溫單元(3)；以及溫度調節單元(4)。淬火單元包含淬火用測溫單元(5)；以及熱處理調節單元(6)。
文檔編號C21D11/00GK101048517SQ20058003057
公開日2007年10月3日 申請日期2005年9月8日 優先權日2004年9月14日
發明者藤田工, 鈴木伸幸 申請人:Ntn株式會社