半導體切割設備的排水裝置的製作方法
2023-09-15 04:05:55
專利名稱:半導體切割設備的排水裝置的製作方法
技術領域:
本實用新型涉及半導體切割設備,具體地說是一種半導體切割設備的排水裝置。
背景技術:
現有的半導體切割設備使用塑料波紋管來進行廢水、廢渣的排除。塑料材質的波紋管,在長期的伸縮工作中容易磨損,從而導致漏水到設備內部,導致設備故障停機,漏水導致的設備故障率為平均每月25%,影響設備稼動,因此需要周期性更換塑料波紋管,致使設備的維護成本很高。
發明內容本實用新型針對上述問題,提供一種半導體切割設備的排水裝置,該裝置經久耐用,可減少設備的故障率,降低維護成本。按照本實用新型的技術方案一種半導體切割設備的排水裝置,包括位於切割裝置下方的安裝於防水板導軌上的可前後移動的移動防水板,所述移動防水板的下方設置有固定排水排渣板,所述固定排水排渣板出料口的下方設置有排水排渣槽。所述固定排水排渣板用金屬材料製成。所述固定排水排渣板用不鏽鋼材料製成。所述固定排水排渣板傾斜設置。所述排水排渣槽內設置有可左右移動的移動排渣裝置。本實用新型的技術效果在於本實用新型採用固定排水排渣板來代替現有技術中的塑料波紋管,持久耐用,不需要定期更換,減少了設備故障率,節約了設備的維護成本及部件成本,大大改善了設備的生產性能。
圖1為本實用新型的結構俯視圖。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式
作進一步的說明。圖1中,包括切割裝置1、防水板導軌2、移動防水板3、固定排水排渣板4、移動排渣裝置5、排水排渣槽6等。如圖1所示,本實用新型是一種半導體切割設備的排水裝置,包括位於切割裝置1 下方的安裝於防水板導軌2上的可前後移動的移動防水板3,移動防水板3的下方設置有固定排水排渣板4,固定排水排渣板4出料口的下方設置有排水排渣槽6。固定排水排渣板4用金屬材料製成,最好用不鏽鋼材料製成。固定排水排渣板4可水平設置,但最好傾斜設置,以便於導料。在排水排渣槽6內還可以設置有可左右移動的移動排渣裝置5。移動排渣裝置5由料耙及帶動料耙左右移動的傳動機構構成,該傳動機構可採用任一種已知的動力源,比如電機或氣缸、油缸等。本實用新型的工作過程如下本實用新型通過移動防水板3前後移動進行防水, 然後通過切割設備噴水、吹氣的壓力將廢水、廢渣排到固定排水排渣板4,再由固定排水排渣板4導入排水排渣槽6內。排水排渣槽6內的廢水排到廢水處理裝置進行處理,廢渣利用移動排渣裝置5的左右移動,聚集到排水排渣槽6的一側,然後由人工清除。本實用新型採用固定排水排渣板4來代替現有技術中的塑料波紋管,持久耐用, 不需要定期更換,減少了設備故障率,節約了設備的維護成本及部件成本,大大改善了設備的生產性能。本實用新型用於半導體切割設備後,沒有再發生漏水現象,設備稼動率提高了 25%。
權利要求1.一種半導體切割設備的排水裝置,包括位於切割裝置(1)下方的安裝於防水板導軌 (2)上的可前後移動的移動防水板(3),其特徵是所述移動防水板(3)的下方設置有固定排水排渣板(4 ),所述固定排水排渣板(4 )出料口的下方設置有排水排渣槽(6 )。
2.按照權利要求1所述的半導體切割設備的排水裝置,其特徵是所述固定排水排渣板(4)用金屬材料製成。
3.按照權利要求2所述的半導體切割設備的排水裝置,其特徵是所述固定排水排渣板(4)用不鏽鋼材料製成。
4.按照權利要求1所述的半導體切割設備的排水裝置,其特徵是所述固定排水排渣板(4)傾斜設置。
5.按照權利要求1所述的半導體切割設備的排水裝置,其特徵是所述排水排渣槽(6) 內設置有可左右移動的移動排渣裝置(5 )。
專利摘要本實用新型涉及一種半導體切割設備的排水裝置,包括位於切割裝置下方的安裝於防水板導軌上的可前後移動的移動防水板,所述移動防水板的下方設置有固定排水排渣板,所述固定排水排渣板出料口的下方設置有排水排渣槽。本實用新型採用固定排水排渣板來代替現有技術中的塑料波紋管,持久耐用,不需要定期更換,減少了設備故障率,節約了設備的維護成本及部件成本,大大改善了設備的生產性能。
文檔編號H01L21/00GK202151886SQ20112024925
公開日2012年2月29日 申請日期2011年7月14日 優先權日2011年7月14日
發明者郭良奎 申請人:海太半導體(無錫)有限公司