光學透鏡高精度支撐結構的製作方法

2023-12-11 13:14:07 2

專利名稱：光學透鏡高精度支撐結構的製作方法
技術領域：
本發明屬於深紫外投影光刻物鏡結構設計與像差補償領域，具體涉及光學透鏡高精度支撐結構。
背景技術：
投影光刻裝備是大規模集成電路製造エ藝中的關鍵設備，近年來隨著集成電路線寬精細程度的不斷提高，投影光學裝備的解析度亦逐漸提高，目前波長193. 368nm的ArF準分子雷射器投影光刻裝備已成為90nm、65nm和45nm節點集成電路製造的主流裝備。投影光刻物鏡裝調及使用過程中，為滿足良好的光學系統性能，要求其內部透鏡面形RMS值大都在f 2nm範圍內，同時要求其工作過程中受高能雷射照射時引起的鏡片熱面形RMS控制在I 2nm範圍內。

發明內容
本發明為解決光刻投影物鏡光學透鏡高精度支撐問題，提出一種整體徑向撓性、全弾片支撐的光學透鏡高精度支撐結構。光學透鏡高精度支撐結構，包括鏡框和三個調整頂絲，所述鏡框內環上具有若干弾片，且鏡框和若干彈片為整體式結構；所述三個調整頂絲在鏡框內環上周向均勻設置。所述彈片與光學透鏡接觸部位的形狀與光學透鏡下表面接觸部位的形狀相適應，兩者之間為面接觸。本發明的有益效果是所述鏡框通過其內環上的若干弾片支撐透鏡，鏡框和若干彈片為整體式結構，當透鏡由於熱載荷等膨脹吋，由於鏡框結構整體上在徑向上存在一定的撓性，因此當鏡片膨脹收縮時能夠順應性得伸縮；透鏡裝調吋，首先將透鏡放置在若干彈片上，通過周向均勻分布的三個調整頂絲對透鏡進行調心，然後通過膠粘將透鏡和鏡框固定，最後再將三個調整頂絲擰出；從而實現光學透鏡高精度支撐。


圖I為本發明光學透鏡高精度支撐結構示意圖。圖2為本發明所述的鏡框結構示意圖。圖3為本發明所述的另ー鏡框結構示意圖。
具體實施例方式下面結合附圖對本發明進行詳細說明。如圖I所示，光學透鏡高精度支撐結構，包括鏡框2和三個調整頂絲3，鏡框2內環上具有若干弾片2-1，且鏡框2和若干弾片2-1為整體式結構；三個調整頂絲3在鏡框2內環上周向均勻設置。鏡框2通過其內環上的一圈彈片2-1支撐光學透鏡1，鏡框2和一圈彈片2-1為整體式結構，可通過慢走絲線切割的方式進行加工。當光學透鏡I由於熱載荷等膨脹吋，由於鏡框結構整體上在徑向上存在一定的撓性，因此鏡框2在光學透鏡I膨脹收縮時能適應性地伸縮。弾片2-1沿周向均布，其與鏡片接觸處的形狀依據光學透鏡I下表面接觸部位的形狀確定。如圖2所示，當鏡片接觸面為平面吋，弾片接觸面也為平面；如圖3所示，當鏡片接觸面為球面時，弾片接觸面也相應地為球面；當鏡片接觸面為非球面時，弾片接觸面也相應地為非球面。裝調時，首先將光學透鏡I放置在 若干弾片2-1上，通過周向均勻分布的三個調整頂絲3對光學透鏡I進行調心，然後通過膠粘將光學透鏡I和鏡框2固定，最後再將三個調整頂絲3擰出。
權利要求
1.光學透鏡高精度支撐結構，包括鏡框(2)和三個調整頂絲(3)，其特徵在於，所述鏡框(2)內環上具有若干弾片(2-1)，且鏡框(2)和若干弾片(2-1)為整體式結構；所述三個調整頂絲(3)在鏡框(2)內環上周向均勻設置。
2.根據權利要求I所述的光學透鏡高精度支撐結構，其特徵在於，所述彈片(2-1)與光學透鏡(I)接觸部位的形狀與光學透鏡(I)下表面接觸部位的形狀相適應，兩者之間為面接觸。
全文摘要
光學透鏡高精度支撐結構，屬於深紫外投影光刻物鏡結構設計與像差補償領域，為解決光刻投影物鏡光學透鏡高精度支撐問題，光學透鏡高精度支撐結構，包括鏡框和三個調整頂絲，所述鏡框內環上具有若干彈片，且鏡框和若干彈片為整體式結構；所述三個調整頂絲在鏡框內環上周向均勻設置；所述彈片與光學透鏡接觸部位的形狀與光學透鏡下表面接觸部位的形狀相適應，兩者之間為面接觸；透鏡裝調時，首先將透鏡放置在若干彈片上，通過周向均勻分布的三個調整頂絲對透鏡進行調心，然後通過膠粘將透鏡和鏡框固定，最後再將三個調整頂絲擰出；從而實現光學透鏡高精度支撐。
文檔編號G03F7/20GK102854596SQ20121031285
公開日2013年1月2日 申請日期2012年8月29日 優先權日2012年8月29日
發明者趙磊, 鞏巖 申請人:中國科學院長春光學精密機械與物理研究所