一種帶鋸的保持裝置的製作方法

2023-10-08 13:40:29 1

專利名稱：一種帶鋸的保持裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種半導體行業用的帶鋸式晶體切斷機，特別涉及帶鋸式晶體 切斷機的帶鋸保持裝置。
背景技術：
目前公知的帶鋸式晶體切斷機，在帶鋸兩側多採用滑動保持，滑動保持裝置不 能隨帶鋸的轉動作隨動，且和帶鋸之間有一定的間隙，切割晶體時由於滑動保持裝置並 不是貼緊在帶鋸上的，帶鋸高速運轉的速度以及和切割物之間產生的應力就會使帶鋸出 現位置跑偏和切割不穩定的情況，同時帶鋸在跑偏時會和滑動保持裝置碰撞產生摩擦阻 力，降低了帶鋸的轉動速度，縮短了帶鋸的使用壽命。
發明內容本實用新型提供了一種帶鋸的滾動保持裝置，這種裝置可以提高切割晶體的速 度和精度，切割穩定並且能增加帶鋸的使用壽命。本實用新型所採用的技術方案是本實用新型的帶鋸滾動保持裝置主要由滾保座、偏心軸和滾輪等構件組成，滾 保座加工成L形，兩個滾輪通過角接觸軸承安裝在偏心軸上，偏心軸固定在滾保座上， 整個滾動保持裝置固定在帶鋸式晶體切斷機的固定基面上，帶鋸從兩個滾輪中間穿過並 與滾輪作無受力接觸，兩滾輪可隨帶鋸的轉動作隨動，實現對帶鋸的保持。本實用新型的有益效果由於採用了上述結構，使帶鋸在切割晶體時始終保持 在正確的位置上，保證了切割的速度與精度，提高了帶鋸的使用壽命。

圖1是本實用新型結構圖圖2是圖1沿A-A線的剖視圖圖3是本實用新型實施例結構圖。圖中1.滾保座，2.偏心軸，3.右隔墊，4.滾輪，5.外環隔墊，6.內環隔墊，7.左端蓋，8.角接觸球軸承，9.固定螺栓，10.凹槽，11.六角螺母，12滾動保持器，13.滾保座固定基面，14.晶體，15.固定架，16.夾具，17.輪盤，18.帶鋸
具體實施方式
如圖1-2，滾動保持器12主要包括滾保座1，偏心軸2和滾輪4。滾保座1是一個L形的不鏽鋼座，其上加工有三個固定用的螺孔和兩個安裝偏心 軸的螺孔，另外在滾保座1靠著滾輪的面上還加工有一個凹槽10，凹槽10可以防止帶鋸 在轉動的過程中碰到滾保座1。用右隔墊3、外環隔墊5、內環隔墊6和左端蓋7把兩個滾輪4分別固定在兩根偏心軸2上，兩根偏心軸2穿過滾保座1的兩個偏心軸螺孔，在用 六角螺母11把兩根偏心軸2固定在滾保座1上，兩個滾輪4之間的間隙剛好等於帶鋸的 厚度，使帶鋸和滾輪之間作無受力接觸。如圖3，滾動保持器12通過三個固定螺栓9固定在晶體切斷機的固定基面13 上，帶鋸18繞在晶體切斷機的兩個固定輪盤17上，帶鋸18從兩個滾輪4中間穿過，如 果帶鋸18和滾輪4沒有作無受力接觸，鬆開六角螺栓11，轉動偏心軸2，調整兩個滾輪 4之間的間隙，達到帶鋸18和滾輪4作無受力接觸，調整好後重新固定六角螺栓11。切割晶體14時，晶體14放置在固定架15上並用夾具16夾好，帶鋸18作高速 轉動，兩滾輪4也隨帶鋸18隨動，推動晶體14向前運動，實現晶體14的切割，因為滾 輪4和帶鋸18作無受力接觸且滾輪4可以隨帶鋸18隨動，這使帶鋸18在切割過程中始 終處於正確的位置，不會發生切割位置偏移，保證了切割的質量與速度，提高了帶鋸的 使用壽命。
權利要求1.一種帶鋸式晶體切斷機的帶鋸滾動保持裝置，其特徵在於它主要由滾保座、偏 心軸和滾輪等構件組成。
2.根據權利要求1所述的一種帶鋸式晶體切斷機的帶鋸滾動保持裝置，其特徵在於 滾保座上靠近滾輪的面上有一個凹槽。
3.根據權利要求1所述的一種帶鋸式晶體切斷機的帶鋸滾動保持裝置，其特徵在於 滾輪可以隨帶鋸作隨動。
4.根據權利要求1所述的一種帶鋸式晶體切斷機的帶鋸滾動保持裝置，其特徵在於 兩滾輪之間的間隙剛好等於帶鋸的厚度，滾輪和帶鋸作無受力接觸。
5.根據權利要求4所述的一種帶鋸式晶體切斷機的帶鋸滾動保持裝置，其特徵在於 兩滾輪之間的間隙可以通過偏心軸調整。
專利摘要本實用新型涉及一種帶鋸式晶體切斷機的帶鋸保持裝置，它主要通過偏心軸把兩個滾輪固定在滾保座上，帶鋸從兩個滾輪之間穿過並和滾輪作無受力接觸，當帶鋸轉動時，兩滾輪能隨帶鋸作隨動轉動，使帶鋸在切割過程中始終處在正確的位置，保證了切割的速度和精度，延長了帶鋸的使用壽命。
文檔編號B28D7/00GK201800140SQ20102054128
公開日2011年4月20日 申請日期2010年9月26日 優先權日2010年9月26日
發明者肖鋼 申請人:北京京儀世紀電子股份有限公司