一種透明導電玻璃的製作方法

2023-09-13 22:14:55

專利名稱：一種透明導電玻璃的製作方法
技術領域：
本實用新型屬於涉及玻璃加工領域，尤其是涉及一種透明導電玻璃。
背景技術：
隨著全球對可再生、清潔和安全能源需求的日益提升，薄膜等新技術的創新和成 本的逐步降低，各類薄膜太陽能電池正成為全球新型太陽能電池研究的重點和熱點，並且 越來越廣泛地在各個領域應用，我國很多企業也加入到了薄膜太陽能電池行業中。透明導 電玻璃是薄膜太陽能電池的主要原材料之一，起到透光、電極的作用，在此基礎上進行非晶 矽光電轉換功能膜層的沉積。膜層的導電性、透光性、霧度等是主要技術指標，作為該透明 導電玻璃需要一層透明導電膜層，以便於電流輸出。上述透明導電玻璃一般包括透明玻璃基板，沉積在玻璃基板表面上的保護層， 以及沉積在所述保護層表面的TCO膜層(Transparent conducting oxide，透明導電膜 層)。上述保護層起離子阻擋層的作用，避免玻璃中的Na+離子等金屬離子進入TCO膜層， 降低TCO的電學性能，上述TCO膜層可為FTO (摻氟SnO2導電薄膜)，AZ0(Al-doped ZnO conducting film摻鋁氧化鋅導電薄膜)，YZO(Yttrium-doped ZnO conducting film，摻釔 氧化鋅導電薄膜)，ITO (Indium TinOxides，氧化銦錫導電薄膜)。目前，透明導電膜層的保護層主要為SiO2膜層或Si3N4膜層，但這兩種膜層都有一 定的不足之處。SiO2的折射率一般在1. 4 1. 5，TCO膜層的折射率一般在1. 9 2. 2，兩 者相差太大，致使透明導電玻璃減反效果差；濺射Si3N4膜的折射率一般在在2.0 2. 1，矽 酸鹽玻璃的折射率一般在1. 50 1. 56，兩者相差較大，透明導電玻璃減反效果也不好。

實用新型內容本實用新型實施例的目的在於提供一種透明導電玻璃，旨在解決現有透明導電玻 璃保護層減反效果不好的問題。本實用新型實施例是這樣實現的，一種透明導電玻璃，包括透明玻璃基板，沉積在 玻璃基板表面上的保護層，以及沉積在所述保護層表面的TCO膜層，保護層為SiNxOy化合物 膜層，其中，x>0，0<y<2。與現有技術相比，本實用新型提供的TCO透明導電膜層的保護層不是採用傳統的 二氧化矽(SiO2)膜層或者氮化矽(Si3N4)膜層，而是採用SiNxOy(0 <x,0<y< 1)化合物 膜層，其折射率為1.6 1.9，其折射率可通過調節氮氧元素比實現連續可調，不但可阻擋 玻璃中Na+等金屬離子進入TCO膜層，而且還可使這層保護層具有最佳的減反效果。

圖1是本實用新型實施例提供的透明導電玻璃結構示意圖。
具體實施方式
為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合實施例，對本 實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用 新型，並不用於限定本實用新型。本實用新型實施例提供一種能提高現有透明導電玻璃的減反效果的透明導電玻 璃，為此，本實用新型實施例透明導電玻璃包括沉積在玻璃基板表面上的SiNxOy保護層，其 中，χ > 0，0 < y 0，0 < y < 2。在本實用新型實施例中，上述SiNxOy化合物膜層2折射率在1. 6-1. 9之間，厚度在 30nm-200nm之間。上述SiNxOy化合物膜層2折射率可通過調節氮氧元素比實現連續可調， 不但可阻擋玻璃中Na+等金屬離子進入TCO膜層，而且還可使這層保護層具有最佳的減反 效果。在本實用新型實施例中，透明玻璃基板1可為任何形式的玻璃，為提高薄膜電池 等光電器件性能，優選在可見光波段(380nm-780nm)透過率大於90%的高透玻璃。在本實用新型實施例中，SiNxOy化合物膜層2可採用任何沉積薄膜的方法製備出 來，包括濺射、化學氣相沉積(CVD)、溶膠凝膠法和物理氣相沉積法(PVD)等，如為濺射方 法，可為任何形式的濺射，包括直流濺射、脈衝濺射、中頻濺射、射頻濺射和磁控濺射等，為 提高工藝的穩定性和產品率，也可使用孿生靶或多靶技術進行濺射。本實用新型實施例的主要應用於薄膜電池、薄膜開關、電加熱材料和液晶顯示器 等光電領域，其TCO膜層3可為採用任何方式製備的任何透明導電膜層，包括FT0、IT0、AZ0、 ZnO, YZO、GZO等，膜層中還可摻雜Al、Ga、Y等元素的一種或多種元素。以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，並不用以限制本實用新型，凡在本 實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型 的保護範圍之內。
權利要求一種透明導電玻璃，包括透明玻璃基板、保護層以及沉積在所述保護層表面的TCO膜層，其特徵在於，所述保護層沉積在玻璃基板表面上的SiNxOy化合物膜層，其中，x＞0，0＜y＜2。
2.如權利要求1所述透明導電玻璃，其特徵在於，所述的SiNxOy化合物膜層折射率在 1.6 1.9之間，厚度在30nm 200nm之間。
3.如權利要求1所述透明導電玻璃，其特徵在於，所述TCO膜層為FT0、ΑΖΟ、ΙΤ0,GZO 或YZO透明導電膜層。
4.如權利要求1所述透明導電玻璃，其特徵在於，所述透明玻璃基板為可見光波段 380nm-780nm，透過率大於90%的透明玻璃。
專利摘要本實用新型提供了一種透明導電玻璃，包括透明玻璃基板、保護層以及沉積在所述保護層表面的TCO膜層，保護層沉積在玻璃基板表面上的SiNxOy化合物膜層，其中，x＞0，0＜y＜2。本實用新型的透明導電玻璃的保護層不但可阻擋玻璃中Na+等金屬離子進入TCO膜層，而且還可使這層保護層具有最佳的減反效果，用其製備的透明導電玻璃可廣泛地應用於太陽能電池、液晶顯示器等領域。
文檔編號C03C17/34GK201665622SQ201020147049
公開日2010年12月8日 申請日期2010年3月29日 優先權日2010年3月29日
發明者何立山, 張榮耀, 董清世, 辛崇飛 申請人:信義超白光伏玻璃(東莞)有限公司