表面粒子計數器的製作方法
2023-12-11 15:11:32
專利名稱：表面粒子計數器的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及應用在淨室中的一種粒子計數器，具體涉及一種改進的表面粒子 計數器。
背景技術：
表面粒子計數器是一種用於檢測物體表面上的塵埃顆粒的儀器。當前所使用的表 面粒子計數器主要由採樣模塊、檢測模塊和信號處理與顯示模塊組成，所述採樣模塊用於 採集物體表面上的塵埃顆粒，通過泵體、吸氣管路和吹氣管路等組成，所述檢測模塊主要包 括粒子檢測器，用於檢測採樣氣體的塵埃顆粒，並最終通過信號處理與顯示模塊向工作人 員顯示檢測結果。然而，當前所使用的表面粒子計數器往往存在採樣模塊中吹入氣體的流量過大過 快，使空氣粒子產生靜電，從而導致影響檢測結果的問題。
實用新型內容為解決上述技術問題，我們提出了一種表面粒子計數器，可防止採樣模塊中所吹 入的氣體產生靜電，使表面粒子計數器能夠實現高速吹和快速吸的特點，從而可提高其檢 測效率和準確度。為達到上述目的，本實用新型的技術方案如下一種表面粒子計數器，包括採樣模塊、檢測模塊和信號處理與顯示模塊；所述採樣 模塊與所述檢測模塊相連接，所述採樣模塊包括氣路裝置和與所述氣路裝置相連的消靜電 裝置；所述檢測模塊與所述信號處理與顯示模塊相連接。優選的，所述氣路裝置包括吹氣管路、吸氣管路和泵體。優選的，所述消靜電裝置為消靜電管。通過上述技術方案，本實用新型提供了一種表面粒子計數器，通過在採樣模塊上 設置消靜電管，使得吹入的空氣粒子不產生靜電，使表面粒子計數器能夠實現高速吹和快 速吸的特點，從而可提高其檢測效率和準確度。
為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例 或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅 是本實用新型的一些實施例，對於本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提 下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本實用新型實施例所公開的一種表面粒子計數器的結構示意圖；圖2為本實用新型實施例所公開的採樣模塊的結構示意圖；圖3為本實用新型實施例所公開的氣路通道示意圖。
具體實施方式
下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行 清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的 實施例。基於本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下 所獲得的所有其他實施例，都屬於本實用新型保護的範圍。本實用新型提供了一種表面粒子計數器，可防止採樣模塊中所吹入的氣體產生靜 電，使表面粒子計數器能夠實現高速吹和快速吸的特點，可提高其檢測效率和準確度。參見圖1，本實用新型所提供的表面粒子技術器，包括採樣模塊100、檢測模塊200 和信號處理與顯示模塊300。採樣模塊100用於採集物體表面上的塵埃顆粒，參見圖2所示的示意圖，該模塊包 括吹氣嘴101、吹氣腔102、消靜電管103、吸氣嘴104和吸氣腔105，由吹氣嘴101所吹入的 氣體經消靜電管103之後，使得氣體中的空氣粒子之間不存在靜電，可以進行高速吹氣，然 後吸氣管路快速將氣體吸入到檢測模塊200進行檢測，從而可以提高表面粒子計數器的檢 測效率和準確度。檢測模塊200與採樣模塊100相連接，用於檢測檢測採樣氣體的塵埃顆粒，包括粒 子檢測器201，粒子檢測器201可以採用現有技術已知的用於確定粒子數量和大小的雷射 二極體光散射計數器。信號處理與顯示模塊300與檢測模塊200相連接，用於向工作人員顯示檢測結果。參見圖3，為本實用新型所提供的一種表面粒子計數器的氣路通道。該氣路通道 基本上是一個閉合系統，將潔淨空氣提供到吹氣管路，使粒子在氣流中返回，將該氣流通過 消靜電管103進行消靜電後由吸氣管路吸至吸氣腔105，並送至粒子檢測器201進行檢測。 真空泵體106兩側分別連接用於濾出流動空氣中的粒子的高效過濾器107，和用於測量氣 流流速的空氣流量計108。本實用新型所提供的表面粒子計數器，通過在採樣模塊上設置消靜電管，使得吹 入的空氣粒子不產生靜電，使表面粒子計數器能夠實現高速吹和快速吸的特點，從而可提 高其檢測效率和準確度。對所公開的實施例的上述說明，使本領域專業技術人員能夠實現或使用本實用新 型。對這些實施例的多種修改對本領域的專業技術人員來說將是顯而易見的，本文中所定 義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或範圍的情況下，在其它實施例中實現。因 此，本實用新型將不會被限制於本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理 和新穎特點相一致的最寬的範圍。
權利要求一種表面粒子計數器，其特徵在於，包括採樣模塊、檢測模塊和信號處理與顯示模塊；所述採樣模塊與所述檢測模塊相連接，所述採樣模塊包括氣路裝置和與所述氣路裝置相連的消靜電裝置；所述檢測模塊與所述信號處理與顯示模塊相連接。
2.根據權利要求1所述的一種表面粒子計數器，其特徵在於，所述氣路裝置包括吹氣 管路、吸氣管路和泵體。
3.根據權利要求1所述的一種表面粒子計數器，其特徵在於，所述消靜電裝置為消靜電管。
專利摘要本實用新型公開了一種表面粒子計數器，其特徵在於，包括採樣模塊、檢測模塊和信號處理與顯示模塊；所述採樣模塊與所述檢測模塊相連接，所述採樣模塊包括氣路裝置和與所述氣路裝置相連的消靜電裝置；所述檢測模塊與所述信號處理與顯示模塊相連接，通過本實用新型所提供的一種表面粒子計數器，可防止採樣模塊中所吹入的氣體產生靜電，使表面粒子計數器能夠實現高速吹和快速吸的特點，從而可提高其檢測效率和準確度。
文檔編號G01N1/10GK201757736SQ20102025597
公開日2011年3月9日 申請日期2010年7月13日 優先權日2010年7月13日
發明者曾世清 申請人:蘇州工業園區鴻基潔淨科技有限公司