有機電致發光面板和有機電致發光顯示裝置的製作方法

2023-09-20 23:10:15 4

專利名稱：有機電致發光面板和有機電致發光顯示裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及有機電致發光面板和有機電致發光顯示裝置。更詳細 地講，涉及具有在薄膜電晶體、布線等上隔著絕緣膜配置有機電致發 光元件的構造的有機電致發光面板和使用該面板的有機電致發光顯示 裝置。
背景技術：
有機電致發光(以下也稱為"有機EL")顯示裝置是具備將自發 光元件的有機EL元件作為光源排列的有機EL面板的顯示裝置。該有 機EL顯示裝置雖然在有機EL元件的長壽命化、顯示器尺寸的大型化 等方面還有改善的餘地，但在原理上，在薄型化、輕量化、廣視角化、 動畫特性的提高、低消耗電力化、部件數量的減少等方面具有有利的 構造。因此，有機EL顯示裝置極其有望作為下一代的薄形顯示裝置， 面向其真正的實用化和普及，當前正在大力進行研究開發。
此外，在電視機、監視器等設置有大量像素的顯示裝置中，為了 能夠進行高精細的圖像顯示， 一般在像素的驅動控制中使用有源矩陣 方式。有源矩陣方式是在矩陣狀配置的每個像素上設置薄膜電晶體(以 下也稱為"TFT")，通過控制信號對該TFT進行開關，由此控制施加 到各個像素上的電壓進行圖像顯示的方式。然而，在使用有源矩陣方 式的情況下，由於需要在每個像素配置TFT和與其連接的布線，因此 導致顯示區域的面積相對像素整體的面積的比例，即開口率減小。
作為提高開口率的方法，在有源矩陣型的有機EL面板中，以覆蓋 TFT和布線的方式，形成平坦化的層間絕緣膜，在該層間絕緣膜上設 置有機EL元件的構造是有效的(例如，參照專利文獻1)。在專利文 獻1中，作為層間絕緣膜，記載有聚醯亞胺塗膜、SiOj莫，而通常作 為層間絕緣膜的材料，優選使用有機材料。這是因為為了確保層間絕 緣膜的厚度為一定以上，使用有機材料有利於製造工藝的簡化、製造成本的降低等。然而，由於有機材料易於含有水分，因此己知由於有
由有機材料構成的層間絕緣膜的存在，而具有有機EL元件的發光亮度 降低等影響。
對此，公開有通過採取用無機絕緣膜覆蓋有機絕緣模的結構，防 止對有機EL元件的影響的方法(例如，參照專利文獻2、 3、 4)。此 外，公開有通過對基板加熱或者放置在減壓氣氛下進行脫水處理，防 止殘留水分對有機EL元件的影響的方法(例如，參照專利文獻5)。
然而，即使使用這些方法，也不能完全防止有機EL面板隨著時間 的經過，從顯示區域的周邊部開始發光亮度降低的這種圖像收縮(參 照圖4)，還有改善的餘地。
專利文獻h日本專利特開平10—189252號公報 專利文獻2:日本專利特開2001 — 356711號公報 專利文獻3:日本專利特開2005—26103號公報 專利文獻4:日本專利特開2004 — 241247號公報 專利文獻5:日本專利特開2001 — 196188號公報

發明內容
本發明鑑於上述現狀而完成，目的在於提供發光亮度的可靠性優 異的有機EL面板和使用該面板的有機EL顯示裝置。
本發明的發明人對於在表面形成有有機絕緣模的基板上具備有機 EL元件的有機EL面板進行了各種研究後，著眼於由於有機絕緣膜由 易吸水的材質構成，因此殘留在有機絕緣膜中的水分在有機EL元件內 移動，容易對發光特性帶來影響，僅是在有機絕緣膜上配置無機絕緣 膜，或者在有機EL面板的製造工序中進行有機絕緣膜的脫水的現有的 對策中，不能充分得到發光亮度的可靠性。例如，在有源矩陣型有機 EL面板的製造中，即使在(1)以覆蓋TFT和布線的形式形成有機絕 緣膜，(2)在該有機絕緣膜上設置有機EL元件，(3)為了防止有機 EL元件的第一電極(下部電極)與第二電極(上部電極)的洩漏，使 有機EL元件的發光部開口 ，且以覆蓋第一電極的邊緣的形狀在層間絕 緣膜上形成無機絕緣膜，(4)為了防止有機絕緣膜的含有水分的影響， 進行過脫水處理的情況下，也產生所製造的有機EL面板隨著時間的經
5過，發光亮度從顯示區域的周邊部開始降低的這種圖像收縮(參照圖4) 的問題。
因而，本發明的發明人進一步研究的結果，發現在上述(4)的脫 水處理中，雖然能夠從顯示區域的有機絕緣膜中充分去除水分，但是 在顯示區域外的有機絕緣膜中殘留有能夠對有機EL元件帶來影響的 量的水分，並發現這是成為亮度從顯示區域周邊部開始降低的原因。 而且，發現顯示區域與顯示區域外的差別在於有無形成於有機絕緣膜 上的無機絕緣膜中的開口，在無機絕緣膜完全覆蓋有機絕緣膜的情況 下，不能充分得到脫水的效果，通過使無機絕緣膜開口，能夠充分得 到脫水的效果。這樣，本發明的發明人發現通過在有機EL面板上設置 覆蓋有機絕緣膜和第一電極，並且在顯示區域內的第一電極上以及顯 示區域外具有開口的無機絕緣膜，能夠在面板的整個區域脫水有機絕 緣膜含有的水分，能夠防止有機EL面板的像素收縮，製造具有高可靠 性的有機EL面板，從而想到能夠完美地解決上述課題，而達成本發明。
艮P，本發明是具有在表面形成有有機絕緣膜的基板上依次疊層有 第一電極、至少包括發光層的有機層、第二電極的構造的有機電致發 光面板，上述有機電致發光面板的特徵在於具備無機絕緣膜，該無機 絕緣膜覆蓋有機絕緣膜和第一電極，並且在顯示區域內的第一電極上 以及顯示區域外具有開口。
以下詳細敘述本發明。
本發明的有機EL面板是具有在表面形成有有機絕緣膜的基板上 依次疊層有第一電極、至少包括發光層的有機層、第二電極的構造的 面板。換句話講，本發明的有機EL面板是在表面形成有有機絕緣膜的 基板上具有有機EL元件的面板。有機EL元件具有在一對電極之間夾 持有發光層、空穴(孔)輸送層、空穴(孔)注入層、電子輸送層等 有機層(有機EL層)的構造，通過在一對電極之間施加電壓而發光。 有機EL面板為了驅動配置有有機EL元件的像素，在每個像素需要開 關用和驅動用的至少2個TFT，進而也存在在顯示區域外具有布線和 用於控制作為顯示裝置的有機EL面板的各像素的驅動電路(驅動器)。 從而，在本發明中，作為在表面形成有上述有機絕緣膜的基板，優選 使用在基板上形成有多個TFT、信號線，其上方形成有有機絕緣膜的有源矩陣基板。
上述有機絕緣膜只要是由有機材料構成的絕緣膜則沒有特別限
定，具有使有機EL元件與配置在基板上的TFT和布線等分離的作為 層間絕緣膜的作用。有機絕緣膜為了將上述的TFT、布線和驅動電路 等與在有機EL元件中使用的電極分離而在具有有機EL元件的第一電 極、有機層和第二電極的顯示區域和具有驅動器的顯示區域外的兩者 中需要。此外，通過設置有機絕緣膜，能夠對由於配置有TFT、布線 等產生的基板面的凹凸進行平坦化，容易形成有機EL元件。而且，通 過設置有機絕緣膜，由於能夠使形成於基板上的TFT、布線等與有機 EL元件在平面看時接近或者重疊，因此能夠提高開口率。
本發明的有機EL面板具備覆蓋有機絕緣膜和第一電極，並且在顯 示區域內的第一電極上以及顯示區域外具有開口的無機絕緣膜。在現 有技術中，通過設置無機絕緣膜，以阻斷有機絕緣膜中的殘留水分對 有機EL元件的影響為目的而使用。與此相對，本發明的無機絕緣膜不 是以阻斷位於有機EL元件的第一電極下方的有機絕緣膜所含有的水 分為目的。本發明中的無機絕緣膜的作用在於第一，覆蓋第一電極， 並且通過在第一電極上具有開口，防止由第一電極邊緣部的有機EL元 件的第一電極與第二電極之間的洩漏引起的缺陷。第二，本發明中的 無機絕緣膜能夠抑制雜質從位於有機EL元件的下方的有機絕緣膜向 有機EL元件的擴散。第三，本發明中的無機絕緣膜能夠防止UV清洗 等的有機絕緣物的分解消失和由再次附著引起的基板的汙染。第四， 本發明中的無機絕緣膜也能夠在後面詳細敘述的粘接密封部件的密封 部下的布線之間的短路抑制方面加以利用。第五，本發明中的無機絕 緣膜還能活用作為在噴墨法等的利用液態材料的塗敷法中形成有機層 時的液體滯留用的岸堤。
有機絕緣膜即使用第一電極或無機絕緣膜覆蓋，也有可能通過膜 間的界面、膜的端面、氣泡(pinhole)等吸溼。例如，在電極圖形化 工序中的光致抗蝕劑的剝離清洗處理時存在有機絕緣膜吸溼的情況。 與此相對，本發明中的無機絕緣膜由於除顯示區域內的第一電極上的 開口 (以下，也稱為第一開口部)以外，在顯示區域外具備開口 (以 下，也稱為第二開口部)，因此也能夠通過第二開口部對顯示區域外的有機絕緣膜通過脫水處理充分降低殘留水分。其結果，能夠防止從顯
示區域周邊部開始的亮度降低，提高有機EL面板中的發光亮度的可靠 性。
此外，在本發明中，作為顯示區域是指配置有多個包括有機EL元 件的像素，在有機EL顯示裝置中作為顯示畫面加以利用的區域。在顯 示區域外，也存在具有布線和用於控制作為顯示裝置的有機EL面板的 各像素的驅動電路(驅動器)的情況。
在本發明中，無機絕緣膜的第一和第二開口部是未形成有無機絕 緣膜的區域，關於形狀、大小、數量、配置間隔等沒有特別限定，第 一開口部和第二開口部也可以是相同的方式。此外，第二開口部可以 是例如設置在無機絕緣膜的周緣部分的切口部(凹部)，也可以是顯示 區域外的有機絕緣膜上的整個區域。
上述無機絕緣膜只要是由無機材料構成的絕緣膜則沒有特別限 定，優選具有對電極膜的圖形化的選擇性的材料。即，在無機絕緣膜 的圖形化時，優選通過適當選擇蝕刻劑，能夠使無機絕緣膜的蝕刻速 度大於電極膜的蝕刻速度。作為這樣的無機絕緣膜，例如可以舉出氧 化矽膜、氮化矽膜、氧化鋁膜、氮化鋁膜、五氧化鉭膜等。此外，上 述有機絕緣膜從能夠使材料和設備共用化的觀點出發，優選由構成有 機EL面板的其它部分的材料構成的膜，例如可以舉出氧化矽、氮化矽等。
作為本發明的有機EL面板的結構，只要是以這樣的結構要素為必 須而形成的結構，則就沒有特別限定，也可以包括其它構成要素。
以下詳細說明本發明的有機EL面板的優選方式。
上述無機絕緣膜的顯示區域外的開口優選相對顯示區域外的有機 絕緣膜形成區域的面積具有10%以上的面積。通過採用這樣的結構， 能夠通過脫水處理，進一步充分降低顯示區域外的有機絕緣膜中的殘 留水分，因此能夠更有效地防止從顯示區域周邊部的亮度降低，能夠 進一步提高有機EL面板的發光亮度的可靠性。另外第二開口部相對顯 示區域外的有機絕緣膜形成區域的面積比例的更理想的下限是20% ， 理想的上限是80%。
上述有機EL面板優選在無機絕緣膜的顯示區域外的開口下具有保護膜。通過採用這樣的結構，能夠在通過蝕刻等對無機絕緣膜進行
開口時保護有機絕緣膜，能夠謀求有機EL面板的製造成品率的提高。 此外，在顯示區域外的保護膜配置於位於有機絕緣膜下方的驅動器、 布線與位於有機絕緣膜上方的第二電極之間的情況下，通過適當選擇 保護膜的材質、膜厚、形狀、圖形等，能夠調整第二電極與驅動器、 布線之間的電容。
此外，在顯示區域外的無機絕緣膜的開口下形成有保護膜的方式 中，在保護膜的透水性小的情況下，有機絕緣膜含有的水分被保護膜 阻礙而難以從有機絕緣膜經過保護膜從無機絕緣膜的開口放出。從而 優選為(A)上述有機EL面板在無機絕緣膜的顯示區域外的各個開 口下分別設置有一個覆蓋該開口下的有機絕緣膜的保護膜的方式，(B) 上述保護膜具有開口 (包括設置在外周的切口部)的方式。依據上述 方式(A)或者(B)能夠從未形成保護膜的部分經過保護膜與無機絕 緣膜的界面從無機絕緣膜的開口更有效地脫水有機絕緣膜含有的水 分。
在上述方式(B)中，作為設置在保護膜上的開口，既可以設置在 無機絕緣膜的開口之下，也可以設置在無機絕緣膜的開口的下面以外。 在通過在無機絕緣膜的開口下的整個面上設置保護膜，不能充分進行 有機絕緣膜的脫水的情況下，上述保護膜優選在顯示區域外的無機絕 緣膜的開口下具有開口。上述保護膜的開口優選相對顯示區域外的有 機絕緣膜形成區域的面積具有10%以上的面積。保護膜的開口相對顯 示區域外的有機絕緣膜形成區域的面積比例更理想的下限是20%，理 想的上限是80%。
此外，作為具有上述開口的保護膜的其它優選方式，可以舉出在 設置在表面形成有上述有機絕緣膜的基板上的布線等導電部件之上配 置的方式。即，優選在導電部件上方以外設置保護膜的開口，使得能 夠充分保護配置在有機絕緣膜下的布線等導電部件。
作為上述保護膜的材質，只要是在無機絕緣膜的開口時能夠保護 有機絕緣膜的材料，則沒有特別限定。即，具有對無機絕緣膜的圖形 化的選擇性的材料(在無機絕緣膜的圖形化時，通過適當選擇蝕刻劑， 能夠使無機絕緣膜的蝕刻速度大於保護膜的蝕刻速度的材料)。與優選使用具有對電極膜的圖形化的選擇性的無機絕緣膜相對應，優選使用 電極膜作為這種保護膜。從而，上述保護膜優選通過與第一電極相同
的材料形成。在這種情況下，在通過蝕刻等對有機EL元件的第一電極 進行圖形化形成時，只要變更圖形就能與第一電極同時形成保護膜及 其開口，所以不需要追加的工序而能容易形成。此外，如果使用與第 一電極相同的材料，則由於能夠用導電性材料形成保護膜，因此如後 述那樣，能夠是將保護膜保持有一定的電位的方式。此外，在使保護 膜的材質與第一電極的材質相同的情況下，從簡化製造工藝的觀點出 發，優選通過與顯示區域內的第一電極相同的圖形形成保護膜。
在將有機EL元件的發光取出到與基板相反一側的方式(頂部發射 方式)的情況下，第一電極由具有光反射性的導電性物質構成。頂部 發射方式時，作為保護膜，也可以同樣使用與第一電極相同的材質。 這種情況下，由於能夠將保護膜與第一電極同時形成，因此不需要追 加的工序就能形成保護膜。此外，在頂部發射方式的情況下，也可以 由具有光反射性的導電性物質形成第一電極，使用沒有光反射性的材 質，例如，ITO、 IZO等形成保護膜。在這種情況下，由於保護膜不具 有光反射性，因此具有保護膜不會由於外光而醒目這樣的優點。
此外，上述保護膜優選通過電連接的多個導電部構成。S卩，上述 保護膜優選通過多個導電部構成，並且該導電部分別電連接。由此， 在保護膜通過多個導電部構成的情況下，能夠防止在每個導電部電位 不同的狀態。其結果，能夠防止設置在顯示區域外的驅動器、布線受 到導電部的電位偏差的影響而降低有機EL面板的控制的穩定性。
再者，上述保護膜優選保持有一定的電位。在保護膜通過由與第 一電極相同材料形成的這種導電性材料形成的情況下，保護膜的電狀 態可以得到與其它導電部件絕緣的浮遊電位狀態或與其它導電部件連 接成為等電位的狀態。在保護膜為浮遊電位狀態的情況下，設置在顯 示區域外的驅動器和布線受到保護膜的有無或者由位置引起的偏差的 影響，有可能降低有機EL面板的控制的穩定性。另一方面，通過將保 護膜連接到保持一定電位的導電部件，對於設置在顯示區域外的驅動 器和布線，保護膜能夠穩定地維持一定的電位，能夠避免在保護膜為 浮遊電位狀態時所能看到的這種起因於保護膜的配置狀態的不穩定性，由此能夠進行穩定的有機EL面板的顯示。
作為上述一定的電位(DC電位)的值，沒有特別限定，從能夠採 用來自一般的電源IC的電位供給的觀點出發，優選一20V +20V的 範圍內，更優選一10V + 10V的範圍內。由於作為電源電位，OV最 穩定，因此進一步優選OV (接地電位)。此外，從減少在顯示器組件 中使用的電源數量的觀點出發，優選上述一定的電位與在其它用途中 使用的電源電位的任一個相同。
作為將上述保護膜保持一定的電位的方法，沒有特別限定，優選 與第二電極電連接的方法。即，上述保護膜優選與第二電極電連接。 為了將保護膜保持一定的電位，在將保護膜與有機EL元件的第二電極 電連接的情況下，不需要形成複雜的圖形以及增加電源的數量，而且， 能夠容易地配置從顯示區域內延伸到顯示區域外的第二電極取出部形 成的第二電極。作為第二電極和與其電連接的保護膜的電位(DC電 位)，優選一20V +20V的範圍內，更優選一10V "hlOV的範圍內。 從穩定地控制流入有來自各像素的有機EL元件的電流的第二電極的 觀點出發，進一步優選OV (接地電位)。
本發明的有機EL面板是通過環狀地配置在其外周的密封材料，將 形成有有機EL元件的基板與密度部件粘接而成的面板，優選在密封材 料下沒有設置有機絕緣膜。上述密封部件只要是具有通過粘接到形成 有有機EL元件的基板上而能夠形成內包有機EL元件的密封空間的構 造的部件，則沒有特別限定，可以舉出掘入玻璃基板的外緣以外而形 成的密封基板、金屬制的密封罐等。此外，密封部件可以通過密封材 料與形成有有機EL元件的基板構成為一體，也可以是在形成有有機 EL元件的基板與密封部件的粘接部中，除密封材料以外，還介入有無 機絕緣膜等。另一方面，優選有機絕緣膜不設置在密封材料與基板之 間，而是配置在由密封材料包圍的區域內。這是因為有機絕緣膜的透 水性高，因此在有機絕緣膜設置到密封區域的外側的情況下，水分從 外部透過有機絕緣膜浸入到密封空間內，導緻密封效果降低。
本發明的有機EL面板優選在密封材料下設置有無機絕緣膜，更優 選在密封材料與布線引出部之間設置有無機絕緣膜。由此，有效地防 止水分浸入到密封空間內，並且在密封材料下沒有有機絕緣膜的情況下，也能夠保護從密封空間延伸到粘接部外的布線。即，通過無機絕 緣膜能夠抑制由在基板粘接時可混入的異物等引起的布線之間的短路 或由傷痕等引起的斷線。
通過上述這種密封構造將有機EL元件與水、氧等氣氛的影響隔 離，並且由於通過形成在無機絕緣膜上的開口能夠將有機絕緣膜含有 的殘留水分放出到密封空間，因此能夠得到具有對有機EL元件的水分 的影響少的高可靠性的有機EL面板。
此外，上述有機EL面板優選面對由形成有有機EL元件的基板與 密封部件形成的氣密空間，設置有乾燥劑。通過採用這樣的結構，能 夠使氣密空間內的水分濃度成為低濃度，通過吸收有機絕緣膜含有的 殘留水分，能夠更有效地防止由水分引起的有機EL元件的經時劣化。
本發明還是具有上述有機電致發光面板的有機電致發光顯示裝 置。依據本發明，不會損害通常的有機EL顯示裝置所具有的特性面的 優點，能夠提供在發光亮度的可靠性方面也優異的有機EL顯示裝置。
依據本發明的有機EL面板，由於具有上述的結構，因此對於顯示 區域外的有機絕緣膜，也能夠通過脫水處理降低殘留水分而防止從顯 示區域周邊部開始的亮度降低，能夠提高有機EL面板的發光亮度的可 靠性。


圖1是表示實施方式1的有源矩陣型有機EL面板的外觀的平面概 略圖。
圖2是實施方式1的有源矩陣型有機EL面板的剖面概略圖。
圖3是表示實施方式1的有源矩陣型有機EL面板的顯示區域和顯 示外區域的結構的平面概略圖。
圖4是表示對於在0 100%的範圍內變更第二開口部的開口率而 製造的有機EL面板，進行85t:、 300小時的高溫保管試驗後的消光像 素列的數量的曲線圖。
圖5是表示像素收縮的狀況的說明圖。
圖6是實施方式2的有源矩陣型有機EL面板的剖面概略圖。
圖7是表示實施方式3的有源矩陣型有機EL面板的顯示區域和顯示外區域的結構的平面概略圖。
圖8是實施方式3的有源矩陣型有機EL面板的剖面概略圖。
圖9是表示實施方式4的有源矩陣型有機EL面板的顯示區域和顯
示外區域的結構的平面概略圖。
圖10是表示實施方式5的有源矩陣型有機EL面板的顯示區域和
顯示外區域的結構的平面概略圖。
符號說明
11:顯示區域(虛線內)
12:顯示外區域
13:周邊區域
14:密封區域
21:絕緣基板
22:驅動用TFT
23:驅動器
24:層間絕緣膜(有機絕緣膜)
24a:層間絕緣膜形成區域
25:接觸孔
26:第一電極
26a:保護膜
26b:連接部
27:無機絕緣膜
27a:無機絕緣膜的第二開口部
27b:無機絕緣膜形成區域
28:有機EL層
28a:空穴(孔)輸送層
28b:發光層
29:第二電極
31:密封材料
32:密封基板
33:乾燥劑
41:發光像素部
1342:消光像素部(收縮部)
具體實施例方式
以下，揭示本發明的實施方式，參照附圖更詳細地說明本發明， 然而本發明並不是僅限於這些實施方式。 (實施方式l)
圖1是表示實施方式1的有源矩陣型有機EL面板的外觀的平面概 略圖。
如圖1所示，在本實施方式的有機EL面板中存在實際顯示圖像的 顯示區域ll、其周邊區域13、密封區域(密封區域)14。顯示區域ll 由多個像素構成，各像素包括有機EL元件和控制該有機EL元件的驅 動的開關用TFT和驅動用TFT，驅動用TFT的漏極電極和有機EL元 件的第一電極經穿過有機絕緣膜的接觸孔連接。周邊區域13為了控制 設置在顯示區域11內的多個像素的驅動，設置有使用TFT構成的驅動 器和各種布線。密封區域14位於周邊區域13的外周。在密封區域14 中，通過由樹脂構成的密封材料進行絕緣基板21與密封基板的粘接， 將顯示區域11和周邊區域13內包在由此形成的密封空間(氣密空間) 內。
圖2是實施方式1的有源矩陣型有機EL面板的剖面概略圖。
以下，關於本實施方式的有源矩陣型有機EL面板，在示出製造方 法的一個例子的同時說明其結構。
在本實施方式的有源矩陣型有機EL面板的製造工序中，首先，在 玻璃基板等絕緣基板上，形成開關用TFT (未圖示)、驅動用TFT22、 驅動器23和各種布線(未圖示)，進而在其上形成由有機材料構成的 層間絕緣膜(有機絕緣膜)24。層間絕緣膜24使用丙烯類樹脂(有機 材料)塗敷形成，利用旋塗機形成2pm左右的膜厚。作為構成層間絕 緣膜24的有機絕緣膜，也可以使用聚醯亞胺類樹脂、幹膜抗蝕劑等。
在顯示區域11中，通過設置層間絕緣膜24，能夠對由開關用TFT、 驅動用TFT22、布線等產生的凹凸進行平坦化，防止該凹凸對有機EL 元件產生影響。此外，在顯示區域11中，在像素的驅動用TFT22的漏 極電極與作為有機EL元件的第一電極的透明電極26的連接中使用的接觸孔25以貫通層間絕緣膜24的方式設置。
另一方面，在周邊區域13中，通過設置層間絕緣膜24能夠保護 在後面工序中的損害，即保護驅動器23或者各種布線不受到後述的在 透明電極圖形化時的蝕刻液等的蝕刻，能夠進一步降低電磁屏蔽構造 形成時的寄生電容。此外，所謂電磁屏蔽構造是通過用導電體覆蓋驅 動器23的上方，由此防止由外部的各種電磁波或者靜電的影響引起的 驅動器23的誤動作的構造。電磁屏蔽構造通過採取用有機EL元件的 第二電極(陰極)29覆蓋驅動器23部分的構造，能夠容易製造，但是 在這種情況下，必須將陰極29與驅動器23絕緣，進而為了抑制在陰 極29與驅動器23或者各種布線之間發生的寄生電容引起的負載增大， 因此優選減小該寄生電容。關於寄生電容的降低，可以用介電常數低， 膜厚2^im左右厚度的層間絕緣膜進行絕緣。
此外，由有機材料構成的層間絕緣膜24由於透水性高，因此在將 層間絕緣膜24設置到密封區域14的外側的情況下，水分從外部透過 層間絕緣膜24，浸入到密封空間內，導致使密封效果降低。因此，在 該密封區域14中需要去除層間絕緣膜24。從而，通過塗覆形成而在絕 緣基板21上的整個面上成膜的層間絕緣膜24保留必要的部分而通過 正片顯影去除。作為層間絕緣膜24的去除部分是在上述的密封區域14 和接觸孔25形成區域以外，連接陰極29與形成在絕緣基板21上的陰 極取出布線(未圖示)的部分和對外部電路的電連接區域。
接著，在層間絕緣膜24上作為有機EL元件的陽極形成第一電極 26。從基板一側取出有機EL元件的發光的底部發射構造中的第一電極 需要透光性，使用氧化銦錫(ITO)、氧化銦鋅(IZO)、氧化鋅鋁(AZO)、 氧化鋅鎵(GZO)等透明導電膜。從與基板相反的一側取出有機EL元 件的發光的頂部發射構造中的第一電極需要反射性，使用鋁、銀、鎳 等具有反射性的金屬的單層或者具有上述反射性的金屬與透明導電膜 的疊層構造。在本實施方式中，採用底部發射構造，通過濺射法以 150nm左右膜厚在層間絕緣膜24上形成氧化銦錫(ITO)的透明導電 膜，進而，使用光刻法，通過用氫溴酸進行蝕刻，形成規定圖形的第 一電極26。此外，在使用光刻法的第一電極26的圖形化時，在光致抗 蝕劑的去除清洗時由於使用水，因此構成層間絕緣膜24的有機絕緣膜有可能吸溼。作為清洗方法，例如可以舉出浸漬到剝離液以後，在純 水中進行超聲波清洗的方法等。
接著，在形成有第一電極26的基板上，作為無機絕緣膜27，通過 濺射法以150nm左右的膜厚形成氧化矽(Si02)膜。無機絕緣膜27為 了防止有機EL元件的第一電極26的周圍(邊緣)的電流洩漏，覆蓋 第一電極26的邊緣部。如後所述，在本實施方式中，在有機EL元件 的未被無機絕緣膜27覆蓋的區域形成有有機EL層28，成為發光部。 此外，在本實施方式中，在密封區域14中為了強化密封效果而去除層 間絕緣膜24，因此在密封區域14的絕緣基板21上形成有導電圖形電 路(電路、布線)的情況下，為了防止在密封時由導電性異物等在導 電圖形之間發生短路(short),優選在密封區域14中也設置無機絕緣 膜27。
在絕緣基板21上的整個面上成膜的無機絕緣膜27上，通過由使 用光刻法的(CF4+02)氣體的幹蝕刻在規定的位置形成有開口。作為 無機絕緣膜27的開口 ，在去除有機EL元件的第一電極26上的邊緣部 的部分(第一開口部)、連接陰極29與陰極取出布線的部分和對外部 電路的電連接部分以外，在本發明中，還在形成有周邊區域13的層間 絕緣膜24的區域(顯示外區域)12中形成。由於設置在該顯示外區域 12的無機絕緣膜27的開口 (第二開口部)27a的存在，能夠使殘留在 顯示外區域12的層間絕緣膜24中的水分充分脫水。此外，在使用光 刻法的無機絕緣膜27的圖形化時，由於光致抗蝕劑的去除清洗時也使 用水，因此構成層間絕緣膜24的有機絕緣膜有可能吸溼。
作為設置在顯示外區域12中的第二開口部27a的圖形沒有特別限 定，如圖3中表示的一個例子，優選與顯示區域ll的第一開口部的圖 形相同的圖形。通過在顯示區域11的第一開口部與顯示外區域12的 第二開口部27a中使開口圖形為相同則容易進行圖形形成。此外，顯 示外區域12的第二開口部27a越大，越能夠得到更大的脫水效果。
接著，進行用於去除層間絕緣膜24中的殘留水分的脫水處理。在 脫水處理中，將形成無機絕緣膜27後的基板在170°C、 13.3Pa(0.1Toir) 的真空爐中保持48小時。作為脫水條件，並不限於上述的條件，用加 熱乾燥等也能得到本發明的作用效果。接著，作為有機EL層28的形成的前處理，清洗由ITO構成的第 一電極26的表面。作為清洗方法沒有特別限定，但是優選例如UV臭 氧處理。UV清洗方法是在空氣中向基板照射紫外線，由產生的臭氧清 洗第一電極26的表面的方法。
接著，在設置於顯示區域ll的第一電極26上的無機絕緣膜27的 開口 (第一開口部)中形成有機EL層28。作為有機EL層28，分別 通過真空蒸鍍法依次疊層有二胺衍生物(TPD)作為空穴輸送層、三 (8-羥基喹啉)鋁(Tris-(8-quinolinato)aluminum) (Alq3)膜作為發光 層。
接著，形成第二電極29作為有機EL元件的陰極。從基板一側取 出有機EL元件的發光的底部發射構造中的第二電極使用具有電子注 入性的材料與具有反射性的低電阻材料的合金或者疊層膜等。在從與 基板相反一側取出有機EL元件的發光的頂部發射構造中的第二電極 使用具有電子注入性的材料與具有透光性的低電阻材料的合金或者疊 層膜等。在本實施方式中，由於採用底部發射構造，因此作為第二電 極29，使用真空蒸鍍法，通過掩模蒸鍍，以200nm左右膜厚形成MgAg 膜。由於第二電極29成為所有像素的共用陰極，因此為了形成顯示區 域11的整體，進而電磁屏蔽構造，形成在顯示外區域12的驅動器23 上。此外，陰極29通過將層間絕緣膜24和無機絕緣膜27開口的接觸 部與陰極取出布線(未圖示)連接，通過該布線連接到外部電路。
最後，通過由環氧類紫外線固化樹脂構成的密封材料31，在密封 區域14上粘接密封基板32，通過形成內包顯示區域11和周邊區域13 的氣密空間，進行形成在顯示區域11中的有機EL元件的密封。作為 密封材料31，不限於上述的環氧類紫外線固化樹脂，但是優選透水性 低的材料。作為密封方法沒有特別限定，在本實施方式中，在由噴砂 掘入玻璃基板的密封基板32的掘入部中設置乾燥劑33，在水分濃度、 氧濃度保持為lppm以下的填充不活潑氣體的手套箱中，以乾燥劑33 與有機EL元件相對的方式，將形成有有機EL元件的基板與密封基板 32粘合。這樣製造的密封空間填充有保持為低水分濃度的N2等不活潑 氣體，通過無機絕緣膜27的第二開口部27a與密封空間相接，促進層 間絕緣膜24的脫水效果。根據以上，製作出圖1 3所示的有機EL面板。
對於本實施方式的有機EL面板，對在0 100%的範圍內變更第 二開口部27a的開口率時的發光亮度的可靠性進行評價。其中，第二 開口部27a的開口率為0%的情況不包含在本發明內。圖4表示評價的 結果。
圖4表示對於在0 100%的範圍內變更第二開口部27a的開口率 而製造的有機EL面板，進行了 85°C、 300小時的高溫保管試驗後的情 況的消光圖像列的數量。圖5中表示像素收縮的狀況。如圖4所示， 在顯示外區域面積的10%以上開口的情況下，改善到不能觀測出從顯 示區域周邊部開始的亮度降低的程度。
在本實施方式中，表示了第一電極使用ITO透明導電膜，第二電 極使用MgAg膜的底部發射構造，但是本發明並不特別限定於這樣的 方式，也可以使用上述以外的材料。另外，本發明也能夠適用於頂部 發射構造。
(實施方式2)
在實施方式1中，表示了由真空蒸鍍法形成由低分子有機EL材料 構成的發光層的情況，但是在本實施方式中，表示由噴墨法形成由高 分子有機EL材料構成的發光層的情況。
圖6是實施方式2的有源矩陣型有機EL面板的剖面概略圖。如圖 6所示，在本實施方式中，在發光層28b的周圍配置有堤壩(以下，也 稱為岸堤(bank)) 30，從噴墨裝置向岸堤30內噴射發光層28b的液 態材料，能夠按照所希望的圖形配置發光層28b。
以下，對於本實施方式的有源矩陣型有機EL面板，在表示製造方 法的一個例子的同時說明其結構。
作為本實施方式的有源矩陣型有機EL面板的製造工序，直至進行 無機絕緣膜27的開口圖形化，進行層間絕緣膜24的脫水處理為止， 均與製造實施方式1的有源矩陣型有機EL面板的情況相同進行。接著， 在完成無機絕緣膜27的開口圖形化的基板上，通過旋塗法等，以2pm 左右的膜厚塗覆形成例如由聚醯亞胺構成的感光性有機膜，進而使用 光顯影方法，通過將感光性有機膜圖形化為包圍由ITO構成的第一電 極26的圖形，形成岸堤30。其中，在使用光顯影方法的岸堤30的圖形化時，由於在顯影后的清洗時也使用水，因此構成層間絕緣膜24的 有機絕緣膜有可能吸溼。
此外，在使用聚醯亞胺等作為岸堤用感光性有機絕緣膜的情況下， 由於感光性有機膜與層間絕緣膜24的密合性差，因此有可能在工序中 發生膜剝離等，成為異物發生的原因。因此，為了使密合性良好，優 選在能夠充分進行層間絕緣膜24的脫水的範圍內，在層間絕緣膜24 上設置無機絕緣膜27。為此，在顯示外區域12中，也優選不是將層間 絕緣膜24上的無機絕緣膜27全部去除而是保留一部分。
接著，作為通過噴墨法在岸堤30內滴下有機EL用高分子墨水的 前處理，對形成有岸堤30的基板，依次實施UV臭氧處理的親水性處 理和CF4等離子體處理的撥水處理。通過這些處理，增加無機絕緣膜 27和由ITO構成的第一電極26的親水性的同時，增加岸堤30的撥水 性，使得墨水高效地滯留在岸堤內。接著，通過在岸堤30內用噴墨法 滴下有機EL用高分子墨水並進行乾燥燒制，在第一電極26上形成有 機EL層28。作為有機EL層28，依次形成空穴(孔)輸送層28a和 發光層28b。
接著，作為成為陰極的第二電極29，通過真空蒸鍍法依次疊層形 成Ba膜和Al膜。最後，通過由環氧類紫外線固化樹脂構成的密封材 料31，在密封區域14上粘接密封基板32，通過形成內包顯示區域11 和周邊區域13的氣密空間，進行形成在顯示區域11中的有機EL元件 的密封。作為密封方法沒有特別限定，在本實施方式中，在通過噴砂 掘入玻璃基板的密封基板32的掘入部中設置乾燥劑33，在水分濃度、 氧濃度保持為lppm以下的填充不活潑氣體的手套箱中，以乾燥劑33 與有機EL元件相對的方式，將形成有有機EL元件的基板與密封基板 32粘合。這樣製造的密封空間填充有保持為低水分濃度N2等不活潑氣 體，通過無機絕緣膜27的第二開口部27a與密封空間相接，促進層間 絕緣膜24的脫水效果。根據以上，製作出圖6所示的有機EL面板。 (實施方式3)
以下敘述在無機絕緣膜的第二開口部之下具有保護膜的實施方 式。通過採用在無機絕緣膜的第二開口部下具有保護膜的構造，在通 過蝕刻等對無機絕緣膜進行開口時能夠保護有機絕緣膜。在沒有保護膜的情況下，在對無機絕緣膜進行開口時，存在有機絕緣膜受到損傷， 其一部分變為灰塵，成為成品率降低的原因的情況。此外，在沒有絕 緣膜的情況下，在對無機絕緣膜進行開口時，還存在有機絕緣膜受到
損傷，進而在其後的工藝中，損傷波及到有機絕緣膜下的布線或TFT。 由此，在本發明中，優選在無機絕緣膜的第二開口部下具有保護膜的 構造。
在本實施方式中，作為保護膜，表示的是使用構成第一電極的ITO 透明導電膜的例子。圖7是表示本實施方式的有源矩陣型有機EL面板 的顯示區域和顯示區域外區域的結構的平面概略圖。圖8是本實施方 式的有源矩陣型有機EL面板的剖面概略圖。其中，對於在本實施方式 和實施方式1中發揮同樣功能的結構部件標註相同的符號。
在本實施方式中，除第一電極的形成工序以外，與實施方式1相 同，製作出有機EL面板。即，在本實施方式中，第一電極的形成工序 兼為保護膜的形成工序，在顯示區域11中對ITO透明導電膜進行圖形 化而形成第一電極26時，在顯示外區域12中也通過進行ITO透明導 電膜的圖形化，在無機絕緣膜27的第二開口部27a之下配置ITO透明 導電膜作為層間絕緣膜24的保護膜26a。如圖7所示，在無機絕緣膜 27的每4個第二開口部27a上設置共同的保護膜26a。當然本發明並 不限於這種情況，既可以在每一個第二開口部27a上設置保護膜26a， 也可以例如在每3個或每9個等，在每個任意多個數量的第二開口部 27a上設置共同的保護膜26a。通過設置保護膜26a，能夠降低在對無 機絕緣膜27進行幹蝕刻時受到的層間絕緣膜24的損傷(damage),能 夠提高有機EL面板的製造成品率。
此外，在使用UV臭氧處理作為有機EL層28形成前的第一電極 26的清洗的情況下，通過在第二開口部27a下配置保護膜26a，能夠 防止由作為顯示外區域12中的有機物的層間絕緣膜24的UV臭氧清 洗所引起的膜減少。進而，由此由於層間絕緣膜24的膜厚不會在不經 意中變薄，因此能夠抑制由寄生電容的增大引起的對電路等的負載增 大。此外，關於無機絕緣膜27的開口，如果在下面設置ITO透明導電 膜，則能充分防止該層間絕緣膜24的蝕刻。
此外，在本實施方式中，在每組多個第二開口部27a上設置有由透明電極構成的保護膜26a，各個保護膜26a的尺寸增大。因此，作為 配置在顯示區域11的周邊部的由TFT構成的驅動器23、對於布線的 電磁屏蔽構造，能夠使用由透明電極構成的保護膜26a。在這種情況下， 各個保護膜26a相較於電漂移(浮遊)，更優選保持有一定的電位。如 果各個保護膜26a電漂移，則導致與其下的驅動器或者布線的電關係 不穩定，變得動作不穩定。為了將保護膜26a保持有一定的電位，優 選將各個保護膜26a與有機EL元件的第二電極29電連接。不需要用 於將保護膜26a保持有一定的電位的複雜圖形的形成、電源電壓數的 增加，而且，能夠容易地配置從顯示區域11內延伸到顯示外區域12 的第二電極取出部形成的第二電極29，也能夠容易地構成更完全的電 磁屏蔽構造。
此外，在本實施方式中，顯示區域ll內的第一電極26與保護膜 26a的尺寸為不同的結構。由此，在第一電極26的圖形化工藝以後， 能夠容易地目測觀察顯示區域11與周邊區域13的邊界部。因此，在 其後的有機EL元件和第二電極形成工序中，容易目測確認是否在顯示 區域11中可靠地形成了有機EL元件和第二電極29。
如本實施方式這樣，在通過幹蝕刻對無機絕緣膜27進行圖形化的 情況下，從有機絕緣膜的保護效果的觀點出發，作為保護膜優選無機 物。此外，在本發明中，從製造工藝簡化的觀點出發，優選由與第一 電極相同的材料構成的保護膜，在底部發射構造的本實施方式中，使 用的是作為透明導電膜的ITO膜。在頂部發射構造的情況下，第一電 極26為具有反射性的電極，第二電極為具有透光性的電極。在用具有 反射性的金屬膜和透明導電膜的疊層構造形成頂部發射構造的第一電 極26的情況下，作為保護膜26a，也能夠僅形成由與第一電極26的透 明導電膜相同材料構成的膜。在這種情況下，能夠抑制由具有反射性 的金屬的外光反射而使顯示外區域12的保護膜26a醒目的情況。 (實施方式4)
以下敘述在無機絕緣膜的第二開口部之下具有保護膜的其它實施 方式。通過採用在無機絕緣膜的第二開口部下具有保護膜的構造，能 夠在通過蝕刻等對無機絕緣膜進行開口時保護有機絕緣膜。在本實施 方式中，除顯示外區域的保護膜26a的形狀不同以外，與實施方式3
21相同，製作出有機EL面板。SP，在顯示區域11中對ITO透明導電膜 進行圖形化形成第一電極26時，通過在顯示外區域12中也進行ITO 透明導電膜的圖形化，在無機絕緣膜27的第二開口部27a下，配置比 第二開口部27a大一圈的透明電極作為層間絕緣膜24的保護膜26a。
圖9是表示本實施方式有源矩陣型有機EL面板的顯示區域和顯示 外區域的結構的平面概略圖。此外，本實施方式的有源矩陣型有機EL 面板的剖面結構與圖8所示的實施方式3的型有機EL面板的剖面結構 相同。
在本實施方式中，第一電極的形成工序兼為保護膜的形成工序， 在顯示區域11中對ITO透明導電膜進行圖形化形成第一電極26時， 在顯示外區域12中也通過形成與顯示區域11相同的ITO透明導電膜 圖形，在無機絕緣膜27的第二開口部27a之下配置透明導電膜作為層 間絕緣膜24的保護膜26a。由此，能夠降低在對無機絕緣膜27進行幹 蝕刻時受到的層間絕緣膜24的損傷(damage),能夠提高有機EL面板 的製造成品率。此外，在使用UV臭氧處理作為有機EL層28形成前 的第一電極26的清洗的情況下，通過在顯示外區域12的無機絕緣膜 27的第二開口部27a下配置保護膜26a，能夠防止由作為顯示外區域 12中的有機物的層間絕緣膜24的UV臭氧清洗所引起的膜減少。此外， 由此由於層間絕緣膜24的膜厚不會在不經意中變薄，因此能夠抑制由 寄生電容的增大引起的對電路等的負載增大。
此外，在本發明中，從製造工藝的簡化的觀點出發，優選由與第 一電極相同的材料構成的保護膜，在底部發射構造的本實施方式中使 用作為透明導電膜的ITO膜。在這種情況下，ITO膜的透水性小，層 間絕緣膜24含有的水分從層間絕緣膜24經過作為層間絕緣膜24上的 保護膜26a的ITO膜，從無機絕緣膜27的開口放出。在本實施方式中， 通過按照與第一電極26相同的圖形形成保護膜26a，保護膜26a的大 小為比無機絕緣膜27的開口的大小還大一圈的程度。由此，能夠進行 從層間絕緣膜24上的未形成保護膜26a的部分的有效的脫水。此外， 由於保護膜26a網格狀地配置在基板面上，因此能夠容易地將層間絕 緣膜24下的布線和層間絕緣膜24上的保護膜26a配置在從基板面法 線方向看重疊的位置，能夠有效地防止布線的損傷。此外，在本實施方式中，無機絕緣膜的第二開口部27a和保護膜 26a的尺寸分別與顯示區域11的像素部的無機絕緣膜27的第一開口部 和第一電極26的尺寸相同。因此，能夠無面內不均地使得從顯示區域 11和顯示外區域12的脫水大致均勻。
在本實施方式中，在第一電極26的圖形化時，同時進行保護膜26a 的圖形化。如上所述，由於使第一電極26和和保護膜26a為相同尺寸， 所以在顯示區域11和顯示外區域12的邊界部，也排列相同尺寸的ITO 膜圖形。BP，在顯示區域ll的中心附近和周邊部，ITO膜的圖形密度 相等，能夠更均勻地進行ITO膜的圖形化。
各個保護膜26a相較於電漂移(浮遊)，更優選保持有一定的電位。 為了將保護膜26a保持有一定的電位，優選將各個保護膜26a與有機 EL元件的第二電極29電連接。
在頂部發射構造的情況下，第一電極26為具有反射性的電極，第 二電極為具有透光性的電極。在這種情況下也同樣能夠將由與第一電 極26相同的材料構成的膜形成在顯示外區域12上，作為保護膜26a。 在頂部發射構造的第一電極26通過具有反射性的金屬膜和透明導電膜 的疊層構造形成的情況下，作為保護膜26a,也能夠僅形成由與第一電 極26的透明導電膜相同的材料構成的膜。 (實施方式5)
以下敘述在無機絕緣膜的第二開口部之下具有保護膜的其它實施 方式。通過採用在無機絕緣膜的第二開口部下具有保護膜的構造，在 通過蝕刻等對無機絕緣膜進行開口時能夠保護有機絕緣膜。在本實施 方式中，除顯示外區域12的保護膜26a的形狀不同以外，與實施方式 4相同，製作出有機EL面板。
圖10是表示本實施方式的有源矩陣型有機EL面板的顯示區域和 顯示外區域的結構的平面概略圖。其中，本實施方式的有源矩陣型有 機EL面板的剖面結構與圖8所示的實施方式3的型有機EL面板的剖 面結構相同。
在本實施方式中，在顯示區域ll中對ITO透明導電膜進行圖形化 形成第一電極26時，在顯示外區域12中也通過形成與顯示區域11同 樣的ITO透明導電膜圖形，在無機絕緣膜27的第二開口部27a下配置
23透明導電膜作為層間絕緣膜24的保護膜26a。此外，在本實施方式中， 如圖10所示，在顯示外區域12的保護膜26a分別通過導電性的連接 部26b相互電連接。由此，保護膜26a全部保持有一定的電位。連接 部26b也可以用與第一電極26和保護膜26a不同的材料形成，而本實 施方式中的連接部26b用與第一電極26和保護膜26a相同的材料同時 形成。由此，不會導致工序的增加而能夠容易地進行圖形形成。
保護膜26a相較於電漂移(浮遊)，更優選保持有一定的電位。為 了將保護膜26a保持有一定的電位，優選將保護膜26a與有機EL元件 的第二電極電連接。由此，不需要複雜圖形的形成或者電源電壓數的 增加，而且能夠容易地配置從顯示區域11內延伸到顯示外區域12的 第二電極取出部形成的第二電極29，還能夠容易地構成電磁屏蔽構造。 在本實施方式中，由於保護膜26a分別通過連接部26b連接，因此能 夠更可靠地將全部的保護膜26a與第二電極29電連接。在沒有設置連 接部26b的情況下，為了使全部的保護膜26a與第二電極29電連接， 全部的保護膜26a需要由第二電極29覆蓋。如果使第二電極29的外 周部的尺寸相比顯示外區域12充分大，則能夠使全部的保護膜26a可 靠地與第二電極29連接，但是從面板的窄邊緣化的需求或者如果密封 區域14與第二電極29重疊則第二電極29易於惡化等理由出發，現實 的做法是使第二電極29的外周部的尺寸與顯示外區域12的外周部的 尺寸大致相等。為此，在沒有設置連接部26b的情況下，為了用第二 電極29覆蓋全部的保護膜26a，對於第二電極29需要更高的形成精度。 然而，如本實施方式這樣，在保護膜26a通過連接部26b相互連接的 情況下，全部的保護膜26a不需要被第二電極29覆蓋。由於各個保護 膜26a通過連接部26b電連接，因此只要一部分的保護膜26a被第二 電極29覆蓋，則全部的保護膜26a與第二電極29電連接。由此，如 果使用本實施方式，在第二電極29的形成時，不需要那樣高的形成位 置精度，可以得到第二電極29的形狀的設計自由度拓寬等優點。
此外，通過形成保護膜26a，能夠降低在對無機絕緣膜27進行幹 蝕刻時受到的層間絕緣膜24的損傷(damage),能提高有機EL面板的 製造成品率。進而，在使用UV臭氧處理作為有機EL層28形成前的 第一電極26的清洗的情況下，通過在顯示外區域12的無機絕緣膜27的第二開口部27a下配置保護膜26a，能夠防止由作為顯示外區域12 中的有機物的層間絕緣膜24的UV臭氧清洗所引起的膜減少。
此外，在本發明中，從製作工藝的簡化的觀點出發，優選由與第 一電極相同的材料構成的保護膜，在底部發射構造的本實施方式中使 用作為透明導電膜的ITO模。在這種情況下，層間絕緣膜24含有的水 分從層間絕緣膜24經過作為層間絕緣膜上的保護膜26a的ITO膜，從 無機絕緣膜27的開口放出。在本實施方式中，通過按照與第一電極26 相同的圖形形成保護膜26a，保護膜26a的大小為比無機絕緣膜27的 第二開口部27a的大小還大一圈的程度。由此，能夠進行從層間絕緣 膜24上的未設置保護膜26a的部分的有效的脫水。
在本實施方式中，由於無機絕緣膜的第二開口部27a和保護膜26a 的尺寸分別與顯示區域11的像素部的無機絕緣膜27的開口部和第一 電極26的尺寸大致相等，因此能夠大致均勻地進行從顯示區域11和 顯示外區域12的脫水。
此外，在本實施方式中，在第一電極26的圖形化時，同時進行保 護膜26a的圖形化。如上所述，由於使第一電極26與保護膜26a為大 致相同的尺寸，因此在顯示區域ll的中心附近和周邊部，ITO膜的圖 形密度大致相等，能夠均勻地進行ITO膜的圖形化。
再者，在本實施方式中，在顯示區域ll內的第一電極26上沒有 形成連接部26b，另一方面，在顯示外區域12內的保護膜26a上形成 有連接部26b。由此，在第一電極26的圖形化工藝以後，能夠用目測 容易地觀察顯示區域11與顯示外區域12的邊界部。因此，在其後的 有機EL元件和第二電極形成工藝中，很容易用目測確認在顯示區域 11上是否可靠地形成有有機EL元件和第二電極29。
在本實施方式中使用的是底部發射構造，但本發明並不限於該構 造，也可以使用頂部發射構造。在頂部發射構造的情況下，第一電極 26為具有反射性的電極，第二電極為具有透光性的電極。在這種情況 下也同樣能夠在顯示外區域12形成由與第一電極26相同的材料構成 的膜作為保護膜26a。在頂部發射構造的第一電極26通過具有反射性 的金屬膜和透明導電膜的疊層構造形成的情況下，作為保護膜26a，也 能夠僅形成由與第一電極26的透明導電膜相同的材料構成的膜作為保護膜26a。
此外，本申請以2005年12月5日申請的日本國專利申請2005 —
350640號和2006年11月20日申請的日本國專利申請2006—313161
號為基礎，主張基於巴黎公約或者移行國的法規的優先權。該申請的 內容其整體作為參照引入到本申請中。
此外，本申請說明書中的"以上"和"以下"包括該數值。
權利要求
1.一種有機電致發光面板，其具有在表面形成有有機絕緣膜的基板上依次疊層有第一電極、至少包括發光層的有機層、第二電極的構造，其特徵在於該有機電致發光面板具備覆蓋有機絕緣膜和第一電極，並且在顯示區域內的第一電極上以及顯示區域外具有開口的無機絕緣膜。
2. 根據權利要求l所述的有機電致發光面板，其特徵在於 所述無機絕緣膜的顯示區域外的開口具有相對顯示區域外的有機絕緣膜形成區域的面積的10%以上的面積。
3. 根據權利要求1或2所述的有機電致發光面板，其特徵在於 所述有機電致發光面板在無機絕緣膜的顯示區域外的開口下具有保護膜。
4. 根據權利要求3所述的有機電致發光面板，其特徵在於 所述有機電致發光面板在無機絕緣膜的顯示區域外的各個開口之下各設置有一個覆蓋該開口下的有機絕緣膜的保護膜。
5. 根據權利要求3所述的有機電致發光面板，其特徵在於-所述保護膜具有開口。
6. 根據權利要求3 5中任一項所述的有機電致發光面板，其特 徵在於-所述保護膜通過與第一 電極相同的材料形成。
7. 根據權利要求3、 5、 6或7所述的有機電致發光面板，其特徵 在於所述保護膜通過電連接的多個導電部構成。
8. 根據權利要求7所述的有機電致發光面板，其特徵在於所述保護膜保持有一定的電位。
9. 根據權利要求3 8中任一項所述的有機電致發光面板，其特 徵在於-所述保護膜與第二電極電連接。
10. 根據權利要求1 9中任一項所述的有機電致發光面板，其特 徵在於所述有機電致發光面板是通過環狀地配置在其外周的密封材料， 將形成有有機電致發光元件的基板與密封部件粘接而成的面板，其中， 在密封材料下沒有設置有機絕緣膜。
11. 根據權利要求10所述的有機電致發光面板，其特徵在於所述有機電致發光面板，面對由形成有有機電致發光元件的基板 和密封部件形成的氣密空間，設置有乾燥劑。
12. —種有機電致發光顯示裝置，其特徵在於，包括-權利要求1 11中任一項所述的有機電致發光面板。
全文摘要
本發明的目的在於提供發光亮度的可靠性優異的有機電致發光面板和使用該面板的有機電致發光顯示裝置。本發明的有機電致發光面板是具有在表面形成有有機絕緣膜的基板上依次疊層有第一電極、至少包括發光層的有機層、第二電極的構造的有機電致發光面板，所述有機電致發光面板具備覆蓋有機絕緣膜和第一電極，並且在顯示區域內的第一電極上以及顯示區域外具有開口的無機絕緣膜。
文檔編號H05B33/22GK101322440SQ20068004578
公開日2008年12月10日 申請日期2006年11月30日 優先權日2005年12月5日
發明者寺田幸祐, 森田春雪, 田川晶 申請人:夏普株式會社