直爪轉子真空泵的製作方法

2023-10-04 10:07:44 3

專利名稱：直爪轉子真空泵的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種轉子真空泵，確切地說是一種直爪轉子真空泵。
背景技術：
目前，國內外公知的爪式真空泵均採用成對的全擺線型的轉子，依靠轉子本身的獨特的曲線結構來實現在泵腔腔體360度園周內旋轉時的全程嚙合。但是，這種爪式轉子存在一個缺點，即受其結構所限，加工精度不易保證。

發明內容
本實用新型的目的是提供一種直爪轉子真空泵，其直爪轉子加工生產難度相對降低，易於實現大批量生產。這種直爪轉子真空泵專門用於半導體工業，極限真空度為0.1-3帕。
本實用新型是這樣實現的它包括基座2、泵腔3、轉子對4、電機16，電機16轉軸與安裝於泵體內的主動軸5經傳動裝置與從動軸6配合連接，轉子對4通過鍵槽配合安裝在主動軸5和從動軸6上，泵腔3串聯安裝在基座2上。
本實用新型的優點是直爪轉子，加工方便，容易控制精度，各級轉子對安裝時均有90度的相位差，被抽氣體流動順暢，過壓縮量小，使得此型泵的極限真空度可達0.1-3帕。


圖1是本實用新型的結構示意圖圖2是圖1的B-B剖視圖圖3是圖1的A-A剖視圖具體實施例
以下結合附圖對實施例作詳細描述。
由圖1-3可知，本實用新型是由四級泵腔3，位於泵腔內的傳子對4，基座2，前油箱19，主動軸5，從動軸6，齒輪箱7，主動齒輪9，從動齒輪13，電機16，連接架15，連軸器14等組成。電機16轉動軸通過連軸器14與主動軸5配合連接，主動軸5經從動齒輪13與從動軸6連接，轉子對4通過鍵槽配合串接在主動軸5和從動軸6上，每級鍵槽的相位差為90度，四級泵腔3串聯安裝在基座2上，進氣過濾器18垂直安裝在頂軸承座17上，排氣消音閥20垂直安裝在基座2上，電機16通過連接架15與基座2右端連接，整個泵體水平座落在底座1上。
轉子的周邊型體由直線23、園弧25、擺線24、園弧26、擺線27，包絡線28、園弧29七段曲直線平滑連接。
基座2內裝有主軸承8，主密封體11，基座2將泵腔3和齒輪箱7隔開，主動軸5和從動軸6均由主軸承8(兩處)定位，在兩軸端安裝有主動齒輪9和從動齒輪13，在齒輪箱7上還裝有輔助軸承10，輔助密封體12。
各級泵腔3上裝配獨立的進水調節器21與泵腔內的冷卻水道22相連通。各級泵腔3上裝有由截止閥，節流閥，單向閥組成的摻氣裝置30。
圖3還顯示了在泵腔3內由轉子對4的凸起的直爪所隔開的吸氣腔a與排氣腔b，轉子對4按圖示方向旋轉時(圖示為排氣將結束時的位置)，吸氣腔不斷增大而吸氣，排氣腔不斷縮小而排氣，周而復始完成抽氣過程。
權利要求1.一種直爪轉子真空泵，包括基座(2)、泵腔(3)、轉子對(4)、電機(16)，其特徵在於電機(16)轉軸與安裝於泵體內的主動軸(5)經傳動裝置與從動軸(6)配合連接，轉子對(4)通過鍵槽配合安裝在主動軸(5)和從動軸(6)上，泵腔(3)串聯安裝在基座(2)上。
2.根據權利要求1所述的直爪轉子真空泵，其特徵在於每級鍵配合的相位差為90度。
3.根據權利要求1所述的直爪轉子真空泵，其特徵在於轉子對(4)的周邊型體由直線(23)、園弧(25)、擺線(24)、園弧(26)、擺線(27)、包絡線(28)、園弧(29)七段曲直線平滑連接。
4.根據權利要求1所述的直爪轉子真空泵，其特徵在於各級泵腔裝配獨立的進水調節器(28)與泵腔內的冷卻水道(22)相連通。
5.根據權利要求1所述的直爪轉子真空泵，其特徵還在於各級泵腔(3)上裝有由截止閥、節流閥、單向閥組成的摻氣裝置(30)。
專利摘要直爪轉子真空泵，由泵體、轉子對、底座、主動軸、從動軸、電機、連接器、連軸器、進氣裝置等組成。其特點在於轉子的周邊型體由七段曲直線平滑連接，各級轉子對安裝時均有90度的相位差，同時對各級泵腔內的吸排氣進行了合理安排，使被抽氣體流動順暢，使泵的極限真空度達0.1－3帕，它主要為半導體工業製作晶片所用。
文檔編號F04C2/00GK2674154SQ0326048
公開日2005年1月26日 申請日期2003年9月3日 優先權日2003年9月3日
發明者於傳躍 申請人:於傳躍